化学清洗工艺

1适用范围

本化学清洗工艺适用范围：直流锅炉和过热蒸汽出口压力为9.8MPa及以上的汽包锅炉，在投产前必须进行化学清洗；压力在9.8Mpa以下的汽包炉，当垢量小于150g/m2时，可以不进行酸洗，但必须进行碱洗或碱煮；再热器一般不进行化学清洗，但出口压力为 17.4Mpa及以上的锅炉再热器，可根据情况进行化学清洗，应保持管内清洗流速在0.15m/s以上；过热器垢量大于100g/m2时可选用化学清洗，必须有可靠的防“气塞”和防腐蚀产物在管内沉积的措施，过热器和再热器的清洗也可采用蒸汽加氧吹洗；

2编写依据

2.1《工业＂三废＂排放试行》GBJ4-73

2.2《火力发电厂锅炉化学清洗导则》SD135-86

3锅炉化学清洗的准备工作

3.1化学清洗系统的设计、安装

3.1.1锅炉的化学清洗，一般根据锈蚀程度，锅炉设备的构造、材质、清洗效果，缓蚀效果，经济性的要求以及废液排放和处理要求等因素进行综合考虑；一般应通过试验选用清洗介质，以及确定清洗参数。根据清洗介质和炉型来选择清洗方式。设计化学清洗系统及清洗方案。

3.1.2清洗系统安装应满足下列要求：

3.1.2.1安装临时系统时，管道内不得有砂石和其它杂物。水平敷设的临时管道，朝排水方向的倾斜度不得小于1/200。按永久管道的质量要求，检查临时管道的安装质量。焊接部位位于易观察之处，焊口不易靠近重要设备。所有阀门在安装前，必须研磨，更换法兰填料，并进行水压试验。所有的阀门压力等级必须高于化学清洗时相应的压力等级，阀门本身不得带有铜部件，阀门及法兰填料，采用耐酸、碱的防蚀材料.

3.1.2.2清洗泵入口侧（或酸箱出口）应装滤网，滤网孔径应小于5mm。有效通流截面积应大于入口管截面积的3倍。安装泵进出口管道时，应考虑热膨胀补偿措施，不使水泵受到过大的推力。

3.1.2.3清洗箱出口至泵的吸入口的位差至少应有2m，以防泵抽空。清洗泵轴瓦应加强冷却。

3.1.2.4化学清洗时，在汽包上临时液位计及液位报警信号。根据循环流速的要求。在汽包下降管口，点焊节流孔板，并将汽包放水管加高。

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化学清洗方案

化学清洗方案 LG GROUP system office room 【LGA16H-LGYY-LGUA8Q8-LGA162】

UG-160/ 化学清洗方案 编制：张虎平 审核： 批准： 内蒙古中煤蒙大新能源化工有限公司 热电车间 一化学清洗的组织机构及参加人员 车间试车总指挥: 调试指挥人: 车间主任，清洗公司成员. 现场技术负责人: 安全员设备技术员工艺技术员清洗公司成员. 调试验收负责人: 生产部技术管理人员工艺技术员 参加人员: 工艺试车组成员施工安装人员 电气、仪表人员清洗公司成员. 二试车的依据标准: 1依据锅炉使用说明书进行。 2依据新安装锅炉的试车规范进行. 三化学清洗目的范围：: 1 清除设备内部的油污、氧化物及杂质，保证锅炉传热效率、使用寿命和 蒸汽品质。

2通过钝化处理使锅炉系统内金属表面形成一层致密的钝化膜，来保证锅炉的正常运行 3锅炉蒸发受热面，及省煤器、下降管、汽包、水冷壁、集箱及相关管线。四化学清洗合格验收标准： 1清洗完成后应检查汽包、水冷壁下集箱内部、监视管断、和腐蚀指示片应清洁基本无残留氧化物和渣子。 2不出现二次浮锈，无点腐蚀，无明显粗晶析出的过洗现象，不允许有镀铜现象，要形成完整的钝化保护膜。 3腐蚀指示片平均腐蚀速度应小于10g/m2h 4固定设备上的阀门不应受到损伤。 五化学清洗条件： 1锅炉本体及汽水系统以全部安装完毕。 2锅炉附机设备已安装完毕，具备点火条件。 3保证有足量合格的脱盐水供给。 六化学清洗前的准备工作 1化学清洗前应将汽水系统中各流量计、调节阀、压力表、测温元件，过滤器及其它对清洗液敏感的部件予以拆除或隔离。 2化学清洗过程中的废液不允许直接排入天然水体中，应就近纳入当地污水处理系统，集中处理，达标排放。

化学清洗施工方案

施工方案 一、施工准备 1、技术准备 1.1由我们的技术工程师和有关技术人员首先熟悉工作内容和设计要求。 1.2 设计单位，应提出明确的施工技术说明。对原材料、半成品、成品，应提出明确的技术规范和标准。 1.3我们的专业工程师会对贵方提供的资料进行自审、综合会审等工序，并及时对所提出的问题给予解答。结合工程情况，提出施工方案和技术交底，并应具有书面资料。 1.4施工所用原材料应具有出厂合格证和检验资料。 1.5准备齐全各种施工记录，应将自检记录、气象记录、施工日记与施工同步完成。 2、人员组织： 我公司各部门选派有组织能力，有施工管理经验，熟练本工程的技术员、质检员、安全员、预算员、材料员等有关人员组成项目部，并组织熟练掌握本工程施工的技术工人，参加本项工程施工。施工人员应在指定开工时间前七天到达施工现场，搭设组建临时设施，接受管理人员及技术人员对施工现场勘查情况的讲解，并虚心接受本项工

程施工的技术安全交底，同业主管理人员、技术人员分析施工时可能出现的技术难点和作业时存在的安全隐患，让每一个施工人员对本项工程施工技术要求、安全生产做到心中有数，不打盲目仗。另外还要做到材料及施工对象的各项防护措施。 3、施工组织准备 本工程施工的组织工作要非常严密，这是提高工作效率、施工质量和施工安全的必要措施；施工组织应分两个层次：一为管理层（领导层），管理层要提前7天进入施工现场了解现场情况，二为劳务层（作业班组）劳务层要提前5天进入现场了解现场情况，以便施工时及早的进入施工状态，有效的缩短施工工期。力争提前竣工。 3.1 开工前必须结合工程特点，对本工程的全体人员培训，从理论到实践进行全员考核，让每位作业人员完全领会作业指导书内容，并签字确认。由安全员结合工程特点出题考核作业人员，合格者方可上岗工作。 3.2 组织专业施工队（有五年以上施工经验的作业人员不得少于总人数的三分之二），以施工队长为主体，由队长、质量检查员、安全检查员、工作技术人员、材料员组成管理层，应少而精且要持证上岗。 3.3 对施工人员执行作业责任制，基本固定施工作业区，按区明确作业责任，坚持每日作业质量检查，不合格者当日返修完。并由施工队

工业锅炉水垢类型及化学清洗对策

工业锅炉水垢类型及化 学清洗对策 集团企业公司编码：（LL3698-KKI1269-TM2483-LUI12689-ITT289-

工业锅炉水垢类型及化学清洗对策1前言 锅炉是生产蒸汽或热水的换热设备，随着生产的发展和人们生活水平的提高，它已日益广泛地应用于现代工业、宾馆及人们生活，成为发展国民经济和改善工作、生活条件的重要热工设备之一。 工业锅炉一般是指用于工业生产中的加热、蒸煮、干燥、厂房或人们生活采暖和热水供应等方面的锅炉。 就海南而言，工业锅炉使用最普遍的首属制糖厂，其次是宾馆、酒店，其中制糖厂锅炉总容量或单台容量均占首位，单台产汽量一般为20t/h 或25t/h，大的超过40t/h，其它行业锅炉容量较小，宾馆用的多为产汽量为1t/h或2t/h的燃油锅炉。锅炉在使用过程中，由于受多方面因素的影响，会产生水垢，会产生水垢(包括泥砂垢和铁锈垢等)。水垢的导热性很差，它的存在会导致受热面传热情况变坏，排烟温度升高，增加燃料消耗量；同时引起受热面金属过热，温度过高，金属强度下降，在蒸汽压力作用下，过热部位变形、鼓包，甚至引起爆炸事故。水垢较多时，还会堵塞管道，影响炉水的正常循环。水垢层下也会产生所谓沉积物下的局部腐蚀等。为了消除水垢的危害，锅炉一旦产生水垢，就需要进行清洗，将其除去。我们从事锅炉等设备的化学清洗研究和施工工作多年，遇到过各种各样的工业锅炉及水垢，通过研究和大量实践，对水垢类型的分析、判断及清洗积累了点滴经验，本文将就此作些介绍，以供交流。

2水垢的形成机理 工业锅炉在使用过程中，由于给水水质不符合要求，以及操作管理不善等原因，在锅筒、管壁及汽包等部位会产生水垢，水垢形成的机理是比较复杂的。 2.1给水水质 工业锅炉几乎都是以原水或软化水作为给水，给水使锅炉产生水垢的原因比较多。水垢的形成过程是难溶盐的沉积过程，当炉水温度升高时，炉水中的盐类发生浓缩，当其浓度超过该温度下的溶解度时就会产生沉积；有些盐类，如硫酸钙、硫酸镁、磷酸钙等则随温度升高溶解度下降并析出；在炉水中，当二氧化硅的浓度对碱度而言偏高时也会析出；而可溶性重碳酸盐，如碳酸二氢钙、碳酸二氢镁则受热分解，产生难溶性盐也会导致沉积。 如： 水垢产生的严重程度与给水水质有着非常密切的关系，锅炉给水分原水与软化水。 原水：也称生水，是未经任何处理的天然水(如江河水、湖水、地下水等)，一般由自备水源(地面水或地下水)或城市供水网取得，这种水水质差别很大，城市或市郊取用经过过滤处理的自来水水质较稳定，直接采用地下水的水质硬度大。有些单位取用附近未经过滤处理的江河水，水质不稳定，水中含有悬浮物、胶体物质及各种溶解性杂质，尤其是下雨

化学清洗工艺

1适用范围 本化学清洗工艺适用范围：直流锅炉和过热蒸汽出口压力为9.8MPa及以上的汽包锅炉，在投产前必须进行化学清洗；压力在9.8Mpa以下的汽包炉，当垢量小于150g/m2时，可以不进行酸洗，但必须进行碱洗或碱煮；再热器一般不进行化学清洗，但出口压力为 17.4Mpa及以上的锅炉再热器，可根据情况进行化学清洗，应保持管内清洗流速在0.15m/s以上；过热器垢量大于100g/m2时可选用化学清洗，必须有可靠的防“气塞”和防腐蚀产物在管内沉积的措施，过热器和再热器的清洗也可采用蒸汽加氧吹洗； 2编写依据 2.1《工业＂三废＂排放试行》GBJ4-73 2.2《火力发电厂锅炉化学清洗导则》SD135-86 3锅炉化学清洗的准备工作 3.1化学清洗系统的设计、安装 3.1.1锅炉的化学清洗，一般根据锈蚀程度，锅炉设备的构造、材质、清洗效果，缓蚀效果，经济性的要求以及废液排放和处理要求等因素进行综合考虑；一般应通过试验选用清洗介质，以及确定清洗参数。根据清洗介质和炉型来选择清洗方式。设计化学清洗系统及清洗方案。 3.1.2清洗系统安装应满足下列要求： 3.1.2.1安装临时系统时，管道内不得有砂石和其它杂物。水平敷设的临时管道，朝排水方向的倾斜度不得小于1/200。按永久管道的质量要求，检查临时管道的安装质量。焊接部位位于易观察之处，焊口不易靠近重要设备。所有阀门在安装前，必须研磨，更换法兰填料，并进行水压试验。所有的阀门压力等级必须高于化学清洗时相应的压力等级，阀门本身不得带有铜部件，阀门及法兰填料，采用耐酸、碱的防蚀材料. 3.1.2.2清洗泵入口侧（或酸箱出口）应装滤网，滤网孔径应小于5mm。有效通流截面积应大于入口管截面积的3倍。安装泵进出口管道时，应考虑热膨胀补偿措施，不使水泵受到过大的推力。 3.1.2.3清洗箱出口至泵的吸入口的位差至少应有2m，以防泵抽空。清洗泵轴瓦应加强冷却。 3.1.2.4化学清洗时，在汽包上临时液位计及液位报警信号。根据循环流速的要求。在汽包下降管口，点焊节流孔板，并将汽包放水管加高。 1

换热器化学清洗方案

精心整理 换热器 化学清洗方案 *************公司 *****年*月**日 换热器化学清洗处理方案 1、编制依据 本方案根据换热器进行化学清洗、预膜处理的相关技术数据和技术要求编制成，同时还参照了下列技术文件： (1)DL/T957-2005《火电厂凝汽器化学清洗、预膜导则》 (2)SD135-86《锅炉化学清洗导则》 (3)HG/T2387-92《工业设备化学清洗质量标准》 (4)《内蒙古华能集团兴安热电换热器、凝汽器化学清洗处理方案》 2、结垢原因及危害 (1)、正常的结垢原因及危害 换热器循环冷却水中含有大量的盐类物质、腐蚀产物和各种微生物，由于未对其进行水处理，换热器运行一段时间后水侧会结有大量的钙镁碳酸盐垢及藻类、微生物淤泥、粘泥等，这些污垢牢固附着于铜管内表面，导致传热恶化、循环压力上升、机组真空度降低，影响机组的运行效率，造成较大的经济损失。 (2)、清洗后换热效率降低的原因及危害 一般来讲，按照正常的清洗工艺和选择合适的清洗药剂清洗后的换热器系统，换热效果在1-2年内是不会出现换热效率下降的，但是如果不按照正常的工艺来清洗，还有就是如果选择的药剂不正确，就会导致整个系统清洗不干净，甚至会出现严重腐蚀设备管

精心整理 线的事情。正常的清洗工艺是：试压→水冲洗→黏泥剥离→水冲洗→酸洗除垢→水冲洗→钝化预膜→水质处理 选择的清洗剂必须是根据水垢的成份的情况而定，结垢的成份和原因不同，所选用的清洗剂也不同，否则会发生清洗不干净或者清洗过腐蚀的情况。 3、清洗原理 钙镁碳酸盐水垢易溶于强酸，反应放出二氧化碳气体，生成易溶于水的物质而达到清洗除垢的目的，其溶解反应方程式为： CaCO3+2H+=Ca2++H2O+CO2 Mg(OH)2+2H+=Mg2++2H2O 在清洗过程中，H+会对金属机体产生腐蚀，并出现氢脆现象，因此清洗剂中要加入相应的缓蚀剂；溶解产生的Fe3+、Cu2+等氧化性离子会造成金属机体的点蚀、镀铜等现象，因此清洗液中还需加入掩蔽剂。 4、化学清洗前的准备工作 4.1断开与换热器无关的其它系统。 4.2开启换热器水侧高点放空阀和蒸汽侧低点导淋阀，以保证清洗过程中反应产生的大量气体能够及时排放和清洗液的充满度；同时通过导淋阀监测清洗过程中换热器铜管的泄漏情况。 4.3为了监测系统的清洗效果及清洗过程中设备的腐蚀情况，在清洗施工前，将相当于设备材质的标准腐蚀试片、监测管段分别悬挂于清洗槽中。 5、换热器化学清洗、预膜处理 化学清洗流程: 试压→水冲洗→黏泥剥离→水冲洗→酸洗除垢→水冲洗→钝化预膜→水质处理 5.1试压 试压的目的是为了在模拟状态下对清洗系统的泄漏情况进行检查。 5.2水冲洗 水冲洗的目的是清除设备内松散的污物，当出口处冲洗水目测无大颗粒杂质存在时，水冲洗结束。 5.3酸洗除垢 水冲洗结束后，在清洗槽内循环添加“**牌换热器清洗剂”，控制清洗主剂浓度在3～

工业锅炉水垢类型及化学清洗对策(最新版)

( 安全技术 ) 单位：_________________________ 姓名：_________________________ 日期：_________________________ 精品文档 / Word文档 / 文字可改 工业锅炉水垢类型及化学清洗 对策(最新版) Technical safety means that the pursuit of technology should also include ensuring that people make mistakes

工业锅炉水垢类型及化学清洗对策(最新 版) 1前言 锅炉是生产蒸汽或热水的换热设备，随着生产的发展和人们生活水平的提高，它已日益广泛地应用于现代工业、宾馆及人们生活，成为发展国民经济和改善工作、生活条件的重要热工设备之一。 工业锅炉一般是指用于工业生产中的加热、蒸煮、干燥、厂房或人们生活采暖和热水供应等方面的锅炉。 就海南而言，工业锅炉使用最普遍的首属制糖厂，其次是宾馆、酒店，其中制糖厂锅炉总容量或单台容量均占首位，单台产汽量一般为20t/h或25t/h，大的超过40t/h，其它行业锅炉容量较小，宾馆用的多为产汽量为1t/h或2t/h的燃油锅炉。锅炉在使用过程中，由于受多方面因素的影响，会产生水垢，会产生水垢(包括泥砂垢和

铁锈垢等)。水垢的导热性很差，它的存在会导致受热面传热情况变坏，排烟温度升高，增加燃料消耗量；同时引起受热面金属过热，温度过高，金属强度下降，在蒸汽压力作用下，过热部位变形、鼓包，甚至引起爆炸事故。水垢较多时，还会堵塞管道，影响炉水的正常循环。水垢层下也会产生所谓沉积物下的局部腐蚀等。为了消除水垢的危害，锅炉一旦产生水垢，就需要进行清洗，将其除去。我们从事锅炉等设备的化学清洗研究和施工工作多年，遇到过各种各样的工业锅炉及水垢，通过研究和大量实践，对水垢类型的分析、判断及清洗积累了点滴经验，本文将就此作些介绍，以供交流。 2水垢的形成机理 工业锅炉在使用过程中，由于给水水质不符合要求，以及操作管理不善等原因，在锅筒、管壁及汽包等部位会产生水垢，水垢形成的机理是比较复杂的。 2.1给水水质 工业锅炉几乎都是以原水或软化水作为给水，给水使锅炉产生水垢的原因比较多。水垢的形成过程是难溶盐的沉积过程，当炉水

反渗透膜化学清洗技术

反渗透膜化学清洗技术 摘要：本文介绍了反渗透膜污堵的原因，反渗透装置清洗的方法以及清洗时应该注意的问题。 关键词：反渗透膜 CIP 化学清洗污染 1、概要 在反渗透系统运行过程中，反渗透膜表面会由于原水中泥泽、胶状物、有机物、微生物等污染物质的存在及膜分离过程中对难溶物质的浓缩而产生的沉积，进而形成对反渗透膜的污染。我们都知道，反渗透系统的预处理装置是为尽可能多地去除引起膜污染的物质而专门设计的，尽管如此，即便系统有着相当完善的预处理设备也不能完全避免膜在使用过程中的污染，所以需要在设备运行的过程中进行周期性的去除膜系统中污染物的作业，这个操作过程就叫做反渗透系统的就地清洗（CIP，Cleaning In Place）。 反渗透膜被污染后，就会出现系统产水量减少、盐的透过率增加等膜性能方面的衰退。但由于反渗透设备在使用过程中，影响膜性能的其它主要因素（压力、温度等）的变化，膜污染的现象有可能被其它因素掩盖，因此应予以注意。 目前，市面上大部分芳香聚酰胺反渗透复合膜，在较宽的pH值围具有相当的稳定性和一定的耐温性，所以用户可以对反渗透系统进行非常有效的清洗。多年的工程实践表明，若不及时对已产生一定程度污染的反渗透系统进行清洗处理，想较为彻底地去除已长时间附着膜表面的污染物是非常困难的。 一般在考虑膜系统清洗方案时，应注意如下几点： ■ 应把清洗排放废液对环境的影响（EDTA，杀菌剂等）降低到最低限度。 ■ 应尽可能使本次清洗过程去除污染物最大化。 ■ 应在清洗时对膜的损伤最小化（应首先考虑选择对膜性能影响小的药剂）。

■ 在实际清洗操作时，在保证清洗效果的前提条件下，尽可能使清洗费用最低化 2、反渗透膜发生污染的原因 ■ 不恰当的预处理 ?系统配备预处理装置相对于原水水质及流量不合适，或在系统未配备必要的工艺装置和工艺环节。 ?预处理装置运行不正常，即系统原有的预处理设备对原水SDI成分、浊度、胶状物等的去除能力较低，预处理效果不理想。 ■ 系统选择了不恰当的设备或设备材质选择不正确（泵、配管及其它）。 ■ 系统化学药品注入装置发生故障（酸、絮凝/助凝剂、阻垢/分散剂，还原剂及其它）。 ■ 设备间断运行或系统停止使用后未采取适当的保护措施。 ■ 运行管理人员不合理的设备操作与运用（回收率、产水量、浓缩水量、压差、清洗及其它）。 ■ 膜系统长时间的难溶沉淀物堆积。 ■ 原水组份变化较大或水源特性发生了根本的改变。 ■ 反渗透膜系统已发生了相当程度的微生物污染。 3、膜污染物质分析 ■ 首先应认真分析在此之前所记录的、能反映设备运行状况的近期设备运行记录资料。 ■ 分析原水水质。 ■ 确认之前已做的清洗结果。 ■ 分析系统运行时在测定SDI值测试时留在滤膜上的异物质。

锅炉化学清洗

一．锅炉化学清洗的要求 1．新建锅炉的化学清洗 热力设备化学清洗原则方案应与锅炉初设一并送审。 对蒸汽压力在5.9MPa 以上的汽包炉，必须进行启动前的锅炉化学清洗。对容量在200MW 以上机组的凝结水及高、低压给水管道，应进行化学清洗。对蒸汽压力在 12.7MPa 及以上锅炉，应进行过热器蒸汽吹管或化学清洗。对过热器进行整体化学清洗时，必须防止垂直蛇形管发生汽塞、氧化铁沉积和奥氏钢腐蚀的措施。对再热器，除锈蚀严重外，不再进行化学清洗，可采取蒸汽吹管。2．运行锅炉的化学清洗对于运行锅炉的化学清洗，要在停炉期间进行，通常是结合机组检修时间加以安排。 化学清洗时间应根据沉积物量及运行年限确定。当锅炉水冷壁内沉积物量达到表1 中数值（洗垢法，向火侧180°）或锅炉化学清洗时间间隔达到表中规定时，应对锅炉进行化学清洗。 当化学清洗间隔时间已到上述规定值，但是按规定的取样方法水冷壁管的垢量低于规定垢量下限的1/2，并且无明显垢下腐蚀的锅炉，可以延迟化学清洗。在锅炉延期化学清洗期间要加强对水冷壁管垢量沉积及腐蚀情况的监督与检查，在垢量及腐蚀状况达到上述规定之后应尽快安排化学清洗。 由于结垢、腐蚀而造成水冷壁爆管或泄漏的锅炉，即使锅炉运行年限或结垢量未达到化学清洗标准，亦应立即进行化学清洗。 3．锅炉清洗质量 锅炉及其热力系统化学清洗的质量应达到如下要求： （1）被清洗金属表面清洁，基本无残留氧化物、焊渣及其他杂物。 （2）无明显金属初晶析出的过洗现象，无二次浮锈，无点蚀；腐蚀指示片无点蚀，平均腐蚀速率应小于8 g/ （m2·h），腐蚀总量应小于80 g/ m2；不应有镀铜现象并应形成良好的钝化保护膜。 为了达到上述要求，故锅炉化学清洗通常包括碱洗（碱煮）、酸洗、漂洗及钝化工艺。 二．锅炉化学清洗方法 锅炉化学清洗方法的范围与要求，随锅炉机组参数、锅炉状态是新炉还是运行炉，采取清洗剂及工艺的不同而要采取不同的清洗方法。 由于新炉各部位都可能较脏，清洗的范围除锅炉本体的水汽系统外，还应包括清洗过热器及炉前系统。也就是从凝结水泵出口，经由除氧器，直至省煤器的全部水管道。而省煤器、水冷壁及汽包则属于锅炉本体水汽系统。 如果是运行中锅炉化学清洗，一般仅限于锅炉本体水汽系统。新炉化学清洗属于机组分部试运的工作，由安装单位负责。长期以来，由于清洗对象为电厂主要设备，范围大、工序多，有的清洗工艺如EDTA 清洗，还需要锅炉点火，涉及面很广，故历来受到各方面的重视。再说新建锅炉在投运前清洗质量，直接关系到锅炉的安全经济运行，而且还有助于改善启动时的水汽质量，使之能大大缩短新机启动到正常水汽品质的时间，同时也有助于锅炉投入正常运行后水汽质量保持合格稳定。

锅炉化学清洗施工方案

锅炉化学清洗施工方案公司内部编号：（GOOD-TMMT-MMUT-UUPTY-UUYY-DTTI-

单位代码：FNPC-FTXMB-GLGS 编号：GC-009- 010/2015 施工方案 施工项目： #1锅炉化学清洗施工方案 编制单位：东电四公司辽阳芳烃基地热电厂项目部 工程资料长期保存 技术文件审批页

目录

一、编制依据 1.1《火力发电厂锅炉化学清洗导则》（DL/T794-2012） 1.2 《电业安全规程》（热机部分）。 1.3《电力基本建设热力设备化学监督导则》SDJJS03-88。 1.4《火电工程调整试运质量检验及评定标准》部颁（96版）。 1.5辽宁电力勘测设计院提供的有关系统图、主要设备材料清册及锅炉说明书。 1.6《污水综合排放标准》（GB8978-1996）相关内容 二、工程概况、施工范围及工程量 2.1、辽阳芳烃基地热电厂新建工程锅炉为无锡华光锅炉股份有限公司生产的UG-460/9.81-M3型锅炉。该锅炉为单锅筒、集中下降管、自然循环燃气汽包锅炉。系为新建锅炉，为了清除掉设备在制造、运输、保管、安装过程中形成在汽、水管道内的油脂、铁锈、氧化铁皮、焊渣、泥砂等杂质，根据部颁《火力发电厂锅炉化学清洗导则》DLIT 794-2001的规定，必须进行化学清洗，以保证机组在启动过程中汽水品质尽快合格，防止锅炉在运行中发生结垢、腐蚀、爆管等影响机组安全正常运行的问题。启动前的化学清洗是保证机组安全运行的重要措施。根据建设单位的要求编写化学清洗指导性方案，均按采用盐酸（HCL）作为清洗介质的清洗工艺进行化学清洗，主要步骤包括：水冲洗、酸洗、漂洗和钝化。 2.2、清洗范围 2.2.1、汽包(水侧)、省煤器、集中降水管、水冷壁及其上下联箱等。 2.2.2、清洗系统水容积

EDTA酸洗措施

大唐洛阳热电厂2×300MW技改工程锅炉化学清洗措施

目录 1.编制目的 2.编制依据 3.调试质量目标 4.系统及主要设备技术规范 5.调试范围 6.调试前应具备的条件 7.调试工作程序 8.调试步骤 9.组织分工 10.安全注意事项 11.分析测定方法 12.附录 附录1. 调试质量控制点 附录2. 调试前应具备的条件检查清单附录3. 洛阳热电厂锅炉化学清洗预算附录4. 化学清洗计划用水、汽量 附录5. 锅炉化学清洗交底会记录 附录6. 锅炉化学清洗系统示意图 附录7：EDTA回收及废液中和系统图

1. 编制目的 1.1为了指导及规范系统及设备的调试工作，保证系统及设备能够安全正常投入运行，制定本措施。 1.2新装机组,对其受热面污垢、锈蚀进行清洗。 1.3检查及设备的运行情况，检验系统的性能，发现并消除可能存在的缺陷。 2. 编制依据 2.1《火力发电厂基本建设工程启动及竣工验收规程（1996年版）》 2.2《电力建设施工及验收技术规范》化学篇（1982年版） 2.3《火电工程调整试运质量检验及评定标准》（1996年版） 2.4《火电工程启动调试工作规定》（1996年版） 2.5《电力建设安全施工管理规定》（1995） 2.6《火力发电厂锅炉化学清洗导则》（SD135—86） 2.7《锅炉化学清洗调试导则》Q/NECI909-326-1998 2.8设计图纸及设备设明书 3.调试质量目标： 符合部颁《火电工程调整试运质量检验及评定标准（1996年版）》中有关系统及设备的各项质量标准要求，全部检验项目合格率100%，优良率90%以上，满足机组整套启动要求。 专业调试人员、专业组长应按附录1（调试质量控制点）对调试质量的关键环节进行重点检查、控制，发现问题应及时向上级领导汇报，以便协调解决，保证启动调试工作顺利进行。 4.系统及主要设备技术规范 4.1系统简介 洛阳热电厂热电联产技改工程设计规模为2×300MW燃煤机组，锅炉为东方锅炉厂生产的DG-1025/18.2—Ⅱ4型亚临界自然循环汽包炉，四角切圆燃烧、一次中间再热、平衡通风、露天布置、全钢构架、固态排渣煤粉炉。 4.2 主要设备技术规范 1．清洗箱： 150 M3 1台（除氧器） 2．清洗泵： 2台（前置泵）

(完整版)化学清洗作业指导书.doc

化学清洗作业指导书 第 1章第1页共1页标题 1.范围 第 A 版第0次修改 1.范围 1.1 本作业指导书适用于本化学清洗中心接受各种型号和各种压力等级的 新建、运行锅炉及热力设备的化学清洗，作业内容包括： （1）试验室小型试验； （2）锅炉及热力设备化学清洗； 1.2 作业目的 1.2.1 通过试验室静态或动态小型试验，确定锅炉及热力设备化学清洗的 介质和化学清洗工艺。 1.2.2 通过对新建、运行锅炉及热力设备的化学清洗，除去新建锅炉在扎制、加工过程中形成的高温高温氧化扎皮以及在存放、运输、安装过程中产生的腐蚀产物、焊渣和泥沙污染物等；除去运行锅炉受热面上积聚的氧化铁垢、钙镁水垢、铜垢、硅酸盐垢和油垢等，保持受热面内表面清洁。

化学清洗作业指导书化学清洗作业指导书第 2章第3页共1页 标题 2.引用标准 第 A 版第0次修改 2.引用标准 《锅炉化学清洗规则》国家质检总局2004 版 GB8978-1996污水综合排放标准 DL/T794-2001 火力发电厂锅炉化学清洗导则 HG/T2387-1992 工业设备化学清洗质量标准 SD-202火力发电厂垢和腐蚀产物试验方法 现场试验过程控制程序 技术报告的管理程序

第 3章第4页共1页标题 3.定义 第 A 版第0次修改 3.定义 3.1 采用 GB/T19000-2000idt ISO9000:2000《质量管理体系基础和术语》 3.2 本公司为： *** 有限公司 化学清洗作业指导书

第 4章第5页共1页标题 4. 职责化学清洗作业指导书 第 A 版第0次修改 4.职责 本公司化学清洗中心的工作人员为本作业的承担者。 4.1 项目负责人的职责：负责收集化学清洗项目所需的技术资料、编写化 学清洗方案、清洗系统安装检查、安全监察、与协作单位的联络与组织化学清洗作业实施、化学清洗质量控制、化学清洗结果确认、编写化学清洗工作报告。 4.2 项目参加人的职责：进行化学清洗小型试验、责任范围内的临时清洗 设备的安装及拆除、化学清洗药品的准备及质量检验、化学清洗作业的实施操作、化学分析检测、实验数据记录及处理、部分试验报告的编写。

对反渗透膜化学清洗的若干技巧

对反渗透膜化学清洗的若干技巧 编者按：随着我国污水污染物排放标准的日趋严格、膜材料生产的大规模国产化，越来越多的膜技术应用于市政污水和各种工业污水的处理领域中，膜材料的清洗会直接影响膜的寿命和运行成本。中国水网编辑根据网友ma3g1771博客中对于膜件清洗的相关内容整理如下，供广大网友参考。 对膜件的清洗一般分为物理清洗和化学清洗两种，而化学清洗的频次越高，对膜件的损伤越大，严重影响了膜系统的使用寿命。所以，相关技术人员很难掌握好膜系统的化学清洗。膜清洗频率与预处理措施的完善程度是紧密相关的。预处理越完善，清洗间隔越长；反之，预处理越简单，清洗频率越高。一般膜清洗是遵循（10%法则）——当校正过的淡水流量与最初200h运行（压紧发生之后）的流量之比，降低了10%和（或）观察到压差上升了10%~20%就需进行清洗。尽可能在脱盐率下降显示出来以前采取措施。正规安排的保护性维护清洗不足以保护反渗透系统。譬如，由于预处理设备运行不正常，进水条件在短时间内就会发生变化。反冲洗对于防止大颗粒对某些形式反渗透膜模件的堵塞是有效的。但不是所有的污染都可通过简单的反冲洗就能清除除掉，还需要有周期的化学清洗。化学清洗除需增加药剂和人工费用外，还有个污染问题，所以也不可过频繁，每月不应超过1~2次，每次清洗时间约1~2h。化学清洗系统通常包括一台化学混合箱和与之相配的泵、混合器、加热器等。化学清洗常是根据运行经验来决定（可以根据每列设备压降读数与运行时间的关系曲线，或是依据产水量、淡水水质和膜的压降等）。化学清洗所用的药剂和方法，需根据污染源来决定。下表可供参考，但更应重视和应用本单位的经验。为了保证效果，在化学清洗前要进行冲洗。冲洗前先降压，再用2~3倍正常流速的进水冲洗膜，靠流体的搅动作用将污物从膜面从膜面剥离并冲走。然后针对污染特征，选择清洗液对膜进行化学清洗。为了保护反渗透模件，液温最好不超过35·C。系统若停用5天以上，最好用甲醛冲洗后再投用。如果系统停用二周或更长一些时间，需用0。25%甲醛浸泡，以防微生物在膜中生长。化学药剂最好每周更换一次。针对各种污染物采用的清洗剂详见下表，由于各地水质不同，仅供参考。 清洗方案技术一 单位：嘉兴发电有限责任公司 摘要：根据嘉兴发电厂反渗透系统的流程、运行情况和多次反渗透膜的清洗经验，对反渗透膜化学清洗方法作了总结，摸索出一套行之有效的常规药品典型清洗方法，并提出了建议，以供同类型水源及设备的厂家作一参考。 关键词：反渗透化学清洗污染 反渗透膜法水处理工艺是目前公认为水除盐最有效的技术之一。在以地表水作为锅炉水源的大中型火力发电厂，化学除盐水处理中反渗透技术应用越来越广泛。但是由于反渗透膜在正常运行过程中，不可避免地会被无机盐垢、胶体、微生物、金属氧化物等污染，这些物质沉积在膜表面上，将会引起反渗透装置出力下降或脱盐力下降，因此为了恢复良好的透水和除盐性能，需要对膜进行化学清洗。 嘉兴发电厂是浙江地区较早使用反渗透膜法水处理技术的。一期2*300MW机组的除盐水系统中，通过技改在2000年安装了两套2*50t/h的反渗透装置，二期4*600MW机组的除盐水系统中安装了二套130 t/h的反渗透装置。设备投运几年来，反渗透膜的清洗均是由电厂运行独立完成的，本文根据历年的清洗经验，总结出目前行之有效的典型常规药品典型清洗方法，以供同类型水源及设备的厂家作一参考。 1反渗透系系统的流程与运行情况

管道化学清洗技术方案 (1)

7 甲乙丁辛醇管线 化学清洗施工方案编制 审批 批准 淄博华实清洗有限公司 2015年03月 目录

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球罐25 异丁烷管线清洗流程图 (26)

1 工程概况 工程简介 本次清洗范围，包含甲乙丁辛醇管线。 编制依据 SH/T3547-2011《石油化工设备和管道化学清洗施工及验收规范》HG/20202-2000《脱脂工程施工及验收规范》 HG/T2387-2007《工业设备化学清洗质量标准》 GB/T 25146-2010《工业设备化学清洗质量验收规范》 GB16912-2008《深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程》GB8978-1996《污水综合排放标准》 烟台万华相关技术文件 清洗目的 防止铁锈对原料的污染，造成不合格原料的增加

化学清洗范围 甲乙丁辛醇管线循环清洗 施工前的准备 所有施工人员都必须经过业主入厂安全培训，并取得进门卡后方得入厂； 所有施工机具、材料都必须进行报验，合格后方可投入使用。 所有施工技术方案和措施均必须报审通过后，方可遵照执行 2 清洗施工程序及进度计划 清洗方法 化学清洗前的准备 清洗系统 在系统化学清洗前，将被清洗系统中不允许参与化学清洗的部件，如流量计（孔板）、调节阀、压力表、温度计等测试、测量仪表、过滤网、过滤器芯及单向阀芯等在经过业主的同意后拆除，并采取临时短管、临时旁路及盲板等措施对拆除部件的位置进行处理。关闭并隔离与化学清洗系统无关的阀门，以防清洗液的外泄。拆装部位均应进行挂牌，标明位置，对拆下的设备附件按要求单独处理，以备清洗后安装复位。 化学清洗的方式管线采用强制循环，充满清洗。

水垢的形成机理、类型及清洗对策

水垢的形成机理 工业锅炉在使用过程中，由于给水水质不符合要求，以及操作管理不善等原因，在锅筒、管壁及汽包等部位会产生水垢，水垢形成的机理是比较复杂的。 2.1 给水水质 工业锅炉几乎都是以原水或软化水作为给水，给水使锅炉产生水垢的原因比较多。水垢的形成过程是难溶盐的沉积过程，当炉水温度升高时，炉水中的盐类发生浓缩，当其浓度超过该温度下的溶解度时就会产生沉积；有些盐类，如硫酸钙、硫酸镁、磷酸钙等则随温度升高溶解度下降并析出；在炉水中，当二氧化硅的浓度对碱度而言偏高时也会析出；而可溶性重碳酸盐，如碳酸二氢钙、碳酸二氢镁则受热分解，产生难溶性盐也会导致沉积。 如：O H CO CaCO CO H Ca 223232)(+↑+?→?? 水垢产生的严重程度与给水水质有着非常密切的关系，锅炉给水分原水与软化水。 原水：也称生水，是未经任何处理的天然水(如江河水、湖水、地下水等)，一般由自备水源(地面水或地下水)或城市供水网取得，这种水水质差别很大，城市或市郊取用经过过滤处理的自来水水质较稳定，直接采用地下水的水质硬度大。有些单位取用附近未经过滤处理的江河水，水质不稳定，水中含有悬浮物、胶体物质及各种溶解性杂质，尤其是下雨季节，水中混有泥砂，水是黄色浑浊的。我们曾遇见过某厂在雨天用这种水作给水，使用这种水的锅炉极易沉积泥砂垢或泥砂与水垢结成一体的混合垢。 软化水：常用钠离子交换水或炉内处理水，前者应用最多。经钠离子交换树脂处理的水，其硬度一般能满足工业锅炉的要求，司炉中只要定时排污，水垢不易沉积。但是有些单位，因为水处理设备容量小，处理的水量不足，有时则向炉内补充部分原水，从而加快了水垢的沉积。 采用炉内加药处理的水，往往由于加药量不足或加药不及时及排污不严格等

凝汽器化学清洗高压水射流清洗施工技术方案及凝汽器清洗规程样本

凝汽器化学清洗施工技术方案及凝汽器高压水射流清洗规程 摘要：凝汽器化学清洗(高压水射流清洗)技术方案编写内容从凝汽器化学清洗(高压水射流清洗)编制 根据、凝汽器结垢成因、凝汽器化学清洗(高压水射流清洗)必要性、不锈钢凝汽器化学清洗应当注意关 于问题、凝汽器化学清洗(高压水射流清洗)系统建立、凝汽器化学清洗(高压水射流清洗)安全文明施工 管理安全办法等八个方面展开。 目录 1、凝汽器化学清洗(高压水射流清洗)本方案编制根据 (1) 2、结垢成因 (3) 3、化学清洗必要性 (4) 4、不锈钢凝汽器清洗应当注意关于问题 (5) 5、凝汽器化学清洗(高压水射流清洗)系统建立 (6) 6、凝汽器化学清洗(高压水射流清洗)质量管理办法、目的 (6) 7、凝汽器化学清洗(高压水射流清洗)安全文明施工管理安全办法 (8) 8.凝汽器化学清洗(高压水射流清洗)资质 (12) 9、凝汽器化学清洗(高压水射流清洗)业绩展示 (8)

1、凝汽器化学清洗(高压水射流清洗)本方案编制根据 1.1 DL/T957-《火力发电厂凝汽器化学清洗(高压水射流清洗)及成膜导则》 1.2 GB/T25146-《工业设备化学清洗质量验收原则》 1.3 HG/T2387-《工业设备化学清洗质量原则》 1.4欣格瑞（山东）环境科技有限公司《工业设备高压水清洗施工方案制定办法》 1.5 GB8978-1996《污水综合排放原则》 1.6《火力发电厂基本建设工程启动及竣工验收规程实行办法》（1996年） 1.7 GB/T25147-《工业设备化学清洗中金属腐蚀率及腐蚀总量测试办法、重量法》 1.8欣格瑞（山东）环境科技有限公司《华电国际莱城发电厂#3机凝汽器高压水清洗方案》《里彦电厂#2机凝汽器高压水清洗方案》等关于方案及实践（参见业绩表） 1.9甲方提供关于技术参数。

锅炉化学清洗后爆管的原因分析及对策(新编版)

锅炉化学清洗后爆管的原因分析及对策(新编版) Security technology is an industry that uses security technology to provide security services to society. Systematic design, service and management. ( 安全管理 ) 单位：______________________ 姓名：______________________ 日期：______________________ 编号：AQ-SN-0968

锅炉化学清洗后爆管的原因分析及对策 (新编版) 目前，部分锅炉使用单位锅炉水处理不过关，锅炉结水垢严重。一般采用化学清洗方法除水垢。《锅炉水处理监督管理规则及锅炉化学清洗规则》－1999规定化学清洗碳酸盐水垢的除垢率≥80％，化学清洗硅酸盐和硫酸盐水垢的除垢率≥60％。但是因为锅内的结垢部位、厚度和水垢类别不同，化学清洗后锅内局部还会残存很多水垢。锅炉运行时会脱落堆积在锅筒底部、集箱内或水冷壁管内，严重地影响了锅炉的安全平稳运行。 （1）设备及事故简况 江阴市某厂1台型号为DZL4-1.27-AⅡ锅炉，水冷壁管材质为20#钢，规格?57×3.5。定期检验时发现锅内结碳酸盐水垢（2～3）mm，覆盖率＞80％。某化学清洗单位对该锅炉用5％盐酸进行闭式循

环清洗，温度控制在45±5℃，时间8小时。清洗后用浓度2％的Na3PO4中和钝化，pH值控制在11～12，时间24小时，打开锅炉人孔和手孔检查，虽然局部残存较多水垢，但总体除垢率＞80％，锅内金属表面无点蚀，钝化保护膜形成良好。随后锅炉投入运行，约一周时间发观锅炉左侧前数第8根水冷壁管距集箱约400mm处爆管。 （2）宏观检查 对水冷壁管爆管处进行宏观检查，距爆口下部200mm处有大量水垢片堵塞了管子。爆口呈尖锐喇叭状，纵向破裂。边缘锋利，呈刀刃状，具有韧性断裂的特征。爆口最大长度167mm，最大宽度65mm。爆口边缘壁厚减至1.12mm，管壁背火侧厚度3.4mm，距爆口边缘100mm 处壁厚3.5mm。爆口位置见附图。 爆口位置图 （3）原因分析 对爆口宏观分析，该爆口塑性开裂。水冷壁管向火侧发生了明显的塑性变形，是短时间管壁超温到Ac1点，甚至超过Ac3点。管壁材料抗拉强度在高温下急剧降低，在锅内介质压力作用下向火侧

化学清洗技术规范

第一章总则 第一条为防止因化学清洗不当而危及设备安全运行，保证化学清洗过程安全可靠、提高效果、特制定本规范。 第二条本规范适用于额定压力小于等于2.45MPa的固定式蒸汽锅炉和承压热水锅炉；各类热交换器、冷凝器、蒸馏釜、储罐、充气站、配油站、制冷系统及其各类输配管理网的化学清洗。 第三条本规范所指化学清洗是使用本公司生产的GF-120、GF-80、FD-90、1号助剂和2号助剂等安全强力除垢剂、添加剂和各种预处理剂清洗碳酸盐水垢、硅酸盐水垢、硫酸盐水垢和其他污垢。 第四条化学清洗工程由公司清洗工程部统一管理并进行质量监督。各分公司独立承担化学清洗工程时，必须具备下列条件： 1、分公司经理已受聘为公司现场负责人并取得劳动部门频发的有关资格证书。 2、准备好和化学清洗工程相适应的设备和检测手段。 3、报请公司清洗工程部同意并得到签复的化学清洗方案和开工指令书。 第二章化学清洗条件和准备 第五条承压锅炉必须符合下列情况之一，方可清洗： 1、锅炉受热面水垢覆盖率80%以上且平均垢厚为： 无过热器的锅炉≥1.0mm 有过热器的锅炉≥0.5mm 热水锅炉≥1.0mm 2、锅炉受热面上有明显的油污和铁锈。其他设备可按用户委托并参考有关规定商定。 第六条化学清洗前，必须按公司“质保手册”规定的程序办理手续。在接到公司下发的化学清洗任务书后，必须完成结垢状态、模拟试验、设备情况的报告。 1、对设备内外部进行详细检查。记录并认真填写报告(如有泄露和堵塞，应由有关单位进行预处理)。 2、对设备技术状况进行全面了解，记录并认真填写报告。 3、在设备有代表性的部位取水垢试样作模拟试验并认真填写报告。(详见附录3) 第七条根据第六条三份报告，进行技术可行性、经济合理性和社会效益的综合评价。 重大化学清洗工程的设计、GF-120等剂量的核算、工艺流程及其参数的控制，由公司清洗工程部制定。 一般工程由现场负责人组织编制清洗方案后报公司审批。

工业机器人技术与应用》试卷a

《工业机器人技术与应用》试卷 （A ） 一、填空（每空1分，共30分） 1．按照机器人的技术发展水平，可以将工业机器人分为三代 ___ _ ___ 机器 人、 ____ __ _ 机器人和 ___ ____ 机器人。 2．机器人行业所说的四巨头是__________ 、 __________ 、 __________ 、__________。 3．机器人常用的驱动方式主要有_____ _ ____、 ____ __和______ ____ 三种基本类型。 4．一般来说，机器人运动轴按其功能 可划分为 __ ____ 、 _ 和工装轴，________ 和工装轴统称 _______。 5．从结构形式上看，搬运机器人可分为 __________ 、 __________ 、 __________ 、 __________ 和关节式搬运机器人。 6．码垛机器人工作站按进出物料方式可 分为 __ ___ 、 _____ __ 、___ __ __ 和四进四出等形 式。 7．装配机器人常见的末端执行器主要有__ ___ 、 _____ __ 、___ __ __ 和 。 8．弧焊系统是完成弧焊作业的核心装 备，主要由 、送丝机、 和气瓶等组成。 9．目前工业生产应用中较为普遍的涂装 机器人按照手腕构型分主要有两种： 涂 装 机 器 人 和 涂装机器人，其中 手腕机器人更适合用于涂装作业。 二、判断（每题2分，共20分） （ ）1．涂装机器人的工具中心点 （ TCP ）通常设在喷枪的末端中心处。 （ ）2．一个完整的点焊机器人系统 由操作机、控制系统和点焊焊接系统几部分组成。 （ ）3. 工业机器人是一种能自动控制，可重复编程，多功能、多自由度的操作机。 （ ）4．工业机器人的腕部传动多采 用 RV 减速器，臂部则采用谐波减速器。 班级 姓名 学号

常见的化学清洗

常见的化学清洗 常见的化学清洗 硫酸。一种常见的清洗溶液是热硫酸添加氧化剂。它也是一种通常的光刻胶去除剂（见第8章）。在90~125 OC的范围中，硫酸是一种非常有效的清洗剂。在这样的温度下，它可以去除晶片表面大多数无机残余物和颗粒。添加到硫酸中的氧化剂用来去除含碳的残余物，化学反应将碳转化成二氧化碳，后者以气体的形式离开反应池： C + O2 à CO2 （气体） 一般使用的氧化剂有： 过氧化氢（H2O2），亚硫酸氨<(NH4)2S2O8>，硝酸（HNO3），和臭氧（O3） 硫酸和过氧化氢。过氧化氢和硫酸混合制成一种常见的清洗液，用于各个工艺过程之前，尤其是炉工艺之前晶片的清洗。它也可用作光刻操作中光刻胶的去除剂。在业内，这种配方有多种命名，包括Carro’酸和Piranha刻蚀（Piranha是一种非洲的食人鱼）。后者证明了这种溶液的进攻性和有效性。 一种手动的方法是在盛有常温的硫酸容器中加入30%（体积）的过氧化氢。在这一比例下，发生大量的放热反应，使容器的温度迅速地升到了110~130OC的范围。随着时间发展，反应逐渐变慢，反应池的温度也降到有效范围内。这时，往反应池中添加额外的过氧化氢或者不再添加。往反应池中不断添加最终会导致清洗效率降低。这是因为过氧化氢转化为水，从而使硫酸稀释。在自动的系统中，硫酸被加热到有效清洗的温度范围内。在清洗每一批晶片前，再加入少量（50~100毫升）的过氧化氢。这种方法保证清洁池处于合理的温度下，同时由过氧化氢产生的水可通过气化离开溶液。基于经济和工艺控制因素的考虑，一般选用加热硫酸这一方法。这种方法也使两种化学物质的混合比较容易自动实现。 臭氧。氧化剂添加剂的作用是给溶液提供额外的氧。有些公司将臭氧的气源直接通入硫酸的容器。臭氧和去离子水混合是一种去除轻微的有机物污染的方法。32典型的工艺是将1~2 ppm 的臭氧通入去离子水中，在室温下持续10分钟。33 氧化层的去除 我们已经提及了硅片氧化的容易程度。氧化反应可以在空气中发生，或者是在有氧存在的加热的化学品清洗池中。通常在清洗池中生成的氧化物，尽管薄（100~200?），但其厚度足以阻止晶片表面在其它的工艺过程中发生正常的反应。这一薄层的氧化物可成为绝缘体，从而阻挡晶片表面与导电的金属层之间良好的电性接触。 去除这些薄的氧化层是很多工艺的需要。有一层氧化物的硅片表面叫做具有吸湿性。没有氧化物的表面叫做具有憎水性。氢氟酸是去除氧化物的首选酸。在初始氧化之前，当晶片表面只有硅时，将其放入盛有最强的氢氟酸（49%）的池中清洗。氢氟酸将氧化物去除，却不刻蚀硅片。 在以后的工艺中，当晶片表面覆盖着之前生成的氧化物时，用水和氢氟酸的混合溶液可将圆形的孔隙中的薄氧化层去除。这些溶液的强度从100:1到10:7（H2O:HF）变化。对于强度的选择依赖于晶片上氧化物的多少，因为水和氢氟酸的溶液既可晶片上孔中的氧化物刻蚀掉，又可将表面其余部分的氧化物去除。既要保证将孔中的氧化物去除，同时又不会过分地刻蚀其它的氧化层，就要选择一定的强度。典型的稀释溶液是1:50到1:100。 如何处理硅片表面的化学物质是一直以来清洗工艺所面临的挑战。一般地，栅氧化前的清洗用稀