93_05大面积高效率结晶薄膜太阳电池开发

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大面積・高効率結晶薄膜太陽電池セルの開発とスーパーシースルーモジュールへの応用

大面積・高効率結晶薄膜太陽電池セルの開発と スーパーシースルーモジュールへの応用

Development of a Large-scale, High-efficiency Crystalline Thin Film Silicon Solar Cell and

Its Application to Super See-through Module

野 元 克 彦* 清 水   彰* 藤 岡   靖* 武 田   徹* Katsuhiko Nomoto Akira Shimizu Yasushi Fujioka Toru Takeda 辻 井 宏 行* 岡 西   守* 棚 村 浩 匡* 山 下 勝 也* Hiroyuki Tujii Mamoru Okanishi Hiromasa Tanamura Katsuya Yamashita 三 宮   仁* 岸 本 克 史** 立 花 伸 介** 福 岡 裕 介**

Hitoshi Sannomiya

Katsushi Kishimoto

Shinsuke Tachibana

Yusuke Fukuoka

要  旨

独自のショートパルスVHF プラズマCVD 法1)2)3)により,メーター角サイズの大面積・高品質結晶薄膜成膜技術を確立し,光電変換効率(安定化効率)が約11%の薄膜シリコンセルが得られていることを報告すると共に,この高効率セル技術を用いたスーパーシースルーセル,モジュールについて紹介する。

Short Pulsed VHF Plasma CVD method 1)2)3) was established for a growth of crystalline thin film silicon with high quality on a square meter size substrate. And a prototype large scale thin film solar module achieved a stabilized conversion efficiency of about 11%.A new application of the technology to super see-through cells and modules is also presented.

まえがき

c-Si:H VHF CVD

* **

1.ショートパルスVHF プラズマCVD 法による

シリコン結晶薄膜の大面積成膜技術と高効率薄膜太陽電池セルの開発

CVD p-CVD SiH H VHF CVD 図1 sec OFF 図1

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