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ZJY型罗茨真空泵特点及使用说明

ZJY型罗茨真空泵特点及使用说明
ZJY型罗茨真空泵特点及使用说明

ZJY型罗茨真空泵特点及使用说明

一、ZJY型罗茨真空泵实际抽速计算

对应罗茨泵的入口压力P,测取罗茨泵出口(亦为前级泵入口)压力Pv,并根据前级泵入口压力Pv查前级泵抽速特性曲线,得出前级泵在Pv入口压力下的抽速Sv,查出罗茨泵在出口压力Pv时的零流量压缩比Kv,即可通过以下公式算出罗茨泵在入口压力为P时的实际抽速S,即S=S N K V/(K V+(S N/S V)-( S V/S N)3/2)

式中:S ——罗茨泵实际抽速,L/sS N——罗茨泵几何抽速,L/sS V——前级泵在入口压力下的抽速,L/sK V——罗茨泵在Pv出口压力的零流量压缩比

二、ZJY型罗茨真空泵使用说明

1、润滑

1.1润滑系统用油应采用1号真空泵油

1.2查看油位,齿轮箱测油位应以浸没4~5个全齿高度为宜;电机测油位应以浸没2/3油窗高度为宜;用以润滑油封的油杯处不应断油,油位不应低于1/3油杯高度,不宜加油过多,避免泵运转时溢出油杯外。风冷泵油位要高于水冷泵的油位。

2、冷却

冷却水进口温度≤25℃。避免因冷却水温度高,使泵体发热,而引发异响、轴承损坏。风冷泵要通风散热,避免泵体温度过高烫伤人,使用温度≤80℃.

3、启动

当泵较长时间停用后再次使用时,应先点动1、2次,使润滑油进入轴承内,然后再正式起动,否则将缩短轴承及泵的使用寿命。

4、停泵

停泵时,应先停罗茨泵,待电机停转后,在停前级泵,否则会导致罗茨泵出口压力升高、负荷增大,而引起返油、污染真空管路和泵腔、甚至烧坏罗茨泵电机。

三、ZJY型罗茨真空泵维护和保养

1、保持泵的清洁,以利于通风散热。

2、每月至少检查一次油质情况,当发现油质明显变色、变稀、乳化等情况,应立即换油。

3、换油时,罗茨泵最好先运转一小时,使油温变热变稀后,在停泵并向泵内放气后再放油加油。加油时,润滑油中不得混入柴油、煤油、汽油、水等其他饱和蒸汽压较高的介质,以免影响泵的极限压力。

4、拆洗泵及泵内零件时,应使用纱布擦拭;当必须清洗时,可用丙酮或者汽油清洗,但必须注意防火安全,洗完后必须用纱布擦干后方可重新装配。

5、当发现泵有异常声响时,应立即停泵检查或与供应商联系。

八、ZJY型罗茨真空泵故障及其消除办法(见下表)

罗茨真空泵技术规范书

罗茨真空泵技术规范书-标准化文件发布号:(9456-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KII

皖能合肥发电有限公司 #5机组凝汽真空系统高效节能改造 技术规范书 编写 审核 批准 皖能合肥发电有限公司 2015年9月

目录 一、总则 (3) 二、改造范围及供货周期 (4) 三、技术要求与性能保证 (5) 四、供货界限及接口规则 (13) 五、供货清单及设备规范 (14) 六、清洁,油漆,包装,装卸,运输与储存 (15) 七、性能验收试验 (15) 八、技术服务 (16) 九、质量保证 (17) 十、设备交货进度 (18) 十一、施工组织管理 (18) 技术规范书 一、总则 1、本规范书适用于皖能合肥发电有限公司#5机组真空系统优化工程。它提出了提出了对采购罗茨真空泵及配套设备的功能设计、结构、性能、安装和试验等方面的技术要求。

2、本规范书提出的是最低限度的技术要求,并未对一切技术要求作出详细规定,也未充分引述有关标准及规范的条文。投标方应保证提供符合本规范书和相关的国际、国内工业标准的优质产品。 3、如投标方没有对本规范书提出书面异议,招标方则可认为投标方提供的产品完全满足本规范书的要求。 4、如招标方有除本规范书以外的其他要求,应以书面形式提出,经招、投标双方讨论、确认后,载于本规范书。 5、本规范书所引用的标准若与投标方所执行的标准发生矛盾时,按较严格的标准执行。 6、本规范书经招、投标双方共同确认和签字后作为订货合同的技术附件,与订货合同正文具有同等效力。 7、在合同签定后,招标方有权因规范、标准、规程发生变化而提出一些补充要求。 二、改造范围及供货周期 1 、皖能合肥发电有限公司#5机组为东方汽轮机有限公司制造的超临界、一次中间再热、单轴、三缸四排汽、双背压、凝汽式汽轮机,额定功率为1× 630MW,#5机配置三台真空泵,型号:2BW4 353-OEK4,生产厂家为广东佛山水泵厂,正常运行电流198A ,为保证机组抽真空系统设备的安全、可靠、节能运行,通过调研拟在#5机组增加二套维持真空泵。 2 、本次真空系统优化拟增加真空泵不改变原抽真空系统的设备及功能,在抽真空母管上并接一套高效真空泵组,蒸汽和不凝结气体进入罗茨泵,加压后经冷却器冷凝进入下级水环泵,由于提高了水环泵的入口压力,可保证水环泵高效稳 定运行。系统采用DCS控制,可实现远程和就地操作。在机组启动建立真空期间,使用原抽真空设备快速启动真空,在正常运行期间,使用罗茨-水环高效真空机组维持真空。 1)水环泵工作水来自除盐水,经自动补水阀进入分离罐,分离罐起汽水分离的作用;

罗茨真空泵厂家产品工作原理

罗茨真空泵厂家产品工作原理 上海阳光泵业制造有限公司座落于上海市金山工业园区,是国内一家著名的集研制、开发、生产、销售、服务于一体的大型多元化企业,注册资本1100万元。主导产品包括:螺杆泵、隔膜泵、液下泵、磁力泵、排污泵、化工泵、多级泵、自吸泵、齿轮油泵、计量泵、卫生泵、真空泵、潜水泵、转子泵等类别。产品以优越的性能,精良的品质已获得各项专业认证证书及客户的认可。公司拥有多名水泵专家和各类中高级工程师,不断的开发制造,升级换代产品年年都有问世。 1.工作原理 ZJY系列带溢流阀罗茨真空泵(以下简称罗茨泵)是通过一对相互作用同步反向旋转的“8”字形转子实现抽气功能的。当转子和泵体形成吸气腔时,两个转子相互之间始终保持密封,从而确保排气口的气体不返流到进气口,以此实现抽气的功能。转子的反向同步旋转是通过一对安装在转子轴上的齿轮实现的。由于在泵腔里面没有摩擦,罗茨泵能以每秒1500~3000转的高速运转而无须在泵腔内进行润滑,另外,要保持罗茨泵在高转速下平稳运行,要对转子进行良好的动平衡。高速旋转的转子间、转子和泵体间没有任何直接的接触,各运动部件之间均保持一定的间隙。 ZJY系列带溢流阀罗茨泵在进排气口间设置了一内置溢流阀,其作用是:当进排气口的压差达到一定值时,溢流阀就自动打开,排气口的部分气体通过打开的溢流阀返流到进气口,这就大大降低了高压差下罗茨泵和前级真空泵(以下简称前级泵)的运行负荷。同时因为打开的溢流阀有强大的泄流作用,可以确保ZJY 系列带溢流阀罗茨泵和前级泵可以同时启动而不会使罗茨泵和前级泵过载,并可以提高高入口压力下罗茨泵机组的抽速。 2.主要用途 ZJY系列带溢流阀罗茨泵被广泛地应用于真空获得的各个方面,它延伸了油封机械真空泵在较低入口压力下的工作范围,具有小体积大抽速的特点,在1~100pa入口压力范围内具有大抽速,特别适合于低入口压力下需要大抽速的真空系统中使用,例如电力变压器、电力电容器、电力互感器的真空干燥、真空浸渍处理、真空热处理、真空冶炼的排气、真空镀膜设备的预抽,大型试验风洞的抽气及照明灯具生产线的排

WKA微型真空泵说明.doc

微型真空水泵 WKA系列 特点 既能直接抽水又能抽真空,两用泵;能自吸,可“干转”;无污染传输,免维护;可以任意方向安装;可以24小时连续运转。 用途特别广泛,多用于医疗设备、分析仪器、工业仪表等。 技术参数 型号 作真空泵用时作水泵用时 电压电流流量真空度电压电流流量V DC mA L/min KPa(abs.) V DC mA L/min WKA600 12 <210 0.7 90 12 <260 0.6 24 <130 24 <160 WKA1000 12 <240 1.0 80 12 <300 1.0 24 <130 24 <180 WKA1300 12 <240 1.5 75 12 <400 1.3 24 <140 24 <240

安全警示! ★所有产品均不具备防爆性能,不能在易燃易爆环境中工作! ★当抽取有害气体时,客户必须对泵进行再次密封,确保人身安全! 一、选型特别注意 1、作气泵使用时,泵的抽气端和排气端均可以带大负载、甚至完全堵塞,属正常工作,泵不会损伤;作水泵使用时,抽水口可以完全堵塞,属正常工作,泵不会损伤,排水口也可以完全堵塞,但不宜长时间堵塞。 2、建议:请优先选用24V产品,价格相同、品质更好。 3、低电磁干扰型:如果系统配有精密电路(如单片机)控制微型泵的运行,请选用低电磁干扰型产品。以上所有规格均可制成低电磁干扰型产品,订货时需要标明,如:WKA1300-24V(低干扰型) 4、泵的工作介质 泵所抽取的气体或液态必须无腐蚀、非油、不含固体颗粒 类别允许的介质气体温度范围注意事项 常温介质型0~50℃ 禁止介质气体中含有固体颗粒! 高温介质型0~100℃ 如需要“高温介质型”产品请在订货时特别说明,如:WKA1300-24V(高温介质型);没有贴“高温介质型”标签的产品均为常温介质型。 特别提醒:当抽取高温水时,因水中有气体析出而挤占空间,会使抽水流量降低。 5、所有规格均使用直流电源;订购时请标明工作电压,如,WKA1300-24V 6、重量:约480克 7、对于其它电压、流量规格的产品,可以联系定制。

罗茨真空泵故障排除及原理

罗茨真空泵故障排除及原理 一、罗茨真空泵实际抽速计算 对应罗茨泵的入口压力P,测取罗茨泵出口(亦为前级泵入口)压力Pv,并根据前级泵入口压力Pv查前级泵抽速特性曲线,得出前级泵在Pv入口压力下的抽速Sv,查出罗茨泵在出口压力Pv时的零流量压缩比Kv,即可通过以下公式算出罗茨泵在入口压力为P时的实际抽速S,即S=S N K V/(K V+(S N/S V)-( S V/S N)3/2) 式中:S ——罗茨泵实际抽速,L/sS N——罗茨泵几何抽速,L/sS V——前级泵在入口压力下的抽速,L/sK V——罗茨泵在Pv出口压力的零流量压缩比 二、罗茨真空泵使用说明 1、润滑 1.1润滑系统用油应采用1号真空泵油 1.2查看油位,齿轮箱测油位应以浸没4~5个全齿高度为宜;电机测油位应以浸没2/3油窗高度为宜;用以润滑油封的油杯处不应断油,油位不应低于1/3油杯高度,不宜加油过多,避免泵运转时溢出油杯外。风冷泵油位要高于水冷泵的油位。 2、冷却 冷却水进口温度≤25℃。避免因冷却水温度高,使泵体发热,而引发异响、轴承损坏。风冷泵要通风散热,避免泵体温度过高烫伤人,使用温度≤80℃. 3、启动 当泵较长时间停用后再次使用时,应先点动1、2次,使润滑油进入轴承内,然后再正式起动,否则将缩短轴承及泵的使用寿命。 4、停泵

停泵时,应先停罗茨泵,待电机停转后,在停前级泵,否则会导致罗茨泵出口压力升高、负荷增大,而引起返油、污染真空管路和泵腔、甚至烧坏罗茨泵电机。 三、罗茨真空泵维护和保养 1、保持泵的清洁,以利于通风散热。 2、每月至少检查一次油质情况,当发现油质明显变色、变稀、乳化等情况,应立即换油。 3、换油时,罗茨泵最好先运转一小时,使油温变热变稀后,在停泵并向泵内放气后再放油加油。加油时,润滑油中不得混入柴油、煤油、汽油、水等其他饱和蒸汽压较高的介质,以免影响泵的极限压力。 4、拆洗泵及泵内零件时,应使用纱布擦拭;当必须清洗时,可用丙酮或者汽油清洗,但必须注意防火安全,洗完后必须用纱布擦干后方可重新装配。 5、当发现泵有异常声响时,应立即停泵检查或与供应商联系。

罗茨真空泵技术及装配

罗茨真空泵技术及装配 一、罗茨真空泵工作原理 罗茨真空泵(以下简称罗茨泵)是通过一对相互作用同步反向旋转的“8”字形转子实现抽气功能的。当转子和泵体形成吸气腔时,两个转子相互之间始终保持密封,从而确保排气口的气体不返流到进气口,以此实现抽气的功能。 转子的反向同步旋转是通过一对安装在转子轴上的齿轮实现的。由于在泵腔里面没有摩擦,罗茨泵能以每秒1500~3000转的高速运转而无须在泵腔内进行润滑,另外,要保持罗茨泵在高转速下平稳运行,要对转子进行良好的动平衡。高速旋转的转子间、转子和泵体间没有任何直接的接触,各运动部件之间均保持一定的间隙。 罗茨泵在进排气口间设置了一内置溢流阀,其作用是:当进排气口的压差达到一定值时,溢流阀就自动打开,排气口的部分气体通过打开的溢流阀返流到进气口,这就大大降低了高压差下罗茨泵和前级真空泵(以下简称前级泵)的运行负荷。同时因为打开的溢流阀有强大的泄流作用,可以确保罗茨泵和前级泵可以同时启动而不会使罗茨泵和前级泵过载,并可以提高高入口压力下罗茨泵机组的抽速。 二、罗茨真空泵主要用途 罗茨泵被广泛地应用于真空获得的各个方面,它延伸了油封机械真空泵在较低入口压力下的工作范围,具有小体积大抽速的特点,在1~100pa入口压力范围内具有大抽速,特别适合于低入口压力下需要大抽速的真空系统中使用,例如电力变压器、电力电容器、电力互感器的真空干燥、真空浸渍处理、真空热处理、真空冶炼的排气、真空镀膜设备的预抽,大型试验风洞的抽气及照明灯具生产线的排气等等。

如果选用合适的前级泵,罗茨泵还可以在食品、化工、医药、轻纺等行业的真空蒸馏、浓缩、干燥等的工艺过程中得到广泛的应用。 三、罗茨真空泵主要技术性能指标(见下表)

真空泵的选型及常用计算公式

真空泵选型 真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置,选择真空系统时,应考虑下述各点: 确定工作真空范围: ----首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围,必须认真研究确定之。 确定极限真空度 ----在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度,因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲,系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%,比前级泵的极限真空度低50%。 被抽气体种类与抽气量 检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应,泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。 真空容积 检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。 考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。 主真空泵的选择计算 S=2.303V/tLog(P1/P2) 其中: S为真空泵抽气速率(L/s) V为真空室容积(L) t为达到要求真空度所需时间(s)

P1为初始真空度(Torr) P2为要求真空度(Torr) 例如: V=500L t=30s P1=760Torr P2=50Torr 则: S=2.303V/t Log(P1/P2) =2.303x500/30xLog(760/50) =35.4L/s 当然上式只是理论计算结果,还有若干变量因素未考虑进去,如管道流阻、泄漏、过滤器的流阻、被抽气体温度等。实际上还应当将安全系数考虑在内。目前工业中应用最多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等 一般的要求是: 1、真空度、真空容积、主要介质、温度、主要容积类设备。 2、真空流入介质及流量、压力、温度、规律。 3、抽气量、抽出气体介质、温度。 4、真空设备的占地面积、自动化程度、真空管道规格 选用真空泵时需要注意事项: 1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。

负压泵

近年来,随着各行各业对负压泵,真空泵的微型化、不污染工作介质等特性的进一步要求,体积小巧、无油免维护、低噪音、可直流供电的微型真空泵、微型气泵得到了越来越广泛地使用。 但由于微型真空泵、微型气泵种类繁多,比如可以分为:微型真空泵、微型气泵、微型采样气泵、微型抽气泵、微型抽打两用气泵、微型循环气泵等等;导致客户经常一头雾水,到底该如何从中选择最适合自己工况的,新为诚产品呢? 【微型真空泵、微型气泵选型总体原则】: 能用无刷就尽量用无刷电机的微型真空泵,无刷真空泵参数达不到的,再采用有刷产品。 可以从微型真空泵的分类、用途两大类来选型: 一、微型真空泵、微型气泵的分类 根据微型真空泵集成的是“有刷电机”还是“无刷电机”来分类。 【有刷微型真空泵特点】 优点:采用大力矩的有刷电机供电,所以负压、流量等能做得比较高,新为诚科技的有刷产品的质量、性能、可靠性都是比较好的,且总体成本低于高档无刷真空泵。 缺点:有刷微型真空泵的寿命要比高档进口无刷的寿命稍短。【无刷微型真空泵特点】 优点:寿命较长,特别是采用高档进口无刷电机的(新为诚科技的就是),寿命往往接近上万小时(满负荷下);特别适合昼夜不停连续运转的场合,比如做长期在线采样气泵使用……而且还有“调速”功

能,即利用“占空比”调电机的转速(PWM调速),甚至可实现恒压、恒流、恒速等高级应用。所以在参数能达到的情况,应该尽量选择无刷微型真空泵,无刷产品参数不够时,再考虑有刷产品。 二、微型真空泵、微型气泵的用途 根据微型泵的用途来选型。我们分三大类情况逐一讨论。 (一)、如果只是用微型气泵输出压缩空气。 简单地说,就是只用它来打气、充气,泵的抽气口基本不用,常见应用:液面下爆气、往密闭容器内打气等;这种情况比较简单,可选型号如下(按无刷、有刷,正压由大到小顺序): 微型无刷真空泵:FAY系列、FML系列; 微型真空泵(有刷):PCF系列、FAC系列、FAA系列、FM系列。 其中重点推荐微型无刷真空泵FAY系列、微型无刷真空泵FML系列、微型无刷真空泵PCF系列、微型无刷真空泵FAC系列。当然还要参考流量指标等相关技术参数。 (二)、如果是用微型泵抽气,情况稍微复杂些: 1.判断微型泵抽气端工况 用于抽气的微型气泵分为两类:气体采样泵和微型真空泵。 简而言之,两者区别如下:气体采样泵只能带小负载(即:泵抽气端阻力不能太大),但价格便宜;严格意义上的微型真空泵可以带大负载(抽气端允许大阻力,甚至完全堵塞),但价格稍贵。 微型气体采样泵有:PM系列、SA系列、SB系列;

罗茨真空泵产品结构原理及安装

罗茨真空泵产品结构原理及安装 一、ZJY型罗茨真空泵实际抽速计算 对应罗茨泵的入口压力P,测取罗茨泵出口(亦为前级泵入口)压力Pv,并根据前级泵入口压力Pv查前级泵抽速特性曲线,得出前级泵在Pv入口压力下的抽速Sv,查出罗茨泵在出口压力Pv时的零流量压缩比Kv,即可通过以下公式算出罗茨泵在入口压力为P时的实际抽速S,即S=S N K V/(K V+(S N/S V)-( S V/S N)3/2) 式中:S ——罗茨泵实际抽速,L/sS N——罗茨泵几何抽速,L/sS V——前级泵在入口压力下的抽速,L/sK V——罗茨泵在Pv出口压力的零流量压缩比 二、ZJY型罗茨真空泵使用说明 1、润滑 1.1润滑系统用油应采用1号真空泵油 1.2查看油位,齿轮箱测油位应以浸没4~5个全齿高度为宜;电机测油位应以浸没2/3油窗高度为宜;用以润滑油封的油杯处不应断油,油位不应低于1/3油杯高度,不宜加油过多,避免泵运转时溢出油杯外。风冷泵油位要高于水冷泵的油位。 2、冷却 冷却水进口温度≤25℃。避免因冷却水温度高,使泵体发热,而引发异响、轴承损坏。风冷泵要通风散热,避免泵体温度过高烫伤人,使用温度≤80℃. 3、启动 当泵较长时间停用后再次使用时,应先点动1、2次,使润滑油进入轴承内,然后再正式起动,否则将缩短轴承及泵的使用寿命。 4、停泵

停泵时,应先停罗茨泵,待电机停转后,在停前级泵,否则会导致罗茨泵出口压力升高、负荷增大,而引起返油、污染真空管路和泵腔、甚至烧坏罗茨泵电机。 三、ZJY型罗茨真空泵维护和保养 1、保持泵的清洁,以利于通风散热。 2、每月至少检查一次油质情况,当发现油质明显变色、变稀、乳化等情况,应立即换油。 3、换油时,罗茨泵最好先运转一小时,使油温变热变稀后,在停泵并向泵内放气后再放油加油。加油时,润滑油中不得混入柴油、煤油、汽油、水等其他饱和蒸汽压较高的介质,以免影响泵的极限压力。 4、拆洗泵及泵内零件时,应使用纱布擦拭;当必须清洗时,可用丙酮或者汽油清洗,但必须注意防火安全,洗完后必须用纱布擦干后方可重新装配。 5、当发现泵有异常声响时,应立即停泵检查或与供应商联系。

ZJ-ZJP型罗茨真空泵说明书

JIANG YIN TIANTIAN V ACUUM EQUIPMENT.CO.,LTD. ZJ型 ZJP 型罗茨真空泵 安装 使用 维护 手册 中华人民共和国 江阴天田真空设备制造有限公司 地址:中国江阴云亭工业区B区松文头路19号邮编:214422 电话: 86-0510-******* 销售直线:86-0510-******* 传真: 86-0510-*******

目录 A.安全警告-------------------------------------------------------------------------3 B.概述----------------------------------------------------------------------------4 C.主要技术参数------------------------------------------------------------------ 6 D.安装说明-------------------------------------------------------------------------7 E.使用说明-------------------------------------------------------------------------8 F.维护检查及产品维修--------------------------------------------------------- 9 G.故障原因与消除方法----------------------------------------------------------17 H.易损件表-------------------------------------------------------------------------15 -------------------------------------------------------- 16

常用三种真空泵的原理

常用三种真空泵的原理 水环式真空泵: 液环真空泵工作原理水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为 2000~4000Pa,串联大气喷射器可270~670Pa。水环泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105Pa表压力。水环泵最初用作自吸水泵,而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真 空脱气等,水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展,水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,因此,水环泵应用日益增多。 在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部 为起点那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。 综上所述,水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的,因此它属于变容式真空泵。 罗茨泵的工作原理: 罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。 由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返

微型真空泵的选型要领

微型真空泵的选型要领 一、如果只是用微型气泵输出压缩空气。 简单地说,就是只用它来打气、充气,泵的抽气口基本不用。这种情况比较简单,按输出压力从大到小依次可选:PCF5015N、FAA8006、 FAA6003、FAA4002、FM2002、FM1001,当然还要参考流量指标等相关技术参数。 二、如果是用微型泵抽气,情况稍微复杂些,大致可从以下两个方面来决定选型: 1、判断微型泵抽气端工况 用于抽气的微型泵分为两类:气体采样泵和微型真空泵。虽然通常总是不加区分地把它们简单统称为微型真空泵,但从技术角度二者是有区别的,选型时更要特别注意。 简而言之,气体采样泵只能带小负载(即:泵抽气端阻力不能太大),但价格便宜;严格意义上的微型真空泵可以带大负载(抽气端允许大阻力,甚至完全堵塞),但价格稍贵。二者具体区别可以详见文章《关于微型真空泵与气体采样泵的区别》,不再复述。 气体采样泵有:SA、SB、PM系列(例如:SA751.5、SB550.5、PM950.2等); 微型真空泵有: VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、VBH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列,这些系列下的所有规格都是真正的微型真空泵,如VM7002、VAA6005、PC3025等。 对于微型泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定,把它与泵的技术参 数“进气口允许最大阻力”Por值比较就可以知道选型是否合适。通常

根据经验采用简便的方法确定,比如下述几种情况都属于负载较大(即泵的抽气端阻力较大),只能在微型真空泵范围内选型: ①在泵的抽气端要接很长的管道,或管道弯曲点多、弯曲厉害甚至会阻塞封闭,或管道内孔很小(比如小于?2毫米); ②在管路上有节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件; ③泵抽气口与密闭容器连接,或该容器虽未密闭但进气量较小; ④泵抽气口与吸盘连接,用于吸附物体(如集成块、精密工件等); ⑤泵的抽气端与过滤容器相连,容器口放置滤网,用于加速液体过滤。 2、判断微型泵排气端工况 以上都是在讨论微型泵抽气端阻力的问题,根据这些判断条件已经缩小了选型的范围,但还必须考虑排气端阻力问题,这样才能最终确定可选范围。 在实际应用中,微型真空泵面临的排气状况是不一样的:一类是排气很顺畅,直通大气;另一类是排气阻力较大,比如在排气管路上有阀、细小弯管、大阻尼传感器、非专用的消音器、在液面以下排气、气体排往密闭或半密闭容器等。在现代设计制造中,把面对不同排气条件的微型真空泵区别对待。“排气口允许最大阻力Por值”这一参数就是标定泵的排气能力,让我们可以用严格的技术手段确定选型是否恰当。 简单地说,对于排气阻力大的系统,我们的选型范围是:FM系列、FAA 系列、PCF系列;对于排气阻力小的系统,选型范围是:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、VBH系列。 根据以上几个步骤,我们已经可以确定微型泵的选型范围了。在划定的几个可选系列中,再根据我们对流量和真空度的要求就可以确定具体的

多级真空泵厂家产品原理及特点

多级真空泵厂家产品原理及特点 上海阳光泵业作为国内一家著名的集研制、开发、生产、销售、服务于一体的大型多元化企业,上海阳光泵业制造有限公司一直坚持“以质量求生存、以品质求发展”的宗旨为广大客户提供优质服务!同时,上海阳光泵业一直专注于自身实力的提升以及对产品质量的严格把关,为此,目前不但拥有国内最高水准的水泵性能测试中心、完善的一体化服务体系、经验丰富的水泵专家,同时经过多年的发展,产品以优越的性能、精良的品质、良好的服务口碑获得各项专业认证证书和客户认可。经过团队的不懈努力,上海阳光泵业在国内水泵行业已经取得了很大成就。这样一家诚信为本、责任重于天的水泵行业佼佼者,对于水泵的维修、保养等各大方面都有自己独特的方法,下面就一起来看看吧! 一、BZJ系列多级罗茨真空泵概述: BZJ系列双段罗茨真空泵(罗茨泵),是我公司在2ZJ系列单级罗茨泵的基础上,经过精心研究研发成功的新一代更新换代产品,各项指标均达到国外同类产品水平。 目前在国内,罗茨真空机组获得高真空的主要方式是多台罗茨泵串联再加前级泵,多台罗茨泵串联虽然比较灵活,但是管路连接复杂,设备组成复杂,增加了泄漏点和维修成本,随着罗茨真空泵的广泛应用和相关产业技术要求的提高,人们越来越需要一种使用及维护简便、运行可靠的新式罗茨真空泵提高自己的生产效率,降低生产成本。 双段式罗茨真空泵将两台串联的单级罗茨真空泵集成为一体,将设备的使用,双段式罗茨真空泵的研制成功,优化了机组的结构组成,降低了使用成本。 二、BZJ系列多级罗茨真空泵主要结构及原理: 1、转子:转子为罗茨真空泵的核心部件,设计加工要求高,经精密数控机床加工而成,每台共四个,装在一对平行的轴上,每根轴上装配尺寸不同,两个转子; 2、壳体:根据一定的抽速比例,壳体由中大小不一的两个腔,也即高低真空腔;

VCH微型真空泵说明.doc

微型真空泵 VCH系列 特点 真空度很高、吸力强劲;无污染传输,免维护;可以任意方向安装;允许介质富含水汽;可以24小时连续运转。多用于医疗、保健、美容设备、工业设备、物体吸附等。 技术参数 型号 电压负载电流流量 真空度(绝对压力) 三种单位换算值 (V DC) (A) (L/min)(KPa)(mmHg) (mbar) VCH1028 24 <1.7 28 10 76 100 对比:标准大气压101 760 1013 安全警示! ★产品不具备防爆性能,不能在易燃易爆环境中工作! ★当抽取有害气体时,客户必须对泵进行再次密封,确保人身安全! ★泵的排气端必须通畅,在排气管路中不得有任何阻尼元件,否则会因阻塞产生很高的气压,危及安全!

一、选型特别注意 1、泵的抽气端可以带大负载、甚至完全堵塞,均属正常工作,泵不会损伤。 2、泵的排气端必须通畅,在排气管路中不得有任何阻尼元件!否则,请选择FM或FAA或PCF系列产品。 3、泵的工作介质 泵所抽取的气体必须无腐蚀、不含油分、无固体异物,但允许富含水汽。 类别允许的介质气体温度范围注意事项 常温介质型0~50℃ 禁止介质气体中含有固体颗粒! 高温介质型0~100℃ 如需要“高温介质型”产品请在订货时特别说明,如:VCH1028-24V(高温介质型);没有贴“高温介质型”标签的产品均为常温介质型。 4、所有规格均使用直流电源;订购时请标明工作电压,如,VCH1028-24V 5、重量:约2.6 Kg 6、对于其它电压、流量规格的产品,可以联系定制。 二、使用说明 1、泵的工作环境: 环境温度:0~40℃,泵不宜在室外日晒,应在清洁无腐蚀的环境中工作2、过滤问题 当泵工作一段时间后,所抽气体中含有的粉尘会积累在泵腔内部,破坏泵的气密性,使流量和真空度下降,在抽气口端一定要配过滤器。实践表明,一般我们认为很清洁的气体中仍然还有粉尘杂质,也需要过滤,确保泵内部的精密气密性元件正常工作。

真空吸附回路设计与气动元件选型

引言 CTP(Computer-to-plate)即脱机直接制版。CTP就是计算机直接到印版,是一种数字化印版成像过程。CTP直接制版机与照排机结构原理相仿。起制版设备均是用计算机直接控制,用激光扫描成像,再通过显影、定影生成直接可上机印刷的印版。计算机直接制版是采用数字化工作流程,直接将文字、图象转变为数字,直接生成印版,省去了胶片这一材料、人工拼版的过程、半自动或全自动晒版工序。以前CTP供版过程大部分靠人工来完成,而且版材位置容易摆放不准确,造成版材不同程度损伤,而且也大大增加了劳工费用。为了解决这一问题,提高CTP的自动化程度,我们在现有的CTP设备上面增加了一套外围自动供版设备,使供版更加的安全和效率,大大的省去了劳动力。该设备主要通过真空泵进行抽气,使抽气端达到真空负压,然后靠在版材附近的吸盘因真空引力来垂直吸附版材,同时排气端对上升一定角度的版材吹气,产生向上的气流,吹落可能连带吸起的版材或者衬纸。 真空泵吸附系统设计 一般真空吸附通过真空发生器进行吸附,如下图所示: 1-减压阀 2-真空供应电磁阀 3-气控换向阀 4-真空发生器 5-真空压力开关 6-过滤器 7-真空电磁破坏阀 8-消声器 9-工作缸

真空发生器系统原理图如图所示, 图中的PV 为供压口,真空供应电磁阀2 通电后,气控换向阀3 左端进气,压缩空气通过气控换向阀3 和真空发生器4 喷射,使真空吸取口Ⅰ产生负压吸住工件。当吸稳工件,真空度达到真空压力开关 5 所设定的压力时,则发出电信号,进行工作。当真空破坏电磁阀7 通电后(真空供应电磁阀2 同时断电),空气经真空破坏电磁阀7、密闭腔Ⅱ处进入真空吸附夹具密封腔,消除真空,释放工件。 但是由于我们要用真空泵来产生真空负压,并需要排气端对版材进行吹气,所以真空发生器无法满足要求。一般真空泵吸附物体的整个系统需要有过滤器,电磁阀,消声器等气动元件组成,为了满足真空泵抽气端吸气产生真空负压,排气端吹气产生正压,设计了2套不同气压回路,如图所示: 图1 图1这套回路主要有1-喷嘴、2-气泵、3-两位三通电磁阀、4-过滤器、5-气源、6-减压阀、7-压力表、8-单向阀、9-消音器、10-两位三通电磁阀、11-过滤器、12-吸盘组合、13-版材或者衬纸。当供版系统准备吸附版材时,2-真空泵和10-两位三通电磁阀通电工作,2-真空泵进行抽气,10-两位三通电磁阀换向。气体从12-吸盘进入,通过11-过滤器过滤掉外界气体中的杂质,防止气体的夹带的小颗粒物体损坏和堵塞后面的气动元件。然后推开9-单向阀,进入到6-减压阀,调节6-减压阀来控制回路中气体的压力,从来达到调节吸盘吸附力的效果。吹气时,3-两位三通电磁阀通电换向,气体由5-气源进入经过4-过滤器,对板材进行吹气;而12-吸盘处将不再进行抽气,8-单向阀防止气体回流,保持吸盘附近的回路的真空度。当供版过程完成时,10-两位三通电磁阀通电换向,由于1-吸盘处存在真空负压,气体将从9-消音器进入,调节吸盘中的气压,从而释放工件。为了防止泄气产生噪音加装了9-消声器,减轻整个系统的噪音。该回路的优点是可以调节流量和真空度,针对不同的吸附物体可以调节不同的吸附力,而且具有延时功能,能有效地对版材进行吹气;缺点是由于整个回路中各种气动元件容易产生泄露现象,回路比较复杂,系统协调程度要求比较高。

罗茨真空泵原理及故障处理

罗茨真空泵原理及故障处理 一、罗茨真空泵实际抽速计算 对应罗茨泵的入口压力P,测取罗茨泵出口(亦为前级泵入口)压力Pv,并根据前级泵入口压力Pv查前级泵抽速特性曲线,得出前级泵在Pv入口压力下的抽速Sv,查出罗茨泵在出口压力Pv时的零流量压缩比Kv,即可通过以下公式算出罗茨泵在入口压力为P时的实际抽速S,即S=S N K V/(K V+(S N/S V)-( S V/S N)3/2) 式中:S ——罗茨泵实际抽速,L/sS N——罗茨泵几何抽速,L/sS V——前级泵在入口压力下的抽速,L/sK V——罗茨泵在Pv出口压力的零流量压缩比 二、罗茨真空泵使用说明 1、润滑 1.1润滑系统用油应采用1号真空泵油 1.2查看油位,齿轮箱测油位应以浸没4~5个全齿高度为宜;电机测油位应以浸没2/3油窗高度为宜;用以润滑油封的油杯处不应断油,油位不应低于1/3油杯高度,不宜加油过多,避免泵运转时溢出油杯外。风冷泵油位要高于水冷泵的油位。 2、冷却 冷却水进口温度≤25℃。避免因冷却水温度高,使泵体发热,而引发异响、轴承损坏。风冷泵要通风散热,避免泵体温度过高烫伤人,使用温度≤80℃. 3、启动 当泵较长时间停用后再次使用时,应先点动1、2次,使润滑油进入轴承内,然后再正式起动,否则将缩短轴承及泵的使用寿命。 4、停泵

停泵时,应先停罗茨泵,待电机停转后,在停前级泵,否则会导致罗茨泵出口压力升高、负荷增大,而引起返油、污染真空管路和泵腔、甚至烧坏罗茨泵电机。 三、罗茨真空泵维护和保养 1、保持泵的清洁,以利于通风散热。 2、每月至少检查一次油质情况,当发现油质明显变色、变稀、乳化等情况,应立即换油。 3、换油时,罗茨泵最好先运转一小时,使油温变热变稀后,在停泵并向泵内放气后再放油加油。加油时,润滑油中不得混入柴油、煤油、汽油、水等其他饱和蒸汽压较高的介质,以免影响泵的极限压力。 4、拆洗泵及泵内零件时,应使用纱布擦拭;当必须清洗时,可用丙酮或者汽油清洗,但必须注意防火安全,洗完后必须用纱布擦干后方可重新装配。 5、当发现泵有异常声响时,应立即停泵检查或与供应商联系。

最新罗茨真空泵工作原理

罗茨真空泵工作原理 罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种旋转式变容真空 泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工 作范围的不同,又分为直排大气的低真空罗茨泵;中真 空罗茨泵(又称机械增压泵)和高真空多级罗茨泵。一 般来说,罗茨泵具有以下特点: ?在较宽的压强范围内有较大的抽速; ?起动快,能立即工作; ?对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感; ?转子不必润滑,泵腔内无油; ?振动小,转子动平衡条件较好,没有排气阀; ?驱动功率小,机械摩擦损失小; ?结构紧凑,占地面积小; ?运转维护费用低。 因此,罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电 子工业部门得到广泛的应用。 罗茨泵的工作原理: 罗茨泵的结构如图所示。在泵腔内,有二个“8”字形 的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1 的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之 间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实 现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵, 通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵 的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将 罗茨泵串联使用。 罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排<本网页由山东伯仲真空设备有限公司陈宗武制作,版权所有,翻录必究!>

罗茨真空泵操作规程

罗茨真空泵操作规程 涟水永安化工有限公司生技部 罗茨真空泵操作规程 一开机前检查 1 检查固定螺栓是否有松动,用手转动连轴器数转,应无卡住现象,否则要检查原因。 2 检查油位是否达到要求刻度线,不要过量也不要不足,如不足,要即时添加。 3 检查冷却水管、水环泵进水管是否有水,且是否通畅。 二启动 1 关闭进气阀、水环泵进口的掺气嘴、大气喷射泵掺气嘴。 2 打开冷却水和水环泵进水阀门,在阀门开启前后,断水报警器是否起作用,否则检修。 3首次启动要点动水环泵电机,查看转向是否与标示的方向一致,如果方向相反要从新进行接线。等调试正确后才可以合上电源开关,启动电机。再 打开水环泵工作进水水阀(35升/分),调节至适当水量。 4 打开蝶阀及真空机组的进气阀,对整个系统工作,等系统真空大于等于 -0.094MPa时,再点动罗茨泵电机,查看转向是否与标示的方向一致及运 转有无卡住现象,如果方向相反要从新进行接线。等调试正确后才可以合 上电源开关,启动罗茨泵。 5 机组运行一段时间后,打开大气喷射泵的掺气嘴阀门,让大气喷射泵工作。 三停机 1 关罗茨泵电源;

2 关闭蝶阀; 3 关闭水环泵进水阀门(包括冷却水和工作水进水管阀门),打开泵进口法兰出的掺气阀; 4 关水环泵电源。 5如果停泵时间较长或在温度较低的冬天,必须把冷却水和工作用水排尽。涟水永安化工有限公司生技部 注意: 1 启动罗茨泵前,水环泵应运转正常,延时一段时间再开电源; 2 本机组不允许在缺水的状态下运转,水环泵工作水量要适当控制,水 量过少,将使水环泵真空度下降,水量过多,则使抽速下降,功率增 加。 3 密切注意各泵的油量及油质,在油质恶化时及时更换油并做好记录, 油量不足时及时添加,新泵启用初期,运行250小时换油一次,以后 根据使用情况,确定根换周期。 4 应经常清洁大气喷射泵口掺气嘴阀门处的进气口防尘罩滤网,确保通畅; 5在温度较低的冬天,必须将残留在水套中的冷水排尽; 6 应保持泵房清洁卫生。

真空泵选型与计算

在真空泵选型前,我们一定弄清楚几个基础概念: 真空理论上是指容积里面不含有任何的物质。(现实中是不存在真正的真空的)通常把容器内气压低于正常大气压(101325 Pa)的都称之为真空状态。 真空度表示处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用压力值来表示。实际应用中,真空度通常有绝对真空和相对真空两种说法。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为极限相对压强,即:真空度=大气压强-绝对压强(大气压强一般取101325Pa,水环式真空泵极限绝对压强3300Pa;旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa) 绝对真空&相对真空 极限相对压强相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强。表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。由于容器内部空气被抽,因此内部的压强始终低于容器外部压强。所以当用相对压强或者表压强表示的时候,数值前面须带负号,表示容器内部压强比外部压强低。 极限绝对压强绝对压强即所测内部压强比”理论真空(理论真空压强值为0Pa)”高多少压强。它所比较的对象为理论状态的绝对真空压强值。由于工艺所限,我们无论如何都不能将内部压强抽到绝对真空0Pa这个数值,因此,真空泵所抽的真空值比理论真空值要高。所以当用绝对真空表示时,数值前面无负号。

例如,设备的真空度标为0.098MPa,实际上是-0.098MPa 抽气量抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。一般单位用L/S和m3/h来表示。是弥补漏气率的参数。不难理解,理论下抽一个相同体积的容器,为什么抽气量大的真空泵很容易抽到我们所需的真空度,而抽气量小的真空泵很慢甚至无法抽到我们想要的真空度?因为管路或者容器始终不可能做到绝对不漏气,而抽气量大的弥补了漏气所带来的真空度下降的因素,所以,大气量的很容易抽到理想真空度值。这里建议,在计算出理论抽气量的情况下,我们尽量选择高一级的抽气量的真空泵。抽气量具体计算公式以下会介绍。 他们Pa, KPa, MPa, mbar, bar, mmH2O, Psi之间的换算方式如下表: 下面进入真空泵的选型。 1、工艺要求达到的真空度 真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100pa(绝对压力)的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求绝对压强高于3300Pa则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果绝对压强要求低于3300Pa,则不能选择水环式真空泵,选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。 2、工艺要求的抽气量(抽气速率) 真空泵要求抽气速率(即要求真空泵在其工作压力下,排出气体、液体,固体的能力),一般

真空发生器与微型真空泵区别.

真空发生器和微型真空泵的比较 “微型真空泵”和“真空发生器”是异曲同工的两种装置。主要区别就是,微型真空泵是用电的,而真空发生器是要用压缩空气产生真空。 在本来就有压缩空气的地方,使用真空发生器获得真空是好的方案,而在没有压缩空气的地方,用微型真空泵获得真空更方便,没有谁会为了获得这点真空而专门采用空压机搭配真空发生器的方案。 我们生产的真空泵都是非常微型的、无油、免维护,主要用在小型或袖珍型的仪器设备上。 我们专业生产高端微型真空泵、微型气泵等,产品广泛用于机械手、芯片吸附装置、印刷机械等工业自动化设备。在全国各地有许多设备制造商与我们常年合作,批量采购微型真空泵与真空吸盘配套用于吸附物品。以下几种型号选用最多: 上表中的“吸附力”数据是在完全没有漏气的情况下(几乎不可能),泵抽真空后在吸盘每平方厘米的面积上产生的吸附力数值。一般情况下,物品与吸盘之间多少会有漏气。物品与吸盘之间的气密性是影响吸附效果乃至决定成败的关键因素,必须处理好。 吸附力的大小理论上只与泵的真空度和吸盘面积相关,而与泵的流量无关,但在实际使用中与泵的流量参数是相关的。原因如下:因为吸盘与被吸物体之间不可能做到绝对密封,总有一点漏气,在这种情况下,微型真空泵的流量越大,泄漏量所占的比例就越小,越有利于维持较高的真空度,从而得到更大的吸附力。比如,有两台真空度相同的泵,A泵流量为1 L/min,B泵流量为20 L/min,同样在0.5 L/min的泄漏情况下,A泵的真空度会降低很多,因为0.5 L/min的泄漏对A 泵而言占据了流量的50%,太大了。但0.5 L/min的泄漏对B泵来说仅占流量的

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