項次
規格要求備注
额定功率
21KW 电压(V)
3? 380V 型式
Y 形頻率
50/60HZ 相数
3?+1有机排
YES 接頭形式
KF40流量
100 cfm 2832L/Min 排氣管
金屬管道 排放物
O2混合氣體纯水
YES 水壓:3~5KG/CM2;水溫:18~25℃溫度
18~25℃流量壓力
5~7L/min、3kg/cm2用量
5~6KG/CM2 160slm 5~6KG/CM2 160L/Min 管材
不銹鋼管管径
1/4" VCR接頭用量
3~5KG/CM2 160slm 3~5KG/CM2 160L/Min 純度
99.995%管材
不銹鋼管管径
1/4" VCR接頭用量3~4KG/CM2 MAX:500SCCM 純度
99.999%管材
不銹鋼管管径
1/4" VCR接頭用量
3~4KG/CM2 MAX:500SCCM 純度
99.999%管材
不銹鋼管管径1/4" VCR接頭PRS廠務需求表
设备名称:Plasma機臺 ;数量:1台
外形尺寸(mm)(LxWxH)/重量(Kg):W*D*L:2050×1450×1250項目志聖工業竹科分公司 Plasma 專案組
电源
(AC)排氣冷卻水氣
源
CDA N2O2CF4