真空冷冻干燥机调试运行规范(2011试运行版)
Tofflon
真空冷冻干燥机调试运行规范
（2011试运行版本）
受控状态：
文件编号： TFL/CI-00-09
受 控 号：
编制日期： 2011年5月20日
批准日期： 2011年6月1日
编 制：
审 核：
审 批：
上海东富龙科技有限公司
第一章 总 则
第一条 目的：为加强对调试作业的控制，规范调试行为，确保冻干机调试作业规范有效，保证调试后的设备质量可靠，编写本规范。
第二条 适用范围：
1、本公司生产的冷冻干燥机；
2、本规范适用于机械式制冷冻干机。对于液氮制冷冻干机，除制冷系统调试有不同外，其他也应按照本规范的要求执行。
第二章 调试前准备
第一节 机器交接
第三条 与生产部装配小组、电器小组、过程检验人员、公用工程安装小组确认，按照规定程序进行交接，对相关事项进行确认。
第四条 部件确认：对膨胀阀、螺母螺帽、各板阀、角阀、顶盖阀的盖帽以及电器走线槽盖板，ISO 接口、手铐，上托架、工艺闷头、板层吊杆，喷淋架、喷淋球，电器部件，压力表、温度表，电脑、通讯线，空气开关、交流接触器，温度探头、真空规管，回风口固定螺丝，中隔阀紧固螺丝进行确认，气动管路元件，确保各部件齐全。
第五条 电器确认
（一）控制程序已经由电器人员对电器部分检查完毕、对正反转测试进行确认，电机阻值确认；
（二）确认程序设计人员已将程序输入到PLC里，可以进行操作控制；
（三）温度、压力、真空度显示正确；
（四）循环泵接线盒已注入密封胶；
（五）检查电气柜门开关灵活，电气柜门限位已安装好，电气柜内的接地线已连接并有效；
（六）过电流继电器数值设定完毕，螺杆机控制柜内时间继电器调整完毕；
（七）检查确认箱门信号安装到位，紧固牢靠。
第六条 视镜和开门方向是否与生产任务书要求一致，箱门无自开、自关现象，无异响，不一致时要及时反馈和记录。
第七条 资料交接
（一） 工序流转卡，工序流程图；
（二） 装配自检表，材料配置表；
（三） 电器自检表，材料配置表。
第八条 润滑油加注：检查压缩机冷冻机油、液压油、真空泵油、罗茨泵油量均需适量；
（一）活塞压缩机冷冻机油位在视镜标识范围内，螺杆压缩机油位在油分视镜的1/2处；
（二）真空泵油视镜3/4处，且同一台机器上的真空泵油位保持一致；
（三）罗茨泵油油驱动齿轮视镜3/4处，轴封视镜1/2-3/4处，齿轮盖1/2处；
（四）液压站油视镜1/3处；
（五）气动三联体油杯3/4液位。
第九条 清洁：干燥箱内部，机架、铝板，电器柜内，冻干机周围均清洁。
第十条 交接时对以上内容检查确认，发现问题及时通知过程检验进行处理，存有异议的，及时向工段反馈，由工段来协调解决。 交接完毕后将装配牌取下，重新在大油缸顶挂上调试状态指示牌。
第十一条 调试与最终检验的交接
（二）调试人员应将机器运行的有关数据：需要提交机器自动运行数据、机器手动运行数据、机器满载运行数据、机器SIP运行数据，报警记录，上述数据都应该是一次性成功的，上交时需用PDF格式，提出来的数据需要直接提供给客户；
（三）对数据要求：所有空载测试数据导出时间间隔为2min，满载导出时间间隔为10min，同时提供所有原始记录。
第二节 公用工程检查确认
第十二条 检查冷却水管道，确保整个管道无漏水现象；
第十三条 确认日光灯、电风扇（包括电气柜内电风扇和SSR电风扇）、视镜灯工作可靠；
第十四条 检查气动系统：检查气动阀件接气正确，确保各气动阀门及气管接头无漏气现象；各气动阀门开关与程序控制一一对应，开关指示、反馈信号应与程序控制一一对应。
第三节 相关压力值的设定
第十五条 调整机器各压力控制继电器数值：
（一）水压力继电器：1kgf/C㎡
（二）高压压力继电器：16～20kgf/C㎡
（三）中间压力继电器：KP2：1kgf/C㎡偏差0.7kgf/C㎡，
KP2：0.5kgf/C㎡偏差0.5 kgf/C㎡；
（四）低压力继电器：收液2.5kgf/C㎡ / 2kgf/C㎡，
板冷冷凝2kgf/C㎡ / 1.5㎡kgf/C㎡；
（五）气压力报警继电器：5kgf/C㎡
（六）超温报警继电器：根据任务书设定最高温度，偏差调到最小；
（七）循环压力继电器：0.8 kgf/C㎡（大机器）
（八）电接点压力表压力：0.14Mpa
（九）排气温度：110℃，偏差为5℃。
第四节 软件的安装确认和参数设定
第十六条 一般使用联想，戴尔电脑需配置MOXA一块，亿控一个。
第十七条 使用公司统一配置系统光盘安装XP操作系统、杀毒软件、PDF、外控等，并在D盘做好备份。硬盘4个区均匀分配。程序内部参数设定，可参考附件1程序内部参数设定数据表。
第五节 制冷系统抽真空
第十八条 开机前确认对制冷系统已进行了24小时抽真空处理，确认视液镜由黄变绿或制冷系统压力为1 P a以下。
第六节 氟利昂加注、硅油加注
第十九条 充注氟里昂，氟里昂的牌号要与要求的一致，氟里昂充注数量参照如下标准： 3HP机：2.5～3kg 16HP机：11～12kg
5HP机：4～5kg 20HP机：13kg～15kg
8HP机：6～7kg 25HP机：16kg～18kg
12HP机：8～9kg 30HP机：18kg～22kg
螺杆机22KW：30～32㎏ 螺杆机37KW：40～42㎏
第二十条 制冷剂的充注方式应采用制冷剂厂家推荐充注方式。例如R404A的制冷剂，钢瓶应是倒置加入液体。如果是补加注，需标注补加注的量以及补加的原因。
第二十一条 在确保循环系统无泄漏后，加注导热油。导热油型号要与要求的一致，并且记录好型号、生产厂家以及实际加注量。加好后开启循环泵，将循环系统里的空气放干净，这个过程一定要确保空气排放干净，直至循环压力表压力指数稳定。导热油的加注量参照以下标准：
0.2㎡机器：8±1L； 0.4 ㎡机器：15±2L；
1 ㎡机器：40±5L；
2 ㎡机器：70±5L；
3 ㎡机器：90±5L； 5 ㎡机器：120±10L；
7.5 ㎡机器：170±10L 10 ㎡机器：220±20L；
13 ㎡机器：280±20L 15 ㎡机器：320±20L；
18 ㎡机器：360±20L 20 ㎡机器：400±20L
25 ㎡机器：500±20L 30 ㎡机器：630±20L
40 ㎡机器：790±20L 50 ㎡机器：950±20L
第二十二条 原则上小a型冻干机使用西利康硅油，小b型冻干机使用侨瑞硅油，指定品牌的设备按任务书要求加注。
第二十三条 导热油加注完毕后，要确保油位要到达平衡桶视液管的二分之一左右。若需要补加注导热油，应标出补加注量以及补加的原因。
第二十四条 硅油加注时不能外泄。
第二十五条 硅油桶使用后需倒干净送回仓库到指定地点。
第七节 液压系统压力设定以及板层的上升、下降检查 第二十六条 液压系统压力设定，压力设定数值参见附件2液压系统压力设定值；确定板层上升和下降平稳，蘑菇阀开关平稳；液压系统检测，确认液压油的充注量按照标准，可参考附件3液压系统液压油
加注标准数据表。
第二十七条 机器特殊附加要求的检验确认，机器实际情况与附加要求一致，不一致时要及时反馈和记录；
（一）板层各指标符合要求；
（二）等高控制有效/位移数值可重复性；
（三）油缸无下滑。
第二十八条 无真空状态下将蘑菇阀完全打开，测量整个蘑菇阀运动的行程，并与设计行程进行对比，确认无误；
第二十九条 根据机型正确选择调试用电缆。将临时线更换为调试用线，必须请有电工操作证的电工接线。调试电线接好后需要重新测试电机正反转。
1㎡以下机器：6 ㎜2 5㎡以下机器：16㎜2
10㎡以下机器：35㎜2 20㎡以下机器：50㎜2
30㎡以下机器：75㎜2 40㎡以下机器：95㎜2
第三章 机器调试运行
第一节 冷冻干燥运行测试
第三十条 冷冻干燥的手动控制，按照附件4冷冻干燥手动连续性数据测试流程测试，以下数据作为关键数据：测部件控制对应：
（一）前后箱降温速率； （二）板层升温速率；
（三）前后箱温度极限温度； （四）板层恒温控制。
（五）抽空速率/极限真空； （六）泄漏率测试；
（七）参数设定有效；
（八）中隔阀泄漏（前箱常压、中隔阀关闭情况下，冷阱能够抽到极限）；
（九）冷阱温度偏差（空载3℃以内，满载5℃以内）；
（十）掺冷控制有效；
（十一）前箱降温时板层的结霜均匀性（前箱温度降至‐15℃，打开箱门观察板层结霜情况，并拍照交质保部留档）；
第三十一条 手动运行，调整机器工况，使机器工况处以最佳状态。
（一）安全报警以及相关连锁测试, 按照相应的报警列表进行测试，参见附件5报警列表）。
（二）对前箱进行制冷。预先将搁板温度探头紧贴在板层上（用胶布粘贴），粘贴在不同板层上相对应上的位置，调整板冷膨胀阀，初步确定制冷速率和制冷极限温度，并作好相关记录。在降温过程中，前箱
导热油进出口温差不应超过12℃，到达-50℃以后，导热油进出口温差不应超过3℃。在整个降温过程中，要比较搁板温度探头之间的温度差值，确保不应超过5℃，否则应作为问题处理；
（三）对冷凝器进行制冷：调节冷凝膨胀阀，初步确定制冷速度和制冷极限温度。冷凝器盘管测温探头要与实际情况测试一致，在控制画面上一号探头与一号机显示温度一致，盘管测温要准确可靠；
（四）对箱体进行分步骤抽真空。首先对泵头进行抽真空，确定泵头没有泄漏；然后打开小蝶阀对后箱进行抽真空，确保后箱没有泄漏以及中隔阀（蘑菇阀或大蝶阀）没有泄漏；最后打开中隔阀，对整个箱体进行抽真空。箱体抽真空后，检查箱门、箱门外包壳有无明显变形，并作好相关记录；
（五） 掺气和掺冷的控制测试：分别进行掺气和掺冷的控制，调整好掺气微调阀、掺冷膨胀阀的大小，使掺气、掺冷达到最佳效果；
（六）将箱体抽好真空后，对箱体的整体泄漏率进行计算，/Q P V t =Δ×Δ，泄漏率要保证小于0.003或0.005Pa.m 3
/s，体积应该计算前后箱的体积之和，同时要求在后箱温度在-65±1℃停止压缩机，开始计算真空泄漏率，同时具体根据任务书要求；
（七）对前箱进行加热，测试全功率加热速率以及PID 加热控制，并做好记录；
（八）机器重要数据的检测，应以手动控制为主。将搁板测温探头贴紧在搁板上，采取连续和一次成功的办法，争取一次运行数据能够较好的反映机器性能；
（九）整理机器运行数据，与相对应的指标进行对比，要确保每一项指标均能达到要求。对于调试过程中出现的问题，要认真分析，找出原因，并尽量将问题解决。
第三十二条 空载自动运行测试，设定一个冻干工艺，具体参数设定参见附件6空载自动参数设定数据表，按照设定好的的工艺参数进行自动测试。
（一）自动运行主要是测试程序的可靠性和稳定性。自动运行按照已经设定的参数进行，该参数包含所有与冷冻干燥有关的功能，并设置相关报警，观察机器实际运行情况；
（二）程序自动运行后，确保机器自动程序稳定可靠，各个步骤应按实际设定值运行。若运行过程中出现问题，请及时记录和反馈，由程序设计人员进行修正，修正好后再次运行，直到自动程序稳定运行。
（三）根据标准的冻干曲线参见附件7标准自动空载工艺曲线，分析机器运行的稳定性、冻干曲线与标准曲线对比，确认设备自动运行是否稳定可靠；
第三十三条 自动满载测试
设定一个冻干工艺，具体参数设定参见附件8满载自动参数设定数据表，按照设定好的的工艺参数进行自动测试。
满载自动运行，主要是测试机器满载性能的稳定性、压缩机工况的稳定性以及机器结霜情况，测试机器长时间运行的可靠性，运行中注意观察以上四项，适时调整，做好性能分析。观察机器实际运行情况。
在满载自动运行过程中对以下情况进行重点管控：
（一）观察满载测试前后压缩机高压压力变化；
（二）将前箱板层升到顶以后，按照规定的负荷量在板层托盘内加水。测量最上层搁板的上平面到箱顶的距离d1，在测试结束后，再测量上搁板上平面到箱顶的距离d2，d2-d1差值应小于2mm，否则为不合格，即油缸下滑达不到要求；
（三）根据标准的冻干曲线参见附件9标准自动满载工艺曲线，分析机器运行的稳定性、冻干曲线与标准曲线对比，确认设备自动运行是否稳定可靠；
（四）在机器长时间运行后，检查压缩机、真空泵、循环泵、电加热运行状态是否稳定可靠。特别要注意压缩机工况的稳定性，在长时间运行时应确保压缩机没有油压差、电子热保护等报警；
（五）满载运行时，应检查循环泵、电加热法兰处无漏油，压缩机各喇叭口有无泄漏问题（用手摸各喇叭接口，检查有无油泄漏），检查平衡桶有无漏油现象；
（六）满载运行时，要检查箱体保温以及箱门保温情况。在箱体两侧外包壳和箱门处不能有积露现象；
（七）满载运行过程中，机器的掺气和掺冷工作可靠，中压掺气工作可靠；
（八）对于普通型机器，捕水测试结束将托盘拿出后，应仔细检查板层和上下集管法兰处，确认板层和集管法兰没有漏油现象；
（九）前后箱无明显压差；
（十）满载运行结束后，将结霜照片提交到质保部；
（十一）后箱温度稳定性；
（十二）压缩机油位；
（十三）电磁阀泄漏；
（十四）真空泵油位以及确认没有进水现象。
第二节 化霜控制测试
第三十四条 手动化霜测试
将蘑菇阀（大蝶阀）关闭，将后箱放满水，同时检查蘑菇阀（大蝶阀），确保蘑菇阀（大蝶阀）无漏水、漏气现象。在后箱盘管化霜结束后，确认前箱箱门已关好后，打开蘑菇阀（大蝶阀），给前箱加水超过视镜，同时检测箱门的密封性能，确保箱门无漏水；化霜结束后，将前后箱水排放掉。检查前箱、后箱的水能否放干净，确保前箱、后箱无积水。
第三十五条 蒸汽化霜测试
关闭中隔阀，对后箱进蒸汽，压力控制在0.05MPa观察后箱化霜情况，期间可进行一到两次排水，化霜完毕启动水环泵汽化干燥，后箱进气复压。
第三十六条 自动化霜
按照参数管理中的程序指令启动自动程序，观察化霜结果、程序控制情况。
第三十七条 关键项
（一）程序控制有效；
（二）参数设定有效；
第三节 CIP清洗测试
第三十八条 手动CIP测试
（一）将制品温度探头盘好并固定，避免清洗过程中板层运动将探头损坏；
（二）阀门控制对应，逻辑关系确认正常，各信号稳定。
第三十九条 自动CIP测试
（一）参数设定有效；
（二）程序稳定；
（三）冻干机与外置系统控制有效，协同一致；
（四）CIP清洗后箱内无积水；
（五）清洗覆盖全面（效果验证项），用胭脂红或核黄素进行喷洒，清洗后进行验证；
第四节 SIP清洗测试
第四十条 手动控制测试
（一）阀门控制对应，安全保护等逻辑关系确认正常；
（二）参数设定有效；
（三）运行SIP，确认箱门、汽缸等其它信号工作正常；
（四）压力传感器工作、F0值记录正常；
（五）检查确认箱门插销系统工作正常，且插销在规定时间内能顺利的插入和拔出；
（六）检查确认灭菌测温探头工作正常；
（七）检查确认小油缸背压阀工作正常；
（八）检查箱门、管接头无漏水、漏汽现象；
（九）SIP运行后检查箱体底部及管道有无积水现象，若有积水，一定要进行处理。
（十）水夹套进出水循环正常，无漏水现象；
（十一）SIP运行后检查板层有无泄漏。若发现板层存在泄漏的，将泄漏点补焊后，再运行两次SIP，确认板层有无泄漏。
（十二）根据标准的SIP曲线参见附件10标准SIP工艺曲线，分析机器运行的稳定性、SIP曲线与标准曲线对比，确认设备自动运行是否稳定可靠；
第四十一条 自动控制
（一）自动程序运行稳定，参数执行正常；
（二）灭菌过程中压力、温度符合要求；
第四十二条 过滤器复压系统灭菌测试
（一）参数写入正常；
（二）程序控制稳定；
（三）无漏水漏气现象；
（四）热气吹干有效（可选项）。
（五）灭菌温度满足要求。
（六）管路走向合理，管道无积水现象。
第四章 触摸屏手动控制
第四十三条 各工艺参数写入正常，且与外控一致；
第四十四条 冷冻、化霜、SIP 、CIP等各按钮操作正常与外控一致；
第四十五条 各控制界面与外接电脑控制画面一致；
第五章 记录仪测试
第四十六条 各通道、数据采集与外控相一致，曲线记录正常；
第四十七条 通道指示牌与记录仪采集数据通道相对应；
第六章 调试记录的填写
第一节 《机器调试问题记录卡》的填写 第四十八条 《机器调试问题记录卡》（见附件11）填写时，问题描述要清楚、真实，保持记录卡的清洁；
第四十九条 记录的问题通知相关责任人整改，整改完成后确认关闭；
第五十条 暂时不能解决的问题，应及时填写《机器调试问题整改单》，并在备注栏中注明“见《机器调试问题整改单》”。
第二节 《机器调试试运行报告》的填写 第五十一条 《机器调试试运行报告》（见附件12）填写时保持报告清洁，填写及时，字迹工整。
第五十二条 填写的内容要真实，对于报告中要求确认的项目要一一进行核对、确认。
第五十三条 部件安全数值的调节要真实有效。相关电机正反转的测试要一一进行确认。
第五十四条 标牌的悬挂、粘贴要一一对应，流向准确，特别是对需要粘贴的标牌，要先清洁，后粘贴，确保粘贴后标牌的牢固。对于相同用户的二台（含二台）以上的机器标牌，悬挂、粘贴的位置要相同。
第五十五条 报告中不能有空白，未填写的情况发生，如有未填写的需在备注栏写明原因。
第五十六条 机器调试结束，把《机器调试问题记录卡》、《机器调试试运行报告》、调试合格的数据作一遍自检后，一并交到质保部最终检验员处，检查、审核。最终检验员签字确认后，方可认定此台机器调试工作结束。
第七章 标识粘贴以及标牌的悬挂
第五十七条 所有的报警必须检测，并将报警记录，用PDF格式打印出来，与调试数据一起提交。
第五十八条 PID图上有PID号的，都需挂上标牌。包括液体的流向，箭头颜色所代表的意思：比如蓝色表示循环系统，红色表示制冷系统等。
第五十九条 警告标识和挂牌按照要求进行粘贴《见东富龙【质】字﹝2011﹞01号冻干机警告标示粘贴规定》。
第八章 机器调试的收尾工作
第六十条 对整机极限真空和泄漏率的最后确认，并提交相关数据和曲线。
第六十一条 待后箱温度在0℃以上时，开启压缩机、冷凝阀和板冷阀，进行收液处理。第六十二条 螺杆压缩机回气滤芯更换成不锈钢滤芯，活塞机的冷冻油和干燥滤芯根据需要，对于冷冻油特别脏的，建议按照有关审批流程进行更换。
第六十三条 对板层、干燥箱内、整机进行整理、清洁。
第六十四条 关闭中隔阀，升起油缸，将导杆装紧，工艺堵头安装到位，温度探头卷好收起，对整机拍照。
第六十五条 将平衡桶盲盖盖好，安装好呼吸器，同时检查机器上所有的接头、盖帽，确保机器上所有的部件齐全。
第六十六条 拆除冷却水管、电线、压缩空气气管。
第六十七条 检测各部件紧固。
第六十八条 整理好通讯线，换上的接头应拆下。
第六十九条 机器与质保部最终检验人员交接，将电脑包装收好，取下调试状态挂牌，由最终检验人员核准，挂机器合格状态牌。
第七十条 发货前将制冷剂回收。
第九章 附 则
第七十一条 本规范是对于冷冻干燥机调试的基本要求，对于螺杆压缩机制冷的冻干机以及液氮冻
干机的关于制冷系统的调试规范，会以附录的形式另行下发。
第七十二条 本规范涉及的附件，按照以下方式定义：
1、附件1：程序内部参数设定数据表
2、附件2：液压系统压力设定值
3、附件3：液压系统液压油加注标准数据表
4、附件4：冷冻干燥手动连续性数据测试流程
5、附件5：报警列表
6、附件6：空载自动参数设定数据表
7、附件7：标准自动空载工艺曲线
8、附件8：满载自动参数设定数据表
9、附件9：标准自动满载工艺曲线
10、附件10：标准SIP工艺曲线
11、附件11：《机器调试问题记录卡》
12、附件12：《机器调试试运行报告》
第七十三条 本规范自2011年6月1日起施行。按照公司质量管理有关规定，具体实施办法（调试SOP）由技术部、质保部、生产部讨论后形成文件，质保部组织落实。
附件1：程序内部参数设定数据表
说明：机器中相关参数设定按照下表中参数进行设定
附件2：液压系统压力设定值
序号 LYO- 板层面积 液压缸液压压力bar
压塞油缸27
1 0.5 0.41㎡
蘑菇阀油缸
压塞油缸58
2 1.0 3.24㎡
蘑菇阀油缸8
压塞油缸107
3 2.0 2.16㎡
蘑菇阀油缸12
压塞油缸107
4 3.0 3.24㎡
蘑菇阀油缸12
压塞油缸138
5 5 5.4㎡
蘑菇阀油缸17
压塞油缸138
6 7.5 7.56㎡
蘑菇阀油缸30
压塞油缸138
7 8.6 8.64㎡
蘑菇阀油缸30
压塞油缸138
8 10 9.72㎡
蘑菇阀油缸30
压塞油缸117
9 13 12.96㎡
蘑菇阀油缸47
压塞油缸117
10 15 14.4㎡
蘑菇阀油缸47
压塞油缸117
11 16 15.84㎡
蘑菇阀油缸30
压塞油缸117
12 17 17.28㎡
蘑菇阀油缸30
压塞油缸117
13 20 19.73㎡
蘑菇阀油缸43
压塞油缸111
14 22 22.35㎡
蘑菇阀油缸43
压塞油缸111
15 25 24.59㎡
蘑菇阀油缸38
压塞油缸134
16 30 29.6㎡
蘑菇阀油缸38
压塞油缸118
17 40.0 41.86㎡
蘑菇阀油缸62
压塞油缸118
18 45.0 44.85㎡
蘑菇阀油缸62
附件3：液压系统液压油加注标准数据表
序号 LYO- 板层面积 液压油加注量（L）液压站体积（L）
7
1 0.5 0.41㎡ 5～6
14
2 1.0 3.24㎡ 10～12
14
3 2.0 2.16㎡ 10～12
25
4 3.0 3.24㎡ 20～22
25
5 5 5.4㎡ 20～22
25
6 7.5 7.56㎡ 20～22
25
7 8.6 8.64㎡ 20～22
25
8 10 9.72㎡ 20～22
40
9 13 12.96㎡ 35～40
40
10 15 14.4㎡ 35～40
40
11 16 15.84㎡ 35～40
40
12 17 17.28㎡ 35～40
60
13 20 19.73㎡ 55～60
60
14 22 22.35㎡ 55～60
60
15 25 24.59㎡ 55～60
60
16 30 29.6㎡ 55～60
60
17 40.0 41.86㎡ 55～60
60
18 45.0 44.85㎡ 55～60
附件4：冷冻干燥手动连续性数据测试流程
1、启动手动 输入对应批号 打开循环泵1 启动电加热将温度控制在20℃；延迟 5分钟关闭电加热 启动压缩机 打开板冷阀，对前箱降温；
2、 观察降温速率 降至前箱极限温度，当导热油出口温度达到要求时，降温过程合格。（同机型、同客户的降温速率、极限时间对比小于10分钟）。将前箱温度设定在-40℃，启动电加热对前箱恒温，保持-40℃，观察导热油进口恒温效果。
3、关闭板冷阀 延时10秒后打开冷凝阀（对冷阱降温），同时启动真空泵预热；
4、当冷阱温度从常温降至-40℃以下，（观察所需时间，符合要求， 继续降温至‐45℃以下 ，
打开小蝶阀对冷阱抽真空，三分钟后打开中隔阀，再延时3分钟后开罗茨泵，当真空到达10Pa以下，观察抽真空所耗时间；
5、 将电加热参数值修改成最高温度，重新启动电加热，将导热油温度升至极限值，此过程中观察导热油进口温度从-40℃到+20℃时的时间， 调整工况至冷阱极限温度，同时观察极限真空 关闭小蝶阀 关闭真空泵 停止电加热 保泄漏率30分钟，至泄漏率合格 关闭冷凝阀停止压缩机 停止循环泵 停止手动。
附件5：报警列表
编号 报警信息 编号报警信息 1电源检出信号异常报警 2压力升测试异常报警
3水流量信号异常报警 4干燥箱关门信号异常报警 5气压力异常 报警 6压缩机1异常报警
7干燥箱蒸汽压力异常报警(上限) 8压缩机2异常报警
9.循环压力异常报警 10真空泵1过载报警
11电加热温度超温报警 12真空泵2过载报警
13中隔阀开信号异常报警 14罗茨泵1过载报警
15中隔阀关信号异常报警 16罗茨泵2过载报警
17蒸汽总阀开信号异常报警 18循环泵过载报警
19蒸汽总阀关信号异常报警 20液压泵过载报警
21门插销进信号异常报警 22水环泵过载报警
23门插销出信号异常报警 24液压系统紧急停止报警 25小蝶阀开信号异常报警 26控制系统紧急停止报警 27小蝶阀关信号异常报警 28真空泵全部关闭报警
29泵组隔离阀1开信号异常报警 30温控异常报警
31泵组隔离阀1关信号异常报警 32真空异常报警
33泵组隔离阀2开信号异常报警 34过滤器电加热超温报警 35泵组隔离阀2关信号异常报警 36小门电机电源报警
37化霜阀开信号异常报警 38小门电机伺服故障报警 39化霜关信号异常报警
附件6：：空载自动参数设定数据表
附件7：标准自动空载工艺曲线
附件8：满载自动参数设定数据表
附件9：标准自动满载工艺曲线