厂务系统(FMCS)

工厂自动化/厂务系统(FMCS)

日期: 2009-11-6 15:00:48 作者: Admin 来源: 上海存在自动化控制设备有限公司浏览: 3588

FMCS(Facility Management and Control System)其中文意思是厂务监控系统，它是目前半导体厂内制程中所使用的监控系统，用途是将厂区内特定的，有危害的，影响制程状态或系统资料于此的监控，并将其记录，以供问题即时处理及日后问题分析。

目前的制造业已经向信息化工厂逐渐过度，整个工厂作为一个有机的整体来协调运转就需要一个有效的监控和管理，通过监控可以知道工厂所有设备所有人员所有材料的具体情况，通过管理，可以使以上各个生产环节紧密结合，协调运转。这样，就需要一个整体的全厂自动化系统。上海存在自动化控制设备有限公司的FMCS系统就是针对以上这些具体需求提出的完美解决方案。

存在自动化根据客户的具体设备要求和工程规范，结合我们在工厂FMCS方面的多年实践经验，运用当今主流的计算机技术和自动控制技术而进行的方案设计和工程实施设计，而量身定造完整的FMCS系统。此监控系统，具有友善的监控界面，采用Windows作业环境，只需要使用鼠标及简单的键盘，就可以进行操作，具安全性及可扩充性。

FMCS设计目标

将设施供应系统、环境系统、废弃物处理系统等监控资料利用Ethernet、PLC或RS232等通讯协议连接至不同监控计算机，形成一整合网络监控系统，以达到如下目的：

1.整合各单一网络为以整体，实现信息可互通。

2.提升整体管理绩效

3.简化运转维护困难度

4.降低安装、运转及扩充成本

5.多台电脑可相互监看、控制

6.可共享磁盘资源

7.可达到相互备份效果

8.监控报警电话Call出及邮件功能

9.历史数据查询及曲线查询

10.自动生成报表

11.监控系统网络管理

FMCS价值所在

1.大量节省管理人员：传统的仪表控制系统是通过工厂操作管理人员楼上楼下来回奔走，对分布于工厂各处的设备进行开关和调节。采用FMCS以后，就可以通过计算机的键盘或鼠标在中央控制室完成调节控制工作，也可以由计算机内部的软件自动控制调节各设备的参数及开关状态，做到真正的管理自动化，因此可以减轻管理人员的劳动强度，减少管理人员的数量。

2.延长设备使用寿命：设备在计算机的统一管理下始终处于最佳运行状态，按照设备的运行状况打印维护保养报告，提示管理人员对设备进行维护、保养，避免超前或延误维护、保养，相应延长设备使用寿命，减免突发性设备损坏，也就等于节省了资金。

3.提高操作管理人员与设备的整体安全水平：FMCS对不同子系统设备的运行状态进行实时监视，可使管理人员及时发现设备故障、问题与意外，消灭故障于隐患之中，保证设备与人身的安全。一旦设备有故障发生，计算机可以报告故障发生的部位及故障发生的原因，以便维护人员快速排除故障，恢复设备正常运行。

4.及时直观信息反馈：FMCS可不断地、及时地提供有关设备运行状况的报表，集中收集、整理作为设备管理决策的依据，实现设备维护工作的自动化。报表包括设备历史数据、动态趋势、设备诊断等。用户要求的报表可以打印存档。

5.安全操作规范管理：根据管理人员不同职务，给予不同的操作权力，分配不同等级的密码给各个管理人员。在某管理人员表明身份密码后，计算机便记录下使用人的姓名和时间等以便备查。

FMCS系统架构

为了使FMCS系统在规划上或将来的扩充上得到最佳的效果，并考虑在设计上必须的可靠性、稳定性、可扩充性，因此在架构上分为三个层次：设备资料收集层、网络通迅层及人机界面层。

第0层，设备资料收集层：

设备资料收集层由传感器、电动阀等设备组成，经由工业控制网络，上传至第一层（网络通迅层）或接收第一层级控制迅号的PLC。?

第1层，网络通迅层

网络通迅层为整个FMCS监控系统中通迅与控制的枢纽，PLC系统控制器及DMC，资料收集器透过这一层的通迅服务与FMCS监控系统的伺服器相互传递信息，负责这一层通迅的媒介为RS-485，RS-232、光纤及以太网络，在以太网络上的所有节点的信息都可以相互访问。

第2层，人机界面层（SCADA)

人机界面层为整个FMCS监控系统迅息交流的主轴，这一层中包含了电脑通迅网络、数据库服务器与电脑工作站。

厂务设备管理程序

施耐德万高厂务部设备管理程序 一、目的 为规范部门管理工作,进一步明确各项工作的流程，保证和提高人员工作效率,制订本制度。 二、适用范围 施耐德万高厂务部 三、职责 厂务部负责动力设备、消防、安防、等弱电系统的管理、维修、保养等工作。各级人员按此制度要求开展工作部门，主管、工程师定期修订和完善本文件。 四、内容 1、设备的预防性保养 1）动力工程师组织制订年度动力设备定期维护保养计划。 2）弱电工程师组织制订年度弱电设备定期维护保养计划及管理维保供应商的管理及审核等。 3）主管工程师负责培训、安排保养工作及监督落实。 4）运行值班、维修人员负责设备的保养工作、应急维修的具体实施。 5）当保养时间跟生产有冲突时，主管工程应与使用部门沟通和协商保养时间，原则上前后相差不超出1天，否则上报经理处理。当确定好改期保养时间后，保养实施人在“保养标签”上注明“延期至XX月XX 日保养”字样，以备检查。 6）运行人员应按照工程师的保养计划按时完成设备保养工作，并填写保养记录，其结果纳入考核。 7）委外实施的保养工作，由设备所属主管工程师按合同要求监督供应商做好相关设备的保养并做好相关记录。 8）主管工程师定期组织运行值班、维修人员评估预防性保养工作的情况，对于工作不足之处，制定改善措施并监督内容的实施。 9）进行保养时，须上锁挂牌并进行能量释放及检测后方可实施，严禁违规作业。 附件：1《动力设备预防性维护计划》 2《消防设备维保合同》 2、设备、设施的日常点检、巡检 1）运行值班人员负责动力设备的日常、巡检工作（如高低压变配电、中央空调、冷冻机、空压机、循环水、软水处理、燃气炉、供暖系统等）。 2）运行人员严格按照要求每天点检和巡检设备，发现问题及时处理如不能处理及时汇报主管工程师处理结束后在点检、巡检表上做好相关记录。 3）运行人员每月将点检、巡检表、保养记录收集整理交主管工程师检查，并由工程师存放的指定文件柜，存放期一年。 4）工程师应对现场的点检、运行记录进行检查确认，发现问题及时与相关人员沟通培训。 5）厂房动力设备发生异常或故障处理完成后应在点检或巡检记录上填写记录。 6）厂房动力设备出现故障首先由运行人员处理解决，如处理过程会对生产造成影响，需报告主管工程师，待与生产部门确人后方可实施，如遇紧急情况除外。 附件：《10KV变电站点检记录表》 《空压机点检记录表》 《冷却塔点检记录表》 《10KV变电站点检记录表》 《配电箱点检记录表》 《软水系统点检记录表》

半导体厂务系统介绍

Cleanroom System [ 洁净室系统] /ceiling grid 、无a, 内装修工程：(高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶尘 涂装、环氧地坪等)、压差控制系统、ESD防静电等； b, 循环空调系统：(包括部分供热与通风系统，比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、 FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.); c, FOUNDATION:防震机座、粉尘监测智能系统 /DMS系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁 净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机etc. Mechanical System ［机械系统］ 中央动力,Central utility:Mechenical( 热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW、 生产上水、自来水、饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统；锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施) Specialty Gas and Bulk Gas ［特殊气体和大宗气体］ a, Bulk Gas:GAS YARD 气站,CQC(N2/H2/O2/Ar/He/ 天然气)【包括普通和超纯/精制气体】，压缩空气(CDA)--有些FAB还将机台用CDA和厂务设备用CDA供应系统分开，呼吸空气供应系统等； b, Specialty Gas System ( 部分特性有重迭): (1) 易燃性气体(Flammable Gas) (2) 毒性气体(Toxic Gas) (3) 腐蚀性气体(Corrosive Gas) (4) 惰性气体(Inert Gas) (5) 氧化性气体(Oxide Gas) (6) 低压/保温气体(Heat G as) Water Treatment System ［水处理系统］ a, 超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水(RO水)供应系统etc. b, 工艺废水处理(酸、碱、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、温排水、纯水回收、一 般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc.) c, 办公用给排水系统：饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etc Exhaust System［工艺排气系统］ a, 工厂SCRUBBER:酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.［有些FAB还包括了紧急排烟/事故排风系统］ b, LOCAL SCRUBBER( 一般附属于工艺设备):依其原理大概可分成下列几类(1)电热水洗式；(2)燃烧水洗式(3)填充水洗式;(4)干式吸附式。 Chemical Dispensing System［化学品供应系统］ 包括化学品供应系统和化学品回收系统，具体使用的化学品种类根据每个FAB产品的 不同而不同： a,Chemical Dispe nsi ng System 化学品供应系统

【CN109901505A】一种厂务控制设备的自动化控制系统【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910205078.X (22)申请日 2019.03.18 (71)申请人 四川托日工程技术有限公司 地址 610000 四川省成都市自由贸易试验 区成都高新区天韵路150号1栋9层905 号 (72)发明人 罗俊　罗杰　 (74)专利代理机构 北京联瑞联丰知识产权代理 事务所(普通合伙) 11411 代理人 郑自群 (51)Int.Cl. G05B 19/05(2006.01) (54)发明名称一种厂务控制设备的自动化控制系统(57)摘要本发明公开了一种厂务控制设备的自动化控制系统，包括PLC控制器、触摸屏、主控模块和显示屏，PLC控制器连接有触摸屏，触摸屏内设置有用户登录模块，且用户通过用户登录模块进行登录，触摸屏内分别设置有人机操作模块、控制命令输入模块和控制命令采集模块，人机操作模块方便用户通过触摸屏进行操作PLC控制器，控制命令输入模块用于用户输入控制命令，控制命令采集模块用于采集输入的控制命令，并输送给PLC控制器，PLC控制器连接有显示屏，PLC控制器连接有控制命令预览模块和控制命令优化模块，控制命令预览模块用于对输入的控制命令进行预览，防止命令出错，通过PLC控制器控制主控模块，控制设备进行工作， 增加了工作人员的便利。权利要求书2页 说明书4页 附图1页CN 109901505 A 2019.06.18 C N 109901505 A

权　利　要　求　书1/2页CN 109901505 A 1.一种厂务控制设备的自动化控制系统，包括PLC控制器(1)、触摸屏(2)、主控模块(3)和显示屏(4)，其特征在于：PLC控制器(1)连接有触摸屏(2)，触摸屏(2)内设置有用户登录模块，且用户通过用户登录模块进行登录，触摸屏(2)内分别设置有人机操作模块(21)、控制命令输入模块(22)和控制命令采集模块(23)，人机操作模块(21)方便用户通过触摸屏进行操作PLC控制器(1)，控制命令输入模块(22)用于用户输入控制命令，控制命令采集模块(23)用于采集输入的控制命令，并输送给PLC控制器(1)，PLC控制器(1)连接有显示屏(4)，PLC控制器(1)连接有控制命令预览模块(11)和控制命令优化模块(12)，控制命令预览模块(11)用于对输入的控制命令进行预览，防止命令出错，控制命令优化模块(12)对输入的控制命令进行优化，PLC控制器(1)连接有主控模块(3)，主控模块(3)包括监测模块(31)、校验模块(32)、调节模块(33)和报警模块(34)。 2.根据权利要求1所述的一种厂务控制设备的自动化控制系统，其特征在于：监测模块(31)包括电压监测模块(311)、电流监测模块(312)、温度监测模块(313)、湿度监测模块(314)、液位监测模块(315)、压力监测模块(316)和电机转速监测模块(317)，电压监测模块(311)用于监测设备使用的电压数据信息，并将监测的数据信息通过控制器软件进行比例运算后输出到显示屏(4)进行参数显示，电流监测模块(312)用于监测设备使用的电流数据信息，并将监测的数据信息通过模拟数字转换器转换成数字信号，发送到显示屏(4)进行参数显示，温度监测模块(313)是用于监测设备内部循环用水的温度，通过温度传感器监测到水温的模拟信号，输入模拟数字转换器，转换成数字信号，发送到显示屏(4)进行水温的显示，湿度监测模块(314)是用于监测设备使用空间内的湿度，通过湿度传感器监测到室内湿度的模拟信号，输入模拟数字转换器，转换成数字信号，发送到显示屏(4)进行室内湿度的显示，液位监测模块(315)用于对外部设备的循环用水、柴油以及机油的液位进行监测，通过液位传感器得到液位模拟信号，输入模拟数字转换器，转换成数字信号，发送到显示屏(4)进行设备各处液位的显示，压力监测模块(316)用于对设备使用机油的压力进行监测，通过油压传感器得到机油压力模拟信号，输入模拟数字转换器，转换成数字信号，发送到显示屏(4)进行设备机油压力的显示，电机转速监测模块(317)用于对设备所用的电机的转速进行监测，监测的数据输入模拟数字转换器，转换成数字信号，发送到显示屏(4)进行电机转速的显示。 3.根据权利要求1所述的一种厂务控制设备的自动化控制系统，其特征在于：校验模块(32)包括总校验模块(321)，总校验模块(321)由多个子校验模块(322)组成，校验模块(32)用于对电压监测模块(311)监测到的电压、电流监测模块(312)监测到的电流、温度监测模块(313)检测到的水温、湿度监测模块(314)监测到的湿度、液位监测模块(315)监测到的液位、压力监测模块(316)监测到的机油压力和电机转速监测模块(317)监测到的电机转速进行校验，以便在显示屏(4)的监控项中准确显示设备的数据信息。 4.根据权利要求1所述的一种厂务控制设备的自动化控制系统，其特征在于：调节模块(33)包括电机调速模块(331)、气缸调节模块(332)、液压缸调节模块(333)和温度调节模块(334)，电机调速模块(331)方便根据使用要求对电机转速进行调节，气缸调节模块(332)对使用的气缸进行调整，液压缸调节模块(333)对使用的液压缸进行调整，温度调节模块(334)对使用水温进行调节。 5.根据权利要求1所述的一种厂务控制设备的自动化控制系统，其特征在于：报警模块 2

半导体厂务工作

半導體廠務工作 國家奈米元件實驗室 一、前言 近年來，半導體晶圓廠已進展到8"晶圓的量產規模，同時，也著手規劃12"晶圓的建廠與生產，準備迎接另一世代的產業規模。於是各廠不斷地擴增其產能與擴充其廠區規模，似乎稍一停頓即會從此競爭中敗下陣來。所以，推促著製程技術不斷地往前邁進，從0.25μm設計規格的64Mb（百萬位元）DRAM（動態隨機記憶元件）記憶體密度的此際技術起，又加速地往0.18μm規格的256M發展；甚至0.13μm的1Gb（十億位元）集積度的DRAM元件設計也屢見不鮮。亦即整個半導體產業正陷入尖端技術更迭的追逐戰，在競爭中，除了更新製程設備外，最重要的是維持廠區正常運作的廠務工作之配合，而這兩方面的支出乃佔資本財的最大宗。特別是多次的工安事故及環保意識抬頭之後，廠務工作更是倍顯其重要及殷切。 事實上，半導體廠的廠務工作為多援屬性的任務，也是後勤配合與收攤（廢棄物）處理的工作；平時很難察覺其重要性，但狀況一出，即會令整廠雞飛狗跳，人仰馬翻，以致關廠停機的地步。所以，藉此針對廠務工作的內容做一概略性的描述，說明其重要性並供作參考與了解。文章分為三部份：首先為廠務工作的種類，其次是廠務工作的未來方向，最後是本文的結語。 二、廠務工作的種類 目前在本實驗室所代表的半導體製程的廠務工作，約可分為下列數項： 1.一般氣體及特殊氣體的供應及監控。 2.超純水之供應。 3.中央化學品的供應。 4.潔淨室之溫度，濕度的維持。 5.廢水及廢氣的處理系統。 6.電力，照明及冷卻水的配合。 7.潔淨隔間，及相關系統的營繕支援工作。 8.監控，輔佐事故應變的機動工作等數項。 下述將就各項工作內容予以概略性說明： 1.一般氣體及特殊氣體的供應及監控[1] 一座半導體廠所可能使用的氣體約為30種上下，其氣體的規格會隨製程要求而有不同；但通常可分為用量較大的一般氣體(Bulk Gas)，及用量較小的特殊氣體(Special Gsa)二大類。在一般氣體方面，包括有N2, O2, Ar, H2等。另在特殊氣體上，可略分為下述三大類: (1) 惰性氣體(Inert Gas)的He, SF6,CO2, CF4, C2F6, C4H8及CH3F等。 (2) 燃燒性氣體(Flammable Gas)的SiH4,Si2H6, B2H6, PH3, SiH2Cl2, CH3, C2H2及CO 等。 (3) 腐蝕性氣體(Corrosive Gas)的Cl2,HCl, F2, HBr, WF6, NH3, BF2, BCl3, SiF4, AsH3, ClF3, N2O, SiCl4, AsCl3及SbCl5等。 實際上，有些氣體是兼具燃燒及腐蝕性的。其中除惰性氣體外，剩下的均歸類為毒性氣體。SiH4,B2H6,PH3等均屬自燃性氣體(Pyrophoricity)，即在很低的濃度下，一接觸大氣後，立刻會產生燃燒的現象。而這些僅是一般晶圓廠的氣源而已，若是實驗型的氣源種類，則將更為多樣性。 其在供氣的流程上，N2可採行的方式，有1. 由遠方的N2產生器配管輸送，2使用液氣槽填充供應，3利用N2的近廠產生器等三種。目前園區都採1式為主，但新建廠房的N2用量增鉅，有傾向以近廠N2產生器來更替；而本實驗室則以液槽供應。O2氣體亦多採用液槽方式，不過H2氣體在國內則以氣態高壓鋼瓶為主。圖一乃氣體供應之圖示。純化器方面，N2及O2一般均採用觸煤吸附雙塔式，Ar則以Getter（吸附抓取）式為主，H2則可有Getter，

厂务系统

工厂自动化/厂务系统(FMCS) 日期: 2009-11-6 15:00:48 作者: Admin 来源: 上海存在自动化控制设备有限公司浏览: 3588 FMCS(Facility Management and Control System)其中文意思是厂务监控系统，它是目前半导体厂内制程中所使用的监控系统，用途是将厂区内特定的，有危害的，影响制程状态或系统资料于此的监控，并将其记录，以供问题即时处理及日后问题分析。 目前的制造业已经向信息化工厂逐渐过度，整个工厂作为一个有机的整体来协调运转就需要一个有效的监控和管理，通过监控可以知道工厂所有设备所有人员所有材料的具体情况，通过管理，可以使以上各个生产环节紧密结合，协调运转。这样，就需要一个整体的全厂自动化系统。上海存在自动化控制设备有限公司的FMCS系统就是针对以上这些具体需求提出的完美解决方案。 存在自动化根据客户的具体设备要求和工程规范，结合我们在工厂FMCS方面的多年实践经验，运用当今主流的计算机技术和自动控制技术而进行的方案设计和工程实施设计，而量身定造完整的FMCS系统。此监控系统，具有友善的监控界面，采用Windows作业环境，只需要使用鼠标及简单的键盘，就可以进行操作，具安全性及可扩充性。 FMCS设计目标 将设施供应系统、环境系统、废弃物处理系统等监控资料利用Ethernet、PLC或RS232等通讯协议连接至不同监控计算机，形成一整合网络监控系统，以达到如下目的： 1.整合各单一网络为以整体，实现信息可互通。

2.提升整体管理绩效 3.简化运转维护困难度 4.降低安装、运转及扩充成本 5.多台电脑可相互监看、控制 6.可共享磁盘资源 7.可达到相互备份效果 8.监控报警电话Call出及邮件功能 9.历史数据查询及曲线查询 10.自动生成报表 11.监控系统网络管理 FMCS价值所在 1.大量节省管理人员：传统的仪表控制系统是通过工厂操作管理人员楼上楼下来回奔走，对分布于工厂各处的设备进行开关和调节。采用FMCS以后，就可以通过计算机的键盘或鼠标在中央控制室完成调节控制工作，也可以由计算机内部的软件自动控制调节各设备的参数及开关状态，做到真正的管理自动化，因此可以减轻管理人员的劳动强度，减少管理人员的数量。 2.延长设备使用寿命：设备在计算机的统一管理下始终处于最佳运行状态，按照设备的运行状况打印维护保养报告，提示管理人员对设备进行维护、保养，避免超前或延误维护、保养，相应延长设备使用寿命，减免突发性设备损坏，也就等于节省了资金。 3.提高操作管理人员与设备的整体安全水平：FMCS对不同子系统设备的运行状态进行实时监视，可使管理人员及时发现设备故障、问题与意外，消灭故障于隐患之中，保证设备与人身的安全。一旦设备有故障发生，计算机可以报告故障发生的部位及故障发生的原因，以便维护人员快速排除故障，恢复设备正常运行。 4.及时直观信息反馈：FMCS可不断地、及时地提供有关设备运行状况的报表，集中收集、整理作为设备管理决策的依据，实现设备维护工作的自动化。报表包括设备历史数据、动态趋势、设备诊断等。用户要求的报表可以打印存档。 5.安全操作规范管理：根据管理人员不同职务，给予不同的操作权力，分配不同等级的密码给各个管理人员。在某管理人员表明身份密码后，计算机便记录下使用人的姓名和时间等以便备查。 FMCS系统架构

数据中心基础设施监控管理系统(DCIM)-技术方案

数据中心 基础设施管理系统（DCIM）技术方案

目录 第1章项目技术方案 (5) 1.1.项目概述 (5) 1.2.技术标准 (5) 1.3.系统设计 (6) 1.3.1.系统描述 (6) 1.3.2.项目范围 (6) 1.3.3.系统架构 (7) 1.3.4.串口设计 (10) 1.3.5.双总线（A/B路）设计 (12) 1.3.6.系统性能 (13) 1.4.基础设施监控实现 (14) 1.4.1.动环监控实现 (14) 1.4.1.1.变压器监测 (14) 1.4.1.2.发电机监测 (15) 1.4.1.3.列头柜监测 (15) 1.4.1.4.电量仪监测 (16) 1.4.1.5.UPS监测 (17) 1.4.1.6.EPS监测 (18) 1.4.1.7.ATS监测 (19) 1.4.1.8.蓄电池监测 (19) 1.4.1.9.氢气监测 (20)

1.4.1.11.新风机监控 (21) 1.4.1.12.温湿度监测 (22) 1.4.1.13.机柜温度监测 (23) 1.4.1.14.漏水监测 (23) 1.4.1.15.入侵监测 (24) 1.4.2.第三方系统集成 (25) 1.4.2.1.系统集成架构描述 (25) 1.4.2.2.视频系统集成实现 (26) 1.4.2.3.门禁系统集成实现 (26) 1.4.2.4.BA系统集成实现 (27) 1.4.2.5.消防系统集成实现 (27) 1.4.2.6.极早期探测系统集成实现 (28) 1.5.基础设施管理平台功能 (28) 1.5.1.系统界面 (28) 1.5.2.冷通道管理 (34) 1.5.3.告警管理 (39) 1.5.4.报表管理 (42) 1.5.5.联动管理 (45) 1.5.6.远程管理 (46) 1.5.7.日志管理 (46) 1.5.8.数据管理 (46)

厂务常用缩写

厂务常用缩写 字体: 小中大 | 打印发表于: 2007-4-20 08:54 作者: cecilcxm 来源: 半导体技术天地 Abbreviation Full Name 中文說明 HVAC CUP Central Utility Plant 中央動力廠 房 GEX General EXhaust 普通及熱排氣 SEX Scrubber EXhaust 酸排氣 VEX Volatile orgaic compound EXhaust 有機溶劑 排 AEX Ammonia EXhaust 鹼性排氣 PCW Plant Cooling Water 工藝冷卻 水 PV Process Vacuum 工藝真空 HV House Vacuum 真空吸塵 CW City Water 自來水 FMCS Faility Monitoring Contro System 廠務監控系 統 MCC Motor Control Center 馬達控制中 心 VFD Variable Frequency Device 變頻 CCTV Close Circuit Televsion 閉路電 視 PA Public Adress system 廣播系統 FA Fire Alarm system 火災報警系統 UPW Ultra Pure Water 超純 水 FWW Fluoride Waste Water 低濃度氫氟酸廢 水 IWW Industry Waste Water 工業廢 水

OWW Organic Waste Water 有機溶劑廢 水 DAHW Drain Amonia Hydride Waste 含氨廢水 RCL Recycle water 製程回收循環水 RCM Reclaim water 製程回收再利用水 HFW High Fluoride Waste water 高濃度氫氟酸廢水 BGW Backgriding Waste water 晶背研磨廢 SAW Sulfuric Acid Waste water 硫酸廢 PAW Phosphoric Acid Waste water 磷酸廢液 SW Stripper Waste water 剝離液廢液 TW Thinner Waste water 清洗廢 PIX Pix waste water PIX廢 SLOW Oxide slurry waste water 介電質研磨廢水 SLWP Metal slurry waste water 金屬研磨廢 SLWP Poly slurry waste water 多晶硅研磨廢水 PN2 Process N2 製程用氮氣 GN2 General N2 一般用氮氣 CDA Compressor Dry Air 壓縮乾燥空氣 VMB Valve Manifold Box 閥箱 空調系統 AHU Air Handling Unit 空调箱 MAU Make-up Air Unit 外气空调箱 VAV Variable Air Volume box 可变风量风 FFU Fan Filter Unit 风车过滤器 HEPA High Efficiency Particulate Filter 高效率过滤ULPA Ultra Low Penetration Filter 超高效率过滤器 A/S Air Shower 空气浴尘室 CUP Central Utility Plant 中央動力廠房 電力系統 FMCS Faility Monitoring Control System 廠務監控系統MCC Motor Control Center 馬達控制中心 VFD Variable Frequency Device 變頻器 CCTV Close Circuit Televsion 閉路電視

公司监控系统管理制度

1.目的 为保障公司厂区内监控信息系统的正常有序的运行，特制定本管理制度。 2.适用范围 适用于本公司及分公司重要区域监控管理。 3.职责 本制度适用于本公司及分公司重要区域监控管理，厂区监控系统由门卫负责监控，其中机房监控由集团IT部负责监控。 4.工作内容 4.1中控人员（保安室值勤）负责做好厂区监控范围内的工作，并作好当班的资料记录，发现异常情况必须及时向上级汇报。 4.2集团IT部严格按规定操作步骤进行操作，密切注意监控设备运行状况，保证监控设备安全有序，不得无故中断监控，删除监控资料。 4.3集团IT部监控用的计算机不得做与监控工作无关的事情。 4.4中控人员与集团IT部网络工程师需认真学习监控的操作规程，维护和保养好监控设施。保持图像信息画面清晰，保证系统正常运行。 4.5中控人员与集团IT部负责中控室和机房的卫生清洁，保持室内干燥，设备、布线排列整齐。 4.6严禁非中控人员（门卫值勤）进入中控室与非信息中心网络工程师不能进入机房监控控制中心，中控人员及集团IT部对重要区域加强巡查，并且日常巡检过程中做好记录。 4.7厂内监控系统图像实行自动保存，图像保存时间不少于60天。 4.8外来单位人员需要查看监控图像需厂务部主管批准，图像信息的录制人员、调取时间、调取用途等事项进行登记。 4.9任何人不得擅自复制、查询或者向公安机关以外的其他单位和个人提供、传播图像信息。 4.10任何人不得擅自删除、修改监控系统的运行程序和记录。 4.11任何人不得擅自改变公共安全图像信息系统的用途和摄像设备的位置。 4.12任何人不得干扰、妨碍监控系统的正常运行。 4.13工作人员使用计算机要及时主动设置密码。 4.14严禁将计算机密码告知无关人员。 4.15未经相关领导批准，任何人员不得将公司的数据、软件及资料复制给其他单位或个人。

工厂厂务工作职责.doc

工厂厂务工作职责 【管理制度】 1.负责贯彻公司领导指示。做好上下联络沟通工作，及时向领导反映情况、反馈信息;搞好各部门间相互配合、综合协调工作;对和项工作和计划的督办和检查。 2.根据领导意图和公司发展战略，负责起草年度工作计划、年度工作总结和其他重要文稿，牵头或协助公司的规划研究。 3.负责全公司日常行政事务管理，协助总经理处理日常工作，负责总经理的日常活动和外出活动的安排。 4.组织安排公司办公会议，或会同有关部门筹备公司其他会议及有关重要活动，做好会议记录和整理会议纪要，根据需要按会议决定发文。 5.负责公司来往信函的收发、登记、传阅、批示，做好公文的拟订、审核、印刷、传递、催办和检查，及文书档案资料的归档立卷管理的工作。 6.做好公司历年大事记的原始资料收集和编纂工作，定期或不定期编辑公司简讯、简报或内部发行的刊物。 7.负责公司保密工作和法律事务，妥善保管和正确使用公司印章和介绍信。 8.负责前台接待、客人来访迎送等招待工作。 9.负责公司办公设施的管理。包括公司办公用品采购、发放、

使用登记、保管、维护管理工作，负责传真机、复印机、长途电话、手提电话、计算机、手提计算机的管理和使用。 10.协助信息部门做好信息系统总体开发工作，提高行政办公效率，重点监控计算机联网后的信息保密。 11.负责公司总务工作，做好后勤保障。主要是员膳食、卫生保洁、电话总机服务、安全门卫、宿舍管理工作。 12.负责公司车辆调度、管理、维修、保养工作，确保公司领导和职工正常工作用车。定期对司机进行交通安全教育，减少事故和违章，降低油耗。 13.为丰富员工文化生活，组织安排各种文体活动和旅游活动。 14.兼管公司职代会和工会。 15.完成总经理交办的其他任务。 岗位职责： 1、保障厂务系统的安全运行和管理，确保动力设备运转率达到99%以上; 2、负责厂务系统维护保养计划的制定和落实，有效执行生产计划的工作安排; 3、负责厂务部日常事务性管理工作及公司下达的各项任务的落实;

认识厂务系统种类

厂务系统有哪些 Cleanroom System [ 洁净室系统] a,内装修工程：（高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceiling grid、无尘涂装、环氧地坪等）、压差控制系统、ESD防静电等； b,循环空调系统：（包括部分供热与通风系统，比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.）；c,FOUNDATION：防震机座、粉尘监测智能系统/DMS系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机etc. Mechanical System [ 机械系统] 中央动力，Central utility：Mechenical（热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW、生产上水、自来水﹑饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统；锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施） Specialty Gas and Bulk Gas [ 特殊气体和大宗气体] a,Bulk Gas：GAS YARD气站，CQC（N2/H2/O2/Ar/He/天然气）【包括普通和超纯/精制气体】，压缩空气（CDA）--有些FAB还将机台用CDA和厂务设备用CDA 供应系统分开，呼吸空气供应系统等； b,Specialty Gas System ( 部分特性有重迭)： （1）易燃性气体(Flammable Gas) （2）毒性气体（Toxic Gas） （3）腐蚀性气体（Corrosive Gas） （4）惰性气体(Inert Gas) （5）氧化性气体（Oxide Gas） （6）低压/保温气体（Heat G as) Water Treatment System [ 水处理系统] a,超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水（RO水）供应系统etc. b,工艺废水处理（酸、碱、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、温排水、纯水回收、一般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc. ） c,办公用给排水系统：饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etc

厂务系统(FMCS)

工厂自动化/厂务系统(FMCS) 日期:2009-11-6 15:00:48作者:Admin来源:上海存在自动化控制设备有限公司浏览:3588 FMCS(Facility Management and Control System)其中文意思是厂务监控系统，它是目前半导体厂内制程中所使用的监控系统，用途是将厂区内特定的，有危害的，影响制程状态或系统资料于此的监控，并将其记录，以供问题即时处理及日后问题分析。 目前的制造业已经向信息化工厂逐渐过度，整个工厂作为一个有机的整体来协调运转就需要一个有效的监控和管理，通过监控可以知道工厂所有设备所有人员所有材料的具体情况，通过管理，可以使以上各个生产环节紧密结合，协调运转。这样，就需要一个整体的全厂自动化系统。上海存在自动化控制设备有限公司的FMCS系统就是针对以上这些具体需求提出的完美解决方案。 存在自动化根据客户的具体设备要求和工程规范，结合我们在工厂FMCS方面的多年实践经验，运用当今主流的计算机技术和自动控制技术而进行的方案设计和工程实施设计，而量身定造完整的FMCS系统。此监控系统，具有友善的监控界面，采用Windows作业环境，只需要使用鼠标及简单的键盘，就可以进行操作，具安全性及可扩充性。 FMCS设计目标 将设施供应系统、环境系统、废弃物处理系统等监控资料利用Ethernet、PLC或RS232等通讯协议连接至不同监控计算机，形成一整合网络监控系统，以达到如下目的： 1.整合各单一网络为以整体，实现信息可互通。

2.提升整体管理绩效 3.简化运转维护困难度 4.降低安装、运转及扩充成本 5.多台电脑可相互监看、控制 6.可共享磁盘资源 7.可达到相互备份效果 8.监控报警电话Call出及邮件功能 9.历史数据查询及曲线查询 10.自动生成报表 11.监控系统网络管理 FMCS价值所在 1.大量节省管理人员：传统的仪表控制系统是通过工厂操作管理人员楼上楼下来回奔走，对分布于工厂各处的设备进行开关和调节。采用FMCS以后，就可以通过计算机的键盘或鼠标在中央控制室完成调节控制工作，也可以由计算机内部的软件自动控制调节各设备的参数及开关状态，做到真正的管理自动化，因此可以减轻管理人员的劳动强度，减少管理人员的数量。 2.延长设备使用寿命：设备在计算机的统一管理下始终处于最佳运行状态，按照设备的运行状况打印维护保养报告，提示管理人员对设备进行维护、保养，避免超前或延误维护、保养，相应延长设备使用寿命，减免突发性设备损坏，也就等于节省了资金。 3.提高操作管理人员与设备的整体安全水平：FMCS对不同子系统设备的运行状态进行实时监视，可使管理人员及时发现设备故障、问题与意外，消灭故障于隐患之中，保证设备与人身的安全。一旦设备有故障发生，计算机可以报告故障发生的部位及故障发生的原因，以便维护人员快速排除故障，恢复设备正常运行。 4.及时直观信息反馈：FMCS可不断地、及时地提供有关设备运行状况的报表，集中收集、整理作为设备管理决策的依据，实现设备维护工作的自动化。报表包括设备历史数据、动态趋势、设备诊断等。用户要求的报表可以打印存档。 5.安全操作规范管理：根据管理人员不同职务，给予不同的操作权力，分配不同等级的密码给各个管理人员。在某管理人员表明身份密码后，计算机便记录下使用人的姓名和时间等以便备查。 FMCS系统架构

半导体厂务工作.

半导体厂务工作 吴世全 国家奈米组件实验室 一、前言 近年来，半导体晶圆厂已进展到8"晶圆的量产规模，同时，也着手规划12"晶圆的建厂与生产，准备迎接另一世代的产业规模。于是各厂不断地扩增其产能与扩充其厂区规模，似乎稍一停顿即会从此竞争中败下阵来。所以，推促着制程技术不断地往前迈进，从0.25μm设计规格的64Mb（兆位）DRAM（动态随机存储元件）内存密度的此际技术起，又加速地往0.18μm规格的256M发展；甚至0.13μm的1Gb（千兆位）集积度的DRAM组件设计也屡见不鲜。亦即整个半导体产业正陷入尖端技术更迭的追逐战，在竞争中，除了更新制程设备外，最重要的是维持厂区正常运作的厂务工作之配合，而这两方面的支出乃占资本财的最大宗。特别是多次的工安事故及环保意识抬头之后，厂务工作更是倍显其重要及殷切。 事实上，半导体厂的厂务工作为多援属性的任务，也是后勤配合与收摊（废弃物）处理的工作；平时很难察觉其重要性，但状况一出，即会令整厂鸡飞狗跳，人仰马翻，以致关厂停机的地步。所以，藉此针对厂务工作的内容做一概略性的描述，说明其重要性并供作参考与了解。文章分为三部份：首先为厂务工作的种类，其次是厂务工作的未来方向，最后是本文的结语。 二、厂务工作的种类 目前在本实验室所代表的半导体制程的厂务工作，约可分为下列数项： 1.一般气体及特殊气体的供应及监控。

2.超纯水之供应。 3.中央化学品的供应。 4.洁净室之温度，湿度的维持。 5.废水及废气的处理系统。 6.电力，照明及冷却水的配合。 7.洁净隔间，及相关系统的营缮支持工作。 8.监控，辅佐事故应变的机动工作等数项。 下述将就各项工作内容予以概略性说明：1.一般气体及特殊气体的供应及监控[1] 一座半导体厂所可能使用的气体约为30种上下，其气体的规格会随制程要求而有不同；但通常可分为用量较大的一般气体(Bulk Gas，及用量较小的特殊气体(Special Gsa二大类。在一般气体方面，包括有N2, O2, Ar, H2等。另在特殊气体上，可略分为下述三大类：

13800 中央监控厂务集成系统

第13800章 中央监控厂务集成系统 第一节总则 1.1本章概述 A.本技术规格书适用于高科技厂房的所有以厂务设备为对象的各监控系统的集成， 其有关的新建、扩建和改建工程的设计、施工及验收。 B.本规格书包括厂务所有监控系统集成的体系结构（以下简称中央监控系统或 FMCS）所需的计算机工作站阶层硬件、软件供应、网络传输阶层设备及系统集 成的总体测试、施工安装、试车及培训。 C.本承包商于中标签约后[一个月内]必须提供《厂务集成作业规格书》(第13803 章)有关各监控系统因集成所必须统一的设计与施工要求，以供各监控系统执行 细部设计与施工的依据。 1.2用语定义 A.业主：本案所有权人代表。 B.承包商：指由业主直接立有契约明定承包本项目者。 C.专业厂商：独立运作系统之厂商，例如化学、气体、废水、纯水等，由专业厂商 自行负责控制器、仪表及操作工作站等独立系统。 D.SCADA系统：专业厂商或一般空调或无尘室之控制及监视系统。 E.FMCS：指上层之厂务监控整合系统，包含各专业系统、电力监控、MEP、 Cleanroom系统等经整合后将所有讯号及数据经网络传输至上层监视控制管理。 F.操作工作站：操作人员可于此计算机终端屏幕上操作，得以观察监视设备目前之 状态与驱动被控设备的运行。 G.图形画面：指监视器上之动态图型画面，此图形画面存驻于服务器上。 1.3引用标准 A.系统的工程设计、施工，除应执行本技术规格书外，尚应符合国家现行有关标准、

规范的规定。 1.GB50174-2008 电子信息系统机房设计规范 B.美国标准信息交换法规（ASCII） C.美国电子工业协会（EIA） D.美国仪器协会（ISA） E.美国电机制造业协会（NEMA） F.美国电机电子工程师协会（IEEE） G.国际电子技术委员会(IEC) 1.4系统概要 描述要完成FMCS系统所须提供之设备、网络、软件之功能需求，其所要求之监视与控制概要如下： A.FMCS为一整合系统，其将各专业厂商的SCADA系统或其他特殊之系统相连接， 使数据汇总在一起，并经一定之格式运用，使成有意义的信息；而操作员能在一 台操作工作站上即可监视所有的信息，并做适当的处置。 B.虽然各家之专业厂商的SCADA系统及其他特殊系统是完全独立的运作，且分成 许多包。但在管理概念上是集中式的，所以在厂务之实务上须将全厂公用设备或 设施整合，以做管理上数据的获得。 C.FMCS监控系统就是架构在一个多任务、多人完全分布式的环境下，以操作工作 站（OPERATOR STATION, OS）或控制计算机、各类服务器、打印机、警报 显示盘、网络交换器及网络线所组成。请参考FMCS系统架构图。 D.FMCS的核心是以图控搭配数据库再以个人计算机为基础的服务器上做全系统 的操控，并以网络将讯息送至位于现场控制室的监视器，另以打印机或警报显示 盘／工作站的配合，以达到有效的掌控全厂状况。 E.各SCADA系统将现场的实时数据经由位于现场的PLC收集至中控室（FMCS ROOM）的资料服务器（DATABASE SERVER）。而FMCS系统除可在中控室 的服务器上实时储存监视外，并可使用专业图控历史数据库做历史数据的趋势 图，以供应用与分享。 F.组态之设定、图控画面的修改产生、系统的设定、报表的修改制作及趋势图的操

FMCS厂务管理系统解决方案

FMCS厂务管理系统 解决方案

目录 2信息自动化及管理解决方案 (3) 2.1FMCS厂务管理系统 (4) 2.1.1FMCS厂务管理系统概念 (4) 2.1.2FMCS设计目标 (4) 2.1.3FMCS价值所在 (4) 2.1.4FMCS 的能源管理功能（节能环保） (5) 2.1.5FMSC自动化软件平台简介 (6)

2信息自动化及管理解决方案 3

2.1FMCS厂务管理系统 目前的制造业已经向信息化工厂逐渐过度，整个工厂作为一个有机的整体来协调运转就需要一个有效的监控和管理，通过监控可以知道工厂所有设备所有人员所有材料的具体情况，通过管理，可以使以上各个生产环节紧密结合，协调运转。这样，就需要一个整体的全厂自动化系统。 根据客户的具体设备要求和工程规范，结合我们在工厂FMCS方面的多年实践经验，运用当今主流的计算机技术和自动控制技术而进行的方案设计和工程实施设计，而量身定造完整的FMCS系统。 2.1.1FMCS厂务管理系统概念 2.1.2FMCS设计目标 将设施供应系统、环境系统、废弃物处理系统等监控资料利用Ethernet、PLC或RS232等通讯协议连接至不同监控计算机，形成一整合网络监控系统，以达到如下目的： 1)整合各单一网络为以整体，实现信息可互通。 2)提升整体管理绩效 3)简化运转维护困难度 4)降低安装、运转及扩充成本 2.1.3FMCS价值所在 1)大量节省管理人员：传统的仪表控制系统是通过工厂操作管理人员楼 上楼下来回奔走，对分布于工厂各处的设备进行开关和调节。采用FMCS 以后，就可以通过计算机的键盘或鼠标在中央控制室完成调节控制工 作，也可以由计算机内部的软件自动控制调节各设备的参数及开关状 态，做到真正的管理自动化，因此可以减轻管理人员的劳动强度，减 少管理人员的数量。 2)延长设备使用寿命：设备在计算机的统一管理下始终处于最佳运行状 态，按照设备的运行状况打印维护保养报告，提示管理人员对设备进 行维护、保养，避免超前或延误维护、保养，相应延长设备使用寿命， 减免突发性设备损坏，也就等于节省了资金。 3)提高操作管理人员与设备的整体安全水平：FMCS对不同子系统设备的 运行状态进行实时监视，可使管理人员及时发现设备故障、问题与意 外，消灭故障于隐患之中，保证设备与人身的安全。一旦设备有故障 发生，计算机可以报告故障发生的部位及故障发生的原因，以便维护

半导体厂务系统

半导体厂务系统

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半導體廠務工作 吳世全 國家奈米元件實驗室 一、前言 近年來，半導體晶圓廠已進展到 8"晶圓的量產規模，同時,也著手規劃１2＂晶圓的建廠與生產，準備迎接另一世代的產業規模。於是各廠不斷地擴增其產能與擴充其廠區規模，似乎稍一停頓即會從此競爭中敗下陣來。所以,推促著製程技術不斷地往前邁進,從0.２5μm設計規格的6４Mｂ(百萬位元）D ＲＡM（動態隨機記憶元件)記憶體密度的此際技術起,又加速地往0.18μm規格的25６M發展；甚至０.13μm的1Gb（十億位元）集積度的ＤＲAM元件設計也屢見不鮮。亦即整個半導體產業正陷入尖端技術更迭的追逐戰，在競爭中，除了更新製程設備外,最重要的是維持廠區正常運作的廠務工作之配合，而這兩方面的支出乃佔資本財的最大宗。特別是多次的工安事故及環保意識抬頭之後，廠務工作更是倍顯其重要及殷切。 事實上，半導體廠的廠務工作為多援屬性的任務,也是後勤配合與收攤（廢棄物)處理的工作；平時很難察覺其重要性,但狀況一出,即會令整廠雞飛狗跳,人仰馬翻,以致關廠停機的地步。所以,藉此針對廠務工作的內容做一概略性的描述，說

明其重要性並供作參考與了 解。文章分為三部份:首先為 廠務工作的種類,其次是廠 務工作的未來方向,最後是 本文的結語。 二、廠務工作的種類 目前在本實驗室所代表的半導體製程的廠務工作,約可分為下列數項: 1.一般氣體及特殊氣體的供應及監控。 2.超純水之供應。 3．中央化學品的供應。 4.潔淨室之溫度，濕度的維持。 5.廢水及廢氣的處理系統。 6．電力，照明及冷卻水的配合。 7.潔淨隔間,及相關系統的營繕支援工作。 8．監控，輔佐事故應變的機動工作等數項。

厂务常用缩写

Abbreviation Full Name 中文说明 HV AC CUB Central Utility Building 中央动力厂房GEX General EXhaust 普通及热排气 SEX Scrubber EXhaust 酸排气 VEX V olatile orgaic compound EXhaust 有机溶剂排气 AEX Ammonia EXhaust 碱性排气 PCW Plant Cooling Water 工艺冷却水 PV Process Vacuum 工艺真空 HV House Vacuum 真空吸尘 CW City Water 自来水 FMCS Faility Monitoring Contro System 厂务监控系统MCC Motor Control Center 马达控制中心VFD Variable Frequency Device 变频器 CCTV Close Circuit Televsion 闭路电视 PA Public Adress system 广播系统 FA Fire Alarm system 火灾报警系统UPW Ultra Pure Water 超纯水 FWW Fluoride Waste Water 低浓度氢氟酸废水IWW Industry Waste Water 工业废水 OWW Organic Waste Water 有机溶剂废水DAHW Drain Amonia Hydride Waste 含氨废水 RCL Recycle water 制程回收循环水RCM Reclaim water 制程回收再利用水HFW High Fluoride Waste water 高浓度氢氟酸废水BGW Backgriding Waste water 晶背研磨废水SAW Sulfuric Acid Waste water 硫酸废液 PAW Phosphoric Acid Waste water 磷酸废液 SW Stripper Waste water 剥离液废液 TW Thinner Waste water 清洗废液 PIX Pix waste water PIX废液SLOW Oxide slurry waste water 介电质研磨废水SLWP Metal slurry waste water 金属研磨废水SLWP Poly slurry waste water 多晶硅研磨废水PN2 Process N2 制程用氮气 GN2 General N2 一般用氮气CDA Compressor Dry Air 压缩干燥空气VMB Valve Manifold Box 阀箱 空调系统 AHU Air Handling Unit 空调箱 MAU Make-up Air Unit 外气空调箱