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厂务需求表

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項次

規格要求備注

额定功率

21KW 电压(V)

3? 380V 型式

Y 形頻率

50/60HZ 相数

3?+1有机排

YES 接頭形式

KF40流量

100 cfm 2832L/Min 排氣管

金屬管道 排放物

O2混合氣體纯水

YES 水壓:3~5KG/CM2;水溫:18~25℃溫度

18~25℃流量壓力

5~7L/min、3kg/cm2用量

5~6KG/CM2 160slm 5~6KG/CM2 160L/Min 管材

不銹鋼管管径

1/4" VCR接頭用量

3~5KG/CM2 160slm 3~5KG/CM2 160L/Min 純度

99.995%管材

不銹鋼管管径

1/4" VCR接頭用量3~4KG/CM2 MAX:500SCCM 純度

99.999%管材

不銹鋼管管径

1/4" VCR接頭用量

3~4KG/CM2 MAX:500SCCM 純度

99.999%管材

不銹鋼管管径1/4" VCR接頭PRS廠務需求表

设备名称:Plasma機臺 ;数量:1台

外形尺寸(mm)(LxWxH)/重量(Kg):W*D*L:2050×1450×1250項目志聖工業竹科分公司 Plasma 專案組

电源

(AC)排氣冷卻水氣

CDA N2O2CF4

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