光伏电池清洗工艺作业指导书

单晶、多晶

机台名称：

No 用量

1No

作业步骤

一

作业前

准备

二

取片

四

检查，进舟作业内容

检查石墨舟电极孔的一端朝向炉门，如图（三）所

示。确认后将小推车推入捷佳创PECVD上舟卡位到底，如图（四、五）所示，之后再点击“入片”按

钮如图（六），等待小车被锁死和抬起。

Product ID：

总工时(s)：

装片花篮水平放置，篮子开口向下，保证硅片正面向上；装片人员右手持真空吸盘，吸取硅片正面，将花篮的最上面一片硅片依次从花篮中取出；紧接着贴着舟片向下插入石墨舟片上三个卡点中（见图一、二）；装满一面后将舟掉转180°，再装满另一面；两面都装好后，侧倒检测硅片有无脱离舟片或卡点（此步检查很关键，防止掉片引起高频报警和流量偏差报警）。

注意事项

材料

作业说明三物料品名装舟

查看流程单与篮号，取一组硅片平放在装舟的架子上，注意篮子开口向下（硅片正面朝上）

不许赤手拿花篮，且在搬运装满硅片的花篮时需用双手；勿混片

文件编号: HFC-PE-014版别: v1.0页次: 6/7数据源 :N/A

按标准佩戴好劳保用品，包括PVC手套，活性炭口罩

PVC手套影响吸笔气孔时可酌情褪去PVC手套右手食指处一截；严禁赤手接触硅片、花篮和石墨舟。

使用各机台所对应的小车，勿混用，并认真检查石墨舟在小推车上放置的方向

及时填写流程单，如装舟后在流程单上填写石墨舟号与片数，进舟时填写相应炉管号和时间；吸盘需每2小时用蘸有酒精的无尘布擦拭一次。

(一)(二)

(三)(四)

(五)

(六)

六出舟

八送印刷No

检具频率1122

3Checkd by:Written by:Date:

4

七卸舟

将小推车推到净化塔进行冷却，冷至室温后按工艺要求每组取六片硅片送至质检处测膜厚；将所有硅片取出，观察镀膜正常后装入印刷篮里，并准确记录印刷篮篮号与片数，填入流程单，勿混片。

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进舟人员需在炉门关闭后方能离开，操作过程中不要随意点

击界面，以免误操作；在“电

沉积”过程中，要检测炉管内

是否正常辉光，其方法为通过

炉门观察窗查看炉管内部是否

为淡紫色；工艺运行过程严禁执行跳步。

治测工具

名称

自主品检

检测方法

不良判断基准

Approved by:

将装完硅片的印刷篮装上小车，传至印刷。

作业内容

选择运行工艺每舟出现20片以上色差、发红等异常时及时通知工艺；卸片时应硅片插到印刷篮底部再松手，勿出现硅片与印刷篮撞击的声音，以防导致隐裂、崩点现象。

五

任选一空闲的炉管，在相应触摸显示屏上点击“

Select Run”,如图（七），出现如图（六）所示系

统检查界面。选择工艺曲线、石墨舟舟号，操作人

员代号为007OTS,填写完成后点击确定即自动运行工

艺。

切忌不可接触热石磨舟，以免烫伤。

工艺运行结束后，石墨舟退出到桨上，机械手自动下舟并发出连续提示音，此时点”出片“将小推车解锁。

(七)

(七)(八)

(九)

(十)