微电子Ch01
1微电子学基础——Ch01.绪论缪旻
信息与通信工程系，通信工程教研室Miaomin@https://www.wendangku.net/doc/2616718598.html,, 64884695
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微电子学基础——Ch01.绪论
课程名称：微电子学基础，Fundamentals of Microelectronics.教材：张兴，黄如刘晓彦编著
微电子学概论
北京大学出版社，2005年6月，第2版
参考书：
1、《半导体物理学》，刘恩科、朱秉升、罗晋生著，国防工业出版社，1994年
2、《数字CMOS VLSI 分析与设计基础》，甘学温著，北京大学出版社，1999年
3、《微电子技术概论》，贾新章、郝跃著，国防工业出版社，1995年
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微电子学基础——Ch01.绪论
课程的性质与目标：
9对作为IT 业基石的微电子技术的基本知识有一个比较系统、全面的了解。了解。
9对微电子学的发展历史、现状和未来有一个比较清晰的认识
9掌握微电子技术的物理基础、基本器件、基本电路，了解和掌握当前常用加工、设计技术，尽可能反映新技术和发展前沿。
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微电子学基础——Ch01.绪论
先修课程：电路分析，数字、模拟电子线路方面的基础知识。
课程的特点：
9以知识介绍为主，导论性质。系统、全方位的介绍。9强调对微电子技术的物理基础、基本器件原理与结构、当前常用加工、设计技术的掌握，尽可能反映新技术和发展前沿，以促进未来其他专业课的学习和对新技术的适应能力。
9强调学生对相关文献的阅读，适当加强课堂的讨论。（有加分）
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微电子学基础——Ch01.绪论
课程讲授的主要内容和学时分配：?微电子技术简介(绪论)：2
?半导体物理和器件物理基础：8?大规模集成电路基础：2?集成电路制造工艺：5?集成电路设计：3?集成电路EDA ：4
?特种微电子器件/微机电系统/纳电子器件：4?微电子技术发展的规律和趋势：2复习、机动：2
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微电子学基础——Ch01.绪论
成绩评定办法：作业30％（习题交2次计10％，论文1篇，计20％），期末70％
答疑：每周三下午，在实验楼508－1（应提前预约）。
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微电子学基础——Ch01.绪论第一章
绪论
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微电子学基础——Ch01.绪论
内容提要：
?什么是微电子学?晶体管的发明
?集成电路的发展历史?集成电路的分类?微电子学的特点
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微电子学基础——Ch01.绪论电子学
微电子学
?微电子学：Microelectronics –微电子学——微型电子学–核心——集成电路
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微电子学基础——Ch01.绪论
?集成电路：Integrated Circuit ，缩写IC
通过一系列特定的加工工艺，将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件，按照一定的电路互连，“集成”在一块半导体单晶片（如硅或砷
化镓）上，封装在一个外壳内，执行特定电路或系统功能
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微电子学基础——Ch01.绪论?集成电路的内部电路
Vdd
A
B Out
基本逻辑门——与非门
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微电子学基础——Ch01.绪论
硅单晶片与加工好的硅片
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微电子学基础——Ch01.绪论
64M SDRAM （华虹NEC 生产）
芯片面积5.89×9.7=57mm 2
，456pcs/w ，1个IC 中含有1.34亿只晶体管
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微电子学基础——Ch01.绪论
Vss
poly 栅
Vdd
布线通道
参考孔
有源区
N +
P +
集成电路的内部单元
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微电子学基础——Ch01.绪论沟道长度为0.15微米的晶体管栅长为90纳米的栅图形照片
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微电子学基础——Ch01.绪论
50μm 100μm 头发丝粗细
30μm
1μm ×1μm (晶体管的大小)
30~50μm (皮肤细胞的大小)90年代生产的集成电路中晶体管大小与人类头发丝粗细、皮肤细胞大小的比较
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微电子学基础——Ch01.绪论
设计创意
+
仿真验证集成电路芯片设计过程框架
From 吉利久教授
是
功能要求行为设计（VHDL ）
行为仿真
综合、优化——网表
时序仿真
布局布线——版图
后仿真
否
是
否否
是
Sign off
—设计业—
集成电路的设计过程：
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微电子学基础——Ch01.绪论—制造业—
芯片制造过程
由氧化、淀积、离子注入或蒸
发形成新的薄膜或膜层
曝光
刻蚀
硅片
测试和封装
用掩膜版重复20-30次
AA
19微电子学基础——Ch01.绪论封装好的集成电路
—封装与测试业—
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微电子学基础——Ch01.绪论
微电子科学技术的战略地位
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微电子学基础——Ch01.绪论?自然界和人类社会的一切活动都在产生信息。信息是客观事物状态和运动特征的一种普遍形式，是人类社会、经济活动的重要资源。?社会的各个部分通过网络系统连接成一个整体，由高速大容量光线和通讯卫星群以光速和宽频带地传送信息，从而使社会信息化、网络化和数字化。
微电子：信息社会发展的基石
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微电子学基础——Ch01.绪论
?实现社会信息化的网络及其关键部件不管是各种计算机和/或通讯机，它们的基础都是微电子
–1946年第一台计算机：ENIAC
23微电子学基础——Ch01.绪论
第一台通用电子计算机：
ENIAC
Electronic Numerical Integrator and Calculator
1946年2月14日Moore School ，Univ. of
Pennsylvania
18,000个电子管组成
大小：长24m ，宽6m ，高2.5m 速度：5000次/sec ；重量：30吨；
功率：140KW ；平均无故障运行时间：7min
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微电子学基础——Ch01.绪论
?实现社会信息化的网络及其关键部件不管是各种计
算机和/或通讯机，它们的基础都是微电子–1946年第一台计算机：ENIAC
–这样的计算机能够进入办公室、车间、连队和家庭？当时有的科学家认为全世界只要4台ENIAC –目前，全世界计算机不包括微机在内有几百万台，微机总量约6亿台，每年由计算机完成的工作量超过4000亿人年工作量
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微电子学基础——Ch01.绪论集成电路的作用
?小型化
?价格急剧下降?功耗降低?故障率降低
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微电子学基础——Ch01.绪论
集成电路1 ~ 2元
电子产品10元
国民经济产值
100元
"集成电路的战略地位首先表现在当代国民经济的“食物链”关系
"进入信息化社会的判据：半导体产值占工农业总产值的0.5%
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微电子学基础——Ch01.绪论
据美国半导体协会（SIA ）预测
电子信息服务业30万亿美元相当于1997年全世界GDP 总和
电子装备6-8万亿元
集成电路产值1万亿美元
GDP ≈50万亿美元
2012年
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微电子学基础——Ch01.绪论
?其次，统计数据表明，发达国家在发展过程中都有一条规律
–集成电路（IC ）产值的增长率（R IC ）高于电子工业产值的增长率（R EI ）
–电子工业产值的增长率又高于GDP 的增长率（R GDP ）
–一般有一个近似的关系
R IC ≈1.5~2R EI R EI ≈3R GDP
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微电子学基础——Ch01.绪论
世界GDP增长与世界集成电路产业增长情况比较（资料来源：ICE商业部）
抓住集成电路产业，就能促进GDP 高速增长
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微电子学基础——Ch01.绪论
1985-1990年间世界半导体商品市场份额
日本公司美国公司
39%37.9%
51.4%
50%人均IC 产值年增长率人均电子工业年增长率人均GNP 年增长率日本>美国
日本>美国
日本>美国
2.2% 1.1%0.1%
80年代后期-90年代初美国采取了一系列增强微电子技术创新和集成电路产业发展的措施，重新夺回领先地位。90年代以来美国经济保持持续高速增长主要得益于信息产业的发展，而其基础是集成电路产业与技术创新。 两个例子
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微电子学基础——Ch01.绪论
1990
1992
1994
1996
1998
2000
14
16182022242628303234363840 日本 美国 欧 洲 亚洲
市场变化—日本市场缩减—
市场份额
90年代日本经济萧条的同时，集成电路市场份额严重下降。
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微电子学基础——Ch01.绪论
我国台湾地区
60年代后期人均GDP—200-300美元
（1967年为267美元）
70-80年代大力发展集成电路产业
90年代IT 业高速发展
97年人均GDP=13559美元
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微电子学基础——Ch01.绪论?
在信息经济时代，产品，以其信息含量的多少及处理信息能力的强弱，决定着附加值的高低?决定着在国际经济分工中的地位
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微电子学基础——Ch01.绪论销售额利润利润率Intel 公司294亿美元73亿美元24.8%
我国中关村一家很著名的以计算机销售生产为主的IT 企业200亿人民币
5亿人民币
2.5%我国的VCD 产业
2%
我国IT 企业与Intel 公司利润的比较
同样，TI 公司的技术创新，数字信号处理器（DSP ）使它的利润率比诺基亚高出10个百分点。35
微电子学基础——Ch01.绪论如果我们不发展集成电路产业
?IT行业停留在装配业水平上，挣的“辛苦钱”。
?在国际分工中我们将只能处于低附加值的低端上。?所以有人戏称说：“你们说中关村是硅谷，但是一个无“芯”的硅谷，产品不可能有竞争力。”在没有自己集成电路产业的情况下，我们的高新技术的发展命脉掌握在他人手中。?当前，微电子产业的发展规模和科学技术水平已成为衡量一个国家综合实力的重要标志。
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微电子学基础——Ch01.绪论?几乎所有的传统产业与微电子技术结合，用集成电路芯片进行智能改造，都可以使传统产业重新焕发青春
–全国各行业的风机、水泵的总耗电量约占了全国发电量的30%，仅仅对风机、水泵采用变频调速等电子技术进行改造，每年即可节电500亿度以上，相当于三个葛洲坝电站的发电量(157亿度/年)
–对白炽灯进行高效节能改造，并假设推广应用30%，所节省的电能相当于三座大亚弯核电站的发电量(139亿度/年)微电子对传统产业的渗透与带动作用
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微电子学基础——Ch01.绪论?电子装备更新换代都基于微电子技术的进步，其灵巧（Smart ）的程度都依赖于集成电路芯片的“智慧”程度和使用程度
数控机床
普通机床
数字化技术改造
价格相差10倍
集成电路
整机系统高附加值
在成长期进入市场，增强市场竞争力微电子对传统产业的渗透与带动作用
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微电子学基础——Ch01.绪论
0500100015002000钢铁
彩电
集成电路
对国民经济的贡献率
没有微电子的电子工业只能是劳动密集型的
组装业，不能形成高附加值的知识经济，中国的硅谷将是无芯的硅谷39
微电子学基础——Ch01.绪论微电子对国家安全与国防建设的作用
?武器装备水平与社会生产力、经济基础有密切关系
–在农业社会：大刀长矛等冷兵器；–在工业化社会：枪、炮等热兵器–信息化社会：IC成为武器的一个组成元，电子战、信息战
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微电子学基础——Ch01.绪论美国国防部各类武器装备经费预算中的电子含量
*(单位：%)
1993
19941995199619971998199920002001飞机37.640.140.339.439.138.837.838.939.1导弹52.955.259.359.959.660.360.159.559.9空间5957.658.858.958.86060.961.661.9舰船36.231.134.931.432.832.134.834.934各种炮和武
器
15.717.519.319.820.420.820.620.822.7车辆14.314.416.422.826.625.824.828.429.4国防预算中的电子含量
40.7
41.2
41.4
41.4
42
42.5
42.9
43.6
43.6
注: *电子含量=电子采购费+科研费/国防武器装备采购费+科研费资料来源:《30th Annual TEN-YEAR FORECAST Conference of Defense,
NASA and Related Electronic Opportunities (fys 1995-2004) 》,Oct. 1994
微电子对国家安全与国防建设的作用
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微电子学基础——Ch01.绪论
市场
销售额（10亿美元）
市场
销售额（10亿美元）
手提数据通讯*630超薄显示器*170个人电脑*
470IC 卡*
165移动电话服务*380地面微波广播*160CPU*
300DNA 生物芯片160数据存储产品*270多用途通讯设备*155磁存储*250半导体设备*150电子商务*
250电力交通工具150网络信息服务*230墙壁式超薄电视*145高密度磁存储*230移动电话*140系统集成芯片*210直接引入工具140家庭医疗设备*210ITS 设备
140互联网*200DNA 加工食品135有线电视*200液晶显示器*120智能传输系统190仿制品115代理软件*
180
燃油汽车
110
2020年世界最大的30个市场领域：其中与
微电子相关的22个市场：5万亿美元（Nikkei Business 1999）
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微电子学基础——Ch01.绪论
微电子科学技术的
发展历史
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微电子学基础——Ch01.绪论晶体管的发明
?理论推动
–19世纪末20世纪初发现半导体的三个重要物理效应
?光电导效应（W.Smith ，英国，1873）
?光生伏特效应（W.G.Adams ，英国，1877）?整流效应(George Washing Pierce,美国，1906)
–量子力学（30年代的能带理论）
–材料科学（普度、康奈尔的晶体生长技术）
?需求牵引：二战期间雷达等武器的需求
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微电子学基础——Ch01.绪论
?1946年1月，Bell 实验室正式成立半导体研究小组, W. Schokley ，J. Bardeen 、W. H. Brattain
?Bardeen 提出了表面态理论，Schokley 给出了实现放大器的基本设想，Brattain 设计了实验
?1947年12月23日，第一次观测到了具有放大作用的晶体管
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微电子学基础——Ch01.绪论
1947年12月23
日
第一个晶体管NPN Ge 晶体管
W. Schokley J. Bardeen W. Brattain
108MHz 下实现100倍放大。
获得1956年Nobel 物理奖
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微电子学基础——Ch01.绪论
晶体管的三位发明人(从左到右)：巴丁、肖克莱、布拉顿
肖克莱还提出了更为实用化的单晶锗结型晶体管
分享1956年Nobel 奖
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微电子学基础——Ch01.绪论?Ohl 和肖克莱发明离子注入工艺。?1956年Fuller 发明扩散工艺。
?Loor 和Christensten 发明的外延生长工艺。
?Spiller 和Castellani 发明光刻工艺。
集成电路发明和发展的技术基础
48
微电子学基础——Ch01.绪论
?1952年5月，英国科学家G. W. A. Dummer 第一次提出了集成电路的设想?1958年以德克萨斯仪器公司的科学家基尔比(Clair Kilby)为首的研究小组研制出了世界上第一块集成电路，并于1959年公布了该结果。
集成电路的发明
49
微电子学基础——Ch01.绪论相移振荡器和触发器
50
微电子学基础——Ch01.绪论
微电子发展史上的几个里程碑
?1962年Wanlass 、C. T. Sah——CMOS 技术现在集
成电路产业中占95%以上?1967年Kahng 、S. Sze ——非挥发存储器Flash ?1968年Dennard——单晶体管DRAM
?1971年Intel 公司微处理器——计算机的心脏
–目前全世界微机总量约6亿台，在美国每年由计算机完成的工作量超过4000亿人年工作量。美国欧特泰克公司认为：微处理器、宽频道连接和智能软件将是21世纪改变人类社会和经济的三大技术创新51
微电子学基础——Ch01.绪论第一个CPU ：4004
52
微电子学基础——Ch01.绪论
Pentium III CPU 芯片
53
微电子学基础——Ch01.绪论小结
?2000年：以集成电路为基础的电子信息产业
成为世界第一大产业
?硅是地球上除氧以外含量最丰富的元素，但它现在已经成为知识创新的载体，价值千金。这是典型的“点石成金”
?采取正确的战略，就可以在集成电路领域就有可能后来居上
?至少在今后50年，微电子技术仍会高速发展
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微电子学基础——Ch01.绪论
集成电路市场和产业结构的发展规律
?市场及其发展规律?产业格局与结构?Foundry 建设
55微电子学基础——Ch01.绪论市场及其发展规律
30多年来，集成电路市场的成长迅速，基本上是一条指数发展规律。
56
微电子学基础——Ch01.绪论
同时，集成电路市场又是高度变动的,约十年为一个涨落周期。
57
微电子学基础——Ch01.绪论?第一个周期(1975-1984，20.4%):国防工业、工作站、大型电脑和消费类电子; 4′′和5 ′′; 产值在几百亿美元
?第二个周期(1985-1995，20.8%):中小型电脑、PC机；8 ′′；产值突破1000亿美元?第三个周期(1996-2005，15.6%):除PC机外，网络和通讯装备，特别是移动通讯装备; 8 ′′和12 ′′; 产值3000亿美元
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微电子学基础——Ch01.绪论
-20.00%
-10.00%
0.00%10.00%20.00%30.00%40.00%1997199819992000200120022003
亚太美国欧洲日本全球
市场增长率
亚太地区第一
0%
5%10%15%20%25%30%35%1997
1998
1999
2000
2001
2002
2003
亚太欧洲日本美国
市场份额
亚太地区仅次于美国
1998-2003年世界及四大市场IC 增长率和份额统计/预测表
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微电子学基础——Ch01.绪论产业格局与产业结构
?集成电路的生命力在于它可以大批量、低成本和高可靠地生产出来。
–集成电路芯片价格：101 ~ 102美元
–生产线的投资：109美元（8”、0.25微米）–要想赢利：年产量~108
?集成电路芯片是整机高附加值的倍增器，但不是最终产品，如果不能在整机和系统中应用，那它就没有价值和高附加值
?决定集成电路产业的建设必须首先考虑整机和系统应用的发展，即市场的需求60
微电子学基础——Ch01.绪论
?集成电路芯片生产厂大致上可分为三类
–通用电路生产厂，典型——生产存储器和CPU
–集成器件制造商(IDM—Integrated Device Manufactory Co.), 产品主要用于自己的整机和系统
–标准工艺加工厂或称代客加工厂，即Foundry ?Foundry 名词来源于加工厂的铸造车间，无自己产品
?优良的加工技术(包括设计和制造)及优质的服务为客户提供加工服务
?客户群初期多为没有生产线的设计公司，但是随着技术的发展，现在许多IDM 公司也将相当
多的业务交给Foundry 加工
61
微电子学基础——Ch01.绪论资料来源：Digitimes 整理2000/ 制图：李柏毅、Mabel
前两类厂家，IDM
与整机、系统用户相结合，相对分散设计；以标准工艺（标准单元库和IP 库）为接口，相对集中加工。这就导致了Fabless Co. 和Foundry 的出现。
IP 模块和Chipless Co.出现
~ 1980
1980 ~ 1990
集成电路产业的发展是市场牵引和技术推动的结果。不同的产业发展阶段，产业结构可以有不同的形式
IC(IDM)制造商
通用电路制造商
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微电子学基础——Ch01.绪论
Foundry 功能要求
行为级多工艺模块
μp 、DSP 、E 2PROM & Flash 、A/D 、D/A
Wafer 级
封装后成品级
逻辑级版图级
MASK
研究开发支持
Foundry 的建设必须采用系统工程的方法基本特征：
63
微电子学基础——Ch01.绪论?随技术进步，建厂费用呈指数增加，这时必然出现两种趋向：
–各相关公司联合建厂
?IBM 、Infineon 与UMC 的联合–将更多业务交给Foundry ，降低成本
?Motorola 已经表示到2001年，将有50%以上的产能需从外部提供
?日本Kawasaki 公司取消他们计划建设的0.18μm 的工厂，代之以与Foundry 的合作64
微电子学基础——Ch01.绪论
67%
13%
18%
2%
Asia North
America Japan
Europe
2000年Foundry 业务地区分布
（Semico Research Corp., 2-2000,counrtesy of Amkor Wafer Fabrication Services ）
65
微电子学基础——Ch01.绪论Foundry 类加工芯片数量占世界集成电路芯片总产量的比例
（资料来源：Dataquest ）
0%
5%10%15%20%25%30%35%40%45%50%19992012
因此美国著名的预测与咨询公司Dataquest ：未来属于Foundry
66
微电子学基础——Ch01.绪论
我国微电子学的历史
?1956年5所学校在北大联合创建半导体专业
–北京大学、南京大学、复旦大学、吉林大学、厦门大学
–教师：黄昆、谢希德、高鼎三、林兰英–学生：王阳元、许居衍、陈星弼
?1977年在北京大学诞生第一块大规模集
成电路
67
微电子学基础——Ch01.绪论我国微电子学的历史
?1982年，成立电子计算机和大规模集成电路领导小组
–主任：万里
?80年代：初步形成三业分离的状态
–制造业–设计业–封装业
68
微电子学基础——Ch01.绪论
我国微电子发展展望
?我国IC 骨干企业地区分布及销售情况
67%
17%
13%
3%
上海江苏北京浙江
69微电子学基础——Ch01.绪论我国年微电子发展展望
?上海IC 产业发展战略目标
年份
200020052010201515年合计销售收入(亿美元
)73016550023005年平均年增长率（%）34412533
国内IC 应用市场占有率
2%9%30%50%国际市场占有率
0.43%1%3%5%生产线技术水平
8"/0.358"/0.1812"/0.1012"/0.05?到2010年总投资量600亿美元，建成20 ~ 40条
生产线，200个设计公司及20家封装/测试厂
?带动上海700亿美元相关产业发展，成为第一
大产业
70
微电子学基础——Ch01.绪论
?上海中芯国际：
–14.76亿美元，8英寸，0.25微米，4.2万片/月?北京中芯国际：12英寸，0.13微米，产量不详。?上海宏力
–16.37亿美元，8英寸，0.25微米，4万片/月?北京华夏半导体
–13亿美元，8英寸，0.25微米?天津Motorola MOS17
–14.75亿美元，8英寸，0.25微米，6000片/周
71微电子学基础——Ch01.绪论72
微电子学基础——Ch01.绪论
73
微电子学基础——Ch01.绪论集成电路分类
74
微电子学基础——Ch01.绪论
?集成电路的分类
–器件结构类型–集成电路规模–使用的基片材料–电路形式–应用领域
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微电子学基础——Ch01.绪论按器件结构类型分类
?双极集成电路：主要由双极晶体管构成
–NPN 型双极集成电路–PNP 型双极集成电路
?金属-氧化物-半导体(MOS)集成电路：主要由MOS 晶体管(单极晶体管)构成
–NMOS –PMOS
–CMOS(互补MOS)
?双极-MOS(BiMOS )集成电路：同时包括双极和MOS 晶体管的集成电路为BiMOS 集成电路，综合了双极和MOS 器件两者的优点，但制作工艺
复杂
优点是速度高、驱动能力强，缺点是功耗较大、集成度较低
功耗低、集成度高，随着特征尺寸的缩小，速度也可以很高
76
微电子学基础——Ch01.绪论
77
微电子学基础——Ch01.绪论按集成电路规模分类
集成度：每块集成电路芯片中包含的元器件数目?小规模集成电路(Small Scale IC ，SSI)?中规模集成电路(Medium Scale IC ，MSI)?大规模集成电路(Large Scale IC ，LSI)
?超大规模集成电路(Very Large Scale IC ，VLSI)?特大规模集成电路(Ultra Large Scale IC ，ULSI)?巨大规模集成电路(Gigantic Scale IC ，GSI ）
78
微电子学基础——Ch01.绪论
划分集成电路规模的标准
数字集成电路类 别
MOS IC 双极IC 模拟集成电路
SSI ＜102＜100＜30MSI 102～103100～50030～100LSI 103
～105500～2000100～300VLSI 105～107＞2000
＞300
ULSI 107～109
GSI
＞109
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微电子学基础——Ch01.绪论按结构形式的分类
?单片集成电路：
–它是指电路中所有的元器件都制作在同一块半导体基片上的集成电路–在半导体集成电路中最常用的半导体材料是硅，除此之外还有GaAs 等
?混合集成电路：
–厚膜集成电路–薄膜集成电路
80
微电子学基础——Ch01.绪论
按电路功能分类
?数字集成电路(Digital IC)：它是指处理数字信号的集成电路，即采用二进制方式进行数字计算和逻辑函数运算的一类集成电路?模拟集成电路(Analog IC)：它是指处理模拟信号(连续变化的信号)的集成电路
–线性集成电路：又叫做放大集成电路，如运算放大器、电压比较器、跟随器等
–非线性集成电路：如振荡器、定时器等电路
?数模混合集成电路(Digital -Analog IC) ：例如数模(D/A)转换器和模数(A/D)转换器等81
微电子学基础——Ch01.绪论??
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??按应用领域分类数字模拟混合电路非线性电路线性电路模拟电路时序逻辑电路组合逻辑电路数字电路按功能分类GSI ULSI VLSI LSI MSI SSI 按规模分类薄膜混合集成电路厚膜混合集成电路混合集成电路BiCMOS BiMOS 型BiMOS CMOS NMOS PMOS 型MOS 双极型单片集成电路按结构分类集成电路
集
成电路的分类
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微电子学基础——Ch01.绪论
微电子的特点
?微电子学：电子学的一门分支学科?微电子学以实现电路和系统的集成为目的，故实用性极强。
?微电子学中的空间尺度通常是以微米(μm 或micron, 1μm ＝10－6m)和纳米(nanometer, 1nm = 10-9m)为单位的。?微电子学是信息领域的重要基础学科
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微电子学基础——Ch01.绪论
微电子的特点
?微电子学是一门综合性很强的边缘学科
–涉及了固体物理学、量子力学、热力学与统计物理学、材料科学、电子线路、信号处理、计算机辅助设计、测试与加工、图论、化学等多个学科
?微电子学是一门发展极为迅速的学科，高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微电子学发展的方向
?微电子学的渗透性极强，它可以是与其他学科结合而诞生出一系列新的交叉学科，例如微机电系统(MEMS)、生物芯片等
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微电子学基础——Ch01.绪论
重点
?基本概念
–微电子、集成电路、集成度
?微电子的战略地位
–对人类社会的巨大作用
?集成电路的几种主要分类方法
–按器件类型–按规模
?一些英文缩写词
–IC 、VLSI 、ULSI 等
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微电子学基础——Ch01.绪论作业（思考题，不用交）
?列举出你见到的、想到的不同类型的集成电路及其主要作用
?用你自己的话解释微电子学、集成电路的概念
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微电子学基础——Ch01.绪论
?注意多阅读相关的参考书和网上的资源。准备课程论文。