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XPS谱高斯峰拟合

关于XPS 谱的分峰网上有一些讲解,主要的软件是XPSpesk41,当时在网上看了一些教程,大体差不多,主要是告诉你基本的软件使用步骤,但是具体如何利用软件拟合出满意的结果却没有提到,只是说反复的拟合,那么如何反复呢,软件如何设置才可以呢。因为要写一个关于PU 表面湿润性的论文,不得不进行分峰拟合,在分峰N 次后逐渐发现规律,原来反复分峰是这么分的啊。首先看下C1s 和O1s 的分峰结果

2822842862882902922942962980

2000

4000

6000

800010000

1200014000

C P S

结合能/eV (a)C1s untreated C-C,C-H(284.6eV)C-O(285.83eV)C=O(288.4eV)280282284286288290292294296298

01000200030004000

5000C P S 结合能/eV

C1s laser treated C-C,C-H(284.57eV)C-O(286.11eV)

(b)

5265285305325345365385405425441000

200030004000

5000

6000

C P S 结合能/eV O1s untreated

O-C(532.3eV)O=C(531.59eV)(c)5265285305325345365385405425448001000

1200

1400

1600

18002000

22002400C P S

结合能/eV

O1s laser treated

O-O(532.29eV)O=C(531.38eV)(d) 整个曲线有三个部分组成,原始曲线(实验得到的谱图,有锯齿的线条),拟合后的曲线(基本与原始曲线重合,但更加光滑),分峰后的曲线(拟合好的曲线是由这几个峰叠加而成的)。 软件具体的使用步骤就不说了,这个在百度文库里都有,这里主要是对如何进行反复的拟合得到所要的曲线进行说明(仅个人经验哦),

首先添加两个峰,分别输入峰值并固定后拟合,软件自动得上图,图中蓝色为原始曲线,较粗的黑线是拟合后的结果,并且它是有两条细曲线叠加而成的,下面就是要通过设置软件反复使用高斯峰进行拟合,知道得到满意结果。

进行设置时,峰值一定要选固定,这个一定记住,然后设置别的选项,具体如下:

反复拟合时,要不断的变化其他三个选项(这个用过软件的人都知道的),设置的时候要记住一点,不能全部固定也不能全部不固定,比如你要是想面积变化,那么方法是先设置好你

要的面积然后选上面积固定选项,同时半峰宽不要固定也不要改动,接着进行拟合,根据拟合的结果在按照这个原则进行调节即可。调节半峰宽时也是如此,按照这个方法调节,反复多次后就可以得到想要的结果,不过确实需要点耐心。

xps峰拟合规则及测试条件

n XPS Peak 软件拟合数据的简单步骤: 用excel 调入外部数据打开数据文件。1. Excel 中的数据转换成TXT 格式 从Excel 中的数据只选择要进行拟合的数据点,copy 至txt 文本中,即BD 两列数据,另存为*.txt 文件。 2.XPS Peak41中导入数据 打开xps peak 41分峰软件,在XPS Peak Fit 窗口中,从Data 菜单中选择Import (ASCII),即可将转换好的txt 文本导入,出现谱线

3.扣背底 在打开的Region 1窗口中,点击 Backgrond ,选择Boundary 的默认值,即不改变High BE 和Low BE 的位置,Type 一般选择Shirley 类型扣背底 4.加峰 选择Add Peak ,选择合适的Peak Type(如s,p,d,f),在Position 处选择希望的峰位,需固定时点fix 前的小方框,同时还可选半峰宽(FWHM )、峰面积等。各项中的constaints 可用来固定此峰与另一峰的关系。如W4f 中同一价态的W4f 7/2和W4f 5/2的峰位间距可固定为2.15eV ,峰面积比可固定为4:3等,对于% Lorentzian-Gaussian 选项中的fix 先去掉对勾,点击Accept 完成对该峰的设置。

n d n 点Delet e Peak 可去掉此峰。再选择Add Peak 可以增加新的峰,如此重复。注意:% Lorentzian-Gaussian 值最后固定为20%左右。 加峰界面 举例:对峰的限制constraints ,峰1的峰位=峰0峰位+1.5 5.拟合 选好所需拟合峰的个数及大致参数后,点XPS Peak Processing 中的Optimise All 进行拟合,观察拟合后总峰与原始峰的重合情况,如不好,可多次点Optimise All

XPS分峰的分析实例

材料X射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例 例:将剂量为1 107ions/cm2,能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中,然后在1100C 退火2h进行热处理。对单晶硅试样进行XPS测试,试对其中的C 1s 高分辨扫瞄谱进行解析,以确定各种可能存在的官能团。 分析过程: 1、在Origin中处理数据 图1 将实验数据用记事本打开,其中C 1s 表示的是C 1s 电子,299.4885表示起始 结合能,-0.2500表示结合能递减步长,81表示数据个数。从15842开始表示是光电子强度。从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中,为光电子强度数据列。同时将299.4885Copy到Excel软件A列中,并按照步长及个数生成结合能数据,见图2

图2 将生成的数据导入Origin软件中,见图3。

图3 此时以结合能作为横坐标,光电子强度作为纵坐标,绘出C 谱图,检查谱 1s 图是否有尖峰,如果有,那是脉冲,应把它们去掉,方法为点Origin 软件中的Data-Move Data Points,然后按键盘上的↓或↑箭头去除脉冲。本例中的实验数据没有脉冲,无需进行此项工作。将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中(即成两列的格式,左边为结合能,右边为峰强),并存盘,见图4。 图4 2、打开XPS Peak,引入数据:点Data--Import (ASCII),引入所存数据,则 出现相应的XPS谱图,见图5、图6

3、选择本底:点Background,因软件问题, High BE和Low BE的位置最好不改,否则无法再回到Origin,此时本底将连接这两点,Type可据实际情况选择,一般选择Shirley 类型,见图7。

XPS Peak软件拟合数据的简单步骤

从Excel中的数据只选择要进行拟合的数据点,copy至txt文本中,即BD两列数据,另存为*.txt文件。 2.XPS Peak41中导入数据 打开xps peak 41分峰软件,在XPS Peak Fit窗口中,从Data菜单中选择Import (ASCII),即可将转换好的txt文本导入,出现谱线

3.扣背底 在打开的Region 1窗口中,点击Backgrond,选择Boundary的默认值,即不改变High BE和Low BE的位置,Type一般选择Shirley类型扣背底 4.加峰

选择Add Peak,选择合适的Peak Type(如s,p,d,f),在Position处选择希望的峰位,需固定时点fix前的小方框,同时还可选半峰宽(FWHM)、峰面积等。各项中的constaints 可用来固定此峰与另一峰的关系。如W4f中同一价态的W4f7/2和W4f5/2的峰位间距可固定为2.15eV,峰面积比可固定为4:3等,对于% Lorentzian-Gaussian选项中的fix 先去掉对勾,点击Accept完成对该峰的设置。点Delete Peak可去掉此峰。再选择Add Peak可以增加新的峰,如此重复。注意:% Lorentzian-Gaussian值最后固定为20%左右。 加峰界面

举例:对峰的限制constraints,峰1的峰位=峰0峰位+1.5 5.拟合 选好所需拟合峰的个数及大致参数后,点XPS Peak Processing中的Optimise All进行拟合,观察拟合后总峰与原始峰的重合情况,如不好,可多次点Optimise All

XPS峰拟合规则

XPS Peak软件拟合数据的简单步骤: 1. Excel中的数据转换成TXT格式 从Excel中的数据只选择要进行拟合的数据点,copy至txt文本中(如C1s scan 中,选择从292eV到280eV的数据,即将该范围的ABC三列同时copy) 2.XPS Peak41中导入数据 打开xps peak 41分峰软件,在XPS Peak Fit窗口中,从Data菜单中选择Import (ASCII),即可将转换好的txt文本导入,出现谱线 3.扣背底 在打开的Region 1窗口中,点击 Backgrond,选择Boundary的默认值,即不改变High BE和Low BE的位置,Type一般选择Shirley类型扣背底 4.加峰 选择Add Peak,选择合适的Peak Type(如s,p,d,f),在Position处选择希望的峰位,需固定时点fix前的小方框,同时还可选半峰宽(FWHM)、峰面积等。各项中的constaints可用来固定此峰与另一峰的关系。如W4f中同一价态的 W4f7/2和W4f5/2的峰位间距可固定为2.15eV,峰面积比可固定为4:3等。点击Optimise Peak对峰进行优化,最后点击Accept完成对该峰的设置。点Delete Peak可去掉此峰。再选择Add Peak可以增加新的峰,如此重复 5.拟合 选好所需拟合峰的个数及大致参数后,点XPS Peak Processing中的Optimise All进行拟合,观察拟合后总峰与原始峰的重合情况,如不好,可多次点Optimise All 6.参数查看 拟合完成后,分别点XPS Peak Processing窗口总的Region Peaks下方的0、1、2等,可查看每个峰的参数,此时XPS峰中变红的曲线为被选中的峰。如对拟合结果不满意,可改变这些峰的参数,然后再点击Optimise All 7.XPS存图 点Save XPS可将谱图存为.xps格式的图,下回要打开时点Open XPS可以打开这副图,并可对图进行编辑 8.XPS图的数据输出 a.点击Data中的Export(spetrum),可将拟合好的数据存为.dat格式的ASCII 文件(该文件可用记事本打开),然后再Origin中导入该ASCII文件,可得到一个包含多列的数据表,这里需要注意的是每列的抬头名称出错(如.dat文件中的Raw Intensity分开到两列中作为两列的抬头,即Raw、Intensity),这时需要根据做出的图与.xps原始谱图比较,更改每列的名称,即可得到正确的谱图 b.点击Data中的Export(Peak Parameters),即将各峰参数导出为.par格式的文件(也可用记事本打开),通过峰面积可计算某元素在不同峰位的化学态的含量比 c.点击Data中的Export to clipboard,即将图和数据都复制到剪贴板上,打开文档(如Word),点粘贴,即把图和数据粘贴过去,不过该图很不清晰 d.点击Data中的Print with peak parameters,即可打印带各峰参数的谱图

XPS Peak软件拟合数据的简单步骤

XPS Peak软件拟合数据的简单步骤 XPS Peak软件拟合数据的简单步骤: 1. Excel中的数据转换成TXT格式 从Excel中的数据只选择要进行拟合的数据点,copy至txt文本中,即ABC三列数据(其中B列为空的,只包含两列数据) 2.XPS Peak41中导入数据 打开xps peak 41分峰软件,在XPS Peak Fit窗口中,从Data菜单中选择Import (ASCII),即可将转换好的txt文本导入,出现谱线

3.扣背底 在打开的Region 1窗口中,点击Backgrond,选择Boundary的默认值,即不改变High BE 和Low BE的位置,Type一般选择Shirley类型扣背底,不过有时也选择Liner类型扣除背景。 4.加峰 选择Add Peak,选择合适的Peak Type(如s,p,d,f),在Position处选择希望的峰位,需固定时点fix前的小方框,同时还可选半峰宽(FWHM)、峰面积等。各项中的constaints可用来固定此峰与另一峰的关系。如W4f中同一价态的W4f7/2和W4f5/2的峰位间距可固定为2.15eV,峰面积比可固定为4:3等,对于% Lorentzian-Gaussian选项中的fix先去掉对勾,点击Accept 完成对该峰的设置。点Delete Peak可去掉此峰。再选择Add Peak可以增加新的峰,如此重复。注意:% Lorentzian-Gaussian值最后固定为20%左右。

加峰界面 举例:对峰的限制constraints,峰1的峰位=峰0峰位+1.5 5.拟合 选好所需拟合峰的个数及大致参数后,点XPS Peak Processing中的Optimise All进行拟合,观察拟合后总峰与原始峰的重合情况,如不好,可多次点Optimise All

XPS分峰的分析实例复习过程

XPS分峰的分析实例

材料X射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例 例:将剂量为1107ions/cm2,能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中,然后在1100C退火2h进行热处理。对单晶硅试样进行XPS测试,试对其中的C1s高分辨扫瞄谱进行解析,以确定各种可能存在的官能团。 分析过程: 1、在Origin中处理数据 图1 将实验数据用记事本打开,其中C1s表示的是C1s电子,299.4885表示起始结合能,-0.2500表示结合能递减步长,81表示数据个数。从15842开始表示

是光电子强度。从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中,为光电子强度数据列。同时将299.4885Copy到Excel软件A列中,并按照步长及个数生成结合能数据,见图 2 图2 将生成的数据导入Origin软件中,见图3。

图3 此时以结合能作为横坐标,光电子强度作为纵坐标,绘出C1s谱图,检查谱图是否有尖峰,如果有,那是脉冲,应把它们去掉,方法为点Origin 软件中的Data-Move Data Points,然后按键盘上的或箭头去除脉冲。本例中的实验数据没有脉冲,无需进行此项工作。将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中(即成两列的格式,左边为结合能,右边为峰强),并存盘,见图 4。

图4 2、打开XPS Peak,引入数据:点Data--Import(ASCII),引入所存数据, 则出现相应的XPS谱图,见图5、图6

3、选择本底:点Background,因软件问题, High BE和Low BE的位置最好不改,否则无法再回到Origin,此时本底将连接这两点,Type可据实际情况选择,一般选择Shirley 类型,见图7。

xps峰拟合步骤及规则

XPS峰拟合步骤及规则 1.原始数据的处理:A,与C1s比较标准化数据:将excel表格中的C1s数据的最高点对应的结合能与标准C1s结合能(一般为284.6)比较,算差值+(-)α;将需拟合元素(如Ir)的结合能-(+)α,得标准化数据。注:若得到的C1s不平滑,先怀疑是否测试过程出现问题。若无测试问题,数据可信,将C1s进行拟合得到一个最高点(可用XPSPEAK, origin等)。拟合元素结合能-(+)α最好拷贝到另个excel中处理,得标准化数据。B,转化成TXT:将标准化数据拷贝到TXT文本中(两列就足够了) 2.下载安装XPS拟合处理软件https://www.wendangku.net/doc/5419043267.html,.hk/%7Esurface/XPSPEAK/ 3.数据输入:运行XPSPEAK41,点data>Import(ASCII)>*.txt (转换好的标准化数据),得谱线。 4.背景扣除:点Background,调high 和low BE的值,一般用Shirley背景扣除。注:基线不能高于需拟合的曲线。 5.加峰:A,查需拟合元素标准结合能值https://www.wendangku.net/doc/5419043267.html,/xps/;Search Menu>Retrieve Data for a Selected Element>Binding Energy >元素;查需拟合元素分裂能Doublet Separation >元素;B,加峰选Add Peak,选合适的Peak Type(如s,p,d,f),Position处选希望的峰位(参考所查标准结合能值),需固定时点fix前的小方框,否则所有Fix选项都不要选。各项中的constaints可用来固定此峰与另一峰的关系,如Ir4f中同一价态的Ir4f7/2和Ir4f5/2的峰位间距可固定为2.98eV,峰面积比可固定为4:3等。点击Optimise Peak对峰进行优化,最后点击Accept完成对该峰的设置。点Delete Peak可去掉此峰。再选择Add Peak可以增加新的峰,如此重复。注:1)对p、d、f的次能级强度比是一定的,p3/2:p1/2=2:1;d5/2:d3/2=3:2,f7/2:f5/2=4:3; 2)对有能级分裂的能级(p、d、f),分裂的两个轨道间的距离也基本上是固定的,如同一价态的Ir4f7/2和Ir4f5/2之间的距离为2.98eV左右。 6.优化:分别点Peak Processing窗口总的Region Peaks下方的0、1、2等,可查看每个峰的参数,此时XPS峰中变红的曲线为被选中的峰;观察拟合后总峰与原始峰的重合情况,如对拟合不满,可重新改变参数,再Optimise All。 7.保存和输出:A,点Save XPS可存为.xps的图,点Open XPS可打开这副图,并可编辑;B,点Data>Export(spetrum),可将拟合好的数据存为.dat(可用记事本打开),在Excel里把*.dat

XPS峰拟合步骤及规则

XPS峰拟合步骤及规则 (2010-05-26 10:47:46) 转载▼ 标签: 分类:穿越博士 杂谈 1.原始数据的处理:A,与C1s比较标准化数据:将excel表格中的C1s数据的最高点对应的结合能与标准C1s结合能(一般为284.6)比较,算差值+(-)α;将需拟合元素(如Ir)的结合能-(+)α,得标准化数据。注:若得到的C1s不平滑,先怀疑是否测试过程出现问题。若无测试问题,数据可信,将C1s进行拟合得到一个最高点(可用XPSPEAK, origin等)。拟合元素结合能-(+)α最好拷贝到另个excel中处理,得标准化数据。B,转化成TXT:将标准化数据拷贝到TXT文本中(两列就足够了) 2.下载安装XPS拟合处理软件https://www.wendangku.net/doc/5419043267.html,.hk/%7Esurface/XPSPEAK/ 3.数据输入:运行XPSPEAK41,点data>Import(ASCII)>*.txt (转换好的标准化数据),得谱线。 4.背景扣除:点Background,调high 和low BE的值,一般用Shirley背景扣除。注:基线不能高于需拟合的曲线。 5.加峰:A,查需拟合元素标准结合能值https://www.wendangku.net/doc/5419043267.html,/xps/;Search Menu>Retrieve Data for a Selected Element>Binding Energy >元素;查需拟合元素分裂能Doublet Separation >元素;B,加峰选Add Peak,选合适的Peak Type(如s,p,d,f),Position处选希望的峰位(参考所查标准结合能值),需固定时点fix前的小方框,否则所有Fix选项都不要选。各项中的constaints可用来固定此峰与另一峰的关系,如Ir4f中同一价态的Ir4f7/2和Ir4f5/2的峰位间距可固定为2.98eV,峰面积比可固定为4:3等。点击Optimise Peak对峰进行优化,最后点击Accept完成对该峰的设置。点Delete Peak可去掉此峰。再选择Add Peak可以增加新的峰,如此重复。注:1)对p、d、f的次能级强度比是一定的,p3/2:p1/2=2:1;d5/2:d3/2=3:2,f7/2:f5/2=4:3;2)对有能级分裂的能级(p、d、f),分裂的两个轨道间的距离也基本上是固定的,如同一价态的Ir4f7/2和Ir4f5/2之间的距离为2.98eV左右。 6.优化:分别点Peak Processing窗口总的Region Peaks下方的0、1、2等,可查看每个峰的参数,此时XPS峰中变红的曲线为被选中的峰;观察拟合后总峰与原始峰的重合情况,如对拟合不满,可重新改变参数,再Optimise All。 7.保存和输出:A,点Save XPS可存为.xps的图,点Open XPS可打开这副图,并可编辑;B,点

XPS分峰的分析实例

欢迎阅读 材料X射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例 例:将剂量为1?107ions/cm 2,能量为45KeV 的碳离子注入单晶硅中,然后在1100C 退火2h 进行热处理。对单晶硅试样进行XPS 测试,试对其中的C 1s 高分辨扫瞄谱进行解析,以确定各种可能存在 的官能团。 分析过程: 1、在Origin 中处理数据 中B 中4。 2、打开XPS Peak ,引入数据:点Data--Import (ASCII),引入所存数据,则出现相应的XPS 谱图,见图5、图6

3 , 图7 4、加峰: 点Add peak,出现小框,在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型(一般选s),在Position 处选择希望的峰位,需固定时则点fix前小方框,同法还可选半峰宽(FWHM)、峰面积等。各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系。点Delete peak可去掉此峰。然后再点Add peak 选第二个峰,如此重复。

在选择初始峰位时,如果有前人做过相似的实验,可以查到相应价键对应的峰位最好。但是如果这种实验方法比较新,前人没有做过相似的,就先用标准的峰位为初始值。最优化所有的峰位,然后看峰位位置的变化。 本例中加了三个峰,C元素注入单晶硅后可能形成C-C、C-Si和C-H三个价键。根据这三个价键对应的结合能确定其初始峰位,然后添加。具体过程见图8、9、10。 图8 图9 图10 5 6 7 8 Word 点击Data――Export (spectrum),则将拟合好的数据存盘,然后在Origin中从多列数据栏打开,则可得多列数据,并在Origin中作出拟合后的图。 XPS能谱数据处理 王博吕晋军齐尚奎 能谱数据转化成ASC码文件后可以用EXCEL、ORIGIN等软件进行处理。这篇文章的目的是向大家介绍用ORIGIN软件如何处理能谱数据,以及它的优势所在。 下面将分三部分介绍如何用ORIGIN软件处理能谱数据:1、多元素谱图数据处理2、剖面分析数据处理3、复杂谱图的解叠 一、多元素谱图的处理: 1、将ASC码文件用NOTEPAD打开:

XPS谱高斯峰拟合

关于XPS 谱的分峰网上有一些讲解,主要的软件是XPSpesk41,当时在网上看了一些教程,大体差不多,主要是告诉你基本的软件使用步骤,但是具体如何利用软件拟合出满意的结果却没有提到,只是说反复的拟合,那么如何反复呢,软件如何设置才可以呢。因为要写一个关于PU 表面湿润性的论文,不得不进行分峰拟合,在分峰N 次后逐渐发现规律,原来反复分峰是这么分的啊。首先看下C1s 和O1s 的分峰结果 2822842862882902922942962980 2000 4000 6000 800010000 1200014000 C P S 结合能/eV (a)C1s untreated C-C,C-H(284.6eV)C-O(285.83eV)C=O(288.4eV)280282284286288290292294296298 01000200030004000 5000C P S 结合能/eV C1s laser treated C-C,C-H(284.57eV)C-O(286.11eV) (b) 5265285305325345365385405425441000 200030004000 5000 6000 C P S 结合能/eV O1s untreated O-C(532.3eV)O=C(531.59eV)(c)5265285305325345365385405425448001000 1200 1400 1600 18002000 22002400C P S 结合能/eV O1s laser treated O-O(532.29eV)O=C(531.38eV)(d) 整个曲线有三个部分组成,原始曲线(实验得到的谱图,有锯齿的线条),拟合后的曲线(基本与原始曲线重合,但更加光滑),分峰后的曲线(拟合好的曲线是由这几个峰叠加而成的)。 软件具体的使用步骤就不说了,这个在百度文库里都有,这里主要是对如何进行反复的拟合得到所要的曲线进行说明(仅个人经验哦), 首先添加两个峰,分别输入峰值并固定后拟合,软件自动得上图,图中蓝色为原始曲线,较粗的黑线是拟合后的结果,并且它是有两条细曲线叠加而成的,下面就是要通过设置软件反复使用高斯峰进行拟合,知道得到满意结果。 进行设置时,峰值一定要选固定,这个一定记住,然后设置别的选项,具体如下: 反复拟合时,要不断的变化其他三个选项(这个用过软件的人都知道的),设置的时候要记住一点,不能全部固定也不能全部不固定,比如你要是想面积变化,那么方法是先设置好你

XPS分峰处理

实验条件:样品用VG Scientific ESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。激发源为Al KαX射线,功率约300 W。分析时的基础真空为3×10-9 mbar。 电子结合能用污染碳的C1s峰(284.8 eV)校正。 X-ray photoelectron spectroscopy data were obtained with an ESCALab220i-XL electron spectrometer from VG Scientific using 300W AlKα radiat ion. The base pressure was about 3×10-9 mbar. The binding energies were referenced to the C1s line at 284.8 eV from adventitious carbon. 处理软件:Avantage 4.15 XPS数据考盘后的处理数据步骤 Origin作图: 1.open Excel文件,可以看到多组数据和谱图,一个sheet 对应一张谱图及 相应的数据(两列)。 2.将某一元素的两列数据直接拷贝到Origin中即可作出谱图。(注意:X轴 为结合能值,Y轴为每秒计数) 3. 如果某种元素有两种以上化学态,需要进行分峰处理时,按“XPS Peak 分峰步骤”进行。 XPS Peak分峰步骤 1.将所拷贝数据转换成所需格式:把所需拟合元素的数据引入Origin后,将column A和C中的值复制到一空的记事本文档中(即成两列的格式,左边为结合能,右边为峰强),并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据,需在Origin中做好处理。 2.打开XPS Peak,引入数据:点Data----Import(ASCII),引入所存数据,则出现相应的XPS谱图。 3.选择本底:点Background,在所出现的小框中的High BE和Low BE下方将出现本底的起始和终点位置(因软件问题,此位置最好不改,否则无法再回到Origin),本底将连接这两点,Type可据实际情况选择。确定好本底的位置后,回到TXT文本中将不在本底范围内的数据删除,然后保存。再重新Import ASCII。

XPS拟合简单步骤

XPS Peak软件拟合数据的简单步骤: 1. Excel 中的数据转换成TXT格式从Excel中的数据只选择要进行拟合的数据点,copy至txt文本中,即ABC三列数据(其中B列为空的,只包含两列数据) 2.XPS Peak41中导入数据打开xps peak 41分峰软件,在XPS Peak Fit窗口中,从Data菜单中选择Import (ASCII),即可将转换好的txt文本导入,出现谱线 3.扣背底在打开的Region 1窗口中,点击 Backgrond,选择Boundary的默认值,即不改变High BE和Low BE的位置,Type一般选择Shirley类型扣背底 4.加峰选择Add Peak,选择合适的Peak Type(如s,p,d,f),在Position处选择希望的峰位,需固定时点fix前的小方框,同时还可选半峰宽(FWHM)、峰面积等。各项中的constaints可用来固定此峰与另一峰的关系。如W4f中同一价态的W4f和W4f的峰位间距可固定为2.15eV,峰面积比可固定为4:3等,对7/25/2于% Lorentzian-Gaussian选项中的fix先去掉对勾,点击Accept完成对该峰的设置。点Delete Peak可去掉此峰。再选择Add Peak可以增加新的峰,如此重复加峰界面 举例:对峰的限制constraints,峰1的峰位=峰0峰位+1.5 5.拟合选好所需拟合峰的个数及大致参

数后,点XPS Peak Processing中的Optimise All进行拟合,观察拟合后总峰与原始峰的重合情况,如不好,可多次点 Optimise All 合适图谱 6.参数查看拟合完成后,分别点XPS Peak Processing窗口总的Region Peaks下方的0、1、2等,可查看每个峰的参数,此时XPS峰中变红的曲线为被选中的峰。如对拟合结果不满意,可改变这些峰的参数,然后再点击Optimise All 7.XPS存图点Save XPS可将谱图存为.xps格式的图,下回要打开时点Open XPS可以打开这副图,并可对图进行编辑8.XPS图的数据输出 a.点击Data中的Export (spetrum),可将拟合好的数据存为.dat格式的ASCII文件(该文件可用记事本打开),然后再Origin 中导入该ASCII文件,可得到一个包含多列的数据表,这里需要注意的是每列的抬头名称出错(如.dat文件中的Raw Intensity分开到两列中作为两列的抬头,即Raw、Intensity),这时需要根据做出的图与.xps 原始谱图比较,更改每列的名称,即可得到正确的谱图 b.点击Data中的Export(Peak Parameters),即将各峰参数导出为.par格式的文件(也可用记事本打开),通过峰面积可计算某元素在不同峰位的化学态的含量比c.点击Data中的Export to clipboard,即将

XPS谱峰拟合注意事项

XPS谱峰拟合注意事项 (一)X光电子能谱分析的基本原理 X光电子能谱分析的基本原理:一定能量的X光照射到样品表面,和待测物质发生作用,可以使待测物质原子中的电子脱离原子成为自由电子。 该过程可用下式表示: h n=E k+E b+E r (1) 其中:h n:X光子的能量;E k:光电子的能量;E b:电子的结合能;E r:原子的反冲能量。其中Er很小,可以忽略。 对于固体样品,计算结合能的参考点不是选真空中的静止电子,而是选用费米能级,由内层电子跃迁到费米能级消耗的能量为结合能E b,由费米能级进入真空成为自由电子所需的能量为功函数Φ,剩余的能量成为自由电子的动能E k,式(1)又可表示为: hn=Ek+Eb+Φ(2) Eb=hn-Ek-Φ(3)仪器材料的功函数Φ是一个定值,约为4eV,入射X光子能量已知,这样,如果测出电子的动能Ek,便可得到固体样品电子的结合能。 各种原子,分子的轨道电子结合能是一定的。因此,通过对样品产生的光子能量的测定,就可以了解样品中元素的组成。元素所处的化学环境不同,其结合能会有微小的差别,这种由化学环境不同引起的结合能的微小差别叫化学位移,由化学位移的大小可以确定元素所处的状态。例如某元素失去电子成为正离子后,其结合能会增加,如果得到电子成为负离子,则结合能会降低。因此,利用化学位移值可以分析元素的化合价和存在形式。 (二)电子能谱法的特点 (1)可以分析除H和He以外的所有元素;可以直接测定来自样品单个能级光电发射电子的能量分布,且直接得到电子能级结构的信息。 (2)从能量范围看,如果把红外光谱提供的信息称之为“分子指纹”,那么电子能谱提供的信息可称作“原子指纹”。它提供有关化学键方面的信息,即直接测量价层电子及内层电子轨道能级。而相邻元素的同种能级的谱线相隔较远,相互干扰少,元素定性的标识性强。 (3)是一种无损分析。

Xps分峰拟合操作

Xps数据avantage软件分峰拟合操作1.打开软件,选择目标文件,打开 2.选中C 1s图谱,点击放大。 3.点击,弹出窗口

4.选择Shirley,变为下图。 5.选取图谱中主峰两侧较为平滑的区域,分别将横坐标输入Start(大)和End(小),并 可通过上下箭头进行微调。确定合理后,点击Add,主峰下方会出现如图绿线。工具栏下方会出现C1s相关信息表格,Peak BE即为C1s峰值。与标准峰值284.8eV比较即可得出所得实验谱的偏差,本例为+3.2eV。

6.选择目标实验谱本例中为Mn2p,放大。点击,弹出窗口 ,会观察到实验谱横坐标减小相应值,点击Close。即完成能量校正。 8.点击,类似C1s校正,选择主峰对Mn2p3/2加峰

9.选择Peak Fit,点击,弹出窗口,选择Add Fitted Peak,如图,并排三个书写框,Peak Centre即为某元素某化学态对应峰值,首先输入,FWHM Start其次输入,大小为峰值+0.5,FWHM End最后输入,为峰值-0.5,无误后点击Add Peak完成加峰。

10.对各状态对应峰值依次添加,加完之后,点击OK,如图。 11.对上图图谱下拉,对信息表格进行编辑。删除主峰(本例为Mn2p)对应信息,点击左 侧任意字母后,右键,取消Show Constraints对勾。将Name改为易识别以区分的名字,然后将FWHM fit para全部改为1.25,并全选,点右键,锁定。并将Peak BE也全部锁定。

峰,并将图谱中对应谱线下拉至底部。 13.根据操作者对样品的理解,先向上拖动主要状态对应谱线,最后拖动最少量状态对应谱 线。直至实验谱与拟合谱最大程度重合。

X射线光电子能谱分峰软件XPS Peak及分峰步骤

X射线光电子能谱分峰软件XPS Peak及分峰步骤 材料表面分析X射线光电子能谱分峰软件及分峰步骤 XPS Peak分峰步骤1.将所拷贝数据转换成所需格式:把所需拟合元素的数据引入Origin后,将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中(即成两列的格式,左边为结合能,右边为峰强),并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据,需在Origin中做好处理。 2.打开XPS Peak,引入数据:点Data----Import(ASCII),引入所存数据,则出现相应的XPS谱图。 3.选择本底:点Background,在所出现的小框中的High BE和Low BE下方将出现本底的起始和终点位置(因软件问题,此位置最好不改,否则无法再回到Origin),本底将连接这两点,Type可据实际情况选择。 4.选峰:点Add peak,出现小框,在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型(如C1s峰则选s,S2p峰则选p),在Position处选择希望的峰位,需固定时则点fix前小方框,同法还可选半峰宽(FWHM)、峰面积等。各项中的constraints 可用来固定此峰与另一峰的关系,如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距可固定为3.45,峰面积比可固定为4:3等。点Delete peak可去掉此峰。然后再点Add peak 选第二个峰,如此重复。 5.选好所需拟合的峰个数及大致参数后,点Optimise region进行拟合,观察拟合后总峰与原始峰的重合情况,如不好,可以多次点Optimise region。 6.拟合完成后,分别点另一个窗口中的Rigion Peaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数,此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不满意,可改变这些峰的参数,然后再点Optimise region。 7.点Save XPS存图,下回要打开时点Open XPS就可以打开这副图继续进行处理。 8.点Data――Print with peak parameters可打印带各峰参数的谱图,通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。 9.点Data――Export to clipboard,则将图和数据都复制到了剪贴板上,打开文档(如Word文档),点粘贴,就把图和数据粘贴过去了。 10.点Data――Export(spectrum),则将拟合好的数据存盘,然后在Origin 中从多列数据栏打开,则可得多列数据,并在Origin中作出拟合后的图。

XPS拟合步骤

1.数据保存为txt格式,双击全谱图,即,然后点一下工具栏中的,即可。 2.校正:C峰的结合能是284.6ev,若样品和此数值相差太远的话,需要校正。 双击每个样品的C峰,在谱图上点一下,上部的工具栏就会变亮。点击这个图标,就会出现如图所示的栏目, 然后点击,就会显示出C的具体数据,然后看到,和 284.6ev相差0.3ev,需要校正。也可以通过直接将鼠标点在谱图中C峰的顶点,但此方法会有所偏差,这时出现一个数字,此值为测量值,出现在谱图的右上角,是284.89,如图所示。 这里我们以测量值284.9,标准值284.6为基准校准。校准时,在谱图上点一下,上部的工 具栏就会变亮。点击这个图标,就会出现如图所示图标,

这时点一下,会出现,在Measured里输入284.9,在True里输入284.6,然后点击。C峰校准完成。 因为每一个元素都是从全谱里分出来的,所以C峰结合能移动多少值,其他元素也得移动多少值。C峰中是在测量值的基础上减去0.3ev,那每一个元素也得在测量值的基础上减去0.3ev。比如说同一个样品中的O峰,测量值是532.65ev(),这时真实值就是532.65-0.3ev=532.35ev,这时在校准表里直接输入测量值和真实值,点击 即可。 3.数据的拟合: 比如C峰:点击,,这时创建是C峰区域,可以拉动谱图两边的灰色区域来调整基线,如图左边,拉动后变成右边。

然后点击,再点击,点击一次,拟合一条曲线,在点击一次,拟合一条曲线。拟合完成后, 点击,,就可以啦。如果您不需要的拟合线,可以选中B栏或者C栏, ,点击,就把拟合线删除了。 4.元素含量的定量: 双击,在谱图上点一下,上部的工具栏就会变亮。点击这个图标,就会出现如图所示图标, 点击,然后点击所需元素,点击

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