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电阻真空计使用说明书

使用说明书INSTRUCTIONS

Q Q419129686

简介

HRG-52电阻真空计是以Pirani电阻规在不同真空环境下体现不同热传导特性为原理而研发的一款低真空测量仪器。它具有测量准确、使用方便、响应迅速、性能稳定等特点，特别适应于从常压到0.1Pa 非腐蚀性气体环境的真空度测量。

一、仪器概述

HRG-52电阻真空计（又名皮拉尼真空计）以ZJ-52T电阻规为测量探头，采用新型的32位微处理器和双闭环动态自补偿电路，以Pirani传感器为数学模型，对国产规管的非线性进行实时动态修正，解决了国产电阻规个体差异性大、随温度波动明显等问题，有效减少了测量误差。仪器具有漂移小、稳定度高、反应速度快和抗干扰能力强等优点，是低真空测量与控制的首选仪器。

产品命名规则

产品配置：

技术参数：

二、仪器安装说明

1、前面板说明：

①：通道一测量真空度 ②：通道二测量真空度

③：继电器开关指示 ④：系统单位（Pa 、mbar 、Torr ） ⑤：满调按键 ⑦：设置键 ⑥：零调按键 ⑧：加/上翻键 ⑨：减/下翻键 ⑩：OK 键

3 4 5 6

7 8

9 10

2、后面板说明：

1 三芯电源插座

2 通道二电阻规接口

3 通道一电阻规接口

4 继电器输出接口

5 RS-232通信口

6 RS-485通信口

3、电源插座接线图（凤凰端子）：

ACL

ACN 地

4、继电器插座接线图（凤凰端子）：

RS-232/RS-485通信口接线图（凤凰端子）：

电阻规接口接线图（凤凰端子）：

6、仪器安装步骤：

1. 使用KF-16卡箍和密封圈将ZJ-52电阻规接入真空系统；

2. 使用随机配送的数据电缆线将规管与真空计连接；

3. 插入AC220V 电源，打开仪器开关；

K1NO K1NC K1COM K2NO K2NC

K2COM RS232COM RS232RD RS232TX

RS485B RS485A

电阻规P2

电阻规P1

电阻规P3

电阻规P4

4.对真空系统放气至常压，密封后静置3分钟，使用随机配送的调

节笔对真空计进行满调；

5.仪器显示正常工作界面后即可开始使用。

三、仪器使用说明

1、仪器显示说明

本仪器以科学计数法的格式显示真空度。

例如：显示“1.0E 5Pa”表示真空度为1.0×105pa

显示“1.0E-1Pa”表示真空度为1.0×10-1pa

2、单位切换

本产品设有Pa、mbar、Torr三种单位供用户进行选择，在设定完成后，仪器将永久保存。

（1）按“Set”键进入主菜单，界面出现“1 unit”和“2 outs”两个功能菜单，通过“▲”和“▼”键选择“1 unit”，按“OK”

键进入该菜单。

（2）按“▲”和“▼”键选择所要切换的单位，选定后按“OK”键完成设置并返回主菜单。再次按“Set”键回到工作界面。

3、满调、零调

（1）满调功能要求在一个标准大气压（1.0x105Pa）下进行，按下“Full”

后松开，仪器显示“SCALE up”，通过“▲”和“▼”键选择通

道1或通道2。

（2）长按“Full”按钮保持4秒直至所选通道显示为“1.0E 5”即完成该通道满调，按相同的方法可完成另一通道的满调。

（3）零调应保证真空度在10-1Pa或以下时进行，按下“Zero”后松开，仪器显示“SCALE lo”，通过“▲”和“▼”键选择通道1或通道2。

（4）长按“Zero”按钮并保持4秒直至所选通道显示“1.0E -1”完成该通道零调，按相同的方法可完成另一通道的零调。

★注:1.当进行满调（零调）时若出现“Err02”表示当前真空环境不适合进行满调（零调）。

2.仪器使用一段时间或更换规管时为了降低测量误差需进行

满调和零调。

3.满调或零调时，请务必保证真空环境满足调节要求，否则将

会给仪器测量带来极大误差。

4、继电器输出设定

（1）工作界面下按“Set”键进入主菜单，通过“▲”和“▼”键选择“2 outs”子菜单，按“OK”键进入继电器输出设定菜单。此时界面显示如下：

（2）在当前工作界面下通过“▲”和“▼”键对继电器上限(“up”)

进行开（“on”）或关（“OFF”）切换。若在设置为“on”时按下“OK”键，则进入继电器上限点设置，否则将进入继电器下限设置菜单。界面如下图所示：

（3）继电器上限点设置菜单下，通过“Set”键在整数、小数、幂之间调整设置位置，通过“▲”和“▼”键设置真空度。

（4）设置完成后按下“OK”键进入继电器下限设定,界面显示如下：

（5）反复按下“OK”键，菜单将会依次从继电器1向继电器4切换，若当前继电器的上限/下限为“OFF”，将直接进入下级菜单，而不会进入设定点菜单。

（6）当达到最后一级菜单时，按下“OK”键将返回主菜单，若设置正

确，仪器将永久保存设定参数，并按照新设定的参数对继电器进行控制，否则将报警“Err01”。

继电器设置菜单流程如下图所示：

根据继电器上限与下限的设置情况，继电器工作方式分为上点控制、下点控制、区域控制和关闭模式四种。

上点控制：

继电器的上限（up）设为“on”，下限（Lo）设为“OFF”即为

上点控制模式，其动作类型如下图所示：

下点控制：

继电器的上限（up）设为“OFF”，下限（Lo）设为“on”即为

下点控制模式，其动作类型如下图所示：

区域控制：

继电器的上限（up）设为“on”，下限（Lo）设为“on”即为区

域控制模式，其动作类型如下图所示：

关闭模式：

继电器的上限（up）设为“OFF”，下限（Lo）设为“OFF”即为关闭模式，此时该路继电器将一直处于关闭状态。

★注:

1、本仪器以真空度的高低来表示继电器的上下限，故上限点的压力值应小于下限点的压力值。（真空度越高，压力越小。）

2、当用户设定的上限点压力值高于下限点压力值时，仪器将报警“Err01”，且自动忽略本次设定。

3、为避免继电器频繁动作损坏负载，本仪器设定继电器动作的最快响应速度为1S。

5、通信接口协议

（1）、简述

DGR-52电阻真空计采用主/从结构的MODBUS协议进行数据通信，

真空计为从机。用户可以根据实际需要选择使用MODBUS-ASCII或MODBUS-RTU方式与主机通信，亦可自由设定通信的数据格式和通信速度。

MODBUS-ASCII协议的数据帧格式为：

其中：

起始符——冒号’:’

从机地址——真空计站号，初始值为’0’‘1’（30H 31H）

功能码——数据帧的功能

校验码—— LRC纵向冗余错误校验

结束符——’CR’‘LF’（十六进制0DH 0AH）MODBUS-RTU协议的数据帧格式为：

起始—— 3.5个字符的静止时间，即保持3.5个字符时间无信号

从机地址——真空计站号，初始值为01H

功能码——数据帧的功能

校验码—— CRC16校验

结束—— 3.5个字符的静止时间，即保持3.5个字符时间无信号用户未更改通信设置时，真空计的通信格式如下：

（2）、通信协议

DGR-52电阻真空计支持的功能码：

读取保持寄存器：

MODBUS-ASCII格式

主机发送：

真空计应答：

MODBUS-RTU格式

主机发送：

真空计应答：

例如：用户需利用MODBUS-ASCII方式读取通道1的当前真空度，当前真空度为3.0X102Pa，真空计站号为01H，数据格式为高字节在前，低字节在后，则：主机发送:010*********B6\CR\LF

即：3AH 30H 31H 30H 33H 30H 30H 30H 33H 30H 30H 30H 33H 42H 36H 0DH 0AH

真空计应答:010300021E02A2\CR\LF

即：3AH 30H 31H 30H 33H 30H 30H 30H 32H 31H 45H 30H 32H 41H 32H 0DH 0AH

写入保持寄存器

MODBUS-ASCII格式

主机发送：

真空计应答：

MODBUS-RTU格式

主机发送：

真空计应答：

例如：

用户需利用MODBUS-ASCII方式设置继电器1的上限点为3.0X102Pa，真空计站号为01H，数据格式为高字节在前，低字节在后，则：

主机发送:010600281E0297\CR\LF

即：3AH 30H 31H 30H 36H 30H 30H 32H 38H 31 45H 30H 32H 39H 37H 0DH 0AH

真空计应答: 010600281E0297\CR\LF

即：3AH 30H 31H 30H 36H 30H 30H 32H 38H 31 45H 30H 32H 39H 37H 0DH 0AH

通信回路侦测

MODBUS-ASCII格式

主机发送：

真空计应答：

MODBUS-RTU格式

主机发送：

真空计应答：

异常状态处理

当真空计接收到的数据校验错误时，本次通信将直接丢弃，且不会应答主机。

主机写入或请求的地址、数据非法或功能码无效时，真空计将应答故障码，故障码格式为：

MODBUS-ASCII

MODBUS-RTU

真空计应答的故障码为：

（3）、保持寄存器地址

续上表

LEYBOLD真空帮浦操作说明书

德国LEYBOLD油回转式真空泵浦操作说明书感谢贵客户选用德国LEYBOLD SOGEVAC系列油回转式真空泵浦（法国工厂生产）。本公司自交货日起，除使用不当外都提供保固期一年，敬请您安心使用。在使用前，请详细阅读此手册；并请依照里面说明，做正确之操作及保养。本真空泵浦操作十分简易，保养非常简单，以下将一一为您介绍解说。一、真空泵浦的安装和操作： 1. 请务必将此真空泵浦安装在一基础稳固、通风顺畅、空间足够的地方，以利设备之运转、操作及维修保养。且泵浦的环境温度不得超过40°C。 2. 安装定位后，请加入适当的真空油品。真空油由注油口加入，至油视镜的2/3处停止。且必须使用粘度68之真空泵浦专用油，切勿使用别种替代油品，以免造成泵浦内部机件异常磨损，缩短泵浦之使用寿命。（推荐使用SHELL CORENA P68真空泵油） 3. 确认马达电压规格，接上正确电源。起动电源开关，马达转向须与箭头卷标所示一致。若相位错误，导致马达反向，请停机互换任意两相即可。 4. 请务必于真空泵浦入口端安装一只入口空气过滤器，以防止粉尘或金属碎片被吸入泵浦汽缸内，造成泵浦的损坏。 5. 真空泵浦在使用时，马达每一小时的起动次数绝不可超过六次。如超过时，容易造成连轴器、泵浦叶片、汽缸及马达的寿命减短。最好是真空泵浦一直保持运转，而改用一只电磁阀来控制泵浦抽气的开与关。 6. 真空泵浦如用于有水气的系统时，气镇阀门一定要打开。且泵浦在抽含有水气的系统前，一定要先热机15至20分钟左右。关机前，也要热机15至20分钟左右，然后才可关机。如有大量水气时，在泵浦入口前端要装冷凝器。使水气能被冷凝下来，以免水与真空油混合在一起，导致油乳化。造成泵浦的严重损坏。 7. 当真空泵浦的入口端真空压，比真空储气桶或系统中的真空容器之真空压高时，帮浦内的真空油有可能会被抽出去。而导致泵浦内的真空油量不足，造成泵浦的损坏。所以，最好是真空泵浦一直保持运转，而改用一只电磁阀来控制泵浦抽气的开与关。 8. 确认设备管路之阀门是否在正常使用之位置，以确保泵浦之正常抽气

电阻真空计

◆ZDZ-52T/1B2型电阻真空计 ◆ZDZ-52T/1B3型电阻真空计技术参数: ●测量路数：1路 ●规管型号：ZJ-52T电阻规 ●测量范围：1.0×105Pa～ 1.0×10-1Pa ●控制范围：2.5×103Pa～ 5.0×10-1Pa ●控制路数：2路 ●控制精度：±1％ ●控制方式：继电器触点通断、负载能力AC220V/3A DC28V/10A（无感负载）点动或区域控制/带掉电记忆 ●显示方式：五位LED数字显示，采用科学计数法，例：1.2E-1表示为1.2×10-1Pa ●模拟输出：（0～5）V；（4～20）mA ●通讯接口： RS-485 ●采样时间： 1S ●电源：AC 220V±10% 50Hz ●功耗：30W ●重量：约3.5Kg ●机箱尺寸：ZDZ-52T/1B2型 88×280×260 mm （高×宽×深） ZDZ-52T/1B3型 96×96×160mm （高×宽×深） ●使用环境温度：0℃～45℃湿度：≦85％

◆ZDZ-51A1型双电阻真空计技术参数: ●测量路数：2路（电阻规2路） ●规管型号：ZJ-52T电阻规 ●测量范围：1.0×105Pa～ 1.0×10-1Pa ●控制范围：2.5×103Pa～ 5.0×10-1Pa ●控制路数：4路 ●控制精度：±1％ ●控制方式：继电器触点通断、负载能力AC220V/3A DC28V/10A（无感负载）点动或区域控制/带掉电记忆 ●显示方式：五位LED数字显示，采用科学计数法例：1.2E-1表示为1.2×10-1Pa ●通讯接口：RS-232/RS-485 ●采样时间： 1S ●电源： AC 220V±10% 50Hz ●功耗：30W ●重量：约6Kg ●机箱尺寸：88×480×280 mm （高×宽×深） ●使用环境温度：0℃～45℃湿度：≦85％

噪音计使用方法和注意事项

编号：SM-ZD-28651 噪音计使用方法和注意事项 Through the process agreement to achieve a unified action policy for different people, so as to coordinate action, reduce blindness, and make the work orderly. 编制：____________________ 审核：____________________ 批准：____________________ 本文档下载后可任意修改

噪音计使用方法和注意事项简介：该制度资料适用于公司或组织通过程序化、标准化的流程约定，达成上下级或不同的人员之间形成统一的行动方针，从而协调行动，增强主动性，减少盲目性，使工作有条不紊地进行。文档可直接下载或修改，使用时请详细阅读内容。噪音计顾名思义是用来测量噪音及噪音控制的仪器设备，可以帮助改善工作环境，提高产品的成品率和人员工作效率。不过噪音计能否准确测量环境噪音，取决于使用者能否正确使用设备。这次我们来谈谈相关知识。噪音计噪音计使用方法：测量时，应根据情况选择好正确档位，两手平握噪音计。其中测量噪声用的声级计，表头响应按灵敏度可分为四种： 1、“慢”：表头时间常数为1000ms，—般用于测量稳态噪声，测得的数值为有效值。 2、“快”：表头时间常数为125ms，一般用于测量波动较大的不稳态噪声和交通运输噪声等。快档接近人耳对声音的反应。 3、“脉冲或脉冲保持”：表针上升时间为35ms，用于测量持续时间较长的脉冲噪声，如冲床、按锤等，测得的数值

皮拉尼真空计原理详解

皮拉尼真空计原理的原理，通过测量保持在不同温度的两固定元件表面间热能的传递来利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的，而皮拉尼真空计,也称电阻式真空规。其工作原理是：真空度不同，是温度的函数，所以不同的真空度就引起了电阻率的不同，则电阻就不同，电流在电阻丝上的压降就不同，根据电压的变化就能换算出空低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。原理 Pirani皮拉尼真空计构造如图所示。金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发

热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立Ｑ = Ｉ2Ｒ = Ｑg + Ｑr + Ｑs (1) Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为Ｑg = αΛπｄａ(Ｔ－Ｔ0)ｐ (2) 如图所示,T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。剩下的Qs和Qr可以分别表示如下Ｑs = Ｓκ(Ｔ－Ｔ0)/Ｌ (3)

Ｑr = πｄａσε(Ｔ4－Ｔ04) (4) (3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,Ｌ是电极的长度。 (4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为Ｉ2Ｒ = Ａｐ＋ I02Ｒ (5) Ａ= αΛπｄａ(Ｔ－Ｔ0) (6) I0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。Ａ式是不依存压力的定数如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。

ZDZ T电阻真空计说明书

产品名称: 电阻真空计产品型号： ZDZ-52T 使用说明书

Operation Panel 目录

1.简介--------------------------------------------------1 1.1 仪器简介----------------------------------------1 1.2 包装内容----------------------------------------1 2. 主要技术参数-----------------------------------------1 3. 仪器安装---------------------------------------------2 3.1仪器安装尺寸-------------------------------------------2 3.2仪器后面板图示及接线说明-----------------------------2 4. 仪器操作指南------------------------------------------------2 5. 故障诊断---------------------------------------------3 6. 注意事项 -------------------------------------- --4 1.1仪器简介 ZDZ-52T型电阻真空计,可测量1路规管信号，控制2路继电器触点输出及0～5V模拟量输出。在测量范围内,可自由设定点控或区域控制。适合用于粗、低真空的测控。 ZDZ-52T型电阻真空计采用高档微处理器作主机,压缩外围部件,以提高可靠性。本机电源采用高档模块电源，硬件采用模块化结构设计及EMI抑制、WATCHDOG电路,软件采用冗余、陷阱、数字滤波等抗干扰技术,进一步提高了仪器的抗干扰能力及整机性能,使仪器具有很高的可靠性,可在恶劣的工业环境下使用。 1.2 包装内容 ◆ZDZ-52电阻真空计一台 ◆ZDZ-52使用手册一本 ◆ZJ-52T电阻规管一支 ◆5芯电缆线(5M) 一根 ◆电源线(1.5M) 一根 2.主要技术参数 1测量路数 1路 2 测量范围 1.0×105—1.0×10-1 (Pa) 4 配接规管 ZJ-52T/KF16

噪音计使用方法和注意事项(正式)

编订：__________________ 单位：__________________ 时间：__________________ 噪音计使用方法和注意事项(正式) Standardize The Management Mechanism To Make The Personnel In The Organization Operate According To The Established Standards And Reach The Expected Level. Word格式 / 完整 / 可编辑

文件编号：KG-AO-1153-92 噪音计使用方法和注意事项(正式) 使用备注：本文档可用在日常工作场景，通过对管理机制、管理原则、管理方法以及管理机构进行设置固定的规范，从而使得组织内人员按照既定标准、规范的要求进行操作，使日常工作或活动达到预期的水平。下载后就可自由编辑。噪音计顾名思义是用来测量噪音及噪音控制的仪器设备，可以帮助改善工作环境，提高产品的成品率和人员工作效率。不过噪音计能否准确测量环境噪音，取决于使用者能否正确使用设备。这次我们来谈谈相关知识。噪音计噪音计使用方法：测量时，应根据情况选择好正确档位，两手平握噪音计。其中测量噪声用的声级计，表头响应按灵敏度可分为四种： 1、“慢”：表头时间常数为1000ms，—般用于测量稳态噪声，测得的数值为有效值。 2、“快”：表头时间常数为125ms，一般用于测量波动较大的不稳态噪声和交通运输噪声等。快档接近

人耳对声音的反应。 3、“脉冲或脉冲保持”：表针上升时间为35ms，用于测量持续时间较长的脉冲噪声，如冲床、按锤等，测得的数值为最大有效值。 4、“峰值保持”：表针上升时间小于20ms.用于测量持续时间很短的脉冲声，如枪、炮和爆炸声，测得的数值是峰值.即最大值。测距仪测高仪激光投线仪流量计GPS测厚仪水准仪平板仪波形记录仪测试夹具电压电流记录器资料集录器图形记录仪流量积算仪表。噪音计使用注意事项： 1、使用前应先阅读说明书，了解仪器的使用方法与注意事项。 2、安装电池或外接电源注意极性，切勿反接。长期不用应取下电池，以免漏液损坏仪器。 3、传声器切勿拆卸，防止掷摔，不用时放置妥当。 4、仪器应避免放置于高温、潮湿、有污水、灰尘及含盐酸、碱成分高的空气或化学气体的地方。 5、勿擅自拆卸仪器。如仪器不正常，可送修理单

电阻真空计测量线路的三种模式

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟电阻真空计测量线路的三种模式实用的电阻真空计测量线路常采用惠氏电桥或文氏电桥。根据测量热丝电阻变化的方法不同，可分为三种模式： (1)定电压法：保持电桥两端电压不变，观察失平衡电流与压力的关系。 (2)定电流法：保持热丝电流(或电桥电流)不变，观察失平衡电压与压力的关系。 (3)定电阻法(即定温度法)：在任何压力下都用改变电桥电压的方法，保持电桥于平衡状态。电桥电压与压力的关系即为校准曲线。在此方法中，热丝电阻及其温度基本为定值，具有热辐射及边杆导热均为恒定的优点。在以上三种模式中，常用的是定电压法和定温度法。定压型电阻真空计的测量线路原理如当规管内的压力变化时，由于被气体传导走的热量不同于开始时的平衡状态，因而热丝的温度发生变化，引起其电阻值改变，电桥失去平衡。压力的变化由指示仪表CB 读出，CB 指示的电流值与压力的关系，通过校准曲线给出。规管热丝用半径r1 =0.01mm 的钨丝绕制成圆柱螺旋形，其室温下电阻Rw =200Ω。由于各种气体的导热系数不同，因此，对不同种类气体的校准曲线是不同的。定压型测量线路的优点是结构简单；不足之处是电桥电压是固定的，故在压力高时由于气体导热快，热丝温度降低，导致规管灵敏度下降，测量高于100Pa 的压力就甚为困难。实际上，定电压型测量线路的测量上限并未达到规管的理论值(即λ≈r1 所对应的压力)。真空技术网(chvacuum/)认为为了保证高压力时有较高的灵敏度，必须使热丝此时处于足够高的温度，然而在压力变低时它的温度将增高到有可能使热丝氧化或烧毁的程度。

噪音计TES1350A使用说明书

TES1350A噪音计频率加权特性：A和C 反应速率：快速（fast），慢速（slow）麦克风：1/2英寸极化电容式麦克风显示：4位数，解析度0.1dB，取样率：2次/秒最大读数锁定：MAX HOLD （下降率≤1dB/3分钟）校正：内含94dB1KHz正弦波校正信号过载指示：“OVER”符号表示类比信号输出：由单一立体耳机输出 AC=0.65Vms（每范围档），输出阻力约600欧姆 DC=10mV/dB，输出阻力约100欧姆电源：单一9V电池，006P或NEDA1604或IEC6F22 电池寿命：约50小时操作温湿度：0~40℃，10%~90%RH 储存温湿度：-10~60℃，10%~75%RH 外形尺寸：240*68*25mm 重量：约210公克（含电池）附件：电池，调整棒，海绵球一.安全须知 1.请依噪音计各项规格使用使用环境条件：2000公尺高度以下，相对湿度≤90%RH，操作温度0~40℃。 2.保存及清洁要领非说明书详载的检查及维修，须有本公司合格人员处理；定期以干布擦拭，请勿使用去污剂，溶剂清洁本表。 3. 电表采双重保护符合欧洲CE安全规范二.功能说明 1.大液晶显示，读取容易。 2.最大读数锁定 3.过范围档位指示 4.内部校正系统 5.A和C权衡网路选择 6.快（F）和慢（S）响应时间选择 7.AC和DC类比信号输出，可连接至频率分析仪或X-Y轴记录仪做数据统计分析。三.规格适用标准：依据IEC651 准确度：±2.0dB 频率响应：31.5Hz~8KHz 动态范围：65dB

测量范围：Lo=35dB~100dB；Hi=65dB~130dB 四. 1 2 3 5 4 6 9 7 1.微音器：1/2英寸极化电容式麦克风 2.显示器：4位数LCD显示音准dB（分贝），过范围指示“OVER”，低电池电力“”BT符号显示 3.电源和档位范围选择开关：关掉(OFF)或档位范围Lo=35dB~100dB； Hi=65dB~130dB测量选择 4.反应速率和最大锁定开关：“F”：适用噪音变化小者，约每0.125秒抓取测量值1次；“S”：适用噪音变化大者，约每 1.0秒抓取测量值1次； MAXHOLD：抓取噪音最大为准值并锁住其读值，若要重设读值按（RESET）即可 5.功能开关：A：A权衡网路；C：C权衡网路；CAL94dB：内部94.0dB校正 6.校正调整旋钮 7.AC/DC输出耳机插座：为一3.5mm，3极输出端子，两种输出信号AC， DC均由一标准3极，3.5mm之耳机插座输出，顶端AC信号，中间DC信号，外连共同地点。AC=0.65Vms（每范围档），输出阻力约600欧姆，DC=10mV/dB，输出阻力约100欧姆 8.电池盖 9.重设键：重设最大读值锁定（MAXHOLD） 10.三脚架固定座：为1/4之螺丝座用以架设三脚架用 11.海绵球面板显示部分 4

标准铂电阻使用说明书

使用说明书

北京奥维泰科技有限责任公司版权所有，翻版必究北京奥维泰科技有限责任公司北京市海淀区上地信息路2号院2号楼3D 电话：(010) 传真：(010) 邮编：100085 述------------------------------------------------------ 3 2.标准铂电阻温度计的工作原理、分类和结构---------------- 3 3. 主要技术指标------------------------------------------5

4. 标准铂电阻温度计的使用方法及注意事项-------------------5 4.1温度计的检查--------------------------------------- 5 4.2温度计的检定--------------------------------------6 4.3温度计的测量--------------------------------------6 4.4测量结果的计算------------------------------------7 4.5计算方法举例---------------------------------------- 10 4.6温度计的维护与保管---------------------------------- 10 5.温度计可能出现的不正常现象及其应对措施--------------------- 10 6. 参考文献-------------------------------------------------12 附录一：0℃～720℃温区参考函数表 ----------------------------------13附录二：- 200℃～0℃温区参考函数表 ---------------------------------22 1. 概述标准铂电阻温度计是1990年国际温标(ITS－90)规定的内插仪器，是目前技术条件下测温准确度最高、稳定性最好的测温仪器。标准铂电阻温度计是传递国际温标的计量标准器具。在检定各种标准水银温度计、精密温度计、工业铂、铜热电阻时作为标准器使用，也可直接用于高准确度的温度测量。在我国，标准铂电阻温度计已得到广泛的应用。尤其是石英外护管二等标准铂电阻温度计，广泛应用于各级温度计量实验室的量值传递和精密测温。标准铂电阻温度计有二种外护管，石英外护管及金属外护管。石英外护管标准铂电阻温度计和金属外护管标准铂电阻温度计各有其优缺点。具体选择哪一种温度计，要根据用户

NL-27噪音计使用说明书

NL-27噪音计说明书图（一） 1.按住图（一）画面内红色圈起的POWER 键1秒开机，出现开机画面，如图（二）所示。图（二） 2.按图（二）画面内的START/STOP 键一下，即可进入测试画面，如图（三）所示：

图（三）测量结束后按一下MODE 键，可以查看本次测量Leq ,Lmax ,Le 三种数值（三种数值解释如下）。 Leq ：等效连续声级（某一时间断声音的平均值） Lmax ：噪音声级最大值 Le: 单发噪音暴露声级 4.按开机画面中的A/C/CAL 键一次可进入频率加权特性C ，如图（四）所示：（如要测试同上面一样）图（四）频率加权特性A ：捕捉所有声音(我们一般用A 特性测量，C 特性不用) 频率加权特性C ：捕捉人耳能听到的声音

（五）所示：该仪器的内置振荡器的标定（1KHz ,正弦波），标准声压量程式：94.0dB （该数值为仪器原厂商设定的自检标准值）。图（五）如果内部校准屏幕的数值不是自检标准值94.0dB ，按START/STOP 键（向下）或MODE 键（向上）调至自检标准值94.0 dB 。 7.在图（五）画面时按A/C/CAL 键一次可进入声校准屏幕，如图（六）所示：图（六）需要仪器NC-74来校验。

（七）所示。图（七）此画面为仪器总共测量数值的次数，按START/STOP键（向下）或MODE 键（向上）可以在该画面查看仪器每一次测量（Leq , Lmax , Le）的数值。 9.如果要删除数据在图（七）画面时按A/C/CAL键5秒进入删除屏幕，如图（八）所示：在此画面按START/STOP键一次删除所有数据记录（总共可以记录199组数据），再按A/C/CAL键一次进入开机画面。 10.按开机画面内的A/C/CAL键3秒后可以进入菜单屏幕。如图（九）所示：

标准铂电阻温度计检定

MV_RR_CNG_0029 标准铂电阻温度计检定规程 1. 标准铂电阻温度计检定规程说明编号 JJG 160—1992 名称（中文）标准铂电阻温度计检定规程（英文）Verification Regulation of the Standard Platinum Resistance Thermometer 归口单位中国计量科学研究院起草单位中国计量科学研究院主要起草人王玉兰 (中国计量科学研究院) 批准日期 1992年6月15日实施日期 1992年12月1日替代规程号 JJG 160-89 适用范围本规程适用于新制造、使用中及修理后的测量范围为0～419.527 ℃的标准铂电阻温度计的检定。主要技术要求 1 外观尺寸 2 结构 3 电阻特性 4 稳定性 5 热性能和其它性能是否分级否检定周期（年） 2 附录数目 3 出版单位中国计量出版社检定用标准物质相关技术文件备注 2. 标准铂电阻温度计检定规程摘要一概述标准铂电阻温度汁(以下简称温度计)是根据金属铂的电阻随温度变化而变化的规律来测量温度的。在0～419.527℃温区内，1990年国际温标(ITS－90) 采用标准铂电阻温度计作为温标的内插仪器，它使用一组规定的定义固定点和参考函数和相应的差值函数内插。在0～419.527℃温区内，温度t 由下列公式确定： W r (t )＝C 0 f i ∑=9 1C i 〔(t /℃－481)/481〕i (1) t /℃＝D 0i ∑=9 1D i 〔(W r (t )－2.64)/1.64〕i (2) 116

真空计使用说明新版

1、复合真空计使用说明 1.1 主要性能： 1.1.1 本复合真空计由一个热偶计和一个宽量程的复合真空计构成．热偶采用单一的一支ZJ—54D 热偶规管进行测量。复合真空计用一支ZJ－54D 热偶规和一支ZJ－10 电离规进行测量。 1.1.2 测量范围：热偶计：103Pa～10-1Pa 复合计：103Pa～10-4Pa 。其中电离规3.5Pa～10-4Pa。 1.1.3 本复合真空计配有RS232 接口，可与带相应接口的计算机联机。测量数据由计算机进行管理。 1.1.4 供电：本复合真空计采用单相220V 交流供电。电压范围：220V AC±10%；消耗功率：≤30W 1.1.5 使用和储存环境：温度：5℃～35℃ 湿度：0～85 % 严禁在高温潮湿和有腐蚀性气体的环境下工作和储存。严禁在工作时猛烈碰撞。 1.1.6 机箱尺寸：宽×高×深＝480×119×320 重量：约7Kg 1.1.7 出厂时规管引线均为5m。最长建议不要长于10m。 1.1.8 RS232 接口建议采用屏蔽电缆。屏蔽线与机壳相连，并接地。 1.1.9 电离规的启动方式：由面板上的自动、手动开关控制。自动方式下，热偶规测量值<3.5Pa时接通，>4.0Pa 时关闭。手动方式下，由面板上的二个ON和OFF按纽控制。当真空度大于10Pa时，请不要打开电离规。 2.操作说明：本复合真空计是采用单片机技术的智能化仪器。打开电源后，真空计初始化显示“HZ HZ HZ HZ”初始化完后,热偶计直接进入工作状态。没有接入规管或规管暴露在大气中时，都是显示103Pa。复合计：分手动和自动启动方式，在面板上，设有电离规状态指示灯。电离规关闭或没接或故障时，ZJ－10 指示灯亮。在手动方式下，在没有接通电离规之前，若热偶规正常，则指示热偶规测量的真空值。接通电离规后，显示的是电离规测量的真空度。电离规测量值≥5.0Pa 时，自动关闭电离规灯丝。在自动方式下。当热偶规测量值在103～3.5Pa 范围内时，显示的是热偶规的测量值。≤3.5Pa 时，显示的是电离规的测量值。当热偶规测量值＜3.5Pa 时，自动启动电离规。当热偶规或电离规测量值≥4.0Pa 时，自动关闭电离规。若没有接热偶规或热偶规故障，窗口指示“－、－0”。热偶规测量值＞5Pa而电离规不能关闭时，窗口指示“－、－1”。注意：仪器电源没切断前，不能更换规管！电离规在灯丝关闭状态下，仍有高压！ 3.RS232 口通讯协议：本复合真空计提供一个可与带有RS232 通讯接口的计算机相接的标准

HS5633型数字声级计使用说明书

1.前言 HS5633型数字声级计是按新标准要求研制的一种常规声级计，设有A频率计权网络、高低量程、过载与欠量程指示、保持测量、数显指示等功能，具有动态范围大、操作简单、使用方便等特点，性能符合声级计新标准2级要求。可广泛用于机器、车辆、船舶、电器等工业噪声测量和环境噪声测量，适用于工厂企业、环境保护、劳动卫生、交通、教学、科研等部门的声测试领域。 2.主要技术性能 2.1传声器 1∕2英寸（Φ12.7mm）HS14423型测试电容传声器极化电压：0V 灵敏度：25mV∕Pa 频率范围：20Hz～12.5kHz 2.2声级测量范围 40dB～130dB ( A ) 2.3频率计权与频率范围 A计权?:20Hz～8kHz 2.4参考声压级与校准检验频率 94dB 1000Hz 2.5级程分挡设设置 L( 低 ): 40dB～100dB( 参考量程 ), ＞100dB过载指示. H( 高 ): 70dB～130dB , ＜70dB欠量程指示 , ＞130dB过载指示。 2.6时间计权与保持设置快特性F，指数时间常数125ms HOLD（保持）：保持最大瞬时声级 2.7数显指示：三位半液晶显示器，分辨率0.1dB，更新速率约1次/秒. 2.8仪器等级：符合JJG188检规 IEC61672标准2级。 2.9声校准：HS6020(94dB，1000Hz)声级校准器。 2.10电源: DC 7V～9V，使用一节9V叠层电池。 2.11外形尺寸：l×b×h：162mm×62mm×24mm 2.12质量：160g（连电池） 2.13工作环境：温度：-10℃～50℃ 湿度：25﹪～90﹪ 大气压：65kPa～108kPa 3 工作原理与结构功能 3.1 HS5633数字声级计主要由传声器、前置放大、频率计权与量程控制、信号处理放大、电源、A/D变换器、液晶显示器等各部分组成。工作原理框图如图一所示：

热电阻安装使用说明书

热电阻安装使用说明书安徽埃克森科技集团有限公司

1.热电阻工作原理热电阻是中低温区最常用的一种温度检测器。它的主要特点是测量精度高，性能稳定。其中铂热电阻的测量精确度是最高的，它不仅广泛应用于工业测温，而且被制成标准的基准仪。与热电偶的测温原理不同的是，热电阻是基于电阻的热效应进行温度测量的，即电阻体的阻值随温度的变化而变化的特性。因此，只要测量出感温热电阻的阻值变化，就可以测量出温度。目前主要有金属热电阻和半导体热敏电阻两类。金属热电阻的电阻值和温度一般可以用以下的近似关系式表示，即 Rt=Rt0[1+α（t-t0）] 式中，Rt为温度t时的阻值；Rt0为温度t0（通常t0=0℃）时对应电阻值；α为温度系数。半导体热敏电阻的阻值和温度关系为 Rt=AeB/t 式中Rt为温度为t时的阻值；A、B取决于半导体材料的结构的常数。相比较而言，热敏电阻的温度系数更大，常温下的电阻值更高（通常在数千欧以上），但互换性较差，非线性严重，测温范围只有-50~300℃左右，大量用于家电和汽车用温度检测和控制。金属热电阻一般适用于-200~500℃范围内的温度测量，其特点是测量准确、稳定性好、性能可靠，在程控制中的应用极其广泛。热电阻材料热电阻测温是基于金属导体的电阻值随温度的增加而增加这一特性来进行温度测量的。热电阻大都由纯金属材料制成，目前应用最多的是铂和铜，此外，现在已开始采用镍、锰和铑等材料制造热电阻。热电阻种类（1）精密型热电阻：工业常用热电阻感温元件（电阻体）的结构及特点。从热电阻的测温原理可知，被测温度的变化是直接通过热电阻阻值的变化来测量的，因此，热电阻体的引出线等各种导线电阻的变化会给温度测量带来影响。为消除引线电阻的影响同般采用三线制或四线制。

AWA6228型多功能声级计使用说明

AWA6228型多功能声级计使用说明一、仪器常用符号：见附件二、仪器校准本公司采用AWA6221（B）型声级校准器进行校准：（第一次声校准时，根据AWA6221（B）型声级校准器的检定证书设定“校准器声压级”。一般声级校准器的声压级是94.0dB，但当检定出的声压级不是94.0dB时，应按实际检定结果进行设定。例如是94.2dB，此时应先将光标移到“修改”按钮上，按下“确定”键，再移动光标到“4.”上，用“△”、“▽”键调节数值到94.2。按一下“△”、“▽”键数值向上或向下调节0.1dB，当按下“△”、“▽”键不放时，数值一次调节1dB，并连续调节，直到按键放开为止。再将光标移到“修改”按钮上，按下“确定”键。以上步骤只有在显示出的校准器声压级与使用声级校准器声压级不一样时才进行。）将AWA6221B 型声级校准器套到传声器上，打开电源，稳定几秒后，将仪器的光标移到“校准”按钮上，按下校准器的开关（应持续2秒钟），再按下“确定”键，仪器开始自动校准。在“LC”后显示声压级，这个声压级约等于校准器声压级减去自由场修正量。在“Lpx”后显示灵敏度级。在显示器的左上角显示一个数值，从0 跳到9 后停下来，仪器显示完成后。将光标移到“应用”按钮上，按下分析仪面板上的“确定”键，新的传声器灵敏度级就被保存下来了，校准完成。如果新校准出的灵敏度级与上一次保存的灵敏度级相差3dB 以上时，仪器会提示“两次灵敏度级相差超过3dB,能保存。请再次确认校准无误。应检查传声器是否损坏。如果用户没有将光标移到“应用”上按下“确定”键，则分析仪还是使用原来的传声器灵敏度级。三、仪器的设置打开电源，进入设置界面，根据需要通过光标按钮移动光标、通过加减按钮调整数据和方式，依次设置时间、测量时间、选取组名等。（再一次按下设置按钮翻页）

常用真空计的测量范围

常用真空计的测量范围及其性能李苹平 (合肥华瑞真空科技有限公司) 介绍几种测量范围为10-8～105Pa的常用真空计，其应用十分广泛，性能较好，价格较低。热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计（可测量超高、高真空）、电容薄膜真空计、热电偶真空计、电阻真空计及压缩式真空计、压敏（压力敏感元件）电阻真空计。本文仅介绍应用广泛性能较好且价格较低的几种真空计，测量范围参见图1。 1 电离真空计电离真空计的离子流与压强关系为线性关系（直接测量参数与所需测量参数之间为线性关系，可作为直观仪表），规管（测量元件）测量上限由规管非线性不超过20％所对应的压强确定，测量下限由规管本底压强示值的10倍确定[2]。（在非线性不超过20%时，可近似为线性测量）电离计总的测量范围为10-8～102Pa，一般说来，每一种结构的规管只能覆盖一部分。（每一种结构的规管产生的离子流与压强在一定范围内成线性相关）BA计收集极做成针状，它的X光本底电流小，因而下限可达10-8Pa，是一种超高真空计。它的上限为10-1Pa，灯丝是钨丝。 DL-2型真空规管在上世纪50年代在我国生产，它是高真空规管，测量范围是lO-5～10-1Pa，钨灯丝。钨灯丝在高压强易氧化而烧断，规管在10-1Pa工作寿命约1个星期。因而上限不能超过10-1Pa。70年代研制了DL-5型中真空规管[3]。它的测量范围是10-4～10 Pa。该规管在国内首先用敷氧化钇铱丝作灯丝，可以在高压强工作。高压强规管的几何尺寸要小，以减小电子在行程中与气体分子碰撞。后来有人做出_DL-8型规管，它的几何尺寸比DL-5更小，上限可达100 Pa。热阴极电离计在压强大于10 Pa时使用不太合适（测量元件在高压强下易氧化而烧断）。在高压强时发射电流应减小。上世纪80年代，用敷氧化钇铱丝代替BA计中的钨丝做出DL-7型BA

AWA6228多功能声级计使用说明书.

蓝博实验室仪器作业指导书(LBZY-024 AWA6228型多功能声级计作业指导书编制:王剑审核:蒋萍批准:李星 1.1工作环境条件工作温度:-10~50℃,相对湿度:20%~90%。测量应在无雨雪、无雷电的天气,风速为5m/s以下时进行。 1.2 参数设置: 按下仪器开/复位键,移动光标到“设置”菜单上,按确定键进入参数设置。 1.2.1日历时钟调整将光标移到调整日历时钟处按确定键调整。每月至少让仪器开机工作8小时以上,以便为内部后备电池充电,确保时钟显示的准确性。 1.2.2测量时间设置将光标移到测量时间的h,m,s上。用参数键任意设置测量时间。 1.2.3组名(测点名称输入及选择将光标移到“组名”处,按下确定键进入组名(测点名称编辑界面,为每个测量结果编辑不同的组名(测点名称,任意输入英文或中文。 1.2.4统计用频率计权的选择

在启动分析统计之前,可以改为对所需频率计权或时间计权进行统计分析 1.2.5 LCD显示对比度调节主菜单下按下参数键对LCD显示器的对比度大小进行调节,也可进入参数设置菜单,将光标移到“对比度”上,按参数键进行调节。 1.3 噪声测量: 1.3.1噪声单次测量: ①按标准要求在参数设置界面下设定好测量时间, 根据需要设定好统计用频率计权、组名、打印功能、短信发送、启动方式等参数; ②进入测量菜单,将光标移到显示器最后一行的菜单条上,将第一个菜单项改为“噪声”,第二个菜单项改为“单次”,进入单次测量界面,按下启动/暂停键开始测量。仪器启动测量后同时计算的所有测量指标,可在不同的显示内容和显示模式下切换; ③测量过程中按下启动/暂停键可暂停测量,按输出键可停止测量并保存当前测量结果;如果需停止测量并清除当前测量结果,按删除键;如果需继续测量,可以再按启动/暂停键; ④第二次测量时,如果相关系统参数一致,可直接按“启动/暂停”开始测量。 1.3.2二十四小时自动监测 ①根据需要设定好测量时间、统计用频率计权、组名等参数,检查并调整时钟。 ②进入测量菜单,将光标移到显示器最后一行的菜单条上,将第一个菜单项改为“噪声”,第二个菜单项改为“24h”进入24小时自动测量界面。

真空计常见类型

真空计常见类型真空计简介真空计，又叫真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。真空计种类繁多，为了研究和使用方便，合理分类是很重要的。角度不同，分类方法也不同，在这里笔者介绍两种常用的分类法。 1、按真空计刻度方法分类（1）绝对真空计：直接读取气体压力，其压力响应（刻度）可通过自身几何尺寸计算出来或由测力计确定。绝对真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关。属于绝对真空计的有U 型管压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。（2）相对真空计：由一些与气体压力有函数关系的量来确定压力，不能通过简单的计算进行刻度，必须进行校准才能刻度。相对真空计一般由作为传感器的真空计规管和用于控制、指示的测量器组成，读数与气体种类有关。相对真空计的种类很多，如热传导真空计和电离真空计等。 2、按真空计测量原理分类按真空计测量原理分类，可以分成直接测量真空计和间接测量真空计。直接测量真空计系直接测量单位面积上的力，属于这类真空计的有：（1）静态液位真空计。利用U型管两端液面差来测量压力。（2）弹性元件真空计。利用与真空相连的容器表面上受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。压力为10-1 Pa时，作用在1cm2表面上的力只有10-5 N，显然测量这样小的力是困难的，但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。属于间接测量真空计的有：（1）压缩式真空计。其原理是在 U 型管的基础上再应用波义耳定律，即将一定量待测压力的气体，经过等温压缩使之压力增大，以便用 U 型管真空计测量，然后用体积和压力的关系计算被测压力。（2）热传导真空计。利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。（3）热辐射真空计。利用低压下气体热辐射与压力有关的原理。（4）电离真空计。利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离，产生的离子流随压力变化的原理。如热如热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。（5）放电管指示器。利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度，一般仅能作为定性测量。（6）粘滞真空计。利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理。如振膜式真空计和磁悬浮转子真空计。（7）场致显微仪。以吸附和解吸时间与压力的关系计算压力。（8）分压力真空计。利用质谱技术进行混合气体分压力测量。常用的有四极质谱计、回旋质谱计和射频质谱计等。

热电阻型号命名方法

热电阻型号命名方法 WZP2-231 G型号示例

WZPK2-236G型号示例 WZP2- 241 G型号示例 ■ 装配热电阻主要应用装配热电阻通常和显示仪表、记录仪表、电子计算机等配套使用。直接测量各种生产过程中的-200℃—+500℃范围内液体、蒸汽和气体介质以及固体表面温度。 ■ 装配热电阻按安装固定装置方法分为

感温元件无固定装置装配热电阻固定螺纹式装配热电阻活动法兰式装配热电阻固定法兰式装配热电阻固定螺纹锥式装配热电阻活络管接头式装配热电阻直形管接头式装配热电阻固定螺纹管接头式装配热电阻活动螺纹管接头式装配热电阻 ■ 装配热电阻特点 1、压簧式感温元件，抗振性能好； 2、毋须补偿导线，节省费用； 3、测量精确度高； 4、进口薄膜电阻元件，性能可靠稳定； 5、机械强度高，耐压性能好。 ■ 产品执行标准 IEC751JB/T8622-1997JB/T8623-1997 ■ 常温绝缘电阻在环境温度为15—35℃，相对温度不大于80%，试验电压为10—1000V（直流）电极与外套管之间的绝缘电阻≥100MΩ.m ■ 测量范围及温差注：t为感温元件实际测温绝对值 ■ 感温元件

■ 无固定装置热电阻 1、型号120、121为防喷式，防护等级IP65；型号130、131为防水式，防护等级IP55； 2、保护管材质为1Cr18Ni9TI，其余材质根据协议订货。 ■ 固定螺纹式热电阻

1、型号220、221为防喷式，防护等级IP65；型号230、231为防水式，防护等级IP55； 2、保护管材质为1Cr18Ni9TI，其余材质根据协议订货。 ■ 活动法兰式热电阻

德国莱宝真空计原理

德国莱宝真空计原理点击次数：619 发布时间：2010-5-27 真空计 vacuum gauge 用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表，又称真空规。真空计的测量单位沿用压力测量单位，压力的国际单位为帕(Pa)，曾使用的单位还有托(Torr)和毫巴(mbar)等。简史自1643年意大利物理学家E.托里拆利进行大气压力实验以来，先后出现许多种真空计。最早出现的是Ｕ形管真空计,它只能用来测量粗真空和低真空。1874年,H.G.麦克劳发明的压缩式真空计,解决了低真空和高真空的绝对压力的测量，但仍不能进行连续测量。1906年，M.皮喇尼发明电阻式真空计，解决了工业生产中的低真空测量问题。继而，O.E.巴克利于1916年又发明电离真空计,这在当时不仅解决了10-1～10-5帕的高真空测量,而且促进了油扩散泵等真空设备的发展和应用。1937年，F.M.潘宁发明冷阴极电离真空计，适用于有大量放气和经常暴露于大气的真空设备的测量，所以在真空冶金和机械工业中得到广泛应用。1950年，R.T.贝阿德和D.A.阿尔伯特发明BA式电离真空计,解决了10-8帕的超高真空测量问题,从而使真空测量获得了突破,并推动了超高真空技术的发展；而与此有关的表面物理、核能、航天和大型集成电路等科学技术也得到了迅速发展。1960年以来，相继研制成功的调制规、抑制规、弯注规、分离规和磁控式电离规等已能实现10-11帕左右的超高真空测量。详细资清登陆我司网站查询: https://www.wendangku.net/doc/6014873985.html,/ 分类

真空计可分为绝对真空计和相对真空计两大类。凡能从其本身测得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)直接计算出气体压力的称绝对真空计，这种真空计测量精度较高，主要用作基准量具。相对真空计主要利用气体在低压力下的某些物理特性(如热传导、电离、粘滞性和应变等)与压力的关系间接测量，其测量精度较低，而且测量结果还与被测气体种类和成分有关。因此相对真空计必须用绝对真空计标定和校准后方能用作真空测量。但它能直接读出被测压力，使用方便，在实际应用中占绝大多数。真空技术需要测量的压力范围为105～10-11帕，甚至更小,宽达16个数量级以上,尚无一种真空计能适用于从粗真空(105～102帕)、低真空(102～10-1帕)、高真空(10-1～10-5帕)、超高真空(小于10-5帕)到极高真空(小于10-10帕)的全范围测量,因而有多种真空计。最常用的有U形管真空计、压缩式真空计、电阻真空计和冷热阴极电离真空计。 U形管真空计用以测量粗真空和低真空的绝对真空计(图1)。在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸气压的油、汞)。管的一端被抽成真空(或直接通大气)，另一端接被测真空系统。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。压缩式真空计又称麦克劳真空计，是一种测量低真空和高真空的绝对真空计。这种真空计一般用硬质玻璃制成(图2a)。A是一根与被测真空系统相连接的开管，D、B为内径相同的毛细管，V为球泡,其体积远大于毛细管。测量时，通过活塞2抽真空，然后用活塞1充气,使汞储存器C中的汞上升到覆没交叉口ΜΜ′，则D、V和B、A内的气体被隔成两个区域。再充气继续提高汞液面,D、V内的气体则进一步被压缩，压力增高。这样D、B间存在的压差可由汞柱高度差来表示(图2b)。玻璃容器的体积和毛细管的高度是可精确测出的，所以用玻意耳定律即可算出被测压力。测量精度较高,在10-3帕时的精度小于或等于5％。电阻真空计又称皮喇尼真空计，是一种测量低真空的相对真空计，主要由电阻式规管和测量线路两部分组成。电阻式规管(图3)是在管壳内封装着一条电阻温度系数较大的电阻丝，常用的为钨或铂丝。测量时，规管与被测真空系统相接，用一定的电压、电流加热电阻丝，其表面温度可用电阻值来反映，且与周围的气体分子的热传导有关，而气体分子的热传导又与压力有关。当被测压力降低时，由气体分子传走的热量减小，电阻丝表面温度就增高，电阻值增大；反之，电阻值减小。因此根据电阻值的大小就可测量出压力。热阴极电离真空计通称电离真空计，主要用于高真空测量。它是由圆筒式热阴极电离规管(图4)和测量线路两部分组成。这种规管与三极电子管相似，有 3个电极：阴极(灯丝)、螺旋形栅极(加速极)和圆筒形收集极。测量时，规管与被测真空系统相连。通电后，热阴极发射电子，在飞向带正电位的加速极的路程中与管内空间的低压气体分子碰撞,使气体分子电离。电离所产生的电子和离子,分别在加速极和收集极(带负电位)上形成电子流Ie和离子流Ii。在被测气体压力低于10-1帕的状况下,当电子流Ie恒定时，离子流Ii与被测真空系统中的气体分子密度(亦即压力p)成正比。因此,离子流的大小就可作为压力的度量。这种真空计的测量范围为10-1～10-5帕。此外,还有测量上限能达102帕以上的高压力电离真空计。