北京大学反应离子刻蚀机

北京大学反应离子刻蚀机招标采购项目

招标文件

编号：2008[19]

北京大学实验室与设备管理部二〇〇八年五月十九日

目录

第一部分投标邀请 (2)

第二部分招标说明 (4)

第三部分技术要求 (8)

第四部分设备明细表 (12)

第五部分技术规格偏离表 (13)

第六部分原厂授权 (14)

开标一览表 (15)

第一部分投标邀请

公告日期：2008年5月19日

项目名称：北京大学反应离子刻蚀机

招标编号: 2008[19]

招标机构名称: 北京大学实验室与设备管理部

地址：北京市海淀区颐和园路5号北京大学（红1楼、红2楼之间的横楼二层5225室）

邮编：100871

电话： 62751412；传真：62765115

联系人：石铄张宇波张洁

北京大学实验室与设备管理部（以下简称“招标机构”）具体承办“北京大学高性能机房核心交换机设备”的招标采购事宜，邀请合格投标人就下列货物和有关服务提交密封投标。凡合格投标人均可在招标机构得到进一步的信息和查阅招标文件。

1.招标内容

1)招标货物名称：北京大学反应离子刻蚀机

2)数量及技术规格要求：详见标书

3)交货地点：CIP北京首都机场

2.合格投标人必须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条之规定。

3.招标文件购买时间和办法：2008年5月27日9:00至16:30时在招标机构（北京大学

西门内红1楼、红2楼之间横楼二层5225室）购买招标文件。标书售价200元人民币，售后不退。

4.投标人可从北京大学招标公告栏或实验室与设备管理部网站下载本次招标的电子版标

书（https://www.wendangku.net/doc/1811786312.html,/more2.asp），以供参考。

5.接受投标时间、投标截止时间及开标时间

1)接受投标及投标截止时间：所有投标书应于2008年6月12日上午9:00前递交到

上述购买标书地址，逾期恕不接受。

2)开标时间：兹定于2008年6月12上午9:00整在北京大学实验室与设备管理部进

行评标工作。

6.投标细则

i.投标内容

●最终用户：北京大学微纳平台

●设备名称：北京大学反应离子刻蚀机

●投标语言：第四部分- Summary Sheet of Goods Description（设备明细表）

及第五部分-Specification and Deviation Form（技术规格偏离表）以中英

文对照应标，其余相关投标文件以中文应标

●投标报价应为CIP北京首都机场

●投标货币：美元

●交货时间：合同签订后的120天内

ii.付款条件

●投标机构接受以下付款方式：100%不可撤消即期信用证，其中90%货款凭

装运单据支付，10%尾款凭用户签字确认且加盖单位公章的验收报告支付。

iii.编制递交

●投标文件有效期为自开标之日起的60天

●文件要求

?投标设备及价格明细表(Summary Sheet of Goods Description)

?技术规格应答及偏离表（Specification and Deviation Form）（请对技

术标书内容逐项应答并填充具体指标）

?技术资料及样本原件

?原厂商委托书(Letter of Authority from Manufacturer)原件（适用于

投标人为贸易公司者）

●文件数量：一式陆份（一份正本五份副本）

●开标一览表（SUMMARY SHEET FOR BID OPENING）正本壹份（请单独放在壹小

信封内供开标用）

7.投标地点和开标地点：北京大学实验室与设备管理部后院大会议室

8.中标结果将在评标结束后以书面形式通知中标商。

9.中标服务费按差额定律累进法计算收取，具体为：

1)30－100万元人民币部分按1％收取；

2)100－500万元人民币部分按0.8％收取；

3)500万元以上人民币部分按0.6％收取。

10.条款解释：本招标文件内容的解释权属于北京大学实验室与设备管理部。

第二部分招标说明

一．招标要求

1.北京大学实验室与设备管理部（以下简称“招标机构”）具体承办“北京大学反应离子刻

蚀机”的招标采购事宜(Bid No. 2008[19])。

2.投标人应仔细阅读招标文件（包括技术规格）的全部条文。

3.投标人所提供货物的技术规格应符合标书中技术规格的要求。如果投标人不提供技术规

格偏离表说明偏离情况，则将认为提供的货物完全符合招标文件的要求。

4.投标产品是用新技术制造的，应相当或超过招标文件规定的技术规格，投标产品应具有

相当或更好的性能、可靠性和耐用性。

5.投标时提交的产品样本必须是“原件”，而不是“复制件”。

6.目的港为中华人民共和国北京首都机场。

7.交货时间在标书的技术规格部分中已注明。在投标文件中，投标人必须说明在授标以后

完成交货的时间，经双方同意的交货期从合同生效之日算起。

8.除了在技术规格中提出的要求外，在合同生效后60天之内，为使用户作好准备工作，

卖方应给最终用户邮寄一套所供产品的全套技术资料，其中包括操作手册（或应用指南）、维修手册等，另一套完整技术资料应随货物包装发运，这些费用应包括在该品目的基本报价中。

9.在合同生效后30天内应将仪器安装前对实验室的具体要求邮寄给最终用户。

10.仪器应包括一套标准附件和专用工具，投标人按常规提供的标准附件和工具的数量，应

在投标中说明，并报单价。这些费用应包括在该品目的基本价格之内。

11.对招标品目，除了标准附件外投标人还可提供保证仪器正常运行的附件，专用工具，它

们是该品目的补充部分，需分别报单价和总价，在评标时其总价应计入该品目的基本价格之内。

12.在技术规格中提出了询问的附件、备件、专用工具和消耗品，需分别报单价和总价，一

旦接受，其费用将记入合同。

13.除了技术规格中买方提出的要求之外，投标人可以推荐某些附件、备件和消耗品，它们

是供选购的，应分别报单价和总价，一旦接受，其费用将计入合同。

14.除了在技术规格中明确指出对招标品目提出的附加评标准则、“加权”和评标方法所给

予的“评估优惠”之外，评标和选择中标以价格为依据。

15.如果在开标前，在中华人民共和国设立了服务中心，对投标品目的维修服务能得到保证，

在评标时该投标人享有上限为2.5%的优惠。

16.设备的保修及售后服务详见标书第三部“技术要求”中的相关内容。

17.投标文件一式六份(一正五副)，包括以下文件：

A．投标设备及价格明细表(Summary Sheet of Goods Description)

B．技术规格应答及偏离表(Specification and Deviation Form)（请对技术标书内容逐项应答并填充具体指标）

C．技术资料包括样本原件

D．原厂商委托书（Letter of Authority from Manufacturer）原件(适用于投标人为贸易公司者)

18.投标文件有效期为自开标之日起的60天。投标语言为英文及部分中英文对照（附件一、

附件二）。投标货币为美元。接收投标文件截止时间为2008年6月12日上午9：00时。

投标商务必在此时间前把密封投标文件送达，逾期恕不接受。

邮编：100871；电话：010-********；传真：010-********

联系人：石铄、张宇波、张洁。

二．评标原则

1.初步审查及确定标是否基本响应：

1）审查投标人所投的标是否完整无误，如单价和总价间有出入，则以单价为准，修正总价；如文字与数字间有出入，则以文字金额为准；

2）确定标书是否对招标文件作出了基本响应，即是否符合招标文件的所有条款，有没有重大偏离。重大偏离系指实质上影响投标人提供货物数量、质量或交付期，或者指实质性地与招标文件不一致，限制了合同项下我方的权利或投标人的义务；

3）对标的响应性的确定是依据标本身的内容，而不受外因的影响；

4）确定为未作出基本响应的标将予排除，投标人不能在开标之后，通过改正不符之处而使其投标变为能响应。但是对于投标中并不构成重大偏离的任何细小的不正规、不一致或参差不齐，我们可以放弃不作计较。

2.投标的评价和比较：

1）我们仅对通过以上确定为能基本响应的标书进行评价比较；

2）为便于评价和比较，将把所有标的各种应付的投标货币换算成美元。提供的货物均按CIP目的港报价进行比较；

3）评标时，除考虑投标价格这一主要因素外，还将按标书中说明的程度考虑技术规格中列明的因素和标准进行评价。

3.标的澄清：

为有助于对标进行审查、评价和比较，我们可以请投标人澄清其投标内容。提出

澄清的要求与答复均应是书面的，并不得改变投标价格或实质内容。

4.资格后审：

1）这次评标中，我们将对最低评估价投标人和紧接其后的具有评估价的另一投标人进行重点资格后审；

2）确定所选择的投标人是否有资格满意地履行合同，同时对紧接其后的具有评估价的另一投标人也要求作出类似的确定；

3）作出确定时将考虑投标人的财务、技术、服务和生产能力。审查是以投标人提交的投标人资格证明文件及我们认为必要的其它资料为基础进行的；

4）如果确定最低评估价的投标人不符合履行合同资格，其标将被排除，随即考虑第二家。

5.授予合同的准则：

招标机构不承诺最低价中标，将把合同授予成功的投标人，即所投的标被认定是能基本响应、是最低评估价标、并且是经资格后审后认为能满意地履行合同的投标人。6.废标：

遇到下列情况之一时，可以废标：

1）全部投标厂商均不具备投标资格；

2）全部投标实质上都有不符合招标文件要求；

3）缺乏有效的竞争；

4）投标价格超过预算，招标人无力支付。

三．评标程序

1.从开标到批准授予合同为止，这一段工作称为评标。

2.开标后，业务组整理投标文件及有关商务资料，登记分发给评标人进行评标。

3.评标人检查投标文件的完整性。投标文件应包括以下文件：

A. 投标设备及价格明细表(Summary Sheet of Goods Description)

B.技术规格应答及偏离表(Specification and Deviation Form)

C.技术资料包括样本原件

D.原厂商委托书（Letter of Authority from Manufacturer）原件(适用于投标人为贸易公

司者)

第三部分技术要求

1.设备名称：反应离子刻蚀机

2.数量：一套

3.设备用途说明

反应离子刻蚀机是微米纳米器件制备的必备设备。反应离子刻蚀机通过交变的电磁场在有反应气体的腔室内激发等离子体，通过等离子体中的气体离子和化学活性的自由基与材料表面的化学反应和离子轰击材料表面的物理过程刻蚀材料。

本次购买的反应离子刻蚀机主要用于纳米和微米器件的精细加工，用于介电材料刻蚀、多晶硅刻蚀、III-Ⅴ族化合物以及金属薄膜刻蚀。

4.规格、技术要求及参数（包括提供技术文件或图纸、设备工作条件及环境要求）

主机主要由以下几部分构成：反应腔室、基板电极、真空系统、供气系统、等离子源、射频电源、预真空室。

(1) 反应腔室

由整块铝锭制造，无焊缝结构，配有互锁进样装置。要求内径大于300毫米。

样品尺寸：4英寸

静电吸盘

(2) 基板电极

基板电极尺寸：大于200毫米

带有加热和冷却装置

(3)真空系统（最高防腐级别）

进口涡轮分子泵（要求注明品牌和型号）。防腐蚀设计，抽速大于或等于1000公升/秒进口初级抽气泵（要求注明是油泵或是干泵及品牌）。防腐蚀设计，抽速大于：60米3/

小时

100mT薄膜电容真空计（1.33 x 10 to 1.33 x 10-6 Pa）

20分钟内压强＜10-4 Pa

自动压力控制

(4)供气系统

气体控制面板由8个气路组成，每个气路都由质量流量控制器（MFC）控制。刻蚀气体8

路：CF4, Cl

2, N

2

, Ar, BCl3, O

2

, HBr，SF

6

质量流量控制器精度：优于1%

BCl3, HBr，Cl

2

气路需要抗腐蚀质量流量控制器，对腐蚀性气体要有PURGE回路。

(5)感应耦合等离子（ICP）源

为保证高的反应离子或自由基密度，同时有较低的离子能量以减小对基片的损伤并有好的刻蚀速率和可控性，必须配感应耦合等离子源。

(6)射频电源

(a)偏压发生器

功率：13.56兆赫兹，不小于300瓦。

(b)感应耦合等离子（ICP）发生器

功率：13.56兆赫兹，不小于1000瓦。

(7)预抽室 (Load Lock Chamber)

真空：油泵（要求注明品牌和型号）抽速＞12m3/ h

(8)控制系统

(a)硬件

具有分布式控制系统。每个反应腔都具备独立的控制软件和硬件，能对全部组件进行实时监控。控制计算机：主流硬件配置，19寸液晶显示器，配置Windows XP操作系统及操作软件。系统采用Windows XP操作系统的PC机对加工进行控制、防止误操作和观察加工过程以及提供多种便利的操作工具。

(b)软件

有使用方便的用户界面

(9)常用配件一套（含真空密封圈，特殊工具等）

5技术指标

(a) Si的刻蚀工艺要求：

Process I II

Depth [μm] 0.05μm to 1μm 1μm to 10μm

Feature size [μm] ≥25nm ≥25nm

Aspect ratio ≥5:1 ≥5:1

Etch rate [nm/min] ≥100 ≥500

Uniformity (4”)<±5% <±5%

Selectivity Si : oxide >100:1 >10:1

Selectivity Si : resist >3:1 >5:1

Profile 80-92°88-92°

Sidewall roughness <5nm <5nm

(b)SiO2的刻蚀工艺要求:

Process

Depth [μm] 0.05μm to 1μm

Feature size [μm] ≥25nm

Aspect ratio ≥5:1

Etch rate [nm/min] ≥100

Uniformity (4”)<±5%

Selectivity SiO2 : Si >100:1

Selectivity SiO2 : resist >3:1

Profile 88-92°

Sidewall roughness <5nm

(c)Si3N4的刻蚀工艺要求:

Process

Depth [μm] 0.05μm to 1μm

Feature size [μm] ≥25nm

Aspect ratio ≥5:1

Etch rate [nm/min] ≥100

Uniformity (4”)<±5%

Selectivity Si3N4: Si >10:1

Selectivity Si3N4: resist >2:1

Profile 80-92°

Sidewall roughness <5nm

(d)氧化铪HfO2的刻蚀：

Process

Depth [μm] 0.005μm to 0.03μm

Feature size [μm] ≥25nm

Aspect ratio ≥5:1

Etch rate [nm/min] 5nm/min ~ 50nm/min

Uniformity (4”)<±5%

Selectivity HfO2 : Si >1:1

Selectivity HfO2 : resist >1:1

Profile 80-92°

Sidewall roughness <5nm

所有重要技术指标应有相应的证明材料，应对验收指标和检测条件进行书面承诺。

6.技术服务条款

仪器到达用户所在地后，在接到用户通知后一周内执行安装调试直至达到验收指标。

免费保修期一年以上。在保修期内，任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题，厂家

负责免费维修。保修期自验收签字之日起计算。保修期满前1个月内卖方应负责一次免费全面检查，并写出正式报告，如发现潜在问题，应负责排除。厂家提供终身维修，并保

证零配件的供应。

技术培训：

由专业工程师现场安装培训，培训时间应在4个工作日以上。

维修响应时间：

卖方应在24小时内对用户的服务要求做出响应，一般问题在48小时内解决，重大问题

或

其它无法立刻解决的问题应在一周内解决或提出明确的解决方案，否则卖方应赔偿相应的损失。

软件升级：卖方应免费向用户提供自验收之后的所有的仪器软件升级服务以及新的刻蚀工艺。

7．包装要求及运输方式

包装要求：投标商应对任何由于不当包装或防护措施不利而导致的商品损坏、损失、锈蚀、费用增长等后果负责。

8. 交货日期

合同签订后120天内交货

9. 交货地点

北京首都机场

10.验收标准

按标书及合同规定的技术标准及相关条款验收。

第四部分设备明细表

Summary Sheet of Goods Description

Signature of Bidder: ___________________________

第五部分技术规格偏离表

Specification and Deviation Form

Signature of Bidder: _______________________

第六部分原厂授权

LETTER OF AUTHORITY FROM MANUFACTURER ___________________(Name of Manufacturer)

To Whom it May Concern:

We ________________ (Name of Manufacturer), a manufacturer duly organized under the laws of _____________ (Name of Country) and having its principal place of business at ______________________________ (Address of Manufacturer), hereby make, constitute and appoint , a company duly organized under the laws of and having its principal place of business at , to be our true and lawful attorney in fact to do the following:

(1) To represent and bind us in the P. R. China for the Buyer's Invitation for

Bid No. 2008[19]for supply of the Goods proposed in the bid which we manufacture or produce.

(2) That, as a manufacturer, we bind ourselves as co-maker of the bid and are jointly and severally

responsible for the compliance of the said bid.

(3) That we hereby give and grant to the said full power

and authority to do and perform all and every act and thing whatsoever, requisite, necessary and proper to be done in the premises, as fully to all intents and purposes as we might or could do, with full power of substitution and revocation, hereby ratifying and confirming all that or its duly authorized representative shall lawfully do, or cause to be done by virtue hereof.

IN TESTIMONY WHEREOF WE HA VE HERETO SIGNED THIS DOCUMENT ON _____________2008______________ .Accepted on _________2008__________ .

NAME OF TRADING COMPANY NAME OF ISSUING MANUFACTURER

(Name of duly authorized (Name of duly authorized

representative to sign, representative to sign,

rank or position and department) rank or position and department)

招标编号：2008[19] 北京大学实验室与设备管理部

开标一览表

SUMMARY SHEET FOR BID OPENING

Signature of Bidder: _____________________________________