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刘定国电子,离子加工

刘定国电子,离子加工
刘定国电子,离子加工

电子束加工、离子束加工和激光束加工的区别

一、原理不同:①电子束加工:在真空中从灼热的灯丝阴极发射出的电子,在高电压(30~200千伏)作用下被加速到很高的速度,通过电磁透镜会聚成一束高功率密度的电子束。当冲击到工件时,电子束的动能立即转变成为热能,产生出极高的温度,。②离子束加工:当离子(正离子)束打击到材料表面上,会产生所谓撞击效应、溅射效应和注入效应,从而达到不同的加工目的。③激光加工:经过透镜聚焦后,在焦点上达到很高的能量密度,光能转化为热能,靠光热效应来加工的

二、应用不同:①电子束加工:1)高速打孔 2)加工型孔及特殊表面4)焊接 5)热处理 6)电子束光刻②离子束加工:1)刻蚀加工2)镀膜加工3)离子注入加工③激光加工:1)激光切割2)激光打孔3)激光打标4)激光焊接5)激光热处理 6)激光雕刻

三、装置不同:与电子束和离子束加工装置比起来,激光束加工装置比较简单。

四、加工特点:

①电子束:

(1).束径小、能量密度高;

(2).非接触加工,加工过程中工具与加工工件之间不存在明显的机械切削力,不产生宏观应力和变形;

(3).被加工对象范围广;

(4).电子束能量高,加工速度快、效率高;

(5).电子束加工需要一套专用设备和真空系统,价格昂贵。

②离子束:

(1).加工精度和表面质量高;

(2).加工材料广泛;

(3).加工方法丰富;

(4).性能好,易于实现自动化;

(5).应用范围广泛,可根据加工要求选择。

③激光束:

(1).加工精度高;

(2).加工材料范围广;

(3).加工性能好;

(4).加工速度快、效率高;

(5).价格昂贵

五、加工方法:

①电子束

(1).电子束扫描曝光;

(2).电子束投影曝光;

(3).电子束表面改性。

②离子束

(1).离子束溅射去除加工;

(2).离子束溅射镀膜加工;

(3).离子束注入加工;

(4).离子束曝光加工。

③激光束

(1).加工精度高;

(2).加工材料范围广;

(3).加工性能好;

(4).加工速度快、效率高;

(5).价格昂贵。

电子束与离子束微细加工

通过具有一定能量的电子束、离子束与固体表面相互作用来改变固体表面物理、化学性质和几何结构的精密加工技术。加工精度可达微米、亚微米甚至纳米级。电子束、离子束微细加工是60年代以来为满足微电子器件,特别是大规模、超大规模集成电路的研制而发展起来的。比较成熟并已得到实用的有电子束曝光、离子束掺杂和离子束刻蚀;离子束曝光、离子束外延、离子束合成薄膜、离子束退火等新技术也已经开始得到应用。微电子器件的发展,是同电子束和离子束微细加工技术密切相关的。微电子器件是电子束和离子束微细加工的最重要应用领域,在其他需要制造特殊微细结构的科学领域,如物理学、材料学和生物学,这些加工技术也得到了应用。

电子束曝光用具有一定能量的电子束照射抗蚀剂,经显影后在抗蚀剂中产生图形的一种微细加工技术。对于正性抗蚀剂,在显影后经电子束照射区域的抗蚀剂被溶解掉,而未经照射区域的抗蚀剂则保留下来;对负性抗蚀剂则情况相反。这样就在抗蚀剂中形成了需要制作的图形,电子束曝光有扫描和投影两种工作方式。

扫描电子束曝光机是实现亚微米图形加工的最重要的一种设备,是研制微电子器件,特别是大规模、超大规模集成电路的一项关键技术。光学曝光采用紫外光或远紫外光光源,光波的衍射效应使曝

光的分辨率受到限制。电子束的波长极短

(当加速电压为20千伏时,波长小于0.1

埃),衍射效应可以忽略,又能聚得很细,

所以电子束曝光的分辨率比光学曝光要

高。用扫描电子束曝光机能制作最细线条

为 0.5微米的实用图形。扫描电子束曝

光机由电子计算机控制,能灵活地产生和

修改图形。根据制作的图形编制计算机控

制程序,曝光过程还能自动进行。用扫描

电子束曝光机可制作各种掩模板,也能在

基片上直接作图。对于最细线条小于2微

米的图形,电子束制版已经成了制版的主

要方式,而且制版周期短。在基片上直接

作图的效率虽然还不能达到生产实用的

要求,但作图精度高,适用于研制高性能

的特殊器件。

扫描电子束曝光机分为主机和电子

计算机两大部分,主机由电子光学镜筒和激光工件台组成。图1是电子光学镜筒的示意图。电子枪采用钨丝或六硼化镧阴极,它发射的电子束在阳极附近形成一

个最小截面。这个最小截面经2~3级磁透镜缩小成像,便得到一束聚得很细的电子束,在靶面上的束斑直径在 100埃至几个微米之间。电子束的通断由静电偏转板控制。在静电偏转板的下面有一个光阑。当偏转板不加电压时,电子束就通过光阑中心的小孔打到靶面上,偏转板加上电压后电子束就偏离光阑中心的小孔而被切断。电子束的扫描由磁偏转和静电偏转系统控制。在电子计算机的控制下,电子束能在单元扫描面积内制作任意图形。由于存在偏转像差,单元扫描面积增大时电子束的尺寸也会随之变大。因此,要保证作图的精度就必须对单元扫描面积加以限制。工件台的运动由激光干涉仪控制,有步进或连续两种运动方式,能高精度地进行图形拼接,以扩大作图范围。使电子束对基片上的对准标记进行扫描,并由半导体探测器接收来自对准标记的反射电子信号,经过信号处理,就能找到电子束相对于对准标记中心的位置,因而使电子束和基片精确对准,实现对基片的直接作图。用这种对准技术还能对电子束位置的漂移和扫描尺寸的变化等进行修正。电子计算机除了控制电子束的通断、扫描、对准和工件台的运动外,还能监控机器的工作状态和诊断机器的故障。过去在扫描电子束曝光机中采用圆形电子束,而且不同尺寸的图形都是用和最小尺寸相应的圆形束进行逐点扫描作图,作图效率很低。70年代研制成功利用可变成形束的电子束曝光机,束斑形状一般是矩形,而且尺寸大小可变。这样,不同尺寸的图形就可以用不同大小的矩形束来曝光,从而提高作图效率。用可变矩形束能制作的最细线条是0.5微米,曝光图形的最细线条为1微米,基片直径为75毫米时,其生产率为10~20片/小时。扫描电子束曝光的实际分辨率取决于电子束的直径、电子在抗蚀剂中的散射和在基片中的背散射。电子束的直径已能聚到5~10埃;人们正在设法减小电子在抗蚀剂和基片中的散射对分辨率的不利影响,以探索电子束的纳米曝光。用电子束曝光和离子束刻蚀已能制出80埃的金线条。

图2是电子束投影曝光机的示意图。阴极是一个光电发射模,它是在以石英为基底的铬掩模上用溅射方法涂敷一层光电发射材料(如碘化铯)制成的。铬掩模上的图形则是根据需要用光学曝光或扫描电子束曝光方法制成的。紫外光能透过石英而不能透过铬膜,所以当阴极受到紫外光照射时,没有受到铬膜掩蔽的碘化铯发射材料就发射电子。电子在加速电场和磁场的作用下打到基片上,使整个基片上的抗蚀剂一次同时曝光。用电子

束投影曝光机可以复制掩模和对基片进

行曝光,但是必须先用其他方法来制作

掩模图形。电子束投影曝光机的分辨率

已达到亚微米,只需几秒钟就能曝光一

片直径为100毫米的基片。

离子束刻蚀用具有一定能量的

离子束轰击带有掩模图形的固体表面,

使不受掩蔽的固体表面被刻蚀,从而将

掩模图形转移到固体表面的一种微细加

工技术。离子束刻蚀有两种。一种是利

用惰性气体离子(如氩离子)在固体表面

产生的物理溅射作用来进行刻蚀,一般即称为离子束刻蚀。这种刻蚀方向性好,刻蚀精度高,可刻蚀任何材料,包括化学活性很差的材料。但是离子刻蚀的选择性差,因为刻蚀速率主要取决于被刻蚀材料的溅射率,所以对基片材料和对掩模材料的刻蚀速率一般相差不大,而且还存在再淀积等缺点。另一种是反应离子束

刻蚀,即利用反应离子(如氯或氟离子)和固体表面材料的化学反应和物理溅射双重作用来进行刻蚀。反应离子束刻蚀是离子束刻蚀技术的进一步发展,不但消除了再淀积现象,在刻蚀的选择性和刻蚀速率方面也有很大提高。

图3是离子束刻蚀机的示意图。在离子源中,惰性气体氩(压强为1~10-2帕)被电离而形成等离子体,引出加速系统是一组具有不同电位的多孔栅极,用来抑制电子并引出离子束。在引出加速系统和靶面之间有一个热灯丝中和器,它发射电子使离子束中和,从而避免正离子轰击绝缘体表面产生电荷积累,减小正离子空间电荷的发散作用,使离子束的均匀性得到改善。靶可以倾斜和旋转。靶的倾斜是为了改变离子束轰击基片的角度,以控制刻蚀图形侧壁的倾斜角度和改变刻蚀速率。靶的旋转则可以改善刻蚀的均匀性。在离子束刻蚀机中,决定刻蚀

特性的主要参量是离子束的电流密度,

离子能量和离子束轰击基片的角度。这

些参量可以独立控制,所以离子束刻蚀

具有很大的工艺灵活性。反应离子束刻

蚀机的原理和离子束刻蚀机相似,只是

为了避免反应离子的化学腐蚀作用,离

子源的结构经过一定的改进或者采用冷

阴极离子源,在真空系统和机器材料的

选用上也采取某些防腐蚀的特殊措施。

离子束曝光用具有一定能量的离子束照射抗蚀剂,经显影后在抗蚀剂中产生图形的一种微细加工技术。离子质量比电子大,在抗蚀剂和基片中的散射小,所以离子束曝光的固有分辨率比电子束曝光高。此外,它对抗蚀剂的曝光灵敏度也比电子束曝光高1到2个数量级。采用离子束曝光,图形最小尺寸可小于0.1微米。

靶面上的离子束电流密度与离子源的亮度成正比。过去因不能获得高亮度的离子源,离子束的电流密度极低,聚焦离子束曝光的发展受到限制。70年代末在高亮度离子源方面取得突破,研究成功气态的和液态金属的场致发射离子源,其亮度可达106~108安/厘米2·球面度,各种扫描离子束曝光的实验装置也相继出现。特别是用液态金属离子源引出了硼、砷、锑等离子,因而有可能不用曝光工艺而直接对半导体基片进行选区掺杂。离子束曝光技术尚处于研究阶段,在离子源和离子束的聚焦、偏转等方面还有许多技术问题尚待解决。

国外高能束流特种加工技术发展概况

高能束流加工技术是当今制造技术发展的前沿领域,是武器装备研制中不可缺少的特种加工技术。高能束流加工技术是利用以光量子、电子、等离子体为能量载体的高能量密度束流对材料和构件进行加工。

它是一个典型的多学科交叉领域,研究内容极为丰富,涉及光学、电学、热力学、冶金学、金属物理、流体力学、材料科学、真空学、机械设计和自动控制以及计算机技术等多种学科。它的主要技术领域有激光束加工技术、电子束加工技术、离子束及等离子体加工技术以及高能束流复合加工技术等。

国外高能束流加工技术的发展概况美、日及西欧的发达国家在七八十年代就将高能束流加工技术做为先进制造技术的重要组成部分列入相应的工业发展计划,并先后成立了相应的开发研究机构。日本大阪大学、德国阿亨大学的焊接研究所、英国焊接研究所、法国焊接研究所以及乌克兰巴顿焊接研究所等均有高能束流加工研究中心。通过对上述研究中心的考察及资料研究,可看出高能束流加

工技术在未来的发展趋势。

一、电子束加工技术电子束加工技术的主要应用是电子束焊(EBW),经过30多年的发展,现已成为较成熟的技术,处于平稳发展、扩大应用阶段。目前的研究工作集中在焊缝实时跟踪、电子束加热温度场计算机模拟计算、大功率二极枪的研究(间热式阴极、高压放电保护)、电子束能量密度测试、电子束焊接专家系统等方面,在应用研究方面,主要是对大气条件下电子束焊接的设备和工艺的研究以及电子束焊接大厚件的研究。另外在电子束加工设备开发中,采用了体积更小的高压电源,并采用当代先进的计算机控制以及工业电视监控等技术,使商品化的EBW设备外形更美观,操作更方便。电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在航空发动机制造业日益受到重视。俄罗斯、乌克兰等国先后把该技术用于航空发动机叶片的热障涂层以及叶片的制造、金属材料的制备等方面。值得一提的是,乌克兰巴顿焊接所的(EB-PVD)设备已形成了实验室型、中试生产型和批生产用的系列产品;俄罗斯库兹涅佐夫设计局自1978年起开始将该技术应用于HK系列发动机叶片的生产上,并在其批生产厂安装了三台设备。现在这一技术日益得到西方的重视,例如美国P&W公司与乌克兰巴顿焊接所成立了该项技术的合资公司,以尽快在美国推广该项技术。

二。等离子加工技术近代高技术的发展,尤其是航空、航天高技术发展的需求牵引,给等离子加工技术注入了活力。等离子切割、等离子焊接、等离子喷涂以及等离子体源离子注入和离子刻蚀技术都得到迅速发展。国外对等离子体加工技术的研究和应用给予了很大重视。俄罗斯新西伯利亚科学分院对等离子射流的研究很深入,推动了等离子矩的发展,并且研制了等离子设备软件。乌克兰巴顿焊接研究所在超音速火焰喷涂、微束等离子喷涂、爆炸喷涂等方面开展了大量的研究、应用工作。90年代后,等离子束流加工技术又从航空、航天动力装置特殊功能涂层的真空喷涂,发展到制备特种整体机构件,即等离子喷涂成形技术。预计,等离子加工技术在进入21世纪后将会有新的发展。

我国高能束流加工技术现状、与国外的差距及应采取的对策60年代,为了加强对高能束流加工技术的研究,经国防科工委批准在中国航空工业总公司第625研究所建立了"高能束流加工技术国防科技重点实验室",开始了国内高能束流加工技术的研究。该实验室集激光加工技术、电子束加工技术和等离子体加工技术于一体,是我国唯一同时拥有三束加工技术的研究单位。它的建立给我们创造了一个良好的研究环境,将对我国高能束流加工技术的发展起巨大的推动作用。"高能束流加工技术重点实验室"的三个专业(激光、电子束、等离子)在过去三十多年时间里,无论是在机理研究还是在应用研究方面都开展了大量的工作,为我国高能束流加工技术发展作出了很大的贡献。其成果在我国新型航空动力装置的研制和生产应用中得到了有价值的应用。如电子束焊接用于宇航工业,激光切割、激光热处理、激光表面改性等用于汽车和冶金工业,等离子喷涂、离子刻蚀等也在很多部门得到应用。再如激光打孔技术,解决了当前高性能发动机叶片上成千上万个气膜冷却孔的加工问题,使涡轮前温度提高300~350℃,发动机推力提高20%~30%;优质电子束焊接解决了新型航空发动机压气机整体转子、燃烧室、大厚件钛合金机匣等的焊接关键技术,省去了大量机械连接,减轻结构重量10%~20%;等离子喷涂技术用在发动机的热障涂层及封严涂层中,提高了发动机的性能。我国高能束流加工技术与世界先进水平相比,差距还很大。

茶叶委托加工协议书(实用范本)

编号:_______________ 本资料为word版本,可以直接编辑和打印,感谢您的下载 茶叶委托加工协议书(实用范本) 甲方:___________________ 乙方:___________________ 日期:___________________

LOGO 委托加工协议书 ---- 合同协议 ----- CONTRACT TEMPLATE 在此输入你的公司名称

茶叶委托加工协议书 委托方:(以下简称甲方) 加工方:(以下简称乙方) 甲乙双方遵循平等、自愿的基础上,本着互惠互利的原则,经友好协商签订 此协议,共同遵守; 一、委托加工产品 1. 甲方委托乙方生产“涵德”岩茶系列产品,相关产品将按本协议规定完成。(详细产品见附件)。 2. 乙方须向甲方提供合格的营业执照、食品生产许可证、税务登记证、QS许可 证,产品检验合格证等国家许可的证照并按照国家规定使用在包装上。 二、订货方式 1. 当双方签订本协议后,双方以本协议作为基础,每次订货由甲方向乙方下订单,当双方有关人员签字盖章确认后即视为合格的订货合同。 2. 乙方须根据甲方的订单和交付计划按时按量完成产品的生产和交货。产品质量 符合国家规定的标准。 三、账款结算 1. 货款每月结算一次,货款结算时间为每月的15日。甲方以银行转账或者现金的形式将货款支付给乙方。 四、双方责任 1. 非经甲方书面同意,乙方或任何人不能使用甲方的商标、商号。 2. 乙方必须保质保量、按期完成甲方的加工任务。 五、协议期限 本协议须双方签字、盖意后生效。经双方协商同意,可以以补充协议的方式增加相应条款。协议期限为2019年4月日至年月日止。 乙方: 地址: 委托代理人: 甲方:地址: 委托代理人: 签订时间:年月日签约地点:

委托加工协议书范本

委托加工协议书范本 甲方(委托方): _______乙方(受托方): ________ 甲、乙双方在平等互利、自愿的基础上,经充分协商,就甲方委托乙方生产“XX”事宜,达成如下协议: 一、甲方责任: 1、甲方负责委托生产产品的销售。 2、甲方负责 提供委托生产产品的技术和质量文件,包括生产工艺、物料要求、中间产品质量控制、成品出厂质量标准、包装要求等。 4、甲方负责提供(除化验用试剂外)委托生产产品的所有原辅料、包材。 3、对生产的前三批,甲方应对乙方的生产全过程进行监督指导。 4、甲方定期派专人对乙方的生产过程进行监督;定期对产品进行抽查检验委托加工协议书范本委托加工协议书范本。 5、生产过程中乙方需甲方协助时,甲方有协助的义务。 6、甲方承担最终产品的批准放行责任。负责对每批产品进行稳定性留样 7、甲方按照双方协定的价格向乙方支付委托生产费用。 二、乙方责任: 1、乙方负责按照甲方提供的产品质量标淮,提供合格的产品,并负责生产过程及质量控制。 2、乙方负责产品取样及全程检验 WiseMedia 3、乙方应当按按照规定保存所有受托生产文件和记录,保存至产品有效期后一年。 6、乙方对甲方提供的技术和质量文件,负保密的义务委托加工协议书范本合同范本。 7、乙方应允许甲方对生产现场进行检查或质量审计,并予以协助。 8、未经甲方同意,乙方不得将受托产品委托第三方生产。 9、乙方应按照甲方的计划及时安排生产,按时供给甲方产品。 三、加工量、加工费用及付款方式: 1、每次加工量××××××× 2、加工费用: 产品名称规格 加工费 成品率(%) ×××× ××元/片(含税) ×× 3、根据实际产成品数量次月结算上一个月的加工费用,乙方开据正式发票。 四、风险: 在本协议规定的相应履行期限内,在甲方迟延接受或无故拒收期间发生的损失,甲方应承担责任,并赔偿乙方由此造成的损失。 五、其它: 1、规定提货结算时间自乙方通知日起不超过15天委托加工协议书范本委托加工协议书范本。乙方给甲方提供货物30天之内,甲方应结清所有加工费。 2、在合同规定的履行期限内,由于不可抗力造成的损失,双方协商解决

电子束加工的研究现状及其发展趋势

电子束加工的研究现状及其发展趋势 电子经过汇集成束。具有高能量密度。它是利用电子枪中阴极所产生的电子在阴阳极间的高压(25-300kV)加速电场作用下被加速至很高的速度(0.3-0.7倍光速),经透镜会聚作用后,形成密集的高速电子流。.电子束焊是用会聚的高速电子流轰击工件,将电子束动能直接转化为热能,实现焊接。电子束焊正因为它的高能量密度,焊接速度快,加热范围窄, 热影响区小,加热冷却速度极快等优点而受到越来越广泛的应用。由于电子束加热过程贯穿整个焊接过程的始终,一切焊接物理化学过程都是在热过程中发生和发展的。焊接温度场决定了焊接应力场和应变场,还与冶金、结晶、相变过程密不可分,使之成为影响焊接质量和生产率的主要因素。因此,有必要对电子束焊温度场进行研究,这也是进行焊接冶金分析、应力应变分析与对焊接过程进行控制的基础。 电子束焊接作为一种高能束加工方法,在生产应用中具有重要地位。电子束焊温度场决定了焊接应力场和应变场,是影响焊接质量和生产率的主要因素。介绍了电子束焊温度场模型,在分析了点热源、线热源模型的基础上,指出点热源模型仍是研宄焊接温度场的基础,同时介绍了其它几种考虑电子束小孔效应的温度场模型。讨论了计算温度场的热源模式,给出以高斯函数分布和双椭圆体能量密度分布的两种热源模式。列举了热物理参数、相变潜热、熔池流动等影响温度场的因素。认为基于解析解法的复杂性和计算机的飞速发展,数值解法将在温度场研宄中发挥更加重要的作用。电子束焊温度场模型对于焊接热过程的研究早在40年代就已经开始。Rosenthal分析了移动热源在固体中的热传导。之后,苏联的雷卡林又进行大量的工作。建立了如下的数学物理模型: (1)热源集中于一点、一线或一面; (2)材料无论在何温度下都是固体,无相变; (3材料热物性参数不随温度变化; (4焊接物体的几何尺寸是无限的。 然而这些都是系统性的论述我们应该在此基础上论述此技术在某些领域的应用,及其原理方法首先电子束焊热源模式焊接热过程的准确性在很大程度上依赖于建立合理的热输入模式。在高能束焊中用于预测温度场的最广泛的模型是点热源和线源模型,尤其是点源模型是迄今为止焊接温度场分析的基础。但是电子束焊作为一种高能束焊与普通电弧焊有明显的不同。电子束焊中束孔的形成,使得焊接加热方式发生了很大的变化。其主要的的公式原理来源: 高斯分布热源模型 高斯函数的热流分布是一种比点热源更切实际的热源分部函数,应用广泛,它将热源按高斯函数在一定范围内分布,以往建立的许多温度场模型中都采用了高斯分布这种热源分布模式,其函数为[8]:q(r) = 3Q exp (—3r2/a2)Kaa)式中,(r)为半径r处的表面热流;为热流分布函数;Q为能量功率;r为距热源中心的距离。电子束功率并非总是满足高斯模式,有些研究者在高斯模式基础上对其加以改进,增加电子束斑点加热中心区的比热流,相应改变加热边缘的比热流,同时保持热源输入的总能量与高斯模式相同。 随着世界制造业的快速发展,焊接技术应用越来越广泛,焊接技术水平也越来越高在飞机制造领域,作为下一代飞机制造的主要连接方法,先进焊接技术替代铆接技术已经成为了趋势电子束焊接主要用于变速箱齿轮、行星齿轮框架、

离子束加工原理特点及其应用研究

本科课程论文 题目离子束加工原理特点及其应用研 究 学院 专业机械设计制造及其自动化 年级2012 学号 姓名 指导教师 成绩

2014年12 月10 日 目录 1 前言 (1) 2 离子束加工的原理 (2) 3 离子束加工的优缺点 (3) 3.1离子束加工的优点 (3) 3.1.1加工精度高 (3) 3.1.2污染少、无氧化 (3) 3.1.3对材料影响小 (3) 3.2离子束加工的缺点 (3) 4 离子束加工的分类 (3) 4.1离子蚀刻 (3) 4.2离子溅射沉积 (3) 4.3离子镀 (4) 4.4离子注入 (4) 5离子束加工的主要应用 (4) 5.1刻蚀加工的定义及具体应用领域 (4) 5.1.1刻蚀加工的定义 (4) 5.1.2刻蚀加工的应用领域 (4) 5.2离子镀膜加工的定义及具体应用 (4) 5.2.1离子镀膜加工的定义 (4) 5.2.2离子镀膜加工的具体应用 (5) 5.3离子注入加工的定义及具体应用 (5) 6离子束加工应用现状 (5)

7结语 (5) 参考文献 (6)

离子束加工原理特点及其应用研究 摘要:本文分析离子束加工的原理特点,阐述了离子束加工作为加工精度最高的特种加工方法在微电子学领域中特别是纳米加工的重要性。离子束加工按照其所利用的物理效应和达到的目的不同,可以分为四类,即离子蚀刻、离子溅射沉积和离子镀,离子注入。离子束加工作为最近几年才发展起来的特种加工方法,极大的拓宽了人类对微细材料领域的探索;但是离子束加工的潜力还有待继续挖掘;目前因为加工设备费用贵,成本搞,加工效率低,一些技术还处于研发阶段等问题,离子束加工还未能普及。但我们相信未来离子束加工必将被广泛应用,为人类发展带来更多的贡献。 关键词:离子束加工原理分类现状 1 前言 特种加工是现代先进制造工程技术中较为重要和实用的新技术之一,而且获得了较为广泛的应用,它是我国从制造大国过渡到制造强国的重要技术手段之一。经过最近十几年的迅猛发展,各种特种加工方法在生产中的应用日益广泛,无论是在国内还是国外电加工机床年产量的年平均增长率均打打高于金属切削机床的增长率。作为近年来获得较大发展的新兴特种加工方式,离子加工极高的加工精度和加工质量在精密微细加工方面,尤其是在微电子学领域中得到了较多的应用,比如亚微米加工和纳米

委托加工协议书范本

委托加工协议书范本一甲方委托方_______ 乙方受托方________ 甲、乙双方在平等互利、自愿的基础上,经充分协商,就甲方委托乙方生产事宜,达成如下协议一、甲方责任1、甲方负责委托生产产品的销售。2、甲方负责提供委托生产产品的技术和质量文件,包括生产工艺、物料要求、中间产品质量控制、成品出厂质量标准、包装要求等。4、甲方负责提供除化验用试剂外委托生产产品的所有原辅料、包材。3、对生产的前三批,甲方应对乙方的生产全过程进行监督指导。4、甲方定期派专人对乙方的生产过程进行监督;定期对产品进行抽查检验。 5、生产过程中乙方需甲方协助时,甲方有协助的义务。 6、甲方承担最终产品的批准放行责任。负责对每批产品进行稳定性留样。 7、甲方按照双方协定的价格向乙方支付委托生产费用。 二、乙方责任1、乙方负责按照甲方提供的产品质量标淮,提供合格的产品,并负责生产过程及质量控制。2、乙方负责产品取样及全程检验。3、乙方应当按按照规定保存所有受托生产文件和记录,保存至产品有效期后一年。6、乙方对甲方提供的技术和质量文件,负保密的义务。7、乙方应允许甲方对生产现场进行检查或质量审计,并予以协助。8、未经甲方同意,乙方不得将受托产品委托第三方生产。9、乙方应按照甲方的计划及时安排生产,按时供给甲方产品。三、加工量、加工费用及付款方式1、每次加工量××××××× 2、加工费用产品名称规格加工费成品率×××× ××元

片含税×× 3、根据实际产成品数量次月结算上一个月的加工费用,乙方开据正式发票。四、风险在本协议规定的相应履行期限内,在甲方迟延接受或无故拒收期间发生的损失,甲方应承担责任,并赔偿乙方由此造成的损失。五、其它1、规定提货结算时间自乙方通知日起不超过15天。乙方给甲方提供货物30天之内,甲方应结清所有加工费。2、在合同规定的履行期限内,由于不可抗力造成的损失,双方协商解决。3、加工过程中发生纠纷时,甲乙双方协商解决,协商不成时任何一方可向合同履行地人民法院起诉。4、本合同签字之日生效,合同履行完毕后即失效。5、本合同正本一式肆份,甲乙双方各执两份。 六、适用法律中华人民共和国法律为本合同的适用法律。甲方乙方法定代表人或委托人法定代表人或委托人__年__月__日委托加工协议书范本二合同编号签订地点签订日期定作方以下简称甲方____________________________承揽方以下简称乙方根据《中华人民共和国合同法》及相关法律法规的规定,甲乙双方本着诚信、互利、公平、公开的原则,经友好协商达成如下合同条款,共同遵守执行。第一条加工成品名称款号件数颜色码数总件数单价备注原材料由甲方提供。乙方对甲方提供的原材料要及时检验,不符合要求的,应立即通知甲方调换或补齐。乙方对甲方提供的原材料不得擅自更换,挪做他用。第三条服装质量加工成品质量按甲方提供的样衣或乙方按照甲方的生产工艺单制作的产前样执行,产前样仍需要修改的,以

电子束加工技术及其应用

广东白云学院 先进制造技术论文 题目:电子束加工技术及其应用 专业:机械设计制造及其自动化(数控方向) 班级: 07数控本科 姓名:林华英 学号: 0701012229

摘要 (1) 引言 (1) 一.电子束技术在国内外的发展现状 (1) 多轴控制的基本概念: (2) 二.多轴控制特点 (2) 1、 5轴控制加工中心的加工特点: (2) 2、 6轴控制加工中心的加工特点: (3) 3、 6轴控制特点如下: (3) 三.发展趋向。 (3) 1、用5轴控制加工的NURBS插补 (3) 2、利用二次曲面头立铣刀作5轴控制加工 (4) 四.结论 (4) 五.参考文献 (4)

摘要 电子束加工技术是近年发展起来的一种先进制造技术,其在材料表面改性、机械加工等方面的应用已受到广泛关注。主要介绍电子束在表面工程、打孔和焊接等方面的应用。 关键词:电子束;加工原理;工业应用 引言 近年来,许多国家对电子束加工原理及方法进行了大量的实验研究,并在工业上得到一定的实际应用,使得该技术得到了飞速发展。本文主要针对电子束加工技术的研究现状和应用进行理论分析和探讨。 发展、 一.电子束技术在国内外的发展现状 1948 年 ,德国物理学家Steigerwald K. H 发明了第一台电子束加工设备 (主要用于焊接) 。1949年 ,德国首次利用电子束在厚度为0. 5mm 的不锈钢板上加工出直径为<0. 2mm 的小孔。从而开辟了电子束在材料加工领域的新天地。1957年法国原子能委员会萨克莱核子研究中心研制成功世界上第一台用于生产的电子束焊接机,其优良的焊接质量引起人们广泛重视。 20世纪60年代初期,人们已经成功地将电子束打孔、铣切、焊接、镀膜和熔炼等工艺技术应用到各工业部门中,促进了尖端技术的发展。微电子学的发展对集成电路元件的集成度要求不断提高,因而对光刻工艺提出了更高的要求,扫描电子束曝光机研制成功,并在20世纪70年代进入市场 ,使得制造掩膜或器件所能达到的最小线宽已小于 0. 5 μm。 近年来,国外对电子束焊接及其他电子束加工技术的研究主要在于以下几个方面:1)完善超高能密度电热源装置;2)掌握电子束品质及与材料的交换行为特性,改进加工工艺技术;3)通过计算机CNC控制提高设备柔性以扩大应用领域。 我国自20世纪60年代初期开始研究电子束加工工艺,经过多年的实践,在该领域也取得了一定成果。大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,采用电子束对材料表面进行照射,研究其对材料表面的改性。郝胜志等以纯铝材为基础研究材料,深入研究不同参数的脉冲电子束轰击处理对试样显微结构和力学性能的影响规律,进而获得强流脉冲电子束表面改性的一些微观物理机制,通过载能电子与固体表面的相互作用过程,建立较为合理的实际加工中的物理模型,利用二维模型数值计算方法模拟计算试样

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委托加工协议书范本标准模板 只要是由委托关系的。都需要签订合同来保障双方的利益不受损害,委托加工,是按照委托方的要求加工货物并收取加工费的经营活动。以下是我为大家精心准备的委托加工协议书相关范本。内容仅供参考,欢迎阅读! 委托加工协议书范本篇一 委托方:(以下简称甲方) 被委托方:(以下简称乙方) 甲方委托乙方加工产品,为维护甲乙双方的利益,经双方协商,就有关代加工事宜达成如下协议,以供双方共同遵守。 第一条代加工内容 甲方委托乙方为其加工系列产品,加工数量、款式(或开发信息)、标准、质量要求由甲方提供,价格由双方协商确定,另在订单上详述。 第二条甲方责任: 1、按计划分季度委托乙方为其加工甲方产品。 2、向乙方提供甲方生产授权委托手续、商标注册证、授权书以及对商业秘密的专有合法证明等相关法律文件。 3、向乙方提供加工品款式(或开发信息)、数量、技术要求、交货时间等。 4、负责向乙方提供甲方商标各种组合、内外包装及其它标有商标的包装及印刷品等与乙方加工品有关的内容。 5、甲方有权对乙方的生产标准、产品质量进行检查监督,并提出意见和建议,确认的样品验收货品。 6、甲方按照甲乙双方确定的样板和标准进行验收货品。 7、甲乙双方严守商业秘密。 本合同所签订的上述加工品的商标及图案文字为甲方所有,乙方不得为他人生产或提供。 甲方不得交乙方设计生产的样版提供给其他生产商。 第三条乙方责任 1、严格按照甲方的委托内容及要求从事代加工活动。

2、甲方确定的款式、数量、质量及生产期限等标准打版进行生产,生产标准符合qb1002-97质量要求,不得以任何形式和理由超过订单数量和品种。 3、负责原材料的采购、验收、供应,并按照甲方确定的原材料质量要求进行。 4、严格管理甲方提供的商标、包装及印刷品,因乙方管理不善,造成甲方商标、饰品及包装等丢失,应承担相应法律责任。 5、不得将甲方提供的款式用于其他商标生产。 6、严守甲方的商业秘密。 7、对生产的产品实行三包,三包标准按国家有关规定执行。 第四条付款方式及交货地点: 甲方确定委托加工款式、数量、标准后,与乙方签订委托加工通知单,并于签订之日起一星期内乙方支付总货款的30%作为预付款,乙方提供的货品经甲方验收进仓后财务核实即付款,交货地点为甲方库房。 第五条验收标准: 双方在下订单之前确定生产品种样品,甲、乙双方以此及在生产过程中,质量主管之监督要求(以书面内容要求为准)作为验收标准。甲方在乙方送货到指定地点之日起3日内必须对产品进行验收。 第六条违约责任: 1、因乙方未按甲方要求的时间交货,乙方应每天承担此批货总价1%的违约金;如甲方没按合同要求提货,乙方有权扣除甲方订金。 2、如乙方擅自生产或销售甲方产品及包装、印刷品等,一经查证,无论数量多少乙方应付甲方人民币50万元违约金,并追究乙方法律责任。 3、凡违反本合同之其他各项条款的,责任方应承担此批货价值30%的违约金。 4、甲、乙双方如有一方违约,除追究违约责任外,另一方有权终止本合同。因甲方提供的商标及授权手续不完备或虚假产生的法律责任由甲方承担,甲方赔偿因此给乙方带来和经济损失。 第七条合同有效期限 本委托加工合同期限为个月,自年月日至年月日止,生产期限以甲方

委托加工协议书范本(标准版)

编号:FS-HT-05018 委托加工协议书(标准版) Entrusted processing agreement template 甲方:________________________ 乙方:________________________ 签订日期:_____年____月____日 编订:FoonShion设计

委托加工协议书(标准版) 委托加工协议书范本(一) 甲方(委托方):_______乙方(受托方):_____甲、乙双方在平等互利、自愿的基础上,经充分协商,就甲方委托乙方生产“XX”事宜,达成如下协议: 一、甲方责任: 1、甲方负责委托生产产品的销售。 2、甲方负责 提供委托生产产品的技术和质量文件,包括生产工艺、物料要求、中间产品质量控制、成品出厂质量标准、包装要求等。 4、甲方负责提供(除化验用试剂外)委托生产产品的所有原辅料、包材。 3、对生产的前三批,甲方应对乙方的生产全过程

进行监督指导。 4、甲方定期派专人对乙方的生产过程进行监督;定期对产品进行抽查检验。 5、生产过程中乙方需甲方协助时,甲方有协助的义务。 6、甲方承担最终产品的批准放行责任。负责对每批产品进行稳定性留样。 7、甲方按照双方协定的价格向乙方支付委托生产费用。 二、乙方责任: 1、乙方负责按照甲方提供的产品质量标淮,提供合格的产品,并负责生产过程及质量控制。 2、乙方负责产品取样及全程检验。 3、乙方应当按按照规定保存所有受托生产文件和记录,保存至产品有效期后一年。 6、乙方对甲方提供的技术和质量文件,负保密的义务。 7、乙方应允许甲方对生产现场进行检查或质量审

电子束加工技术

一、简介 电子束加工技术原理[1]:电子束加工利用电子束的热效应可以对材料进行表面热处理、焊接、刻蚀、钻孔、熔炼,或直接使材料升华,是一种完全不同于传统机械加工的新工艺。电子束曝光则是一种利用电子束辐射效应的加工方法。 作为加热工具,电子束的特点是功率高和功率密度大,能在瞬间把能量传给工件,电子束的参数和位置可以精确和迅速地调节,能用计算机控制并在无污染的真空中进行加工。根据电子束功率密度和电子束与材料作用时间的不同,可以完成各种不同的加工。 电子束加工包括焊接、打孔、热处理、表面加工、熔炼、镀膜、物理气相沉积、雕刻以及电子束曝光等,其中电子束焊接是发展最快、应用最广泛的一种电子束加工技术。电子束加工的特点是功率密度大,能在瞬间将能量传给工件,而且电子束的能量和位置可以用电磁场精确和迅速地调节,实现计算机控制。因此,电子束加工技术广泛应用于制造加工的许多领域,如航空、航天、电子、汽车、核工业等,是一种重要的加工方法。 近年来,随着电磁场控制技术的发展,并结合电子束在磁场中易控的特点,开发了一种新型的电子束加工方法——快速扫描电子束加工技术。这种通过电磁场的控制实现电子束的快速偏转扫描的方法越来越显出其技术的优势,在航空航天制造领域中获得了广泛的应用。 二、电子束加工技术的原理 电子束加工的基本原理是:在真空中从灼热的灯丝阴极发射出的电子,在高电压(30~200千伏)作用下被加速到很高的速度,通过电磁透镜会聚成一束高功率密度(105~109w/cm2)的电子束。当冲击到工件时,电子束的动能立即转变成为热能,产生出极高的温度,足以使任何材料瞬时熔化、气化,从而可进行焊接、穿孔、刻槽和切割等加工。由于电子束和气体分子碰撞时会产生能量损失和散射,因此,加工一般在真空中进行。 电子束加工机由产生电子束的电子枪、控制电子束的聚束线圈、使电子束扫描的偏转线圈、电源系统和放置工件的真空室,以及观察装置等部分组成。先进的电子束加工机采用计算机数控装置,对加工条件和加工操作进行控制,以实现高精度的自动化加工。电子束加工机的功率根据用途不同而有所不同,一般为几千瓦至几十千瓦。 按照电子束加工所产生的效应,可以将其分为两大类:电子束热效应和电子束化学效应[2]。电子束热效应是将电子束的动能在材料表面转化成热能,以实

OEM委托加工合同协议书范本 完整版

委托方: 地址: 邮码: 电话: 法定代表人: 职务: 定做方: 地址: 邮码: 电话: 法定代表人: 职务: 定做方委托委托方加工,经双方充分协商,特订立本合同,以便共同遵守。 第一条加工成品 编号 名称 规格 单位 数量 备注 第二条加工成品质量要求

第三条原材料的提供办法及规格、数量、质量 1.(用委托方原料完成工作的),委托方必须依照合同规定选用原材料,并接受定做方检验。委托方隐瞒原材料的缺陷或者用不符合合同规定的原材料而影响定做质量时,定做方有权要求重作、修理、减少价款或退货。(质量保证的问题) 2.(用定做方原材料完成工作的,应当明确规定原材料的消耗定额)。定做方应按合同规定的时间、数量、质量、规格提供原材料,委托方对定做方提供的原材料要按合同规定及时检验,不符合要求的,应立即通知定做方调换或补齐。委托方对定做方提供的原材料不得擅自更换,对修理的物品不得偷换零部件。 3.交(提)原材料等物品日期计算,参照第七条规定执行。 第四条技术资料、图纸提供办法 1.委托方在依照定做方的要求进行工作期间,发现提供的图纸或技术要求不合理,应当及时通知定做方;定做方应当在规定的时间内回复,提出修改意见。委托方在规定的时间内未得到答复,有权停止工作,并及时通知定做方,因此造成的损失,由定做方赔偿。 2.委托方对于委托的工作,如果定做方要求保密,应当严格遵守,未经定做方许可不得留存技术资料的复制品。 3.定做方应当按规定日期提供技术资料、图纸等。 第五条价款或酬金 价款或酬金,按照国家或主管部门的规定执行,没有规定的由当事人双方商定。 第六条验收标准和方法 1.按照合同规定的质量要求、图纸和样品作为验收标准。 2.定做方应当按合同规定的期限验收委托方所完成的工作。验收前委托方应当向定做方提交必需的技术资料和有关质量证明。对短期检验难以发现质量缺陷的定做物或项目,应当由双方协商,在合同中规定保证期限。保证期限内发生问题,除定做方使用、保管不当等原因而造成质量问题的以外,由委托方负责修复或退换。

电子束加工的特点及其应用

电子束加工的特点及其应用 摘要:电子束加工简称EBM,是以高能电子束流作为热源,对工件或材料实施特殊的加工,是一种完全不同于传统机械加工的新工艺。它们在精密微细加工方面,尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。随着科学技术的发展,电子束加工技术必将有一片广阔的应用前景。 关键词:电子束原理;应用;发展前景 引言 电子束加工(EBM)是近几年得到较快发展的新兴特种加工技术。电子束加工主要用于打孔、割缝、焊接和大规模集成电路德光刻化学技工等,在精密微细加工方面,尤其是在微电子领域中得到了广泛地应用,在近几年兴起的亚微米加工和纳米加工中,电子束加工技术也发挥着重要作用。 1.电子束加工的原理和分类 1.1加工原理 电子束加工.原理是在真空条件下,利用聚焦后能量密度极高的电子束,以极高的速度冲击到工件表面极小的面积上,在很短的时间(几分之一微秒)内,其能量的大部分转变为热能,使被冲击部分的工件材料达到几千摄氏度以上的高温,从而引起材料的局部熔化和气化,被真空系统抽走的加工技术。 电子束加工机由产生电子束的电子枪、控制电子束的聚束线圈、使电子束扫描的偏转线圈、电源系统和放置工件的真空室,以及观察装置等部分组成。先进的电子束加工机采用计算机数控装置,对加工条件和加工操作进行控制,以实现高精度的自动化加工。. 1.2 电子束加工分类 按照电子束加工所产生的效应,可以将其分为两大类:电子束热加工和电子束非热加工。

1.2.1电子束热加工电子束热加工是将电子束的动能在材料表面转化成热能,以实现对材料的加工,其中包括: 1)电子束精微加工。可完成打孔、切缝和刻槽等工艺, 这种设备一般都采用微机控制,并且常为一机多用; 2)电子束焊接。与其他电子束加工设备不同之处在于,除高真空电子束焊机之外,还有低真空、非真空和局部真空等类型; 3)电子束镀膜。可蒸镀金属膜和介质膜; 4)电子束熔炼。包括难熔金属的精炼,合金材料的制造以及超纯单晶体的拉制等; 5)电子束热处理。包括金属材料的局部热处理以及对离子注入后半导体材料的退火等。 上述各种电子束加工总称为高能量密度电子束加工。 1.2.2电子束化学加工电子束化学加工是利用功率密度比较低的电子束和 电子胶.相互作用产生的辐射化学效应对材料进行加工。 该加工方法的应用的领域主要 1)扫描电子束曝光,其特点是图形变换的灵活性好,分辨率高; 2)投影电子束曝光,其特点是效率高,但分辨率较差; 3)软X射线曝光,软X射线由电子束产生,是一种间接利用电子束的投影曝光法。. 2. 电子束加工的主要应用 2.1 电子束焊接 电子束焊接是利用电子束作为热源的一种焊接工艺。电子束焊接的焊缝位置精确可控、焊接质量高、速度快,在核、航空、火箭、电子、汽车等工业中可用作精密焊接。在重工业中,电子束焊机的功率已达100千瓦,可平焊厚度为200毫米的不锈钢板。对大工件焊接时须采用大体积真空室,或在焊接处形成可移动的局部真空。 2.2 电子束蚀刻和电子束钻孔 用聚焦方法得到很细的、功率密度为 106~108W/cm2的电子束周期地轰击材

离子束加工原理

离子束加工原理 离子束加工(ion beam machining,IBM)是在真空条件下利用离子源(离子枪)产生的离子经加速聚焦形成高能的离子束流投射到工件表面,使材料变形、破坏、分离以达到加工目的。 因为离子带正电荷且质量是电子的千万倍,且加速到较高速度时,具有比电子束大得多的撞击动能,因此,离子束撞击工件将引起变形、分离、破坏等机械作用,而不像电子束是通过热效应进行加工。 2.离子束加工特点 加工精度高。因离子束流密度和能量可得到精确控制。 在较高真空度下进行加工,环境污染少。特别适合加工高纯度的半导体材料及易氧化的金属材料。 加工应力小,变形极微小,加工表面质量高,适合于各种材料和低刚度零件的加工。 3.离子束加工的应用范围 离子束加工方式包括离子蚀刻、离子镀膜及离子溅射沉积和离子注入等。 1)离子刻蚀 3.离子束加工的应用范围 离子束加工方式包括离子蚀刻、离子镀膜及离子溅射沉积和离子注入等。 1)离子刻蚀 当所带能量为0.1~5keV、直径为十分之几纳米的的氩离子轰击工件表面时,此高能离子所传递的能量超过工件表面原子或分子间键合力时,材料表面的原子或分子被逐个溅射出来,以达到加工目的 这种加工本质上属于一种原子尺度的切削加工,通常又称为离子铣削。 离子束刻蚀可用于加工空气轴承的沟槽、打孔、加工极薄材料及超高精度非球面透镜,还可用于刻蚀集成电路等高精度图形。 2)离子溅射沉积 采用能量为0.1~5keV的氩离子轰击某种材料制成的靶材,将靶材原子击出并令其沉积到工件表面上并形成一层薄膜。 实际上此法为一种镀膜工艺。 3)离子镀膜 离子镀膜一方面是把靶材射出的原子向工件表面沉积,另一方面还有高速中性粒子打击工件表面以增强镀层与基材之间的结合力(可达10~20MPa), 此法适应性强、膜层均匀致密、韧性好、沉积速度快,目前已获得广泛应用。4)离子注入 用5~500keV能量的离子束,直接轰击工件表面,由于离子能量相当大,可使离子钻进被加工工件材料表面层,改变其表面层的化学成分,从而改变工件表面层的机械物理性能。 此法不受温度及注入何种元素及粒量限制,可根据不同需求注入不同离子(如

电子束加工

论文题目:飞行器先进制造技术之电子束加工技术 院系:机电工程学院 专业:飞行器制造工程 班级: 08010342班_ 姓名:郭艳兵 学号:21

电子束加工技术 摘要 电子束的发现至今已有100多年,早在1879年Sir William Crookes发现在阴极射线管中的铂阳极因被阴极射线轰击而熔化的现象。接着到上世纪初的1907年,Marcello Von Pirani进一步发现了电子束作为高能量密度热然的可能性,第一次用电子束做了熔化金属的实验,成功地熔炼了钽。直到近代1960年夏,由日本电子公司为日本科学技术厅所属的金属材料所研制了第一台电子束焊机。电子束加工(Electron Beam Machining,简称EBM)。它在精密微细方面,尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。电子束加工主要用于打孔、焊接等的精加工和电子束光刻化学加工。 Summary The discovery of the electron beam has been 100 years, as early as 1879 Sir William Crookes found that the platinum cathode ray tube anode due to bombardment by cathode rays melting phenomenon. Then the last century in 1907, Marcello Von Pirani further found that the electron beam of high energy density as the possibility of natural heat, the first time made a molten metal electron beam experiments, successfully melting of tantalum. Until modern times the summer of 1960, the Japanese electronics company in Japan Science and Technology Agency belongs to the metal material developed the first electron beam welder.Electron beam processing (Electron Beam Machining, referred to as EBM). It is fine precision, particularly in the field of microelectronics to get more applications. Electron beam processing is mainly used for drilling, welding and electron beam lithography of finishing chemical processing. 关键词电子束;原理;特点;组成;应用

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最新 委托加工协议书范本下载 。 委托方:(以下简称甲方) 被委托方:(以下简称乙方) 甲方委托乙方加工 ___________________ 产品,为维护甲乙双方的利益,经双方协商,就有 关代加工事宜达成如下协议,以供双方共同遵守。 第一条代加工内容 甲方委托乙方为其加工系列产品,加工数量、款式(或开发信息)、标准、质量要求由甲方提供,价格由双方协商确定,另在订单上详述。 第二条甲方责任 1?按计划分季度委托乙方为其加工甲方 ________ 产品。 2?向乙方提供甲方生产授权委托手续、商标注册证、授权书以及对商业秘密的专有合法 证明等相关法律文件 3?向乙方提供加工品款式(或开发信息)、数量、技术要求、交货时间等。 4?负责向乙方提供甲方商标各种组合、内外包装及其按计划分季度委托乙方为其加工甲 方____________ 产品。 2?向乙方提供甲方生产授权委托手续、商标注册证、授权书以及对商业秘密的专有合法 证明等相关法律文件 3?向乙方提供加工品款式(或开发信息)、数量、技术要求、交货时间等。 4?负责向乙方提供甲方商标各种组合、内外包装及其它标有商标的包装及印刷品等与乙 方加工品有关的内容。 5?甲方有权对乙方的生产标准、产品质量进行检查监督,并提出意见和建议,确认的样品验收货品。 6?甲方按照甲乙双方确定的样板和标准进行验收货品。 7?甲乙双方严守商业秘密。 本合同所签订的上述加工品的商标及图案文字为甲方所有 ,乙方不得为他人生产或提

供。 甲方不得交乙方设计生产的样版提供给其他生产商。 第三条乙方责任 1?严格按照甲方的委托内容及要求从事代加工活动。 2.甲方确定的款式、数量、质量及生产期限等标准打版进行生产,生产标准符合 ____________ 质量要求,不得以任何形式和理由超过订单数量和品种。 3?负责原材料的采购、验收、供应,并按照甲方确定的原材料质量要求进行。 4?严格管理甲方提供的商标、包装及印刷品,因乙方管理不善,造成甲方商标、饰品及包 装等丢失,应承担相应法律责任。 5?不得将甲方提供的款式用于其他商标生产。 6?严守甲方的商业秘密。 7?对生产的产品实行三包,三包标准按国家有关规定执行。 第四条付款方式及交货地点 甲方确定委托加工款式、数量、标准后,与乙方签订委托加工通知单,并于签订之日起一 星期内乙方支付总货款的_____________ 作为预付款,乙方提供的货品经甲方验收进仓后财务 核实即付款,交货地点为甲方库房。 第五条验收标准 双方在下订单之前确定生产品种样品,甲、乙双方以此及在生产过程中,质量主管之监督要求(以书面内容要求为准)作为验收标准。甲方在乙方送货到指定地点之日起3日内必须对产品进行验收。 第六条违约责任 1?因乙方未按甲方要求的时间交货,乙方应每天承担此批货总价_______ %的违约金;如甲方没按合同要求提货,乙方有权扣除甲方订金。 2?如乙方擅自生产或销售甲方产品及包装、印刷品等,一经查证,无论数量多少乙方应付甲方人民币______ 万元违约金,并追究乙方法律责任。 3?凡违反本合同之其他各项条款的,责任方应承担此批货价值_________ %的违约金。

离子束加工技术

离子束加工技术 1 离子束溅射技术的发展 离子束溅射沉积干涉反射膜的进展可总结为[2]: * 1976 年之前,一般干涉反射膜反射率R>99%; * 1976 年离子束溅射干涉膜(淀积技术突破),反射率R=99.9%; * 1979 年离子束溅射干涉膜(测量技术突破),反射率R=99.99%; * 1983 年离子束溅射干涉膜损耗降到60ppm, 反射率R=99.994%; * 1988 年离子束溅射干涉膜损耗降到10ppm 以下, 反射率R=99.999%; * 1992 年离子束溅射干涉膜损耗降到1.6ppm, 反射率R=99.99984%; * 1997 年离子束溅射干涉膜用于ICF 三倍频激光反射镜实验,351nm 波长激光(脉冲)损伤阈值达20J/cm2; * 1998 年离子束溅射干涉膜用于ICF 基频激光反射镜实验,得到了1060nm 波长激光(脉冲)损伤阈值 达50J/cm2,吸收损耗小于6ppm 的实验结果。 在国内,对离子束溅射技术的研究非常少,在很多领域几乎接近于空白,根据国家和时代的需要,这项技 术的研究在国内变得尤为迫切。 2 离子束溅射技术的原理和特征 2.1 离子束溅射技术 在比较低的气压下,从离子源取出的氩离子以一定角度对靶材进行轰击,由于轰击离子的能量大约为 1keV,对靶材的穿透深度可忽略不计,级联碰撞只发生在靶材几个原子厚度的表面层中,大量的原子逃离 靶材表面,成为溅射粒子,其具有的能量大约为10eV 的数量级。由于真空室内具有比较少的背景气体分子, 溅射粒子的自由程很大,这些粒子以直线轨迹到达基板并沉积在上面形成薄膜。由于大多数溅射粒子具有 的能量只能渗入并使薄膜致密,而没有足够的能量使其他粒子移位,造成薄膜的破坏;并且由于低的背景 气压,薄膜的污染也很低;而且,冷的基板也阻止了由热激发导致晶粒的生长在薄膜内的扩散。因此,在 基板上可以获得致密的无定形膜层。在成膜的过程中,特别是那些能量高于10eV 的溅射粒子,能够渗入 几个原子量级的膜层从而提高了薄膜的附着力,并且在高低折射率层之间形成了很小梯度的过度层。有的 轰击离子从靶材获得了电子而成为中性粒子或多或少的被弹性反射,然后,它们以几百电子伏的能量撞击 薄膜,高能中性粒子的微量喷射可以进一步使薄膜致密而且也增强了薄膜的内应力

委托加工合同协议书范本 精品

编号:_____________委托加工合同 甲方:________________________________________________ 乙方:___________________________ 签订日期:_______年______月______日

委托方(甲方): 加工方(乙方): 委托方(以下简称甲方)和加工方(以下简称乙方)合称为“双方”。甲乙双方在平等、自愿基础上,经友好协商签订此协议。 一、委托加工项目 1、委托加工产品:_______________ 2、加工产品数量:_______________ 3、产品交货期限:按乙方接单起_____个工作日内交货。 二、委托加工方式 1、乙方包工包料,乙方须按照甲方要求选用原材料。 2、乙方对原材料的质量保修期为一年。 三、质量要求及技术标准 1、乙方严格按照甲方提出的质量要求进行加工。 2、技术标准参照国家标准执行。 四、包装要求及交货地点 1、乙方按甲方要求进行包装;对于甲方无特殊要求之零件由乙方自行选择包装方式。 2、甲方指定地点交货,地点限_____之内。 五、费用结算 1、此次加工费用总额为人民币(大写)_____,(小写)_____元整,此价不含税。具体明细见附件二。

2、甲方首先支付乙方30%总额货款作为押金。乙方交货经甲方验收确定后,由乙方开具发票交与甲方,开票交税额由甲方返回乙方。甲方收到发票后5个工作日内支付50%总额货款,交货当日起20个工作日内支付余下20%总额货款。 3、甲方以银行汇款或国库直付方式与乙方结算。 六、违约责任 1、乙方必须严格按照双方规定时间交货,如逾期交货,乙方应向甲方支付货款5 %的违约金。 2、乙方隐瞒原材料的缺陷或使用不符合规定的原材料而影响产品质量时。甲方有权要求乙方重做,减少价款或赔偿损失等违约责任。 3、乙方不得擅自生产甲方的专利产品或侵犯甲方专利权的产品,不得传播甲方提供的图纸给任何第三方,否则由此引起的侵权行为由乙方承担,甲方保留追究乙方法律责任权利。 七、解决纠纷的方式 1、本协议双方签字盖章即生效,执行过程中出现异议,双方应友好协商解决,协商不成则按《合同法》有关规定执行。八、其他约定事项 1、本协议如有未尽事宜,双方可另行协商,在意见达成一致的基础上进行补充修改。 2、本协议一式四份,双方各持二份,具有同等法律效力。 委托方(甲方):(盖章) 代表人签字(或印章): 年月日 加工方(乙方): 代表人签字(或印章): 年月日

---------电子束加工的特点及其应用

电子束加工的应用 1. 电子束加工的主要应用 1.1 电子束焊接 电子束焊接是利用电子束作为热源的一种焊接工艺。电子束焊接的焊缝位置精确可控、焊接质量高、速度快,在核、航空、火箭、电子、汽车等工业中可用作精密焊接。在重工业中,电子束焊机的功率已达100千瓦,可平焊厚度为200毫米的不锈钢板。对大工件焊接时须采用大体积真空室,或在焊接处形成可移动的局部真空。 1. 电子束焊接在航空航天工业的应用[2] 作为一种现代先进的焊接技术,电子束焊接首先进入的就是航空航天领域。小到微型压力传感器,大到航天器外壳,航空航天零部件所用材料的独特性及焊接要求的特殊性, 使得电子束焊接迅速成为这些重要零部件加工所必须采用的工艺,大量应用于飞机重要承力件和发动机转子部件的焊接上。 美国的F-22战斗机机身段上,由电子束焊接的钛合金焊缝长度达87.6mm,厚度为6.4-25mm。另外,电子束焊接技术还用来焊接汽轮机喷管隔板、高温蒸汽机转轴、汽轮机定子、燃气涡轮叶片、航空发动机转子、摇臂组件、机匣、功率轴、飞机梁、起落架, 导弹壳体、航弹尾翼等。 2.电子束焊接在汽车工业的应用[3] 20世纪60年代,日本富士重工和美国通用汽车公司率先采用电子束焊接变速箱齿轮和飞轮,此后电子束焊接便吹响了进军汽车工业的号角。目前,几乎所有的国际汽车制造公司都引入了电子束焊接设备。德国大众汽车公司仅一个齿轮加工车间内, 就装有20余台电子束焊机。 汽车生产中,电子束焊接多用来加工发动机、变速器、行走系等处的零件,这些零件的机械加工量相对较少,符合电子束焊接的经济性要求。比如[],汽车发动机中的配电盘凸轮必须是渗氮后焊接,因其对接材料不同(低碳渗氮钢-SAE1144),采用其它接合方法比较困难,故采用电子束焊接较为合适;柴油机的预燃室过去采用钎焊(对接材料不锈钢-耐热钢),改用电子束焊后提高了质

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