BLL-1200F3触摸屏宝来利说明

BLL-1200F3光学真空镀膜机操作说明

一．安全使用事项

1.1前言

1.1.1 使用（安装、运行、检查、维修）光学真空镀膜机之前，请务必仔细阅读本使用说明以及各单元设备制造厂商所提供的使用维护说明书。如果对于使用、安全警告、危险标示等方面有不明白之处，请及时向本公司售后服务部门（本说明书后附有联系方式）咨询。

绝对禁止在未充分了解产品的情况下将其投入使用。

1.1.2本说明书及各单元设备制造厂商提供的说明书请尽可能地

保管在设备附近。以便在设备使用过程中根据需要及时查

阅。说明书一旦破损或丢失，请立即与本公司售后服务部门

联系，及明补充完整。另外，在转售本机时，请务必将本说

明书及各单元设备制造厂商提供的说明书切实地交到最终

1.1.3

身安全有着非常重要的作用，在日常检查维护中，请务必保

持其完整、醒目。

1.2注意事项

1.2.1综述

1.2.1.1 光学真空镀膜机重量较大，要求其安置场所（操作间）

以及搬运通道的地面必须有足够的承载强度。如果不能满足要求，请进行必要的改建。

1.2.1.2 使用本机，需要提供4Kg-8Kg的压缩空气、三相五线380V/50Hz的电力、接地电阻小于10?，电阻率为5?.cm的清洁冷却水（水温18℃-25℃,冷却水压：入口0.3MPa-0.4MPa/出口OKg-1Kg）。

1.2.1.3 真空室内有人时，不得关闭真空室门。否则，可能出现的误操作（如抽真空）将在极短的时间内导致真空室内的人员死亡，造成无法挽回的严重后果。

1.2.1.4 本机不能进行含自燃性、可燃性及爆性气体的排放，不能在含有自燃性、可燃性及爆炸性气体的环境中使用。

1.2.1.5 禁止使用有毒气体、放射性气体等有害气体。对于使用此类气体的光学真空镀膜机，本公司拒绝任何检查、维修及改造。

1.2.1.6

1.2.1.7

1.2.1.8 本机使用的真空泵不能进行凝缩性、凝固性气体或粉尘的排放。

1.2.1.9 本机为光学真空镀膜设备，不得用于其它用途。

1.2.1.10 在真空室门打开或限位开关处于开锁状态下时，禁止运行设备。

1.2.1.11 设备有自动、手动、维修三种运行状态。用户正常情况

下只能在手动、自动状态下使用，严禁在维修状态下使用。否则会对设备或操作人员造成严重伤害

1.2.1.12 本机装置中使用有高压、高频、强磁场，请不要让佩带心脏起搏器的人员接近。强电磁场会对心脏起搏器造成恶劣的影响。二．手动操作过程：

1.开机准备：

1.1接通水源+气源+电源，触摸屏有显示并有报警(有报警项显示）,整机子动作全默认为手动。（真空手动，离子源手动，阻蒸手动，穴埚手动，枪电源手动，P/深冷手动，充气手动）

1.2开AP（气泵+冷水机），颜色由绿色变红色，并听到哒一响，说明AP启动了，气压达到5Kg左右报警解除。

1.3开WP，FP（水泵+分子泵电源），颜色由绿色变红色，并听到哒一响，说明WP启动了,空压达到5Kg左右报警解除。

1.4

2. 预热过程：

2.1开VP VP 开了。

2.2延时10秒，开VPV（维持阀），颜色由绿色变红色，说明VPV 开了。

2.3开FP(分子泵），颜色由绿色变红色，说明FP启动了。FP开始加速，待20min后FP进入225HZ的工作状态(F1，F2，F3运正由绿色变红色)。

3. 抽真空过程：

3.1左手压着门把手，右手按闭门器开关，触摸屏左上角DOOR颜色由绿色变红色，门闭合。

3.2开RP（机械泵）RP

启动了。

3.3延时20抽真空开始。

3.4，真空抽到5WPa时(左上角5WPa变红色），关SRV（防湍阀），颜色由红色变绿色，说明SRV关闭了,开RV（粗抽阀），颜色由绿色变红色，说明RV开始抽真空。

3.5，真空抽到5KPa时了(左上角5KPa变红色）,开MP（罗茨泵），颜色由绿色变红色，说明MP开始工作。

3.6真空抽到5Pa时(左上角5Pa变红色）,先关闭RV（粗抽阀），颜色由红色变绿色，说明.RV关闭。开MV（主抽阀），颜色由绿色变红色.说明MV开始工作，再开制冷，盘管由红色变绿色.说明深冷开始工作，抽高真空开始。再关闭MP（罗茨泵），颜色由红色变绿色，说明.MP关闭;延时90S后，最后关RP颜色由红色变绿色，说明.RP 关闭.

4. 镀膜过程：

4.1离子清洗

当真空室压力达到3×10-3Pa真空度时，开流量计的控制开关

给真空室充氩气（5SCCM)，真空度退到9×10-3Pa后，打开离子源电源,屏压350V,离子流80MA,电子流88MA清洗被镀工件5MIN. 4.1离子辅助镀膜

离子源电源调整屏压350V,离子流60MA,电子流66MA后，开压强仪的控制开关给真空室充氧气,一般当真空退至2×10-2pa左右时可打

调

号蒸镀下一种膜料按此步骤继续。蒸镀结束关电子枪高压灯丝、枪电源，关下烘烤上烘烤，延迟3分钟关离子源，关压强仪。

4.2保温10分钟左右后，关MV(主抽阀)，再开除霜，盘管由绿色变红色.说明回温开始工作。回温到20度后才能开SVV(慢防阀)，延迟到开VV(防气阀)让真空室充气完毕后及时关SVV(慢防阀)VV(防气阀)，否则真空室门开着一直有报警音。打开真空室门关工件转动，取出被镀工件。

4.4需要停止镀膜机工作时，关MV（主抽阀），关FP分子泵（降速大约12MIN左右），待F1.F2.F3变绿后，关VPV（维持阀），延时30S 关VP（维持泵），关水源气源电源。

4.4打开真空室门，放入已清洁的被镀工件，在电子枪坩埚上加入镀膜材料，关上真空室门。

4.5需要进行下次镀膜时，重复3.1~4.4步骤。

三．自动操作过程：

1.开机准备：

1.1接通水源+气源+电源，触摸屏有显示并有报警(有报警项显示）,整机将手动改为自动（真空自动，离子源自动，，阻蒸自动，穴埚自动，枪电源自动，P/冷阱自动，充气自动）

1.2触摸屏无报警显示项后，说明设备开机条件满足。

2.自抽过程：

2.1开自抽，颜色由绿色变红色，VP（维持泵）.工转自动启动，颜色由绿色变红色，并听到哒一响，说明VP.。工转开了。

2.2延时10秒，VPV（维持阀）自动启动，颜色由绿色变红色，说明VPV开了。

2.3接着FP(分子泵），颜色由绿色变红色，说明FP启动了。FP开始加速，待FP进入的工作状态(F1，F2,F3由绿色变红色).

2.4RP（机械泵）得到FP运正信号后自动启动，颜色由绿色变红色，

并听到哒一响，说明RP启动了。

2.5延时20秒，SRV

SRV抽真空开始。

2.6真空抽到5WPa

色，说明SRV关闭了,自动开RV（粗抽阀），颜色由绿色变红色，说明RV开始抽真空。

2.7真空抽到5KPa时了,MP（罗茨泵）自动启动，颜色由绿色变红色，说明MP开始工作。

2.8真空抽到5Pa时,M P（罗茨泵）RV（粗抽阀）自动关闭，颜色由红色变绿色，说明MP,RV关闭。MV（主抽阀）自动启动，颜色由绿色变红色.说明MV开始工作，再自动开制冷，盘管由红色变绿色.说明深冷开始工作，抽高真空开始。

2.9. 镀膜过程也将实现自动。

3.自放过程：

3.1开自放，颜色由绿色变红色，MV（主抽阀）自动关闭，颜色由红色变绿色，除霜自动启动，颜色由绿色变红色，除霜结束后自动开启SVV(慢防阀)，延迟到自动开启VV(防气阀)让真空室快速充气。真空室门打开并有报警音；工件

4.自关过程：

4.1开自关

色变绿色，开始；

4.2同时FP(分子泵)自动关闭，颜色由红色变绿色，等F1，F2,F3由红色变绿色（降速大约12MIN左右），再延时60S后，

4.3VPV（维持阀）自动关闭，延时30S后，VP（维持泵）AP（气泵+冷水机）WP（水泵+分子泵电源）自动关闭，由红色变绿色，并听到哒一响。

4.3 如需重复，请按自抽，自防，自关。它们是互锁的。

三。安全与维护

3.1保持设备所需正常工作环境，温度不应高于40℃，相对湿度不得大于80%，冷却水进水温度不得高于25℃，水压不得低于

0.20MPa ，进出水不得低于0.1MPa给气压力0.5~0.6 MPa。

水气压力不够镀膜机会自动停止工作。

3.2电控柜、主机,枪电源柜都应25MM铜线良好接地，以保护操作者

人身安全。

3.3要每班经常清洁真空室，避免镀膜材料沉积污染影响正常生产和责量。

3.4保护套板勤更换清洗，保持真空室内清洁。

3.5

积。

3.6

3.7（触摸屏有报警显示）如突然停电，要关闭各电气开关，强制通水冷却各个泵，避免真空泵过热。

3.8分子泵经较长时间（4~6个月）使用或其他原因造成泵油散热效果下降，致高真空抽速明显下降时，则需换油。（详细请参考分子泵手册）

3.9机械泵定期检查和换油，第1次使用1个月后换油，第2次使用3个月后换油, 第3次使用6个月后换油，以后定期加油。（详细请参考机械泵手册）

3.10罗茨泵定期检查和加油。（详细请参考罗茨泵手册）

3.11非专业人员不要打开主机座电控柜枪电源盖板，以防触电！！！

3.12各配套产品请仔细阅读各自的使用说明书。

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联系电话：0511-*******

传真：0511-*******

注1：所有触摸键信号键，绿色代表关红色代表开。注2：哒一响，代表24V AC接触器吸合或断开。