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纯气体输送系统中气体与管道的关系

纯气体输送系统中气体与管道的关系
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纯气体输送系统中气体与管道的关系

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高纯气配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分,是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术;所谓高纯气配管技术包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。近年来以大规模集成电路为代表的微电子产品生产对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严格的要求,使高纯气体的配管技术日益受到关注和重视。以下针对高纯气体输送从选材到施工以及验收、日常管理作个简单的概述。

常见气体的种类

电子行业中常见气体的分类:

普通气体,也称大宗气体(Bulk gas ):氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等

特种气体(Specialty gas )主要有SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等

特殊气体的种类一般可分为腐蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半导体气体分类如下:

(一)、腐蚀性/ 毒性:HCl 、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3 …等

(二)、可燃性:H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等

(三)、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3…等

(四)、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等

半导体气体很多是对人体有害。特别是其中有些气体如SiH4的自燃性,只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应,开始燃烧;还有AsH3的剧毒性,任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害,也就是因为这些显而易见的危险,所以对于系统设计安全性的要求就特别高。

气体的应用范围

气体产品作为现代工业重要的基础原料,应用范围十分广泛,在冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医药医疗等部门,均使用大量的常用气体或特种气体。气体的应用,特别对这些领域的高新技术有重要的影响,是其不可缺少的原料气或工艺气。也只有各种新兴工业部门和现代科学技术的需要和推动,气体工业产品才能在品种、质量和数量等方面得到飞跃发展。

气体在微电子、半导体行业中应用

气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色,特别是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业,凡举传统的ULSI、TFT-LCD到现在的微机电(MEMS)产业,皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程,其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体,而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响,气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。

高纯管道在高纯气体输送中的意义

在不锈钢熔炼制材过程中,每吨可吸收大约200g的气体。不锈钢材加工完毕,不仅其表面粘有各种污染物,而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体。当管路中有气流通过时,金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中,污染纯净气体。当管内气流为不连续流动时,管材对所通过的气体形成压力下吸附,气流停止通过时,管材所吸附的气体又形成降压解析,而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中。同时,吸附、解析周而复始,使得管材内表面金属也会产生一定的粉末,这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体。管材的这一特性至关重要,为了确保输送的气体的纯净度,不仅要求管材内表面有一个极高的光滑度,而且,应当具有很高的耐磨特性。

腐蚀性能较强的气体时,必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管,否则,管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑,严重时会出现大片金属剥离甚至穿孔,从而污染输配的纯净气体。

大流量的高纯、高洁净度气体输配管道的连接,原则上全部采用焊接,要求采用的管材,在施焊时组织不发生变化。含碳过高的材料在焊接时,受焊接部位的透气,使得管内外气体的相互渗透,破坏输送气体的纯度、干燥度和洁净度,导致我们的各项努力全部失去意义。

综上所述,对于高纯气体及特种气体输送管道,必需采用一种特种处理的高纯不锈钢管,至使高纯管道系统(包含管道、管件、阀门、VMB、VMP)在高纯气体配送中占有至关重要的使命。

输配管道洁净技术的一般概念

高纯、洁净气体体输送配管道,是指对输送气体的“三度”有一定的要求

或控制。

气体纯度:气体中杂质气氛的含量,通常用气体纯度的百分数来表示,如99.9999%,也用杂质气氛含量的体积比ppm 、ppb、ppt表示。

干燥度:气体中微量水分的含量,或称之为湿量,通常以露点表示,如常压露点-70。C。

洁净度:气体中含有污染物粒子的数量,粒径为μm的粒子,多少粒/M3 来表示,对于压缩空气,通常也用不可避免的固体残留物的多少mg/m3来表示,其中涵盖了含油量。

污染物大小分类:污染物粒子,主要指管道冲刷、磨损、腐蚀产生的金属粒子、大气烟尘粒子,以及微生物、噬菌体以及含湿气体凝聚的液滴等,按其粒径的大小分为:

a)大粒子—粒径在5μm以上

b)粒子—料径在0.1μm-5μm之间

c)超微粒子—粒径小于0.1μm。

为增强应用本技术时,能够对粒子大小和μm单位的感性认识,现提供一组具体的粒子状况,供对照参考

以下为具体粒子对照

名称粒径μm 名称粒径μm 名称

粒径μm

病毒0.003-0.06 气溶胶0.03-1 雾化微滴1-12

核燃料0.01-0.1 漆料0.1-6 飞灰

1-200

碳黑0.01-0.3 奶粉0.1-10 杀虫剂

5-10

树脂0.01-1 细菌0.3-30 水泥尘

5-100

香烟烟雾0.01-1 砂尘0.5-5 花粉

10-15

硅胶0.02-0.1 杀虫剂0.5-10 人发50-120

结晶盐0.03-0.5 浓硫尘1-11 海沙100-1200 气体输配管道选材的原则

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点

(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,经电解拋光(Electro-Polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valley height)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程

反应的气体,如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。

目前在国内洁净管道可参照标准比较少,通常我们除了参照《洁净厂房设计规范》《氢气站设计规范》《氢氧站设计规范》《压缩空气设计规范》等有关技术行业技术规范外,在业内我们惯用的选材与配管一般参照国际通用的行业标准:

在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露点的要求也越来越高。表1是各线宽下对超纯氮气的要求

高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。氩气(Ar):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统:必要的还需做双套管:外管酸洗钝化(AP)处理,内管电解抛光(EP),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

压缩空气(CDA):系统管道采用光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的球阀(要求不高的公司亦可采用铜管,视工艺要求定)

对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性大大提高(图1)。

(图1)

针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体,通常设计将钢瓶置于气瓶柜(Gas Cabinet)内,再透过管路将气体供应至现场附近的阀箱(VMB, Valve Manifold Box),而后再进入制程机台的使用点(POU, Point of Use),于进入机台腔体之前,会有独立的气体控制盘(GB, Gas Box)与制程控制模块联机,以质流控制器(MFC, Mass Flow Controller)进行流量之控制与进气的混合比例控制,通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴,而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀盘(VMP, Valve Manifold Panel)进行供应。详细的描述与讨论将在

下节进行,现在仅举一简单的两种不同供气流程规划的实例,如图一、二所示。

[图一:毒性/ 可燃性气体供应规划流程实例

[图二:惰性气体供应规划流程实例

超洁净不锈钢管道、管件、阀门的定义

用途:不锈钢洁净管道用于输送半导体业中高纯或超纯洁净气体,及生物制药产业中洁净管道(各种水)。

表面处理方式:

RA 值的比较(Roughness Average,粗糙度平均值)

材质表面处理方式内表面粗糙度平均值(μm)316L AP RA〈=1.0

316L BA RA〈=0.8

316L EP RA〈=0.13-0.2

城镇天然气管道完整性管理系统平台建设

城镇天然气管道完整性管理系统平台建设 摘要近年来,因城市天然气管道管理不善造成天然气泄漏的事故时有发生,这些事故给人民群众的生命财产造成巨大的损失,也给社会的公共安全与稳定带来了极大地负面影响。本文提出了城镇天然气管道完整性管理系统平台的建设,以供参考。 关键词天然气管道;管理平台;安全;平台特性;平台功能 1 天然气管道安全运行存在的问题 1.1 对管道安全运行保护认识不足 天然气作为一种优质清洁能源,为当地经济发展、促进社会和谐稳定起着举足轻重的作用。要使天然气平稳输送到千家万户,管道安全运行是基础。当前,天然气管道设施保护带内个别单位和村民为一时之利、一人之益而忽视管道保护的行为时常发生,大量出现违章建筑物和违章施工。安全运行存在认识不足的表现如下:①管道所在地居民缺乏保护管道的意识;②施工建设单位落实管道保护措施不力;③管道属地政府职能部门监督检查沿线保护工作存在薄弱环节;④市民没有从根本上认识保护天然气管道的重要性,还没有完全意识到做好管道保护需要全社会的共同努力和相互配合。 1.2 违章建筑占压管道的现象有增无减 天然气管道投运后,管道运营企业要投入资金专项整治管道占压等隐患。有的人见赔偿有利可图,便在管道保护带外进行无规划围地圈占,然后在5m以外搭建临时设施并逐步延伸到5m范围内,其规模逐步扩大形成违章建筑带或区域经济带,等待管道运营企业的赔偿或向管道企业索赔,并指责管道运营企业妨碍当地经济发展和开发建设。这是明知管道建设在先,仍然要违章施工,借此达到索赔目的。近年来类似现象尤显突出,容易导致天然气管道安全事故,甚至引发火灾,产生爆炸,造成生命财产损失。 1.3 管道企业制止违章行为的力度和手段有限 近年来,管道运营企业不断完善和持续改进管道保护管理制度,采取了沿线管道保护知识宣传,设置和加密安装管道安全标志,安排专人巡检,对施工工地进行24小时严防死守,成立抢险队伍随时应对管道突发事件,落实管道保护专业人员驻附近场站值守等措施,效果明显。但由于管道运营企业人员不具备执法手段和处罚权力,根本不能及时有效地杜绝危害管道安全运行的行为,个别施工单位和村民公开对抗管道工作人员,更有甚者,在巡检人员巡过时段和巡检间隔期间,擅自勘钻、放炮、移动或破坏管道标志,强行违章施工并抗拒管道运营企业员工的安全告知和制止行为,屡屡出现发生危及管道安全的重大险情[1]。

天然气输送管道站场检查标准

天然气输送管道站场

目录 18.1组织机构与职责 (157) 18.2制度与资料……………………………………………………… 157 18.3 HSE活动……………………………………………………… 159 18.4设施 (160) 18.5设备 (166) 18.6生产作业………………………………………………………… 167 18.7检维修作业……………………………………………………… 170

天然气输送管道站场 18.1 组织机构与职责 18.1.1 组织机构 天然气输送管道站场应成立HSE管理小组,站长任组长,分管安全副站长任副组长,成员包括大班人员、各运行班班长、仪表工、技师、技术人员等。 18.1.2 职责 HSE管理小组负责安全、环保、职业卫生、消防、应急等工作,具体职责如下: a) 学习并贯彻落实国家和中国石化有关安全、环保、职业卫生、消防、应急等方面的法律、法规、标准、规范和制度; b) 制定年度HSE工作计划、HSE管理目标和应急预案; c) 落实各岗位HSE职责; d) 定期召开HSE管理小组会议,检查HSE工作计划完成情况;对发现HSE管理工作中存在的重大问题,应及时研究处理; e) 检查HSE管理制度、HSE作业指导书和各项技术措施的落实情况,发现违章指挥、违章作业、违反劳动纪律的现象应及时纠正; f) 定期组织HSE检查,并做好记录;对发现的问题和隐患进行整改,不能整改的及时上报; g) 组织对新入厂和转岗员工进行站级HSE教育;对员工进行经常性的HSE意识、知识和技能培训,开展岗位技术练兵和应急演练; h) 负责对直接作业环节作业许可证的申请或审批,组织落实好各项防范措施; i) 发生事故时,应按应急预案要求及时报告和处置; j) 组织HSE考核,表彰奖励对HSE工作做出贡献的员工; k) 建立健全干部值班制度,做到24小时干部带班。 18.1.3 要求 18.1.3.1 站长是HSE管理的第一责任人,对本单位HSE管理全面负责,并与上级签订年度HSE管理责任状。 18.1.3.2 全体员工应与站长签订年度HSE责任状。 18.1.3.3 关键装置、要害(重点)部位应实行干部联系(承包)制

高纯气体管道配管及附件材料的选择要点

高纯度气体由管道输送,能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、管件及附件选择正确、施工安装正确和试验检测合格。高纯气体管道输送管道,要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同,采用相应质量的管材。比如半导体产业因其生产工艺复杂、加工精细,它不仅要求有洁净的生产环境,而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求,从微米技术进入亚微米、深亚微米(小于O.35g.m)技术,对气体中的杂质含量、水含量要求极为严格,10 (ppm级)已经不能达到要求,需要达到10 (ppb级),甚至10一~2(ppt级),尘埃粒径要求控制到0.05-0。Olla,m。因此输送管道本身的管道材料特性适应高纯、超高纯气体的要求成为必须。 2.1管道材料特性 对输送高纯气体管道而言,其影响气体质量的管道材料主要特性是气体渗透性、出气速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蚀性。 21.1气体渗透性 气体从压力(或分压力)高的一侧透过材料向压力(或分压力)低的一侧流入的现象成为气体渗透。因为空气中氧气和氮气分压力最大、气体分子相对较小,管道材料对气体的渗透性主要表现氧气和氮气的渗透,一般对氧气的渗透测试比较多。不同材料对氧的渗透性材料大气中氧气的渗透(ppm)不锈钢管 O铜管O 聚丙烯管1l聚四氟乙烯管12普通钢管203 从表看到,对于输送ppm级及更高纯度要求的气体,从气体渗透角度必须选用不锈钢管或者钢管,如果我们不恰当地选用了不符合要求的管道材料,那么,无论我们采取什么净化手段,都将是无济于事的。2.1.2出气速率 材料冶炼过程形成的管道材料晶间或者晶格内部存在着某些杂质,如氮、碳氢化合物等,在高纯气体输送过程中,这些杂质会缓慢地释放出来,污染高纯气体,尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率极低。 2.1.3吸附性 由于水分等杂质是极性分子,吸附性很强。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料极易吸附水分等杂质,铜材对水吸附性极强,使用这些材料输送高纯气体易被污染,除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外,高纯气体都不采用铜管和塑料管,气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。 2.1.4表面粗糙度和耐磨性 为了确保输送的气体纯净度,要求管道材料内表面有一个极高的光洁度,这样可以防止污染粒子及湿气在管壁滞留,可以在吹扫时比较容易吹净。管材比较光洁而且耐磨,可以在气流高速冲刷下,产生的金属粒子就少,不锈钢比铜管产生粒子要少,所以不锈钢管耐磨性优于钢管。 2.1.5抗腐蚀性 微电子生产中,经常使用一些腐蚀性很强的气体,这时必须采用耐腐蚀的管材,否则管道会被腐蚀,轻则表面产生锈斑,重则管道大面积剥落、穿孔,不但污染气体,还会发生安全事故。

医用气体管道供给系统监测报警系统

医用气体供给管道监控管理系统随着医院的快速发展,越来越多的医院采用集中供应的医用气体系统,医用气体具有一定的危险性。近年来,医用气体事故也时有发生。作为医院支持系统的核心之一的医用气体系统直接关系到医疗安全和医院的安全。国家发布并与2014年2约1日实施了《WS 435 医院医用气体系统运行管理》,其中就有医用气体机房安装入侵报警装置和监控装置,在关键区域需做监控。欧美发达国家早几年就已经强制要求医院安装医用气体供给管道监控管理系统。该管理系统发展趋势是医院基本建设。 系统介绍: 医用供给管道监控管理系统系统利用目前现代工业网络控制技术,采用总线分布式数据采集方式,用数据通讯的方式将各监控现场(包括手术室、ICU、普通病区及各医用气体站房)的主要气体监控参数(如多种气体的压力、氧气纯度、流量等)进行采集,通过数据总路线传输至监控中心监控计算机中,由计算机对相关运行数据进行采集、控制和处理,对所有运行参数形成完善的数据库文件,对各现场的气体参数进行全方位的监控,同时具有对运行数据和报警数据进行查询、搜索。并且能够及时定位故障出现并高效率处理,从而避免相关事故发生,保证医院相关部分系统正常运行。 系统功能: 该系统能实时监测各医用气体的压力、氧气纯度及流量等参数;当各路气体供气压力偏离正常范围时,及时发出报警信号;实时测量各科室的氧气流量,为医院的成本统计提供可靠依据,可及时发现各科室医用气体的异常情况;可根据计算机对各监控现场的统计数据,智能判断管路及终端泄漏的可能,能进行相应的控制处理,为医院的维护管理提供理论依据。

系统组成: 主要硬件产品包括:中心报警主机,现场报警主机,数据集中器,管道监控模块,网络氧气流量计,智能化气体监控系统,网络布线系统等。 1、中心报警主机:用于实时分析系统中各个监测点数据,发现异常及时声光报警。实时将收集到的各类数据发送给计算机,安装位置可以选择设备监控室或设备科办公室;

石油及天然气工业管道输送系统

《石油天然气工业管道输送系统管道延寿推荐做法》 (征求意见稿)编制说明 一、计划来源 本标准根据《关于下达2012年第一批国家标准制修订计划的通知》(国标委综合[2012]50)要求制定,计划号为20120416-T-469,由中国石油天然气股份有限公司管道分公司负责起草,GE Oil & Gas PII Pipeline Solutions 和中国科学院金属研究所参与起草。 二、制定本国家标准的目的、意义 随着我国管道业核心标准GB/T 24259-2009《石油天然气工业管道输送系统》在2009年的制定和发布,我国管道业标准首次实现了与国际标准的接轨和同步,这必将直接促进管道业其它各相关标准的国际化进程。众所周知,GB/T 24259-2009《石油天然气工业管道输送系统》修改采用ISO 13623:2000《石油天然气工业管道输送系统》,实际是直接采用ISO/DIS 13623:2008。ISO/DIS 13623:2008是国家标准GB/T 24259-2009制定前获得的最新的ISO 13623版本,与正式发布的版本ISO 13623:2009不存在技术层面的差异,反映了国际管道业最新的技术水平和理念,引导着世界管道技术发展的潮流,也是ISO系列管道标准中的核心标准,ISO以其为核心,构建了一个完整的管道标准体系,这从ISO 13623:2009的规范性引用文件中可以清楚看出。 近年来,国内外老龄管道大量增加,很多超过了管道的设计寿命,这些管道可否继续使用,还能使用多少年,是国内外管道运营公司面临的难题。同时,近期国内外石油石化行业由于设备、管道老化造成的事故频发,给管道设置一个合理的寿命势在必行。此外,对管道延寿进行评估还可以作为新建管线的项目依据,为管道运营公司废弃旧管道、新建新管线提供决策技术支持。通过管道延寿推荐做法标准的制定,将解决老龄管道运营面临的瓶颈问题,极大提升国内管道运营公司的完整性管理水平。因此建议对ISO 12747采标,制定我国管道行业的管道延寿推荐性做法的国家标准。

实验室气体管道说明及安装

实验室气体管道说明及安装 1.1实验室气体管道系统技术说明 1.1.1编制依据参照国家规范 标准规范(描述、罗列本招标文件适用的主要标准和规范) 下列规范、规程和标准通过引用构成了本技术文件的组成部分。本技术文件涉及到的规范、规程和标准,除注明年号者外,应为最新版本。所有工程的制造、检验及验收除应符合本技术文件外,尚应符合图样以及订货技术协议的有关规定: ?GB50016-2006《建筑设计防火规范Code for Fire Prevention of Building Design》 ?GB50235-2010 《工业金属管道施工规范Code for construction of industrial metallic piping》 ?JGJ91-93《科学实验建筑设计规范Design Code for construction of scientific Lab 》 ?GB 50316-2000《工业金属管道设计规范Design code for industrial metallic piping》 (2008年版) ?GB 50177-2005《氢气站设计规范Design Code for H2 station》 ?GB/T 20801-2006《压力管道规范工业管道Design Code for Pressure Pipelines》?GB16912-2008 《深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程》 ?GB50236-2011 《现场设备、工业管道焊接工程施工规范》 ?GB50184-2011 《工业金属管道工程施工质量验收规范》 ?SH/T3103-2009 《石油化工中心化验室设计规范》 ?电子工业部气体管道安全管理规程 ?GB4962-2008 《氢气使用安全技术规程》 ?SH 3501-2011 《石油化工有毒、可燃介质钢制管道工程施工及验收规范》当上述文件与本技术文件条件的要求发生矛盾时,原则上按照较严者的要求执行, 或书面形式向买方提出,由买方负责联络设计方提出处理意见;以上标准均采用

氧气、高纯气体及稀有气体管道

氧气、高纯气体及稀有气体管道 施工说明 设计 审核 批准 二○○一年六月

氧气、高纯气体和稀有气体管道施工说明 本说明适用于输送99.5%以上的施工质量要求高的高纯度气体和稀有气体的管道,不适用于设备本体所属的管道及其他气体介质的管道。 本说明在下述“规范”的基础上进行编制: 1、《工业管道工程施工及验收规范,(金属管道篇)》GBJ235—82(简称“金属管道篇”); 2、《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》GBJ236—82(简称“焊接规范”); 3、《冶金部“氧气安全规程”(一九八八年)》(简称“规程”)。 结合工程具体情况,本说明作如下补充: 1.管子、管道附件及阀门的要求: 1.1管道所用材质要求根据施工图纸计算决定选取,要变更材质必须征得设计部门同意。下列仅例举材质之范围和相关的标准。 1.1.1无缝钢管(GB8163—87)材质有:10、20或16Mn钢质等。 10号钢管δb不小于335N/mm2,δs不小于205N/ mm2 20号钢管δb不小于410N/mm2,δs不小于245N/ mm2以上两号钢管含硫、磷各分别不大于0.035%,并符合GB699—88要求。 16Mn钢管δb不小于510N/mm2,δs不小于343N/ mm2,含硫不大于0.05%,含磷不大于0.045%,并符合GB1591—79要求。

1.1.2不锈钢管(GB2270—80、GB1220—84)材质常用1Cr18Ni9Ti,1Cr18Ni11Ti等。1Cr18Ni11Ti 1Cr18Ni9Ti不锈钢管δ b 不小于539N/mm2(55kgf/ mm2),δ0.2不小于206N/mm2(21kgf/ mm2),0Cr18Ni11Ti不锈钢管δb 不小于520N/mm2 (53kgf/ mm2),δ0.2不小于206N/mm2 (21kgf/ mm2)。 1.1.3紫铜管材质可用T2、T3、T4、TUP等 拉制铜管(GB1527—79)材料状态M(软)的δb 不小于206N/mm2 (21kgf/ mm2),伸长率δ10不小于35%,δ5不小于42%。 挤制铜管(GB1528—79)材料状态R(挤制)的δb 不小于186N/mm2 (19kgf/ mm2),伸长率δ10不小于35%,δ5不小于42%。 1.1.4 黄铜管材可用: 拉制黄铜管H62M H68M(GB1529–79),挤制黄铜管R(GB1530–79)。 机械性能均需δb不小于294N/mm2(30kgf/ mm2),伸长率δ10不小于38%,δ5不小于43%。 挤制黄铜管Hfe59–1–1,R(GB1530—79)δb 不小于451N/mm2 (44kgf/mm2),伸长率δ10不小于28%,δ5不小于31%。 1.2管道、阀门、法兰、垫圈和其他管道附件的材质、规格及技术要求在施工以前均应按设计要求核对,并符合有关现行国家或部颁标准,如需代用必须征得设计单位同意。 1.3管道、管件、阀门在使用以前进行质量检验,其要求应符合《金属管道篇》第二章的要求。 1.4阀门应进行强度试验及气密性试验,其一般要求见《金属管道

医用气体管道专业施工方案

病房终端设施 1.1病房设备带 铝合金设备带,截面尺寸为:195mm×60mm×1.5mm,表面采用喷塑处理。 ?结构为三腔体, 即强、弱电、气体管道分道 敷设;强、弱电采用穿PVC 软导管方式敷设。 ?安装牢固、整体 性强、外形美观、表面坚固耐腐蚀、耐擦划、色彩可选。 1.2气体终端 ?快速拔插式自密封气体终端(气体终端自带维修阀),气体终端均采 用铜合金材质,各项指标完全符合国家最新相关标准要求。 ?各气体终端之间不具有互换性,不同的定位销使各种用气设备在任何 情况下都不会插错,从而保证使用的绝对安全;终端与管道之间采用 航空低压球形接头螺纹连接。气体终端使用时插拔快捷、灵活、可靠。 1.3床头照明装置 设备带下侧腔内嵌入式安装LED床头灯组件,含LED灯管、灯罩及灯座组成。LED 灯管具有照度高、耗电低、寿命长等诸多优点。

1.4电源插座、灯开关 电源插座采用符合国标要求的250V 10A三位八孔电源插座、灯开关采用符合国标要求的250V 10A单联单控灯开关。 1.5终端检修阀 病房设备带上嵌入式安装有氧气检修阀1个,以便于每间病房内氧气终端、压缩空气终端的单独检修。 1.6漏电保护器 在每条设备带上设漏电保护开关1个。其主要功 能是对有致命危险的人身触电提供保护。同时,还可 用来防止由于设备绝缘损坏、产生接地故障电流而引 起的电气火灾危险。漏电保护开关的派生产品还具有 过压保护功能,可有效地防止烧坏用电设备,同时, 提供触电、漏电保护。漏电保护开关具有体积小、分断高、动作可靠及抗振性好等特点。 漏电保护开关额定电流为16A。

施工组织设计 1.7施工进度计划 我方将安全、高效地组织施工,确保在大楼整体施工周期内完成大楼医用气体工程安装任务。 1.8质量目标、工期目标、现场管理目标 ?质量目标:保证工程质量全部合格。 ?工期目标:按合同工期完成全部建设施工任务。 ?现场管理目标:严格施工现场管理,杜绝重大安全事故,不发生火灾。 1.9劳动力计划 工程总体劳动力的配置由公司总部统一安排的项目组依据工程进度情况调度,一旦甲方要求抢工期而需要加大人员及机具投入,我公司强大的人、财力储

医疗气体管道工程施工方法

医疗气体管道工程施工方法 1.1医疗气体管道系统特点及施工流程 通常医用气体管道包括:氧气管道、吸引气管道、压缩空气管道。医用气体由楼外的三气机房引入。管道安装专业性强,合理组织材料进场、严格工序控制及施工作业流程至关重要。管道安装总体遵循:“先主管、后立管;先干管、后支管”的施工顺序,由下至上、由里及外分系统进行;管道打架原则遵循:支管让干管、管径小者让管径大者。 三种气体管道的水平间距如下表: 施工流程: 预留预埋→管道脱脂及安装→设备及部件安装→管道防腐保温→管道试验→设备电源及控制线路接送单机运行→系统吹扫→系统调整及调试 1.2医疗气体管道系统预留预埋 ⑴预留孔洞 本工程在前期施工阶段应积极配合土建,及时准确进行预埋、预留,以保证工程质量和工程进度。施工前熟悉图纸,

列出配合清单,标出配合部位,并预制好预埋件、套管。土建施工过程中,派专人跟踪配合,待土建施工到预留孔洞部位时,立即按施工图中给定的穿管坐标和标高,在模板上作出标记。 在土建扎钢筋时,将事先做好的模具中心对准标记进行模具的固定安装,并考虑方便拆除临时模具。当遇有较大的孔洞、模具与多根钢筋相碰时,与土建技术人员协商,采取相应措施后再进行安装固定。对砌筑墙上的预留孔洞,派人同土建密切配合,随时检查洞口尺寸,预留出所要求的空隙量。 ⑵套管安装 管道穿钢筋混凝土水池(水箱)壁及底板、顶板、人防防护墙以及在防护区内穿顶板处均应在土建施工时预埋防水套管。防水套管做法详见S312IV型及II型,其它隔墙、楼板及梁上预留普通钢制套管。 穿楼板套管长度=楼板厚度+底板抹灰厚度+地面抹灰及装饰厚度+20mm;穿墙套管长度=墙厚+墙两面抹灰厚度。用大钢模施工的混凝土墙上套管两端与墙面平齐。套管断面平齐,除掉毛刺,管身除锈,管内壁防腐。 套管按其方位和标高用螺纹钢筋加强固定,安装好后管内填塞袋装泡沫及编织物,以防混凝土进入套管内部堵塞套管。安装后要仔细核对,在土建浇混凝土时,专人看护,避

天然气长输管道的知识

关于天然气长输管道知识普及 随着我国天然气勘探开发力度的加大以及人民群众日益提高的物质和环保需要,近年来天然气长输管道的发展十分迅速。随着管道的不断延伸,管道企业所担负的社会责任、政治责任和经济责任也越来越大。因此,对于天然气长输管道知识普及显得尤为重要。 一、线路工程 输气管道工程是指用管道输送天然气和煤气的工程,一般包括输气线路、输气站、管道穿(跨)越及辅助生产设施等工程内容。 线路工程分为输气干线与输气支线。输气干线是由输气首站到输气末站间的主运行管线;输气支线是向输气干线输入或由输气干线输出管输气体的管线。 线路截断阀室属于线路工程的一部分,主要设备包括清管三通、线路截断球阀、上下游放空旁通流程、放空立管等,功能是在极端工况或线路检修时,对线路进行分段截断。阀室设置依据线路所通过的地区等级不同,进行不同间距设置。 阀室系统包括手动阀室和RTU阀室两大类。 二、工艺站场 输气站是输气管道工程中各类工艺站场的总称。一般包括输气首站、输气末站、压气站、气体接收站、气体分输站、清管站等站场。 输气站是输气管道系统的重要组成部分,主要功能包括调压、过滤、计量、清管、增压和冷却等。其中调压的目的是保证输入、输出

的气体具有所需的压力和流量;过滤的目的是为了脱除天然气中固体杂质,避免增大输气阻力、磨损仪表设备、污染环境等;计量是气体销售、业务交接必不可少的,同时它也是对整个管道进行自动控制的依据;清管的目的在于清除输气管道内的杂物、积污,提高管道输送效率,减少摩阻损失和管道内壁腐蚀,延长管道使用寿命;增压的目的是为天然气提供一定的压能;而冷却是使由于增压升高的气体温度降低下来,保证气体的输送效率。根据输气站所处的位置不同,各自的作用也有所差异。 1、首站 首站就是输气管道的起点站。输气首站一般在气田附近。 2、末站 末站就是输气管道的终点站。气体通过末站,供应给用户。因此末站具有调压、过滤、计量、清管器接受等功能。此外,为了解决管道输送和用户用气不平衡问题,还设有调峰设施,如地下储气库、储气罐等。 3、清管站 清管站是具有清管器收发、天然气分离设备设施及清管作业功能的工艺站场。 4、压气站 压气站是在输气管道沿线,用压缩机对管输气体增压而设置的站。 5、分输站

高纯气体的配管及材质

高纯气体的配管及材质 1.高纯气体管路的设计要点: (1)对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体 集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。 (2)管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/ 腐蚀性气体小于8ml/S,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力与管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。 (3)根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便 在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。 (4)管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、 用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的安全、可靠运行与防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。 (5)对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但就是在纯度要求高的用气设备 邻近处设末端气体提纯装置。 (6)为了检测高纯气体的纯度与杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置 定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。 (7)在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括 尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器 2.高纯气体配管及附件材质的选择 (1)选择标准 ●选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料: 目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但就是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1、01、0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管,高纯气体使用管材的特点及要求

医用气体管道系统的氧气浓缩器供气系统

附件1 关于《用于医用气体管道系统的氧气浓缩器供气系统》行业标准实施有关事宜的通知(征求意见稿) 依据医疗器械行业标准制修订计划,我局对YY/T 0298-1998《医用分子筛制氧设备通用技术规范》进行了修订,鉴于修订后的《用于医用气体管道系统的氧气浓缩器供气系统》标准(以下简称新标准)涉及对产品生产、审查、安装、使用等多环节要求,为了保证新标准发布后顺利实施,现将有关要求通知如下: 一、医疗器械生产企业是产品第一责任人,应全面贯彻实施新标准,并应依据YY/T 0316中风险管理程序,结合新标准中附录H有关要求,分析产品可能存在的安全方面的危害,采取措施确保产品安全、有效。 二、新标准规范性引用文件中载明的国际标准,如果有相关的国家或医疗器械行业标准,则可按照新标准要求采用相关的国家或医疗器械行业标准。 对于引用的ISO 7396-1《医用气体管道系统第1部分:医用压缩气体和真空用管道》标准,由于我国已发布了《医用气体工程技术规范》(GB 50751-2012),如果医疗机构医用气体管道分配系统符合该规范要求,且也符合该规范中未包含而ISO 7396-1包含的性能指标要求,则可使用氧气浓缩器供气系统。 三、标准条款4.5.2中涉及的ISO 14644-1:1999表1附于

本实施通知后,实施时参见本通知附表1。 四、新标准实施后,在实施注册检测时,各相关医疗器械检测机构应按本通知附表2中类别号为A的新标准条款及其备注中要求实施检测。 六、新标准实施后,在申请注册时,除递交法规规定资料外,还应递交富氧空气符合药品质量标准规定的证明材料及新标准中要求生产企业提供的各种证明材料(见本通知附表2中类别号为B的条款规定的资料)。 必要时,各级食品药品监督管理部门可要求企业提供系统安装图、安装作业指导书、维修手册、电气图等涉及对产品安全、有效性进行评价的其他相关技术资料。 已受理注册尚在注册审查期间的产品应按程序补充提交证明产品符合新标准要求上述相关资料和检验报告。 七、新标准实施后,在进行质量管理体系检查时,省级食品药监监督管理部门应结合质量管理体系检查要求,一并检查本通知附表2中类别号为C的新标准条款要求是否在产品生产过程中得以贯彻实施,并在质量管理体系考核报告后注明相关标准条款检查结果。 有关条款要求作为重点考核项目,如其不符合标准要求,则应参照《医疗器械生产企业质量体系考核办法》中重点考核项目不符合情况处理。 八、新标准实施后,使用氧气浓缩器供气系统的医疗机构应按照新标准相关条款(见本通知附表2中类别号为D及E的条款)的要求,做好或配合生产企业做好产品设计、安装、试运行、接

高纯气体工艺与施工

高纯/特种气体工艺与施工概要 北京分公司吴学刚 前言 近10年来,随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产,对高纯气体洁净度的要求,已不亚于对纯度和干燥度的要求,凡工艺气体,无一不对其中的粒子提出限制。因此,对于高纯气体,纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况(如温度、压力等)都不完全一致,所以,如何确定高纯气体的“三度”(纯度、干燥度、洁净度),还没有一个严格而明确的概念。 对于纯度和干燥度的控制,我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出,“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%,含水量小于5ppm气体。” 日本把微电子生产中所采用的气体,按其不同的品位,具体分为下列几个不同的档次: 超高纯气体 气体中杂质总含量控制在1ppm以下,水份含量控制在0.2~1ppm。 高纯气体 气体中杂质总含量控制在5%ppm以下,水份含量控制在3 ppm以内. 洁净气体 气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定,都未涉及洁净度。我们知道,集成电路的生产,几乎都是在洁净环境中进行,是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以,对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏,必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致,根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验,我进行了一些归纳,希望能够给大家提供一些参考。 一、高纯/特种气体的概念 1.半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类: (1)普通气体:也叫大宗气体,主要有:H2、N2 、O2 、Ar 、He等。

(2)特种气体:主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。 2.半导体制造用气体按照使用时的危险性分类: (1)可燃、助燃、易燃易爆气体:H2、CH4、H2S、NH3、SiH4、PH3、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等。 (2)有毒气体:AsH3、PH 3、PH 3 、B 2 H 6 等 (3)助燃气体:O2 、N 2 O、F2 、HF等 (4)窒息性气体:N2 、He、CO 2 、Ar等 (5)腐蚀性气体:HCL、PCL 3、POCL 3 、HF、SiF4、CLF3、等

高纯气体管路五项测试流程

高纯气体管路五项测试 流程 文档编制序号:[KK8UY-LL9IO69-TTO6M3-MTOL89-FTT688]

五项测试流程 气体管路的QC 气体管路的QC指的是要确保管路的外观及管内的各项测试都合乎客户要求的标准并确保我们的产品的品质达到一定的水准。 (1)?通常大多数半导体厂的设备对我们的工作内容都不了解,他们所关心的是管路是否歪斜焊道是否标准气体标签是否有贴等有关管路外观的问题。所以QC人员对于管路外观的检查就显得格外重要,纵是管路内部的分析再怎么确实,在客户眼里我们的品质一样是有瑕疵的,此也是我们应努力的方向之一,然大多数刚接触QC的同仁对于要检查哪些外观都显得有些不知所措,故在附件一概略列出检查的要项,盼对刚接触QC 的人员有所帮助。 (2)?气体管路的五项测试: 气体管路的五项测试为QC最重要的一部分,内容概略可分为[测漏]及[管路内的分析],前者如没做好而造成危险气体泄漏,除了对公司的声誉造成影响外,更严重的是人的生命及安全都会受到威胁,而后者则是影响到wafer的良率,也是不可忽视的。以下就五项测试一一作介绍:(一)?保压测试(Pressure) 目的:保压测试的目的除了在检查管路,接头是否有泄漏之情形外,另一目的则是在于利用高于工作压力之气体压力保持在一封闭管路内,经过一段时间后及可侦测出管路焊道上是否有沙孔(沙孔会因过高的压力而造成泄漏)以及衔接点是否可承受如此高的压力而不至泄漏,以确保所有人员的安全。

原理:将待测管路通入PN2,使其压力达到管路正常使用压力的1。1倍或是7至9公斤之间,在一端接上记录器,经过一段时间后检查是否有压降现象,若无则表示该管路已通过保压测试,反之,则检查压降之原因,并在原因排除后再做一次保压测试,直到完全没有泄漏为止 步骤: A,取得该机台之管路施工图,并一一核对下包商是否有按图施工 B,?将Panel入口端的接头松开,并利用管路本身的气体将预30秒,并检查Takeoff 及管路是否正确 C,?将Panel出入口两端用新的Gasket衔接上,并将进机台端的接头Cap起来。 D,将Panel上的Valve及Gegulator开止Open位置。 E,将所有待测管路Takeoff端的接头用测试的管子串联起来,并于一端连接记录器(Recorder)。 F,?使用PN2将管路内充满压力达7~9公斤,并检查所有压力表头是否有压力。 G,? 使用测漏液(snoop,其漏率可达1。0*10-4)对所有的接头作初步的测漏,尤其是swagelok接头。 H,?开始测漏。 Notice: 1,?步骤b中因施工者施工不当,常造成管内有铁屑存留,如未先purge 管路而直接衔接上,铁屑可能会被吹入Valve里,而造成Valve的内漏

天然气输送管道安全管理规程QSYGD0062

天然气输送管道安全管理规程 Q/SY GD0062-2001 l 范围 本标准规定了天然气长距离输送管道工艺站场、干线、阀室及其放空、排污、清管等过程中的安全管理要求。 本标准适用于大然气输送管道的安全管理。 2 引用标准 2.1 SY 5225一1994 石油天然气钻井、开发、储运防灾、防爆安全管理规定 2.2 SYJ 43-89 油气田地面管线和设备涂色规定 2.3 SY 7514-88 天然气 2.4 质技监局锅发[1999]154号压力容器安全技术监察规程 3 输气站安全菅理要求 3.1 一般要求 3.1.1 站场入口处应有醒目的进站安全规定,生产区与非生产区之间应设置明显的分界标志。 3.1.2 外来人员因工作需进入工艺场区,必须经站领导批准,留下火种,登记入站。 3.1.3 非生产所需的机动车辆不准进入工艺站场,生产作业车辆进入站内必须配戴防火帽,按规定的路线、指定的地点行驶和停放,变在规定时间内离开。 3.1.4 按《石油天然气钻井、开发储运防火防爆安全管理规定》标准配备消防器材和设施,并按国家有关部门最新的要求进行灭火器材品类的淘汰和更换,消防器材和消防设施必须保证完好,消防道路必须保持畅通,禁止占用消防通道或在道路上堆放物品。 3.1.5 生产区应平整、整洁,无易燃物堆积。 3.2 工艺站场 3.2.l 工艺站场的各种设备应实行挂牌管理。管网设备及其附属设施应处于壳好状态,无跑、冒、滴、漏现象。管道及设备的着色应符合有关标准规定,管道表面应有气体流向标志。 3.2.2 工艺站场安装一定数量的固定式可燃气体报警器,且一年至少检验一次. 3.2.3 站内安装的安全阀、压力表、温度计等仪器仪装应符合设计和生产要求,并按相应的规定年限进行校验. 3.2.4 工艺站场安装的各种设备、仪器仪表,生产作业所使用的工器具必须符合防火防爆要求. 3.2.5 工艺站场的工艺管网、设备、自动控制仪表及控制盘(柜〕须安装防感应雷避雷器和防静电接地设施,工艺站区及建筑物应安装防直击雷避雷设施,接地电阻位应小于10Ω。管道、设备等的法兰间应设跨接铜线。 3.2.6 工艺场区严禁拉设临时电气线路,严禁擅自拆接各种装置仪表,严禁擅自外接气源。 3.2.7 未经上级调度指令,站场工艺流程不得擅自改变. 3.2.8 工艺站场高于1.5m的作业点应设置操作平台,并设两通向的梯子,斜度小60度,并有扶手、拦杆。3.3 装置及其他 3.3.1 工艺站场区已报废或停用的工艺装置、设备应予拆除,不能拆除的必须与在用的工艺管线加盲板隔离。 3.3.2 站内天然气储罐、分离器和阀门等输气设备在冬季运行前应采取防冻措施。 3.3.3 工艺站场的电缆沟盖板应封严,并有排水措施。 3.3.4 天燃气的脱水、脱油操作,应严格执行操作规程,经脱水、脱油后的天然气应达到SY 7514的标准 规定。 3.3.5 工艺站场进行的改、扩建、维修以及更换孔板等作业时,应严格遵守“先卸压、后作业"的操作程序,

天然气输送管道

天然气输送管道 1调整站间距(增加输气量):在主管线上增设副管 2天然气水合物:也称水化物.它是由碳氢化合物和水组成的一种复杂的,但又不稳定的白色结晶体,一般用M*nH2O表示。M-水合物中的气体分子,n-水分子数 3干线输气管道的工况调节措施:①改变压缩机转速②压气站出口节流③压气站进口节流调节④进口导叶角度调节⑤回流调节 4输气站(功能):调压、净化、计量、清管、增压和冷却等。 5调压(目的):保证输入、输出的气体具有所需的压力和流量 6净化(目的):脱除天然气中固体杂质,以免增大输气阻力,磨损仪表设备,污染环境,毒害人体。 7计量(目的):气体销售、业务交接的一部分,也是对整个管道系统进行自动控制的依据。 8清管(目的):通过发送清管器以清除管内积液和污物或检测管道的损伤。 9增压(目的):为天然气提供一定的压能 10冷却(目的):将增压升高的气体温度降低下来,保证气体的输送要求。 11首站(功能):调压、计量、除尘、发送清管器、气体组分分析,气体水露点和烃露点检测等。 12中间站(功能):进行气体增压、冷却以及收发清管器。 13末站(功能):调压、除尘、计量、清管器接收等功能 14首中末站(功能)(流程切换、自动检测与控制安全保护、污油储

存与阴极保护等功能 15输气站位置的确定:①各区及设备平面布置应满足工艺流程要求,尽量缩短管道长度,避免倒流,减少交叉。②分区布置,把功能相同的设备尽量布置在一个装置区。③输气站与周围环境以及各设备间在遵照有关规定,保证所要求的防火间距的前提下,布置应紧凑,同时也要保证消防、起重和运输车辆通行的道路和检修场地。④对于有压缩机的输气站,厂房内的压缩机一般成单排布置,若机组数量较多时,也可采用双排布置,以避免厂房过长而使巡回检查操作不便。⑤输气站除了有生产区外。还应设置维修间和行政办公室,它们通常单独或与仪表控制室合并在同一建筑物内。并应与压缩机房保持一定的距离,以减少噪声干扰。 16工艺流程图:为了直观表示气体在站内的具体流向,便于设计、操作和管理,需要将流动过程绘制成图形。主要反映了站的功能和介质流向,要求图形清晰易懂。 17压缩机的分类(工作原理):容积型、动力型(速度型或透平型)和热力型。 18容积型压缩机(分类):往复式压缩机和旋转式压缩机 19动力型压缩机(分类):离心式压缩机和轴流式压缩机 20驱动设备:在干线输气管道上,用来驱动输气压缩机的原动机有燃气轮机、燃气发动机和少量电动机。 21输气压缩机的选型:①应考虑管道和压缩的工艺要求、经济条件等,确定压缩机组类型、型号和规格②要求压缩机操作灵活,可调节范围宽③应根据生产特点和现场条件等具体要求,考虑压缩机的使用

高纯管道测试方案

[键入文字] 高纯气体管道检测方案

目录 一:测试概要二:测试仪器 (1) (1) 三:系统管路连接方式及检测标准 (2) 四:测试项目及方法 (2) 1.耐压测试 (2) a)测试目的 (2) b)测试规则 (2) c)测试工具 (2) d)测试前准备 (2) e)注意事项 (3) f)测试方法 (3) 2.保压测试 (3) a)测试目的 (3) b)测试规则 (3) c)测试工具 (4) d)测试方法 (4) e)测试结束后注意事项 (4) 3.氦检漏测试 (5) a)测试目的 (5) b)相关名词及解释 (5) c)测试仪器 (5) d)测试前准备 (5) e)测试方法 (6)

4.水分、氧分、颗粒检测 (7) a)测试目的和测试标准 (7) b)测试仪器 (7) c)测试方法 (7) 五:测试报告 (8)

二:测试仪器 一:测试概要 设备主管路主要是通特种气体SiH4,需做测试项目有:耐压测试、保压测试、氦检测试、水分测试、氧分测试、颗粒测试。 辅助管路主要是通大宗气体,用于开启气动阀门。需做测试有:用Snoop对SWG、NPT 接点进行检漏。 氦检仪水分仪 仪器名称仪器型号产地备注 氦检仪INFICON UL1000FAB德国 水分仪HALO-H20美国 氧分仪DF-550E美国 颗粒仪PMS LPC-101-HP美国

氧分仪颗粒仪 三:系统管路连接方式及检测标准 四:测试项目及方法 1.耐压测试 a)测试目的 管道在承受高压后衔接点不会外漏,以确保所有人员的安全。另外管路中的高压可以侦测出焊道上是否有沙孔存在(沙孔会因为过高的压力造成泄露)。 b)测试规则 测试时间为0.5H,测试压力依据系统中材料的最大工作压力而定,避免因压力过大导致材料损坏。例如系统中压力表最大量程为400Kpa,则通入压力 要小于等于400Kpa。无压降即为通过。如有压降需找出漏点重新测试,直到 无压降为止。 c)测试工具 压力表 d)测试前准备 检查系统流程是否与PID图纸流程一致,核对材料型号、方向、标识是否正确。检查管线材料最大工作压力,避免因测试过程通入压力过高导致阀门损坏。

气体管道试压技术方案

施工方案会签表 名称气体灭火系统管道试压、冲洗施工方案 版本/ 单位/部门姓名(签字)职务日期修订次 1 队长/班长 工程部(施技) 质量部 安保部 质保部

目录 1、目的 2、适用范围 3、参考文件 4、系统冲洗/吹扫 5、水压强度试验 6、气密性试验 7、安全要求 8、主要设备清单 9、附件 3

1、目的 在系统安装后、调试前对管道及其附件进行清洗、试压,以清除管道内污物、杂质,检查管道强度和密封性,使系统达到规定的清洁度要求和强度试验要求,为系统调试创造条件。 3、参考文件 工程设计图纸 《气体灭火设计规范》 GB50370-2005 《气体灭火系统施工及验收规范》 GB50263-2007 4、系统冲洗/吹扫 4.1、先决条件 1)气体灭火系统管道及其支架安装完毕,经符合性检查合格。 4

2)参加冲洗的焊口焊接完成以及螺纹连接口安装完成,检查合格。 3)冲洗用的设备、材料准备齐全,检查合格,可以投入使用。 4)不参加冲洗的物项已经拆除并安装了临时装置。 5)冲洗方案已经得到批准并进行了技术交底。 4.2、冲洗、吹扫说明 管道系统的吹扫采用无油干燥的压缩空气,详细进气口见冲洗流程图附图。冲洗的方法是按照冲洗流程图上的要求连接进气管、临时堵头、临时连接管,吹扫时,管道末端的气流速不应小于20m/s。临时装置安装结束,检查合格,打开阀门,给系统充气,将系统冲洗干净,冲洗结果满足第4.3条要求即可。由于汽机房固定式气体灭火系统一组、二组、三组和6KV电缆隧道固定式气体灭火系统是四个独立的系统,在冲洗时,这四个系统分别进行冲洗。 4.3、检查方法和验收标准 采用白布检查,直至无铁锈、尘土、水渍及其他异物出现。 4.4、详细说明 根据气体系统冲洗流程图连接临时管道,安装临时阀门。管线上所有堵头处于封闭状态。 1)、汽机房一组气体灭火系统吹扫详细说明 依次打开堵头1、堵头2、堵头3、堵头10、堵头11、堵头12,关闭堵头4、堵头5、堵头6、堵头7、堵头8、堵头9,吹扫管线QJF01-CX001;直至出气口无铁锈、尘土、水渍及其他异物出现为止。 依次打开堵头4、堵头5、堵头6、堵头7、堵头8、堵头9,关闭堵头1、堵头2、堵头3、堵头10、堵头11、堵头12,吹扫QJF01-CX002管线,直至出气口无铁锈、尘土、水渍及其他异物出现为止。 依次打开堵头13、堵头14、堵头15、堵头22、堵头23、堵头24,关闭堵头16、堵头17、堵头18、堵头19、堵头20、堵头 5

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