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ESC基础培训20100811-1

Electrostatic Chuck Basic (2)

Coulombic Chuck (2)

Johnsen-Rahbek Chuck (4)

Bipolar E-chuck chucking scheme (6)

Bipolar E-chuck chucking scheme (7)

Bipolar E-chuck dechucking scheme (9)

Bipolar E-chuck Schematics (10)

Bipolar E-chuck Operation Scheme (10)

Monopolar E-chuck (12)

Monopolar E-chuck Schematics (13)

Low Temp Ceramic Puck (15)

Low Temp Ceramic Puck: Embossment (15)

Low Temp Ceramic Puck (16)

Low Temp E-chuck Puck: Electrodes (17)

Low Temp E-chuck (18)

Interface Box (20)

V oltage on Terminals (21)

Cr Assembly (21)

Filter Assembly (22)

RF Cable Assembly (23)

RF Cable Assembly (25)

Bipolar E-chuck Power Supply (25)

TC and TC Amplifier (27)

Power Supplies Configuration (27)

Surface Contamination (28)

Electrostatic Chuck Basic

Lu Chiang Liang

7/25/2010 Coulombic Chuck

●Coulombic force on capacitor

●ε: alumina 8.5; quartz 3.9; PTFE 2.1

图1. 库仑原理图示

ESC原理是很简单的，依靠静电引力将硅片吸引在ESC上。静电引力即库仑力，大小受到距离及介质影响，也与电压相关。

●Where are the charges?

F = ?εε?AE2 = ??εε?A(V2/d2)

E = V/d

● Monopolar chuck: the chucking voltage apply to the wafer through the chamber plasma

图2. 单极ESC 原理示意图

单极ESC 形成库仑力需要借助Plasma

，从而导通Wafer 与腔室壁，形成回路，类似电容充电。因此单极ESC 与Wafer 形成库仑力需要一定的外部条件。

● Bipolar chuck: equivalent to two capacitors in series

图2. 双极ESC 原理示意图

双极ESC 相当于两个电容的串连，无需借助外界条件，存在Wafer ，加载ESC DC ，即形成静电引力，从而吸附Wafer 。

图3. 双极ESC 电路等效图

Can a wafer with a glass carrier be chucked?

图4. 特殊硅片Chucking 原理示意图

特殊形式硅片，例如背面加载一层玻璃的硅片（TSV 玻璃Wafer ）也是可以形成静电引力的，但形成库仑力的几个要素都需要重新考虑，比如间距、介质等都需要考虑玻璃的因素而改变。

另外，TSV 玻璃会导致硅片变形，影响Chucking Force 非常严重。

Johnsen-Rahbek Chuck

? Low resistivity puck ? JR current must present

? Rg >> Re, therefore Vg >> V e

图5. JR 型E-Chuck 原理示意图

图5. JR 型E-Chuck 电路等效图

JR 型E-Chuck 原理是20世纪中期发展的，两个物质相接触，即使双方平整度很高，但真正接触的表面也是点接触。假如两物体接触面间有电压，例如硅片和ESC 表面，且认为ESC 材质为低电阻率材料，且存在电流，则可认为接触点间电阻率明显高于ESC 内部电阻，因此两物体间电压基本被分压在接触面上。

? Field emission take place

Where are the charges?

? Field emission saturation

图5. JR 型E-Chuck 微观结构原理图

JR 电流在硅片背面与Echuck 正面的接触点形成。在非接触点电荷无法移动，形成了静电引力。

Eg = E - Ef Fj ~ Eg2 = Vg2/d2

图6. JR型与库仑型E-Chuck引力与电压关系比较图

JR型ESC比较大的一个特点是低电压状态下，能够产生比较大的引力。

?Sensitive to particles

?How about the wafer with glass carrier?

因为JR型引力形成主要集中在接触点，因此对距离因素比库仑型ESC敏感。因此假如存在Particle，则JR型ESC表现的更敏感。也因为此因素，导致特殊硅片（硅片背面有玻璃）无法使用JR型ESC。

Bipolar E-chuck chucking scheme

●Power supply must be floating

●With DC bias presenting during processing, one side grounded power supply causes

unbalanced chucking force

图7. 双极ESC错误连接方式示意图1

如上图接地是不行的，假如接地，则RF无法起作用。

图8. 双极ESC错误连接方式示意图2

如上图接地也是不行的，因为硅片受到RF Bias影响，A、B两端相对于硅片的电压值绝对值不相等，因此引力也不相同。

图9. 双极ESC正确连接方式示意图

双极ESC，两极之间应该是悬浮的，并且应该与EC Bias电位相同。

Bipolar E-chuck chucking scheme

●Once we float the power supply, the terminal A (or B) to ground potential is unknown.

●Therefore the chucking voltages could be unbalanced.

●The solution is center tap connection

●Direct connection

●Capacitor divider

图10. 双极ESC无DC Bias反馈示意图

当ESC DC GND悬浮后，将无法确定A、B两端相对于硅片下表面的电压，因为ESC DC GND被悬浮了，只能够知道A、B两端间的电压差。因此简单悬浮ESC DC GND也不可行。

图11. 双极ESC有DC Bias反馈示意图

如上图所示方法是目前比较通用的方法，参考电位从硅片背面取得，Va，Vb电压方向相反，数值相等。C点参考电位既为DC Bias。

注意：C点电位只有通过静电电压表来测量才比较准确。

图12. 双极ESC有DC Bias反馈示意图2

在无法准确测量或获得DC Bias 的情况下，通过调节参考电位，将参考电位调解到估算的DC Bias 的情况也是可行的。

Bipolar E-chuck dechucking scheme

● Residual charges on E-chuck and wafer surface and electrodes. ● Sources of residual charges:

? leakage current (in tens of nA for high resistivity chuck) bring charges to the surface; ? wafer rubbing;

? trapping space charges, etc.

Dechucking 时剩余电荷存在于ESC 上表面与硅片下表面之间。剩余电荷一般来自于三个方面：

Chucking 时，电荷被带到表面上而因为高电阻率，无法被带走。因此电极所存在的电荷没有得到释放。

硅片与ESC 表面摩擦，形成静电电荷。由腔室其他位置转移来的电荷。

● For the leak current charges, the polarity is predictable, apply the reversed voltage properly

could remove some of the charges

对于漏电流电荷（Chucking 时没有释放完全的电荷），电荷的极性是已知的，因此加反向电压可以释放电荷。

● Ground electrodes while power off is also helpful

ESC 不工作时，将电极与地相连（ESC 功能之一）也可以起到消除电荷的作用。

● For other charges, dechucking with plasma, can effectively remove them. But this method

can not be applied to current PVD chambers.

由于等离子体内丰富的电荷以及其电中性的特点，Dechucking 时施加Plasma 能够有效的释放电荷。但是此方法不适合PVD 系统。

● For low resistivity E-chuck, the charges on chuck surface can escape to ground readily. But

the residual charges on the 6k or 10k wafer surface are hard to escape. So far it is still an issue.

由于低电阻率ESC ，剩余电荷通过ESC 释放还是比较容易的，但是有一些硅片本身电阻值较高，反而是因硅片上的剩余电荷束服，导致ESC 的剩余电荷无法释放。原理见下图。

insulator

图13. De-Chucking 原理示意图

Bipolar E-chuck Schematics

RF High

impedance path

RF Low impedance path

图13. 双极E-Chucking 接线框图

双极ESC 接线框图如上，假如RF 与DC 最终相同路径接入，RF 进入端需要隔离直流，隔离直流电路由于其本身需要经过较大的电流，考虑散热、安全，不建议采用电路板形式，一般用器件搭。ESC DC 需要将DC 滤波后输入，同时反馈信号也需要滤波。滤波电路没有通过大电流问题，可以用电路板形式。

● Cu 腔室起辉状态下，电阻为几个欧母，但角度很大。 ● Ta 腔室可能有70～80欧母，角度也很大。

● 从A 和B 向HV RF Filter 看，电阻应为5～10K 欧母，电流在mA 级别。 ● 因为腔室的耦合电容、电感很难通过计算或模拟确定实际工作过程中的状态，因此通常

是在实际工作过程中，可通过VI Probe 在RF 进口处，测量电流、电压以及电位。 ● 竞争对手的High RF Current 电缆都是定做的，实际工作过程中出问题最多的还是此电

缆。

Bipolar E-chuck Operation Scheme

图14. E-Chuck工作电压时序图

●T1～T2：此时间为ESC上升至工艺位置，需要加150V左右的Chucking电压，原因有

两个，一个是保持硅片在上升过程中不运动。另一个作用是因为硅片进入腔室时的温度较高，通过Chucking能够保证一定的散热。

●T2～T3：此时Chucking电压保持在450V～550V，持续时间约为1～2秒钟，此时

Chucking电压是整个工艺过程中最大的，作用有两个，一个是通过较大的Chucking电压将有可能存在的硅片翘曲去除。另一个原因是加大Chucking电压，使硅片的降温更快。

●T3～T4：T3为工艺开始时间，也是Gas进气开始时间，T3～T4 E-Chuck保持正常的电

压输出，典型输出为350V。T4点为结束工艺后，Gas压力下降到200mTorr时刻，此时刻关闭E-Chuck电压。

●T4~T5：普通硅片在JR型SLT ESC中并不需要，即由于低电阻率，JR型SLT ESC并

不需要De-Chuck的特殊反向电压。假如De-Chuck结果不理想，可以施加反向电压。

反向电压的大小和时间需要测试确定。

图15. E-Chuck气路原理示意图

Monopolar E-chuck

●Chucking: Need plasma to close the chucking path. The polarity of the chucking voltage

could be required by customers

●Dechucking problems:

?If plasma extinguished, Unable to discharge the chucking voltage Vc while turning off

the PS; Need some type of plasma to discharge Vc

?Residual charges issues remain

单极E-Chuck需要Plasma才能使Chucking通路完整。Chucking电压的极性可以根据客户需要设定。在单极E-Chuck进行De-Chucking时，假如Plasma熄灭，则静电电压将无法去除。另外剩余电荷的去除在单极E-Chuck上有一些问题。

图16. 单极E-Chuck电压关系

-500v

图17. 硅片静电电压与ESC DC 关系示意图

要保证加持在ESC 电极和硅片下表面的静电电压，需要考虑DC Bias 。由于DC Bias 的存在，极性相反数字相等的ESC 电极和硅片下表面静电电压，ESC DC 相对于地的电压是不同的，如上图所示。

图18. 硅片静电电压电气原理等效图

Monopolar E-chuck Schematics

图19. 单极ESC电气原理示意图

单极ESC的典型应用如上图所示，假如RF与DC同电路输入，则需要增加隔离直流电容以及RF Filter电路。假如没有传感器直接测定DC Bias电压，则可根据RF输出电流、电压关系计算出DC Bias电压。从而更改ESC DC输出数值。达到精确控制实际加载在硅片上的直流电压。假如不增加DC Bias修成电路，理论上也是可行的，但根据竞争对手使用经验，在工艺过程中，DC Bias并非一成不变，某些难以说明的偶发问题可能和DC Bias突变有关，因此竞争对手会考虑增加修成电路。

单极ESC的优点是接入ESC的接线相对较少。甚至单极ESC可以通过铜棒接入。根据美国的相关安全标准，对于电源线，只要保证工作状态下的Cable Connector温度低于65摄氏度即可。

PIB Box内部，ESC内部不要使用高温电缆，高温电缆通常过硬，对于ESC需要运动的PVD系统不适用。

但由于RF电流会有趋肤效应，在13.56M Hz下，67％的电流是在电缆的表皮上流过的，只有33％的电流是在电缆芯部流过。因此需要计算表面积上的电流密度。

聚乙烯材料电流：1.X 安培每毫米。

特福龙材料电流：2.X安培每毫米。

Low Temp Ceramic Puck

●Ceramic material: AlN

?Kyocera: AN2010;

?NGK: xxx37;

●Resistivity:

?Kyocera: 1E+9 ?-cm to 1E+10 ?-cm, @50?C, at 300V;

?NGK: 3E+9 ?-cm to 3E+10 ?-cm, @20 ?C, at 300V. Resistivity should not increased

by 3X at 10V

●Chucking force:

?Kyocera: for flat surface 100 g/cm2 (test tool? Location?)

?NGK: pop off test

?12 torr at 500V in vacuum chamber (no wafer read <2 torr)

●Electrodes to surface thickness: 1 mm+0.2mm.

●Thermal conductivity: 150 to 160 w/m*k

●Breakdown voltage: 1.5kv/mm

●Current: 20 amps per terminal (A & B), at 13.56MH

低温ESC Puck都是采用氮化铝陶瓷制作。竞争对手目前的两个供应商为Kyocera和NGK。低温ESC几个比较关键的指标为电阻率、Chucking力、电极到表面的厚度、导热性、通过电压、通过电流等。

竞争对手采用JR型ESC作为低温ESC，在AlN中都掺杂了稀有金属。从而保证了低电阻率。

ESC引力在ESC每点都不一样。测试必须保证测试物体与ESC平行，并贴近ESC表面。

ESC上表面厚度并不容易测量。低温ESC上表面必须有良好的导热性能（150 to 160 w/m*k）。

击穿电压这个指标并不是很重要，一般假如ESC表面没有裂纹或洞，都不会被击穿。Low Temp Ceramic Puck: Embossment

8--10mm

30% to 40%R1 ---R1.520 μm

图20. 低温ESC 机械设计示意图1

竞争对手ESC 有连接到硅片背面，接收DC Bias 的设计。

Low Temp Ceramic Puck

图21. 低温ESC机械设计示意图2

ESC上表面比硅片面积稍小，另外有专门的Deposition Ring设计。

硅片背面冷却He气在三针周围，最外面一圈都有密封He气的凸起，虽然不能完全密封冷却气体，但能够起到很大作用。

凸起约占整个ESC表面积的30% to 40%。

凸起分布设计主要取决于热传导性能。要做到热传导比较好。

凸起要抛光，要求R1～R1.5（英制）

凸起表面20um的平整度。

整个ESC表面积294mm，与硅片圆周外测3mm空隙。

是否可以不整合最下面的铝硅碳合金层（铝硅碳合金层主要是为了能够安装在腔室上）？

是否可以不用凸起（Pad），直接打沟形成空隙？

Low Temp E-chuck Puck: Electrodes

3mm+0.5mm

All others: 4mm

图22. 低温ESC 机械设计示意图3

竞争对手的双极ESC 是分为左右两极的。两极到边缘约为3mm 间距。

Low Temp E-chuck

图22. 双极两体ESC机械设计示意图3

双极两体ESC最上方为氮化铝材质平面。截面比300mm硅片略小6mm。其下结合了一层金属。两体ESC

拆装时内外两个密封圈将ESC密封住。

图22. 双极两体ESC机械设计示意图4

双极两体ESC需要连接的部分主要为最中间的气路，两个电极（ESC DC和ESC RF），

Center Tap（DC Bias），测温传感器，以及水路。

Interface Box

图22. 双极ESC接口盒内部布局示意图

●Interface Box整合了通往ESC的电气通路，包括ESC DC、ESC RF、TC等。

●RF Match：使Cosφ为50Ω，使相同输入功率下的电压和电流最小。

●RF Cable：Cable本身耐压问题不大。但是RF Cable需要一定的耐电流能力（40安培），

对于RF Cable的安全，有一个标准，就是正常工作时的金属接头部分的温度低于65摄氏度。

●RF Gasket：Gasket保证了RF不泄漏，可使用诱电线圈保持Interface Box盖子与盒子之

间良好的接触。

●Interface Box竞争对手为铸铝做成，盒子接地。

●RF Cable：耐压能力要求不高，问题不大。主要是耐电流能力需要考虑，假如RF电流

达到40安培，则比较难选择合适的RF Cable。

●假如下电极只有一个RF，则A、B两点是标准的正弦波，假如有其他频率的RF网络，

则二次谐波很厉害。

●A、B、C三点对地绝缘要求大于3000V（对地最高电压可能为2000V）。

●电感器可选择OHMITE公司产品，为空心电感，型号Z-7，Z-14等。注意这里不能使

用铁芯电感，因为铁芯电感会导致线圈扎数变少，流过电流后线圈容易过热导致出现问题。60M Hz RF也可以使用此电感。此电感在60M Hz频率下即作为电感，也作为电容器。而隔直电路中也需要电容器，因此使用起来没有问题。

●对于高频电感、电容的谐振频率问题，可不用过多考虑，因为通过计算谐振频率而选定

企业财务基础知识培训

企业财务基础知识培训目的：了解财务管理的运作基础，基本看懂财务报表，为经营和管理更好服务培训内容：财务基础知识企业法知识税法知识会计电算化简述培训对象：公司中层以上管理人员（包括仓管员、业务员、采购员、各部门文员）培训方式：白话化培训，由于财务知识系统性和专业性较强，为了避免听课者打瞌睡，尽量用白话，不用专业术语。

财务基础知识（怎样读财务报告）看样张：资产负债表损益表现金流量表（略）税务报表和财务报表不同（附部分样张）

会计要素会计凭证：原始凭证与记账凭证几个主要原则会计要素资产流动资产货币资金交易性金融资产应收票据应收账款预付账款应收利息应收股利其他就收款存货非流动资产可供出售金融资产持有至到期投资

长期应收款长期股权投资投资性房产固定资产在建工程无形资产长期待摊费用负债流动负债短期借款交易性金融负债应付票据应付账款预收账款应付职工薪酬应交税费其他应付款

非流动负债(略所有者权益实收资本资本公积盈余公积未分配利润收入主营业务收入利息收入手续费及佣金收入保费收入租赁收入其他业务收入汇况损益公允价值变动损益投资收益营业外收入费用销售费用管理费用

财务费用资产减值损失利润会计凭证：原始凭证与记账凭证原始凭证的相关规定原始凭证（Source documents）也称单据。在经济业务发生时，取得或填制的，用以记录和证明经济业务的发生或完成情况，并作为记账原始依据的会计凭证。原始凭证是会计核算的原始资料和重要的证明文件。如：销货发票、收货单、支票存根等。分类按来源: 外来原始凭证是在经济业务发生或完成时从其他单位或个人直接取得的凭证,如发票、送货单等自制原始凭证是本单位内部经办业务部门和人员在执行或完成某项交易、事项时所填制的凭证。如收料单、领料单、入库单等按用途: 通知凭证是要求、指示或命令企业进行某项经济业务的凭证,如罚款

基础会计学习心得(精选5篇)

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成套电器设备安装接线基础知识培训教材解读

成套电器设备安装接线基础知识培训教材培训教材成套安装接线基础知识作为一个从事成套电气设备行业的员工：要做好本职工作，他必须要掌握有关成套电器设备在用电配电系统中起的作用。同时懂得一些技术知识及最基本的装配、接线技能要求，做到安全生产、文明生产。要学会看懂、领会有关的图纸。图纸是工程技术界的共同语言，设计部门用图纸表达设计思想意图；生产部门用图纸指导加工与制造；使用部门用图纸指导使用、维修和管理；施工部门用图纸编制施工计划、准备材料组织施工等。从事成套设备行业的员工要想做好本职工作，就必需要树立文明生产的观念。在日常生产过程中处处以有关工艺要求来提高质量意识，明确质量就是企业的生命的重要性，要讲究工作效益，创造一个良好的工作环境，有了一个舒畅的工作环境，才能更好地提高工作效益，也就是要处处注意周围的环境卫生，同时在日常的工作中，同事之间要互相配合、互相尊重、互相关照；在技术方面要相互交流经验，不断完善自己，养成对完工工作任务做到自检、互检、后报检的良好工作习惯，来确保质量，为企业创造更好的效益。要想做好本职工作：（1）每个员工必须做到应该知道什么？熟悉什么？能看懂什么？就成套电器产品而言，每个员工应该知道产品的结构形式、用途；应该熟悉产品的性能、内部的结构、主要的技术参数；应该看懂系统图（一次方案图）、平面布置图、原理图、二次接线安装图。（2 ）每位员工必须知道什么是三按生产：按图纸生产；按工艺生产；按技术规范生产。质量管理方面“五不”，①材料不合格不投料；②上道工序不合格不流入下道工序；③零件、元器件不合格不装配；④装配不合格不检验；⑤检验不合格不出厂。在日常工作中要有一个比较合理的、完整的装配接线计划。电力的生产、输送、分配和使用，需大量的各种类型的电器设备，以构成电力发、输、配的主系统。这些设备主要是指发电机、变压器、隔离开关、断路器、电压互感器、电流互感器、电力电容器、避雷器、电缆、母线等。它们在电力系统中通常称为一次设备，把这些设备连接在一起组成的电路称为一次接线，也称主接线，也就是一次方案回路。为了使电力生产、传输、分配和使用的各环节安全、可靠、连续、稳定、经济、灵活的运行，并随时监视其工作情况，在主系统外还需装置相当数量的其它设备，如测量仪表、自动装置继电保护远动及控制信号器具等，这些设备通常与电流、电压互感器的二次绕组直流回路或厂用所用的低压回路连接起来，它们构成的回路称为二次回路，接线称二次接线。描述二次回路的图纸称为二次接线或二次回路（其中包括辅助回路）图。二次接线的图纸一般有三种形式，即原理图、原理展开图和安装接线图（我们通常所用的是二次接线图）。在二次接线图中所使用的图形符号和文字符号，它不但用于代表二次接线图中的各电器设备与元件的所在位置，而且反映它所发挥的作用。在二次接线图中，断路器、隔离开关、接触器的辅助触头及继电器的触点，所表示的位置是这些设备在正常状态的位置。所谓正常状态就是指断路器、隔离开关、接触器及继电器处于断路和失电状态。所谓常开、常闭触点是指这些设备在正常状态即断路或失电状态下辅助触点是短开或闭合的。二次接线的原理图是用来表示继电保护测量仪表、自动装置的工作原理的。通常是将二次接线和一次接线中与二次接线有关部分画在一起。在原理图上，所有仪表、继电器和其他电器都是以整体形式表示的，其相互联系的电流回路、电压回路、直流回路都是综合在一起，而且还表示有关的一次回路的部分。这种接线图的特点是能够使看图者对整个装置的构成和动作过程有一个明确的整体概念，

电力系统基础知识培训

第一章电力系统基础知识继电保护、自动装置对电力系统起到保护和安全控制的作用，因此首先应明确所要保护和控制对象的相关情况，涉及的内容包括：电力系统的构成，电力系统中性点接地方式及其特点，电力系统短路电流计算及其相关概念。这是学习继电保护、自动装置等本书内容的基础。 >>第一节电力系统基本概念一、电力系统构成电力系统是由发电厂、变电站(所)、送电线路、配电线路、电力用户组成的整体。其中，联系发电厂与用户的中间环节称为电力网，主要由送电线路、变电所、配电所和配电线路组成，如图1-1中的虚框所示。电力系统和动力设备组成了动力系统，动力设备包括锅炉、汽轮机、水轮机等。在电力系统中，各种电气设备多是三相的，且三相系统基本上呈现或设计为对称形式，所以可以将三相电力系统用单相图表述。动力系统、电力系统及电力网之间的关系示意图如图1-l所示。

图1-1 动力系统、电力系统及电力网示意图需要指出的是，为了保证电力系统一次电力设施的正常运行，还需要配置继电保护、自动装置、计量装置、通信和电网调度自动化设施等。电力系统主要组成部分和电气设备的作用如下。 (1)发电厂。发电厂是把各种天然能源转换成电能的工厂。天然能源也称为一次能源，例如煤炭、石油、天然气、水力、风力、太阳能等，根据发电厂使用的一次能源不同，发电厂分为火力发电厂(一次能源为煤炭、石油或天然气)、水力发屯厂、风力发电厂等。 (2)变电站(所)。变电站是电力系统中联系发电厂与用户的中间环节，具有汇集电能和分配电能、变换电压和交换功率等功能，是一个装有多种电气设备的场所。根据在电力系统中所起的作用，可分为升压变电站和降压变电站；根据设备安装位置，可分为户外变电站、户内变电站、半户外变电站和地下变电站。

财务基础知识培训记录

财务基础知识培训记录 “农村中小学”是指农村（含县城）公办义务教育阶段学校，包括初中、职业初中、完全中学的初中部、九年一贯制学校，普通小学。农村中小学义务教育公用经费是指保证学校教学活动和后勤服务等方面正常运转开支的费用。开支范围包括：办公费、印刷费（大批量印刷）、水费、电费、邮电费、取暖费、交通费（公务用车燃料费）、差旅费、会议费、图书资料费、设备仪器购置费、信息技术交易维护费、音体美活动费、专用材料费、学校安全工作经费等。不得用于人员经费、基本建设费、偿还债务等方面的开支。因此，学校财务工作是学校管理工作的重要组成部分，学校校长是财务工作的第一责任人，校长要切实履行第一责任人的职责，校务会议要定期听取财务收支汇报，及时发现解决财务管理中存在的问题，不断完善财务管理制度，加强和改进工作措施，切实管好、用好学校有限的经费，努力提高财务管理水平。报账员是财务工作的直接责任人，由于学校报账员都是兼职的，对财务知识不是很了解，借此机会我和大家一起学习一些有关财务工作的基础知识（我从以下几方面对财务工作做简单的介绍）。一、学校报账员岗位职责作为一名报账员，首先要了解自己的职责是什么，知道自己平时要做些什么，怎样

做，（一）、负责执行学校年度收支预算（用“2011年预算编制说明”加以说明），做好预算外资金收入的日常工作，办理学校日常报销和资金结算等具体工作，根据支出范围，支付学校的小额开支；（二）、及时做好学校代收费的结算工作（如：校服款、保险费、学前教育费、书费等的结算）；（三）、负责学校使用票据的领购、使用、缴检和保管工作（如：学前班的收费收据）；（四）、按“收支两条线”管理要求，将预算外收入及时、足额上缴中心学校专户（勤工俭学收入必须先存入中心学校账户，由中心学校转入财政专户，再由财政拨回教育局，教育局再拨回中心学校账户方可使用，否则视为坐收坐支）；（五）、负责学校的票据管理，按规定及时向中心学校办理结报手续，做好报账前原始凭证和其他会计资料的审核和分理整理工作，按规定传递各项单据；（六）、对学校的经费收支进行监督和管理，制止和纠正本学校财务收支活动中的违法行为；（七）、设置相关辅助账（账本主要有：义务教育经费备查帐、事业性收入备查帐和各种学生补助发放备查帐），并及时到中心学校报账，做到每月一次与中心学校对账。二、学校负责人对财务的职责作为学校负责人对财务又应该有哪些职责呢？首先、学校负责人要对本学校财务收支状况全面负责。其次、学校负责人应严格执行预算，保证在会计年度内该学校财务的正常运转。对国家拨

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---------------------------------------------------------------最新资料推荐------------------------------------------------------ 1、弱电系统简图OA 办公自动化系统（行业应用软件、公安三台合一、GIS系统、IT管理系统…） SCADA SA TA HA 数据采集与安防自动化系统通信自动化系统消防自动化系统监视控制系统模拟切换视频监控系统显模模摄智示拟数像能系传互系视统输控统频编解码器管理系统专业报警系统门禁巡更系统车辆管理系统火灾探测器火灾报警主机喷淋排烟系统管理系统传执感行器设备I/O 模块与控制器组态管理系统会议电视系统IP 电话系统IP TV 电视系统广播对讲系统存储系统（Storage System）网络系统（Network） 3/ 72

2、视频监控系统组成光端机光端机视音频存储图像检索/调阅 DVR 矩阵监视器光纤视频分配器?同轴电缆监视器控制键盘摄像传输切换和控制视频显示

---------------------------------------------------------------最新资料推荐------------------------------------------------------ 视频监控系统组成1、摄像设备－摄像机、镜头、云台、防护罩、支架2、传输设备－视频/音频/控制信号传输光端机 3、视频切换和控制设备－矩阵（含矩阵键盘） 4、视频存储－DVR（硬盘录像机） 5、视频显示－CRT监视器，LCD， DLP（拼接大屏） 5/ 72

冲压设备基础知识培训教材

冲压设备基础知识培训教材压力机机械结构原理一：压力机的种类冷冲压用压力机主要分为：曲柄压力机，螺旋压力机（摩擦压力机），多工位自动压力机，冲压液压机，冲模回转头压力机，高速压力机，精密冲裁压力机，电磁压力机等。钣金厂所用的压力机主要是曲柄压力机。二：曲柄压力机的工作原理和特点曲柄压力机主要是通过曲柄机构增力和改变运动形式（将旋转运动变成直线往复运动）。它主要是利用飞轮来储存和释放能量，使压力机产生工作压力来完成冲压作业。曲柄压力机有曲拐式、曲轴式、偏心齿轮式等几种。曲柄压力机一般由于曲轴、曲拐、偏心齿轮在设计加工时就确定了其偏心距，所以机床的工作行程是不可改变的。三：曲柄压力机的形式和用途 1.通用冲床：适用于多种冲压工序，如冲裁、浅拉伸\弯曲和压印等。 2.拉伸冲床：有上传动和下传动之分，单动、双动、三动等拉延冲床。 3.专用冲床：用来专门冲压某个复杂零件用的冲床。 4.精冲冲床：专门用于冲裁精密零件的冲床。 5.精压机：用于精密挤压、校平、压印等。 6.高速冲床：多用于生产大批量制品自动成形作业。四：曲柄压力机的构成冷冲压用曲柄压力机的结构除曲轴形式（曲拐式、曲轴式、偏心齿轮式）有差异，其余部份基本相似，曲柄压力机一般由以下几部份组成： 1.工作机构：曲柄连杆机构，由曲轴、连杆、滑块组成。 2.传动系统：包括皮带传动、齿轮传动等机构。 3.操纵系统：离合器—制动器等。 4.支承部件：机身结构。 5.能源系统：电动机、飞轮。 6.除上述部份外，还有多种辅助装置，如润滑系统，保险装置，气垫等。五：压力机各组成部份的构成和作用说明 1.机身：机身是将压力机所有的机构联结起来，并保证全机所要求的精度和强度。一般由床身、底座、工作台，立柱、上横梁等组成。有开式结构和闭式结构。 2.传动轴和曲轴：电动机通过皮带把能量传递给飞轮，再通过传动轴经小齿轮、大齿轮传给曲轴并经曲轴、连杆，将曲轴的旋转运动变成滑块的直线往复运动。 3.连杆：连杆由上下轴瓦装在曲轴上，下端与滑块相连。是旋转运动与直

设备基础知识培训教材

设备基础知识

目录第一章：泵的基础知识第一节：离心泵第二节：计量泵第三节：螺杆泵第四节：滑片泵第五节：屏蔽泵第二章：汽轮机第三章：螺杆压缩机第四章：搅拌器第五章：换热器

第一章泵的基础知识第一节：离心泵 1.离心泵的主要性能参数离心泵的主要性能参数有流量、扬程、功率、汽蚀余量和效率等。（1）流量：泵的流量有体积流量和质量流量之分，体积流量是泵在单位时间内所抽送的液体体积，即是从泵的压出口截面所排出的液体体积。体积流量用Q表示,其单位为m3/s、 m3 /min、m3/h或L/s。有时也用质量流量表示，质量流量则是泵在单位时间内所抽送的液体质量，质量流量q表示，单位为kg/s、kg/min、和t/h。（2）扬程：泵的扬程H——单位重量液体流过泵后的总能量的增值。或者作功元件对泵排出的单位重量液体所作的有效功（单位为m—液柱）。（3）功率：泵的功率是指泵的输入功率，以P表示，即是原动机传递给泵轴的功率，又叫轴功率。有时叫制动功率BHP，是一台泵完成待定量的工作所需要的功率。

泵出输入功率外，还有输出功率，即是液体流过时由泵传递给它的有用功率，又叫水力功率HHP，输出功率有时叫做水功率，是泵输送液体所需要的功率，不包括损失。也就是质量流量ρQ与单位质量的流体通过泵时能量的增值gH 的乘积，以Pu表示： Pu= ρQH/1000（KW） (4) 效率：泵效率（总效率）η是衡量泵工作是否经济的指标，定义为： η= Pu/P, 即有效功率与轴功率的比值除了以上所述，离心泵还有一个重要性能参数就是泵的允许吸上真空度〔H s〕或允许汽蚀余量〔NPSH〕，单位均以米——液柱表示。离心泵的主要性能参数之间存在着一定的关系，可用实验测定。将实验结果标绘于坐标纸上，得出一组曲线，称为离心泵的特性曲线。图1-3-2为某型号离心泵在转速为 2900r/min时的特性曲线。 2．离心泵的汽蚀 2.1.汽蚀机理及其危害在叶片入口附近的非工作面上存在着某些局部低压区，当处于低压区的液流压力降低到对应液体温度的饱和蒸汽压时，液体便开始汽化而形成气泡。气泡随液流在流道中流动

财务基本知识培训

财务基本知识培训财务基本知识培训导读：我根据大家的需要整理了一份关于《财务基本知识培训》的内容，具体内容：实践证明，在财务会计中采用公允价值具有较为重要的意义。以下是由我整理关于财务基本知识问答题，提供给大家参考和了解，希望大家喜欢!财务基本知识问答题会...实践证明，在财务会计中采用公允价值具有较为重要的意义。以下是由我整理关于财务基本知识问答题，提供给大家参考和了解，希望大家喜欢!财务基本知识问答题会计报表的作用会计报表是根据日常会计核算资料定期编制的，总括反映企业在某一特定日期的财务状况和某一会计期间的经营成果以及成本费用情况的书面报告文件。编制会计报表是会计核算的一种专门方法。会计工作的目的，是向企业的管理者和与企业有关的外部各利害关系集团提供决策有用的会计信息。在会计制度和会计准则规范下，会计人员通过填制和审核会计凭证、登记账簿等会计核算方法，对企业所发生的各种经济业务，虽然已经进行了连续、系统、全面的记录。但是，这些日常核算资料比较庞杂、分散，不能集中、概括、相互联系地反映企业的经济活动及其经营成果的全貌。因此，不便于理解和利用，很难满足信息使用者的需要。为了使会计信息有用，还需要对日常的会计核算资料进一步进行加工整理，并按照一定的要求和格式，定期编制会计报表。会计报表的作用，可概括为以下五个方面。 1、为企业内部的经营管理者进行日常经营管理，提供必要的信息资料。各企业的经营管理者，需要经常不断地考核、分析本企业的财务状况、成本费用情况;评价本企业的经营管理工作;总结经验、查明问题存在的原因;改进经营管理工作、提高管理水平;预测经济前景、进行经营决策。所有这些工作都必须借助于会计报表所提供的会计信息才能够进行。 2、为投资者进行投资决策，提供必要的信息资料。企业的投资者包括国家、法人、外商和社会公众等。投资者所关心的是投资的报酬和投资的风险，在投资前需要了解企业的财务状况和经营活动情况，以便做出正确的投资决策; 投资后，需要了解企业的经营成果、资金使用状况以及资金支付报酬的能力等资料。而会计报表正是投资者了解所需信息的惟一或主要渠道。 3、为债权人提供企业的资金运转情况和偿债能力的信息资料。随着市场经济的不断发展，商业信贷和商业信用在社会经济发展的过程中日趋重要。由商业信贷所形成的债权人主要包括银行、非银行金融机构等，他们需要反映企业能按时支付

电工基础知识(电工培训教程)

v1.0 可编辑可修改电工基础知识 1.电是什么答:有负荷存在和电荷变化的现象。电是一种和重要的能源。 2.什么叫电场答:带电体形成的场,能传递带电体之间的相互作用。 3.什么叫电荷答:物体或构成物体的质点所带的正电或负电。 4.什么叫电位答:单位正电荷在某点具有的能量,叫做该点的电位。 5.:什么叫电压它的基本单位和常用单位是什么答:电路中两点之间的电位差称为电压。它的基本单位是伏特。简称伏,符号v,常用单位千伏(kv),毫伏(mv) 。 6.什么叫电流答:电荷在电场力作用下的定向运动叫作电流。 7.什么叫电阻它的基本单位和常用单位是什么答:电流在导体中流动时,要受到一定的阻力,,这种阻力称之为导体的电阻。它的基本单位是欧姆,简称欧,符号表示为?,常用的单位还有千欧( k? ),兆欧(m? ) 8.什么是导体绝缘体和半导体答:很容易传导电流的物体称为导体。在常态下几乎不能传导电流的物体称之为绝缘体。导电能力介于导体和绝缘体之间的物体称之为半导体。 9.什么叫电容它的基本单位和常用单位是什么答:电容器在一定电压下储存电荷能力的大小叫做电容。它的基本单位是法拉,符号为F,常用符号还有微法(MF),微微法拉(PF),1F=106MF=1012MMf(PF) 。 10.什么叫电容器答: 储存电荷和电能(电位能)的容器的电路元件。 11.什么是电感它的基本单位和常用单位是什么答:在通过一定数量变化电流的情况下,线圈产生自感电势的能力,称为线圈的电感量。简称为电感。它的常用单位为毫利,符号表示为H,常用单位还有毫亨(MH) 。1H=103MH 12.电感有什么作用答:电感在直流电路中不起什么作用,对突变负载和交流电路起抗拒电流变化的作用。13.什么是容抗什么是感抗什么是电抗什么是阻抗他们的基本单位是什么答:电容在电路中对交流电所起的阻碍作用称为容抗。电感在电路中对交流电所起的阻碍作用称为感抗。电容和电感在电路中对交流电引起的阻碍作用总称为电抗。电阻, 电容和电感在电路中对交流电引起的阻碍作用阻抗。

设备维护保养基础知识培训

设备维护保养基础知识一、设备维护保养的概念及意义 1.设备维护保养的概念设备维护保养的目的是为了延长机器设备的使用寿命，降低机器设备故障率，保障生产的高效性、安全性，和生产产品的品质。设备使用的前提和基础是设备的日常维护和保养，设备维护保养包含的范围较广，包括：为防止设备劣化，维持设备性能而进行的清扫、检查、润滑、紧固以及调整等日常维护保养工作；为测定设备劣化程度或性能降低程度而进行的必要检查；为修复劣化，恢复设备性能而进行的修理活动。 2.设备维护保养的意义设备维护保养的意义在于，设备在长期的使用过程中，机械部件的磨损，间隙增大，配合改变，直接影响到设备原有的平衡，设备的稳定性，可靠性，使用效益均会有相当程度的降低，甚至会导致机械设备丧失其固有的基本性能，无法正常运行。因此，设备就要进行大修或更换新设备，这样无疑增加了企业成本，影响了企业资源的合理配置。为此必须建立科学的、有效的设备管理机制，加大设备日常管理力度，理论与实际相结合，科学合理的制定设备的维护、保养计划。为保证机械设备经常处于良好的技术状态，随时可以投入运行，减少故障停机日，提高机械完好率、利用率，减少机械磨损，延长机械使用寿命，降低机械运行和维修成本，确保；机械保养必须贯彻“养修并重，预防为主”的原则，做到定期保养、强制进行，正确处理使用、保养和修理的关系，不允许“只用不养，只修不养”。二、设备维护保养的常识 1、设备故障：所谓设备故障，一般是指设备失去或降低其规定功能的事件或现象，表现为设备的某些零件失去原有的精度或性能，使设备不能正常运行、技术性能降低，致使设备中断生产或效率降低而影响生产。故障是冰山的顶峰，就是说故障是设备暴露出的问题，但大量的问题是隐蔽的、潜在的，尚未形成功能的隐患故障，就像冰山藏在水中的部分。设备故障是问题的外在表现，需要仔细分析，挖掘形成故障的内在因素。 2、设备维护保养：设备操作人员通过“调整、紧固、清洁、润滑和防腐”等一般方法对设备进行护理，以维持和保护设备的性能和技术状况，称为设备的维护保养。 3、设备维护保养十字方针：调整、紧固、清洁、润滑、防腐。 4、设备操作人员基本要求：三好：管好、用好、修好

成套电气设备基础知识

成套安装接线基础知识培训教材成套安装接线基础知识作为一个从事成套电气设备行业的员工：要做好本职工作，他必须要掌握有关成套电器设备在用电配电系统中起的作用。同时懂得一些技术知识及最基本的装配、接线技能要求，做到安全生产、文明生产。要学会看懂、领会有关的图纸。图纸是工程技术界的共同语言，设计部门用图纸表达设计思想意图；生产部门用图纸指导加工与制造；使用部门用图纸指导使用、维修和管理；施工部门用图纸编制施工计划、准备材料组织施工等。从事成套设备行业的员工要想做好本职工作，就必需要树立文明生产的观念。在日常生产过程中处处以有关工艺要求来提高质量意识，明确质量就是企业的生命的重要性，要讲究工作效益，创造一个良好的工作环境，有了一个舒畅的工作环境，才能更好地提高工作效益，也就是要处处注意周围的环境卫生，同时在日常的工作中，同事之间要互相配合、互相尊重、互相关照；在技术方面要相互交流经验，不断完善自己，养成对完工工作任务做到自检、互检、后报检的良好工作习惯，来确保质量，为企业创造更好的效益。要想做好本职工作：（1）每个员工必须做到应该知道什么？熟悉什么？能看懂什么？就成套电器产品而言，每个员工应该知道产品的结构形式、用途；应该熟悉产品的性能、内部的结构、主要的技术参数；应该看懂系统图（一次方案图）、平面布置图、原理图、二次接线安装图。（2）每位员工必须知道什么是三按生产：按图纸生产；按工艺生产；按技术规范生产。质量管理方面“五不”，①材料不合格不投料；②上道工序不合格不流入下道工序；③零件、元器件不合格不装配； ④装配不合格不检验；⑤检验不合格不出厂。在日常工作中要有一个比较合理的、完整的装配接线计划。电力的生产、输送、分配和使用，需大量的各种类型的电器设备，以构成电力发、输、配的主系统。这些设备主要是指发电机、变压器、

机械设计基础知识培训教材

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绪论本章学习后，要使学生能解决三大问题，学什么，为啥学，怎样学三大问题。 01 机器的组成人们广泛使用过，接触过机器，放一课件（单缸燃机、颚式破碎机），图01，02所示，但定义如何，为什么称它为机器，学生们是不大清楚的。它要有三个特征，才能称上机器。 1）是一种人为的实物组合。 2）各部分形成运动单元，各单元之间具有确定的相对运动关系。 3）能实现能量转换或完成有用的机械功。什么叫能量转换，指的是机械能转换成电能，或反之。这样具备三个条件者就称为机器，这样学生就可说出车床是机器吗？电动机是否也是机器，电动机根据三个条件可得出一定为机器。随着科学技术的发展，创造出各种新型机器，故对机器的定义也有了更广泛的定义，什么叫机器，是一种用来转换或传递能量、物料和信息的，能执行机械运动的装置，那么一台机器由什么组成，从装配角度来看：由零件→构件→机构→机器，因此设计制造一台机器必有零件开始，组装成构件，再由构件组装成机构，加上原动件装置就成为一台机器了。接下来说说什么叫机构、构件、零件。什么叫机构：具备前二个条件的称为机构，即为多个实物的组合，又 .专业. .专注.

能实现预期的机械运动，例齿轮机构、连杆机构等，放课件（连杆机构、齿轮机构）。什么叫构件，构件为组成机械的各个相对运动的实物。例连杆，放课件（构件）从中可看连杆为多个零件装配而成的。什么叫零件，零件是机械中不可拆的制造单元，因此构件可以是一个零件组成也可以由多个零件组成的。因此可以看出从运动观点来看，机构和机器是无什么差别的，例如缝纫机本身为机构，由多种机构所组合起来的，再加上能量转换就成为机器了，如加上电动机或加上人力都可以成为机器了，在习惯上把机器与机构总称为机械。因此机器，机械这二个名称都可统起作用的。零件又可分为二大类： 1）通用零件：各种机器中都经常使用，并完成同一功用的零件，例螺钉等。 2）专用零件：只适用于一定类型机器使用的零件，例曲轴等。 02 本课程的容、性质和任务本课程研究对象是什么？有二条： 1）机械中常用机构。 2）在一般工作条件下，常用参数的通用零件。这里要说明一下：什么叫一般工作条件？什么叫常用参数？ .专业. .专注.