线痕和TTV发生原理及控制

线痕和TTV:
线痕和TTV是在硅片加工当中遇到的比较头疼的事，时不时就会出现一刀，防不胜防。TTV是在入刀的时候出现，而线痕是在收线弓的时候容易出现。钢线和砂浆组合就变成线锯。在高速运转的状态下，砂浆黏附在钢线上，起到锯齿的作用，快速切入。当砂浆的黏附力过差，就不易被带入切割面内部，从而出现无齿，降低切割能力。TTV产生一般是一个点，比其他地方厚度差的多。1.可能性最大的是线网与单晶成一个角度，也就是单晶没有粘平，最容易出现TTV，2.还有就是导轮的跳动大，导致线网跳动大，入刀不稳导致。（工作台进给速度低，张力小也可影响TTV值变差尤其是单向切割时TTV值较双向切割TTV值大一些）线痕则是因为在切入玻璃的时候，正在拉线弓。这个时候钢线在两种介质中切割，由于硬度和结构的不同（以金刚石硬度10为准，玻璃硬度为6，单晶硅硬度略逊于金刚石），导轮跳动过大，哪怕一瞬间，产生侧移，就会导致线痕。玻璃因为是非晶体，在600度左右就会变软。钢线切割到玻璃的时候在玻璃表面会产生大量的热，软化，黏附钢线，砂浆就不易被带入，降低了切割能力，这时就容易产生线痕 。
为了达到线痕减少的目的，从切割工艺上第一可以在钢线张力允许的范围内，尽可能的增加张力值，在切割过程中近似为刚性切割减少切割时钢线的摆动量，对张力系统要做到实际张力值与测量张力值误差在0.5N内，切割时观察锯弓小于5mm。第二砂浆的粘度可控制在1.64-1.70之间，参与工作地砂子颗粒均匀D50值要求厂家提供要集中，在砂浆过滤时用400-500目的滤网多次过滤，防止有在搅拌中砂子的团结。第三用专用粘棒夹具，粘接过程中施加可以控制的压力，使胶层控制在0.1--0.15um减少因切割到底部对带砂量的影响。 第四，控制主辊的径向跳动值小于5um，（主辊的整体对于NTC442D硬度不能过低在注入聚氨酯材质时掌握从表层到底层从左至右均匀硬化，刻槽的精度要高）。以上是一些工作中的经验之谈，如有不当可以互相交流学习。