06气体及化学品供应系统
氣體及化學品供應系統
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大綱
? 氣體供應系統 ? 化學品供應系統
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氣體供應系統
? 氣體供應系統功能
– 在晶圓製造或液晶面板廠，使用各式各樣的氣體，其功能在於：
? ? ? ? ? ? 氣動元件的驅動氣源 吹淨 (Purge) 參與製程反應 形成隔離層 雷射氣體 ……等
– 因應不同性質、種類的氣體，而有不同的供應及輸送方式。
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氣體供應系統
? 氣體供應種類
類別 A B C D E F G 特性 高壓、劇毒 高壓、可燃 高壓、氣態、腐蝕 低壓、液態、腐蝕、毒 氣態微毒 惰性 窒息性 大宗氣體 氣體種類 PH3, AsH3, B2H6, NF3 SiH4, SiH4/He, Si2H6 HBr, Cl2, NH3, HCl BCl3, SiH2Cl2, WF6 CF4, CHF3, C2F6, N2O Ar, He, He/O2, Ar/H2, SF6, CF4, CO2, CH3F N2, CO2 N2, H2, O2, Ar, He
特殊氣體 Specialty Gas
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氣體供應系統
? 物質安全資料表
– Material Safety Data Sheet, MSDS – 描述氣體的
? ? ? ? ? ? 成份 危害性 安全處理方式 物理及化學性質 廢棄處理方式 ……等
– 例：硫化氫 (Hydrogen Sulfide)
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氣體供應系統
? 氣體標示
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氣體供應系統
? 氣體供應方式
– 大宗氣體 (Bulk Gas, BG)
? ? ? ? 桶槽：N2、O2、Ar 鋼瓶：H2、He ON-SITE製造：N2、 O2 由供應商以管路中央供應：N2、O2、Ar、H2
– 特殊氣體 (Specialty Gas, SG)
? 氣體鋼瓶供應：一般氣體 ? 液態鋼瓶供應：低壓氣體，如SiH2Cl2 、HCl、NH3 、BCl3、ClF3、 WF6
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氣體供應系統
? 大宗氣體供應系統示意圖一
未經過純化器之氣 體為與純化氣體區 別，會在氣體名稱 前加『G』，如GN2 Filter Purifier 純化器
液態氣體桶槽
Vaporizer 蒸發器
經過純化器之氣體 純度較高，一般於 氣體名稱前加『P』 作為區別，如PN2
Bulk Gas
Tool
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氣體供應系統
? 大宗氣體供應系統示意圖二
Cylinder 氣體鋼瓶 Bundle Filter Filter
Trailer
Filter
Bulk Gas
Tool
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氣體供應系統
? 大宗氣體供應系統示意圖三
Generator 產生機 Filter Purifier 純化器
Bulk Gas
Tool
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氣體供應系統
? 特殊氣體供應系統示意圖
Tool Gas Rack 氣瓶架 VMP 分歧閥盤 Tool Tool
Tool Gas Cabinet 氣瓶櫃 VMB 分歧閥箱 Tool Tool
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氣體供應系統
? 氣瓶櫃 (Gas Cabinet, GC)
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氣體供應系統
? 氣瓶架 (Gas Rack, GR)
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氣體供應系統
? 分歧閥箱 (Valve Manifold Box, VMB)
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氣體供應系統
? 分歧閥盤 (Valve Manifold Panel, VMP)
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氣體供應系統
? 氣瓶櫃與氣瓶架比較
氣瓶櫃 Gas Cabinet 有 有 有 有 氣瓶架 Gas Rack 無 無 無 有/無(可選購)
功能
防護箱體 強制抽氣 安全防護 自動化
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氣體供應系統
? 氣瓶缸數設計比較
缸數 使用時機 優缺點
單缸
製程未有量產之考量，常用於實 驗室
簡單、節省空間、成本低、需透過 日常管理以避免製程中斷
雙缸
製程有量產之考量，不允許停機
由廠務端統一供應PN2風險較高，亦 可能造成交互污染
三缸
製程有量產之考量，不允許停機
設置成本較高，但可避免不同氣體 相互污染，風險低
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氣體供應系統
? 氣體偵測系統架構
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氣體供應系統
? 氣體監控系統架構
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氣體供應系統
? 管路設計
– 依氣體之特性
? 單套管：惰性氣體 ? 雙套管：腐蝕性/可燃性/毒性
– 依製程需求之材料選擇
? 材料主要區分為SUS 304/SUS 304L及SUS 316/SUS 316L，其差 異在於SUS 316增加鉬(Mo)金屬，改善其機械性質，L則表示材 料降低含碳(C)量，增加含鎳(Ni)量。 ? 表面處理等級常用可分兩種，BA (Bright Anneal)是經過表面研 磨處理其Rmax≦4.5μm，EP (Electro Polish)除了表面研磨外， 再加以電解研磨其Rmax≦0.7μm，AP管為未經表面研磨處理 之素管。
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危险化学品安全管理系统建设(标准版)
( 安全管理 ) 单位：_________________________ 姓名：_________________________ 日期：_________________________ 精品文档 / Word文档 / 文字可改 危险化学品安全管理系统建设 (标准版) Safety management is an important part of production management. Safety and production are in the implementation process
危险化学品安全管理系统建设(标准版) 0引言 随着化学工业的发展，涉及到的化学物质的种类和数量显著增加，化工企业安全生产和环保压力越来越大、责任也越来越重。特别是危险化学品，具有易燃易爆、高温高压、有毒有害等特点，一旦发生安全事故，易造成群死群伤、中毒、火灾、污染等次生灾害。在这种形式下，安全问题已经成为各化工企业面临的首要问题之一。化工企业如何应对当前严峻的安全生产形势，构建企业危险化学品安全管理系统已成为当务之急。化工企业必须不断强化企业的安全管理，建立、健全长效的安全管理机制，促进企业的健康、稳定、持续发展。 1危险化学品的特点 2我国危化品安全现状 2.1总体形势平稳个别环节反弹
在全国安全生产形势总体平稳的情况下，危化品安全生产形势非常严峻。主要表现在以下六个方面： 一是危化品伤亡事故同比大幅度上升。 二是危化品生产环节伤亡事故多发。 三是运输、使用环节事故呈现明显上升趋势。 四是危化品伤亡事故明显上升。 五是部分地区危化品安全生产形势严峻。 危化品是安全生产工作的重点领域之一，监管环节多，涉及部门多。危化品安全生产不仅关系到危化品从业单位的安全发展和清洁发展，也关系广大人民群众的安全健康和公共安全。随着危化品安全生产许可制度实施工作和专项整治工作的不断深入，危化品安全生产工作的深层次问题和矛盾也愈加突出。 2.2监管力量分散尚未形成合力 其一，部分企业安全生产主体责任不落实。 部分危化品从业单位安全生产主体责任不落实是当前危化品事故多发的根本原因。有些企业的主要负责人不重视建立和健全本单
危险化学品安全管理系统建设
危险化学品安全管理系统建设0引言 随着化学工业的发展，涉及到的化学物质的种类和数量显着增加，化工企业安全生产和环保压力越来越大、责任也越来越重。特别是危险化学品，具有易燃易爆、高温高压、有毒有害等特点，一旦发生安全事故，易造成群死群伤、中毒、火灾、污染等次生灾害。在这种形式下，安全问题已经成为各化工企业面临的首要问题之一。化工企业如何应对当前严峻的安全生产形势，构建企业危险化学品安全管理系统已成为当务之急。化工企业必须不断强化企业的安全管理，建立、健全长效的安全管理机制，促进企业的健康、稳定、持续发展。 1危险化学品的特点 2我国危化品安全现状
2.1总体形势平稳个别环节反弹 在全国安全生产形势总体平稳的情况下，危化品安全生产形势非常严峻。主要表现在以下六个方面： 一是危化品伤亡事故同比大幅度上升。 二是危化品生产环节伤亡事故多发。 三是运输、使用环节事故呈现明显上升趋势。 四是危化品伤亡事故明显上升。 五是部分地区危化品安全生产形势严峻。
危化品是安全生产工作的重点领域之一，监管环节多，涉及部门多。危化品安全生产不仅关系到危化品从业单位的安全发展和清洁发展，也关系广大人民群众的安全健康和公共安全。随着危化品安全生产 许可制度实施工作和专项整治工作的不断深入，危化品安全生产工 作的深层次问题和矛盾也愈加突出。 2.2监管力量分散尚未形成合力 其一，部分企业安全生产主体责任不落实。 部分危化品从业单位安全生产主体责任不落实是当前危化品事故多 发的根本原因。有些企业的主要负责人不重视建立和健全本单位安 全生产责任制，不检查、不考核责任制落实情况；没有制定和完善 本单位安全生产规章制度和操作规程，无章可循；安全投入少，安 全欠账多，没有形成有效的隐患整改机制；没有制定安全生产事故 应急预案，或有预案不演练，或演练流于形式。 其二，一些企业安全基础管理工作薄弱，从业人员素质低。
化学品电子手册帮助系统
《化学品电子手册》使用手册 一、简介 欢迎使用由LGS软件工作室为您提供的《化学品电子手册》3.0 版。本电子手册是一个综合性的化学品手册。收集了包括化学矿物、金属和非金属、无机化学品、有机化学品、基本有机原料、化肥、农药、树脂、塑料、化学纤维、胶粘剂、医药、染料、涂料、颜料、助剂、燃料、感光材料、炸药、纸、油脂、表面活性剂、皮革、香料等常用化学品的中文名称、英文名称、分子式或结构式、物理性质、毒性、用途和制备方法、消耗定额、生产单位等。本软件采用全模糊检索技术，检索简便。3.0版在2.0版的基础上增加了“元素周期表”、“浓度/密度查询表”、“电离常数查询表”、“难溶化合物溶度积表”等，并对化合物进行了分类，可按类进行查询。数据方面主要增加了农药、化肥等方面的化合物个数及其化合物的内容更加详细。 本软件是一个不可多得的工具软件。具有多种检索途径，可以通过各种中文名称（如常用名、俗名、学名等）、英文名称（常用名、俗名、学名等）、用途、密度、沸点、折射率、分子式、分子量等进行检索。即使是化学品名称的关键字或关键词，也可以检索到相应的化学品。特别是通过用途检索途径，可以很快获得相关的化学品信息。并可以由用户自行添加和修改相关化学品信息。此外，可以通过浓度/密度查询表、电离常数查询表、难溶化合物溶度积表、t/F值表查询、修改、添加相应的常数。 本软件使用方便、快捷，简单易用。可供从事化学、医药、农药及相关行业的科研工作者、工程技术人员以及大专院校师生参考使用。 本软件内容仅供参考。使用本软件前，请仔细阅读帮助。 LGS软件工作室 二、使用指南
1、硬、软件要求及安装、启动、注册 硬件要求：CPU在166以上、内存32M。 软件要求：适用平台windows 95/98/2000/XP。 安装：打开“ChemHandbook3.0”文件夹，点击setup.exe，根据安装向导进行安装。 启动：点击Windows任务栏的“开始”按钮，在程序组中查找名为“化学品电子手册”的图标，点击该图标，即可进入主画面。 注册：点击“帮助”菜单，选择“注册”项，在弹出的对话框中根据软件提示，输入“授权用户名”、“产品ID”、以及“注册号”，单击确定即可。 2、主画面 3、检索方法指南 （1）中文名称 在检索途径下拉框中选择“中文名称”，然后在条件输入框中输入要检索的化学品中文名称（包括学名、常用名、或俗名）的全名或关键字、 关键词，然后铵回车键或单击“检索”按钮，在左边的列表框中将显示符 合条件的化学品名称，用鼠标单击所要检索的化学品名称即可。 如果名称过长，列表框无法全部显示，用鼠标选定后，在列表框中停留，即可出现该化学品的全部名称提示。如下图： 您也可以通过选择“常用化学品目录”选项卡，选择相应类别下的化学品名称进行检索。（该目录并未包括手册中所有化学品，仅列出了一些 常用化学品，每个化学品只归属于某一类。）如果您通过类别检索不到您
大宗气体及特殊气体72933
GAS 系统基础知识
概述 HOOK-UP专业认知 一、厂务系统HOOK UP定义 HOOK UP 乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台达到预期的功能。HOOK UP是将厂务提供的UTILITIES ( 如水,电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连接点( PORT OR STICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备( SUBUNITS)。 机台使用这些UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物( 如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。HOOK UP 项目主要包括∶CAD，MOVE IN ，CORE DRILL，SEISMIC ，VACUUM，GAS，CHEMICAL ，D.I ,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC, DRAIN.
二、GAS HOOK-UP专业知识的基本认识 在半导体厂，所谓气体管路的Hook-up（配管衔接）以Buck Gas（一般性气体如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等）而言，自供气源之气体存贮槽出口点经主管线（Main Piping）至次主管线（Sub-Main Piping）之Take Off点称为一次配（SP1 Hook-up），自Take Off出口点至机台（Tool）或设备（Equipment）的入口点，谓之二次配（SP2 Hook-up）。以Specialty Gas（特殊性气体如：腐蚀性、毒性、易燃性、加热气体等之气体）而言其供气源为气柜（Gas Cabinet）。自G/C出口点至VMB（Valve Mainfold Box.多功能阀箱）或VMP（Valve Mainfold Panel多功能阀盘）之一次测（Primary）入口点，称为一次配（SP1 Hook-up），由VMB或VMP Stick之二次侧（Secondary）出口点至机台入口点谓之二次配（SP2 Hook-up）。
危险化学品安全管理系统建设(正式版)
文件编号：TP-AR-L8817 In Terms Of Organization Management, It Is Necessary To Form A Certain Guiding And Planning Executable Plan, So As To Help Decision-Makers To Carry Out Better Production And Management From Multiple Perspectives. （示范文本） 编订：_______________ 审核：_______________ 单位：_______________ 危险化学品安全管理系统建设(正式版)
危险化学品安全管理系统建设(正式 版) 使用注意：该安全管理资料可用在组织/机构/单位管理上，形成一定的具有指导性，规划性的可执行计划，从而实现多角度地帮助决策人员进行更好的生产与管理。材料内容可根据实际情况作相应修改，请在使用时认真阅读。 0引言 随着化学工业的发展，涉及到的化学物质的种类 和数量显著增加，化工企业安全生产和环保压力越来 越大、责任也越来越重。特别是危险化学品，具有易 燃易爆、高温高压、有毒有害等特点，一旦发生安全 事故，易造成群死群伤、中毒、火灾、污染等次生灾 害。在这种形式下，安全问题已经成为各化工企业面 临的首要问题之一。化工企业如何应对当前严峻的安 全生产形势，构建企业危险化学品安全管理系统已成 为当务之急。化工企业必须不断强化企业的安全管
理，建立、健全长效的安全管理机制，促进企业的健康、稳定、持续发展。 1危险化学品的特点 2我国危化品安全现状 2.1总体形势平稳个别环节反弹 在全国安全生产形势总体平稳的情况下，危化品安全生产形势非常严峻。主要表现在以下六个方面：一是危化品伤亡事故同比大幅度上升。 二是危化品生产环节伤亡事故多发。 三是运输、使用环节事故呈现明显上升趋势。 四是危化品伤亡事故明显上升。 五是部分地区危化品安全生产形势严峻。 危化品是安全生产工作的重点领域之一，监管环节多，涉及部门多。危化品安全生产不仅关系到危化
危险化学品仓库设计
危险化学品仓库设计 前言 化学品因其本质固有之毒性、易燃性、腐蚀性及反应性等危害性，无论制造、使用、储存、运输及废弃等运作过程中皆可能会产生严重事故。据多位学者研究指出，化学品的泄漏、火灾及爆炸事故中约有14～32%是发生於储存过程中,故必须加强化学品仓库的管理。 厂区现用到多种化学品,通过统计分析,主要分为易燃化学品,无机化学品,金属制品(锡膏锡丝、锌粉等)等,其中危险性最大的是含有酒精,异丙醇,石油烃类等闪点小於28℃的危险化学品,为加强危化品存储管理，减少存储过程事故发生率，特根据相关法规及公司文件制定危险化学品仓库标准。 1、主题内容与适用范围 本标准规定了常用化学危险品（以下简称危化品）贮存的基本要求。 本标准适用于常用化学危险品（以下简称危化品）出、入库，贮存及养护。 2、引用标准 《化学危险物品安全管理条例实施细则》 《化学危险物品安全管理条例》 《常用化学危险品贮存通则》 《仓库防火安全管理规则》 《建筑设计防火规范》 《危险化学品管理办法》 3、术语和定义 3.1危险化学品的概念系指国家标准《危险化学品名录》中所列的爆炸品、压缩气体和液化气体、易燃液体、易燃固体、自燃物品和遇湿易燃物品、氧化剂和有机过氧化物、毒害品和腐蚀品，以及国家确定并公布的《剧毒化学品目录》和其他未列入《危险化学品名录》但由国家认定之危险化学品。 包括第1类爆炸品;第2类压缩气体和液化气体;第3类易燃液体;第4类易燃固体、自然物品和遇湿易燃物品;第5类氧化剂和有机过氧化物;第6类毒害品和感染性物品;第7类放射性物品;第8类腐蚀品;第9类杂类 3.2甲类火灾危险性包括：1.闪点＜２８℃的液体；2.爆炸下限＜１０％的气体；3.常温下能自行分解或在空气中氧化即能导致迅速自燃或爆炸的物质； 4.常温下受到水或空气中水蒸气的作用，能产生可燃气体并引起燃烧或爆炸的物质； 5.遇酸、受热、撞击、摩擦、摧化以及遇有机物或硫磺等易燃的无机物，极易引起燃烧或爆炸的强氧化剂；６．受撞击、摩擦或与氧化剂、有机物接触时能引起燃烧或爆炸的物质 3.3耐火极限：在标准耐火试验条件下，建筑构件、配件或结构从受到火的作用时起，到失去稳定性、完整性或隔热性时止的这段时间，用小时表示。 3.4闪点：在规定的试验条件下，液体挥发的蒸气与空气形成的混合物，遇火源能够闪燃的液体最低温度（采用闭杯法测定）。 3.5爆炸下限：可燃的蒸气、气体或粉尘与空气组成的混合物，遇火源即能发生爆炸的最低浓度（可燃蒸气、气体的浓度，按体积比计算）。 3.6半地下室：房间地面低于室外设计地面的平均高度大于该房间平均净高1/3，且小于等于1/2者。 3.7地下室：房间地面低于室外设计地面的平均高度大于该房间平均净高1/2者。
特殊气体供应系统规划与设计
特殊气体供应系统规划与设计 气瓶柜一般常见选用配备如下： UV/IR火焰侦测器、温度侦测器、烟雾侦测器、过流量计、紧急遮断阀(AV 1、ESV)、磅秤、洒水头、高压测漏等。 Type 1：使用于液态气体有高压侧漏(PT使用3000psia)如HCL、ASH3 PH3等，以电子磅秤计算钢瓶剩余量。 Type 2：使用于高压气体有高压侧漏(PT使用3000psia)如： SIH4，CH4， H2，5%PH3等，所以使用压力侦测的方式计算钢瓶的剩量。 Type 3：使用于液态气体没有高压侧漏(PT使用1000psia或250psia如：WF6、SIH2CL 2、N2O等，以电子磅秤计算钢瓶剩余量。 Type 4：使用于气态气体没有高压侧漏(PT使用3000psia或1000)psia 如： CO、 CF4、NF3等，所以使用压力侦测的方式计算钢瓶 的剩量。 Type 5：使用于液态气体有高压侧漏没有AV1(PT使用3000psia)如 HCL、ASH 3、PH3等，以电子磅秤计算钢瓶剩余量。
Type 6：使用于高压气体有高压侧漏没有AV1 (PT使用3000psia)如：SIH4，CH4，H2，5%PH3等，所以使用压力侦测的方式计算 钢瓶的剩量。 Type 7：使用于两个PROCESS系统有磅秤有，如： ASH3,PH 3、CL2,BCL3 等，以电子磅秤计算钢瓶剩余量(此系统为特殊规格适用于实 验室场所)。 Type 8：使用于两个PROCESS系统，如： SIH4,CH 4、1%PH3,5%ASH3 等，压力侦测的方式计算钢瓶的剩量(此系统为特殊规格适 用于实验室场所)。 Type 9：使用于两个PROCESS系统一个有磅秤，如： ASH3,SIH 4、 CF4,CO2等，以电子磅秤计算及压力侦测的方式计算钢瓶剩 余量(此系统为特殊规格适用于实验室场所)。 Type 10：使用于一个PROCESS一个PURGE钢瓶系统有磅秤，如：ASH 3、PH
化学品管理信息系统设计
目录 第一章学校化学品中心管理信息系统的系统规划 第一节项目开发背景 (1) 第二节项目开发目的 (1) 第三节可行性分析 (1) 第二章学校化学品中心管理信息系统的系统分析 第一节组织结构与功能分析 (3) 第二节组织/业务关系图 (3) 第三节业务功能一览表 (4) 第四节业务流程图 (4) 第五节数据流程图 (7) 第六节系统数据库建模----E-R模型分析 (10) 第七节第七节系统U/C矩阵分析 (11) 第三章学校化学品中心业务管理信息系统的系统设计 第一节功能子系统划分 (13) 第二节层次化模块结构图 (13) 第四章系统设计总结 第一节项目实施中各个工作流程及时间分布 (16) 第二节本人系统设计特点 (17) 第三节对教学和设计作业的建议 (17)
第一章学校化学品中心管理信息系统的系统规划 第一节项目开发背景 计算机技术应用于管理领域的近40年来，已发生了翻天覆地的变化，从电算化到办公自动化，信息管理系统，再到支持决策系统，3S（GIS、RS、GPS）技术的日趋成熟更给了计算机在决策支持和信息管理方面主阔的发展空间。使用计算机技术来管理环保信息，提高效率，提高决策科学程度是管理上一个台阶的必然过程。随着总量控制、达标排放、排污收费、排污许可证等一系列规章制度的建立，环境管理利用手工进行的弊端日趋明显，利用手工计算来进行海量数据处理与计算的工作量将十分巨大且工作缓慢，甚至是不可能的。而在现在大学的实验教学中，化学品的使用量也是日益增加，因此，关于化学品的管理方法也必须上升到计算机管理的层面。 第二节项目开发目的 本课程设计的具体任务就是设计一个学校内部化学品（尤其是毒 性化学品）管理信息系统，利用现代计算机和数据库开发技术来代替 人工处理，从而减轻学校各部门工作人员的劳动强度，提高工作质量 和效率，提高信息资源的利用率和学校管理水平。 第三节可行性分析 现在学校的各方面教学管理方式为手工处理，重复劳动多，劳动 强度大，而且容易出错，新系统的使用将有以下几个方面的优势： 1.库存管理上的优点 药品库存管理模块根据货物的品名、型号、规格、产地、牌名、 包装等划分药品货物品种，分货号管理药品库存和管理货号的单件集
气体特性及系统简介
课程内容：大宗与特殊气体特性介绍 一、大宗气体种类： 半导体厂所使用的大宗气体，以台积厂常见有：CDA、GN2、PN2、PAr、PO2、PH2、PHe等七种。 二、大宗气体的制造： CDA / ICA (Clean Dry Air / Instrument Air)： CDA之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿，再经过滤器或活性炭吸附去除粉尘及炭氢化合物以供给无尘室CDA/ICA (Clean Dry Air)。 GN2 (Nitrogen)： 利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经过触媒转化器，将CO反应成CO2，将H2反应成H2O，再由分子筛吸附CO2、H2O，再经分溜分离O2 & CnHm。 N2=-195.6℃，O2=-183℃。 PN2 (Nitrogen)： 将GN2经由纯化器(Purifier)纯化处理，产生高纯度的氮气。 一般液态氮气纯度约为99.9999﹪，总共是6个9。 经纯化器纯化过的氮气纯度约为99.9999999﹪，总共是9个9。 PO2 (Oxygen)： 利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0﹪以上纯度之氧，再除去N2、Ar、CnHm。另外可由水电解方式解离H2 ＆O2，产品液化后易于运送储存。 PAr (Argon)： 利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0﹪以上纯度之氩气，因氩气在空气中含量仅0.93﹪，生产成本相对较高。 PH2 (Hydrogen)： 利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0﹪以上纯度之氢气。另外可由水电解方式解离H2 ＆O2，制程廉价但危险性高易触发爆炸，液化后易于运送储存。 PHe (Helium)： 由稀有富含氦气之天然气中提炼，其主要产地为美国及俄罗斯。利用压缩机压缩
危险化学品仓库设计
危险化学品仓库设计 令狐采学 前言 化学品因其本质固有之毒性、易燃性、腐蚀性及反应性等危害性，无论制造、使用、储存、运输及废弃等运作过程中皆可能会产生严重事故。据多位学者研究指出，化学品的泄漏、火灾及爆炸事故中约有14～32%是发生於储存过程中,故必须加强化学品仓库的管理。 厂区现用到多种化学品,通过统计分析,主要分为易燃化学品,无机化学品,金属制品(锡膏锡丝、锌粉等)等,其中危险性最大的是含有酒精,异丙醇,石油烃类等闪点小於28℃的危险化学品,为加强危化品存储管理，减少存储过程事故发生率，特根据相关法规及公司文件制定危险化学品仓库标准。 1、主题内容与适用范围
本标准规定了常用化学危险品（以下简称危化品）贮存的基本要求。 本标准适用于常用化学危险品（以下简称危化品）出、入库，贮存及养护。 2、引用标准 《化学危险物品安全管理条例实施细则》 《化学危险物品安全管理条例》 《常用化学危险品贮存通则》 《仓库防火安全管理规则》 《建筑设计防火规范》 《危险化学品管理办法》 3、术语和定义 3.1危险化学品的概念系指国家标准《危险化学品名录》中所列的爆炸品、压缩气体和液化气体、易燃液体、易燃固体、自燃物品和遇湿易燃物品、氧化剂和有机过氧化物、毒害
品和腐蚀品，以及国家确定并公布的《剧毒化学品目录》和其他未列入《危险化学品名录》但由国家认定之危险化学品。 包括第1类爆炸品;第2类压缩气体和液化气体;第3类易燃液体;第4类易燃固体、自然物品和遇湿易燃物品;第5类氧化剂和有机过氧化物;第6类毒害品和感染性物品;第7类放射性物品;第8类腐蚀品;第9类杂类 3.2甲类火灾危险性包括：1.闪点＜２８℃的液体；2.爆炸下限＜１０％的气体；3.常温下能自行分解或在空气中氧化即能导致迅速自燃或爆炸的物质； 4.常温下受到水或空气中水蒸气的作用，能产生可燃气体并引起燃烧或爆炸的物质； 5.遇酸、受热、撞击、摩擦、摧化以及遇有机物或硫磺等易燃的无机物，极易引起燃烧或爆炸的强氧化剂；６．受撞击、摩擦或与氧化剂、有机物接触时能引起燃烧或爆炸的物质 3.3耐火极限：在标准耐火试验条件下，建筑构件、配件或结构从受到火的作用时起，到失去稳定性、完整性或隔热性时止的这段时间，用小时表示。
厂务大宗气体及特殊气体系统知识
系 统 基 础 知 识 概述
专业认知 一、厂务系统定义 乃是藉由连接以传输使机台达到预期的功能。是将厂务提供的 ( 如水,电,气,化学品等),经由预留之连接点( ),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备( )。 机台使用这些 ,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物( 如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。项目主要包括∶，，，，，，， , . 二、专业知识的基本认识 在半导体厂，所谓气体管路的（配管衔接）以（一般性气体如、2、2、2、、、H2等）而言，自供气源之气体存贮槽出口点经主管线（）至次主管线（）之点称为一次配（1 ），自出口点至机 台（）或设备（）的入口点，谓之二次配（2 ）。以（特殊性气 体如：腐蚀性、毒性、易燃性、加热气体等之气体）而言其供气 源为气柜（）。自出口点至（ .多功能阀箱）或（多功能阀盘）之一次测（）入口点，称为一次配（1 ），由或之二次侧（）出
口点至机台入口点谓之二次配（2 ）。 简单知识基本掌握 第一章气体概述 由于制程上的需要，在半导体工厂使用了许多种类的气体，
一般我们皆依气体特性来区分，可分为一般气体（）与特殊气体（）两大类。 前者为使用量较大之气体，如N2、等，因用量较大，一般气体常以大宗气体称之。 后者为使用量较小之气体?一般指用量小,极少用量便会对人体造成生命威胁的气体，如4、3等 1.1 介绍 半导体厂所使用的大宗气体，一般有： 、2、2、、2、2、等七种。 1．大宗气体的制造： / ( / )： 之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿，再经过滤器或活性炭吸附去除粉尘及炭氢化合物以供给无尘室 ( )。 2 ()： 利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经过触媒转化器，将反应成2，将H2反应成H2O，再由分子筛吸附2、H2O，再经分溜分离O2 & 。 N2=-195.6℃，O2=-183℃。 2 ()： 将2经由纯化器()纯化处理，产生高纯度的氮气。
特种气体系统工程设计规范
特种气体系统工程技术规范 2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类 | 标签：气体特种管道气瓶阀门 |字号订阅 1总则 1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。制定本规范。 1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。 1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。 1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。 2术语 2.0.1 特种气体specialily gas 用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。 2.0.2 特种气体系统speciality gas system 特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。2.0.3 特种气体间 speciality gas room 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。 2.0.4 硅烷站 silane station 是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。 2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。 2.0.6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。 2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。 2.0.8 实瓶 full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。 2.0.9 气瓶集装格 the bundle of gas cylinders 用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。气瓶的个数分别为9个、12个、16个不等，单个气瓶的水容积通常为40~50L。 2.0.10 气瓶柜 gas cabinet (GC) 特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。 2.0.11 气瓶架 gas rack (GR) 特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急切断阀、压力监测及报警等安全设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。 2.0.12 阀门箱 valve manifold box (VMB) 特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配部件，VMB在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管可配置手动阀、压力表、过滤器等组件，除SiH2Cl2、WF6等低蒸汽压力气体外，VMB各支管可根据需要设置调压阀。VMB需设置泄漏气体排气管接口和风压事故报警。 2.0.13 阀门盘 valve manifold panel (VMP) 特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配部件，VMP在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管应
化学品仓库的安全设计规范
化学品仓库的安全设计规范 1.1仓库消防系统 1.1.1火灾危险性分类 储存物品的火灾危险性应根据储存物品的性质和储存物品中的可燃物数量等因素，进行分类，确定仓库的火灾危险性。 1.1.2仓库耐火等级和构件的耐火极限 1.1. 2.1 一级耐火等级仓库的屋面板应采用不燃烧材料，但其屋面防水层和绝热层可采用可燃材料。 1.1.3仓库的耐火等级、层数、面积和平面布置 1.1.3.1 甲、乙类化学品仓库采用单层结构建筑其最大允许占地面积和每个防火分区的最大允许建筑面积（m2）分别为750 m2和180m2。 1.1.3.2仓库中的防火分区之间必须采用防火墙分隔 1.1.3.3仓库内严禁设置员工宿舍。 1.1.3.4化学品仓库内严禁设置办公室、休息室等，并不应贴邻建造。
1.1.4 化学品仓库的防火间距 根据《建筑设计防火规范》〈GB50016-2006〉第 3.6.1条甲类仓库之间及其与其他建筑物、明火或散发火花地点、铁路等的防火间距（m） 1.1.5 灭火系统： 根据《建筑设计防火规范》〈GB50016-2006〉及《建筑灭火器配置设计规范》(GB50140-2005)的要求对灭火系统进行设计。 B类化学品仓库内不设计自动喷淋头和消火栓(B类火灾不能用水灭火)。B类火灾场所应选择泡沫灭火器、碳酸氢钠BC干粉灭火器、磷酸铵盐ABC干粉灭火器、二氧化碳灭火器、灭B类火灾的水型灭火器或卤代烷灭火器，仓库内还可设置消防沙。 1.2 仓库防爆系统 1.2.1化学品仓库的防爆建筑设计 1.2.1.1防爆地面 由化学品仓库，能散发较空气重的可燃气体，应采用不
发火花的地面，一般采用环氧树脂覆盖地面。采用绝缘材料作整体面层时，应采取防静电措施，用导线将静电导除。 1.2.1.2泄压设施 仓库应设置泄压设施，泄压面积按下式计算。但当厂房的长径比大于3时(如果是长方形，则长宽比大于5时)，宜将该建筑划分为长径比小于等于3的多个计算段，各计算段中的公共截面不得作为泄压面积，参看《建筑设计防火规范》〈GB50016-2006〉。 化学品仓库需设置一面泄爆墙，泄压设施的设置要避开人员密集场所和主要交通道路，幷靠近有爆炸危险的部位，可视具体情况设置于屋顶。 泄压设施宜采用轻质屋面板、轻质墙体和易泄压的门、窗等，但不得采用普通玻璃。作为泄压设施的轻质屋面板和轻质墙体的单位质量不宜超过60kg/m2。屋顶的泄压设施应采取防冰雪积聚措施。 1.2.2 防爆设备 1.2.2.1防爆电器
300mm半导体代工厂的化学供应系统探讨
300mm半导体代工厂的化学供应系统探讨 张云秀，黄其煜 （上海交通大学微电子学院，上海２０００３０） １引言 进入２００５年以来，随着大陆半导体行业的继续发展，３００ｍｍ芯片生产线在大陆也已开始上马。中芯国际已建一条３００ｍｍ生产线，在建两条３００ｍｍ生产线；华虹ＮＥＣ在建一条３００ｍｍ芯片生产线；海力士 意法在建一条３００ｍｍ生产线等［１］。相对于传统的２００ｍｍ或１５０ｍｍ生产线，３００ｍｍ芯片生产线由于晶圆面积很大，是２００ｍｍ的２.２５倍，可以进一步降低每个芯片单元的生产成本，但是也由于面积的因素，生产线的任何问题都有可能造成极大的损失。同时，由于制程的不断发展，线宽越来越窄，工艺的要求也越来越高，这些因素都对厂务各系统的无故障运行能力提出了更高的要求。 厂务的气体、化学（包括研磨浆料系统）和纯水系统为整条生产线提供气体（特气和大宗气体）、化学品和纯水，它们与芯片直接接触，所以这些系统被称为制程相关系统。制程相关系统的稳定与否直接关系到生产线制造是否正常。本文将重点介绍３００ｍｍ厂务化学系统的分类、架构、品质控制、安全设计并且将对设计进行探讨。 ２定义和分类 厂务化学系统是为生产线提供一年３６５天无中断化学品供应的系统。本文所定义的化学供应系统包括研磨浆料系统，简而言之，是由厂务化学课（气化课）负责的系统。厂务化学系统所供应的化学品一是要达到一定量（大量的机台使用该化学品或单个机台用量很大），二是要具有长距离（如１００ｍ）输送不易变质的特点。一般供应到湿法清洗、黄光、ＣＭＰ、零部件清洗等部门。 按照所供应的化学品的种类不同，厂务化学系统一般可分为三大类，即化学研磨液系统、有机溶剂系统和酸碱系统。 （１）化学研磨液系统。供应到ＣＭＰ去的、用于研磨的化学浆料称为化学研磨液。此类化学品中，微小颗粒如二氧化硅或氧化铁悬浮在液体中，组成悬浮液。 （２）有机溶剂。一般是指具有自燃性或易燃性的有机化学品，如丙酮、ＩＰＡ（异丙醇）等。有机溶剂一般用于清洗，供应柜统一放于防爆间内。 （３）酸碱化学品。酸碱化学品系统是指负责供应酸碱盐溶液的系统。由于芯片厂的工作对象是硅晶片，能在硅晶片上蚀刻图形的大多是酸碱性的溶液或气体，如氢氟酸、硫酸等。酸碱系统是厂务化学系统中化学品种类最多的一个大类。显影液虽然是有机化学品，但是由于它的特性与一般化学品比较类似，所以把显影液也归类于酸碱化学品，供应柜放在化学房内。
大宗气体及特殊气体
GAS 系 统 基 础 知 识 概述 HOOK-UP专业认知 一、厂务系统HOOK UP定义 HOOK UP 乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台达到预期的功能。HOOK UP是将厂务提供的UTILITIES ( 如水,电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连接点( PORT OR STICK),藉由管路及电
缆线连接至机台及其附属设备( SUBUNITS)。 机台使用这些UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物( 如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。HOOK UP 项目主要包括∶CAD，MOVE IN ，CORE DRILL，SEISMIC ，VACUUM，GAS，CHEMICAL ， D.I ,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC, DRAIN. 二、GAS HOOK-UP专业知识的基本认识 在半导体厂，所谓气体管路的Hook-up（配管衔接）以Buck Gas（一 般性气体如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等）而言， 自供气源之气体存贮槽出口点经主管线（Main Piping）至次主管线（Sub-Main Piping）之Take Off点称为一次配（SP1 Hook-up），自Take Off出口点至机台（Tool）或设备（Equipment）的入口点，谓之 二次配（SP2 Hook-up）。以Specialty Gas（特殊性气体如：腐蚀性、毒性、易燃性、加热气体等之气体）而言其供气源为气柜（Gas Cabinet）。自G/C出口点至VMB（Valve Mainfold Box.多功能阀箱）或VMP（Valve Mainfold Panel多功能阀盘）之一次测（Primary）入 口点，称为一次配（SP1 Hook-up），由VMB或VMP Stick之二次侧（Secondary）出口点至机台入口点谓之二次配（SP2 Hook-up）。 GAS简单知识基本掌握
危险化学品安全管理系统建设
编号：SM-ZD-19669 危险化学品安全管理系统 建设 Organize enterprise safety management planning, guidance, inspection and decision-making, ensure the safety status, and unify the overall plan objectives 编制：____________________ 审核：____________________ 时间：____________________ 本文档下载后可任意修改
危险化学品安全管理系统建设 简介：该安全管理资料适用于安全管理工作中组织实施企业安全管理规划、指导、检查和决策等事项，保证生产中的人、物、环境因素处于最佳安全状态，从而使整体计划目标统一，行动协调，过程有条不紊。文档可直接下载或修改，使用时请详细阅读内容。 0引言 随着化学工业的发展，涉及到的化学物质的种类和数量显著增加，化工企业安全生产和环保压力越来越大、责任也越来越重。特别是危险化学品，具有易燃易爆、高温高压、有毒有害等特点，一旦发生安全事故，易造成群死群伤、中毒、火灾、污染等次生灾害。在这种形式下，安全问题已经成为各化工企业面临的首要问题之一。化工企业如何应对当前严峻的安全生产形势，构建企业危险化学品安全管理系统已成为当务之急。化工企业必须不断强化企业的安全管理，建立、健全长效的安全管理机制，促进企业的健康、稳定、持续发展。 1危险化学品的特点 2我国危化品安全现状 2.1总体形势平稳个别环节反弹
在全国安全生产形势总体平稳的情况下，危化品安全生产形势非常严峻。主要表现在以下六个方面： 一是危化品伤亡事故同比大幅度上升。 二是危化品生产环节伤亡事故多发。 三是运输、使用环节事故呈现明显上升趋势。 四是危化品伤亡事故明显上升。 五是部分地区危化品安全生产形势严峻。 危化品是安全生产工作的重点领域之一，监管环节多，涉及部门多。危化品安全生产不仅关系到危化品从业单位的安全发展和清洁发展，也关系广大人民群众的安全健康和公共安全。随着危化品安全生产许可制度实施工作和专项整治工作的不断深入，危化品安全生产工作的深层次问题和矛盾也愈加突出。 2.2监管力量分散尚未形成合力 其一，部分企业安全生产主体责任不落实。 部分危化品从业单位安全生产主体责任不落实是当前危化品事故多发的根本原因。有些企业的主要负责人不重视建立和健全本单位安全生产责任制，不检查、不考核责任制
06气体及化学品供应系统
氣體及化學品供應系統
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大綱
? 氣體供應系統 ? 化學品供應系統
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氣體供應系統
? 氣體供應系統功能
– 在晶圓製造或液晶面板廠，使用各式各樣的氣體，其功能在於：
? ? ? ? ? ? 氣動元件的驅動氣源 吹淨 (Purge) 參與製程反應 形成隔離層 雷射氣體 ……等
– 因應不同性質、種類的氣體，而有不同的供應及輸送方式。
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氣體供應系統
? 氣體供應種類
類別 A B C D E F G 特性 高壓、劇毒 高壓、可燃 高壓、氣態、腐蝕 低壓、液態、腐蝕、毒 氣態微毒 惰性 窒息性 大宗氣體 氣體種類 PH3, AsH3, B2H6, NF3 SiH4, SiH4/He, Si2H6 HBr, Cl2, NH3, HCl BCl3, SiH2Cl2, WF6 CF4, CHF3, C2F6, N2O Ar, He, He/O2, Ar/H2, SF6, CF4, CO2, CH3F N2, CO2 N2, H2, O2, Ar, He
特殊氣體 Specialty Gas
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氣體供應系統
? 物質安全資料表
– Material Safety Data Sheet, MSDS – 描述氣體的
? ? ? ? ? ? 成份 危害性 安全處理方式 物理及化學性質 廢棄處理方式 ……等
– 例：硫化氫 (Hydrogen Sulfide)
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危险化学品仓库管理系统的设计与实现
危险化学品仓库管理系统的设计与实现 我国是仅次于美国的世界危险化学品生产大国。近几年来，危险化学品的泄露、爆炸等事故时有发生，给人民生命财产带来严重威胁，对于危险品的管理问题，一直困扰着政府部门和很多企业。近几年，政府出台了一系列行政措施，不但要求对危险化学品的生产、运输、保管和使用进行严格管理，而且要求对盛装的容器进行严密监管。但是，这种管理大部分是人工管理，缺乏可靠的技术手段。 为此，我们对RFID智能普通货物仓库管理系统进行改造，研究开发了基于RFID技术对危险化学品四类包装形式---钢瓶装货、桶装货、箱装货和冷藏货仓储管理实训系统，包括危化品检验、入库、出库、移库、盘点等各个作业环节的数据进行自动化的数据采集。 RFID技术在危险品仓储管理中的核心作用表现为：“用RFID标签作介质，为被标识物（危险品、容器、运输车辆等）建立起以身份特征信息为核心的、可靠的、唯一对应的‘电子镜像',依托以RFID为主的系列信息技术手段，将这一电子镜像’真实、可靠、完整、动态地映射到应用系统的数字化平台上。通过对运行于这一信息平台上的‘电子镜像’的监管、服务，支持或实现对活动在实景现场的被标识物的物理实体的监管和服务
”. 1 RFID技术简介 射频识别（Radio Frequency Identification,RFID）技术，是一种利用射频通信实现的非接触式自动识别技术。目前，利用电子标签、RFID通信技术，可实现全球危化品跟踪与信息共享的物联网。这将在全球范围内从根本上提高对产品生产、运输、仓储、销售等各环节危化品的流动监控和动态协调管理水平。 该技术的实现至少包含射频标签和阅读器两部分。RFID阅读器通过天线与RFID射频标签进行无线通信，可以实现对标签识别码和内存数据的读出或写入。RFID射频标签芯片上有可擦写可编程的只读存储器来储存识别码或其它数据，可以作为货物的标识卡，具有非接触、工作距离长、可重复读写、识别运动目标等优点。 RFID系统一般由电子标签、阅读器、摄像头、应用接口或中间件软件、传输网络、软件管理系统等构成，其中RFID中间件是将RFID 硬件和应用软件结合在一起的媒介，仓库管理系统中各个模块需要使用RFID中间件才能够对电子标签进行各种操作。图1所示是RFID系统结构图。
化学品采购管理系统使用说明
化学品采购管理系统使用说明 一、注册、登录说明 进入东南大学实验室与设备管理处网站“https://www.wendangku.net/doc/873578131.html,”，点击“化学品采购管理系统”，出现登录窗口，以一卡通号为用户名进行注册，填写院系、电话、邮箱等信息后提交，待管理员审核通过后，即可进行登录。 二、角色定义 根据不同使用人员的需求及管理职责，系统共设定七种不同的角色： （1）T 老师——各院系正式在岗、有一卡通号的教师，有化学品采购需求的，均可使用本系统； （2）L 院系领导——负责对本院系使用教学经费购买化学试剂进行审批；（3）G 保卫处——负责对易制毒化学试剂的审批，由保卫处指定专人； （4）D 设备处——设备处负责对一次性购买量大的采购单进行审批，该角色由设备处指定专人担任； （5）C 化学品办公室——行使学校对化学药品采购的具体审批手续； （6）P 供应商——招标准入制，确定2-3家供应商为我校供应化学药品；（7）A 管理员——系统管理的功能。 三、采购单申报 已批准的注册用户可以登录使用本采购系统。普通化学品和易制毒化学品由于审批流程不同，分别填写采购单。 1、非易制毒（普通化学试剂）采购单申报
普通化学品的采购请点击功能菜单中的“非易制毒采购单申报”，出现“化学试剂购买申请表”的界面，点击右上角的“添加化学试剂”按钮，弹出对话框（见下图），根据需要填写要购买的化学试剂品名、计量单位、规格、数量、单价、生产厂家等信息，填好后点击“添加”按钮，该试剂即被列入采购清单。如需继续添加其他试剂，再次点击“添加化学试剂”按钮，重复以上操作。每份采购单可同时包含多种化学试剂，试剂按添加的先后顺序排列，在采购单提交前可进行修改或者删除。 从教学经费支出的采购单，需在“用于教学”前的方框内打勾，科研经费购