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GP中文操作说明 MCPT610

低阻抗率計操作手冊

Loresta-GP

Model MCP-T610

Mitsubishi Chemical Corporation

Tokyo, Japan

1.三菱化學高精確阻抗率計檢測法 (1)

2.部位名稱和功能 (4)

3.儀器連結 (9)

4.低阻抗率計Loresta- GP簡易流程 (11)

5.低阻抗率計Loresta-GP使用步驟 (12)

6.三菱低阻抗率計Loresta-GP保養及檢查 (21)

7.故障排除 (22)

1. 三菱化學高精確阻抗率計檢測法

1-1

概念

Resistance 阻抗：阻抗被用於不同狀態和物質性質，是做阻抗是隨物質形狀、大小、測定位置不同而變化。

Resistivity 阻抗率：阻抗率乃為阻抗（Ω）乘以阻抗率校正因數（RCF ）而來，通常，它要

經過一番努力煩瑣的計算出校正因數後，才能換算得知。

而三菱化學微電腦阻抗率計能於短時間內輕易的精確處理出物質阻抗率。

阻抗：測值會隨條件變化的。

阻抗率：是對絕對值，對每個物質來說它只有一個測值。例：測量黃金時

Resistance （Ω）

2.4× 10-8 Ω big

< 2.4× 10-6 Ω bigger

< 2.4× 10-2 Ω

Resistivity （Ωcm ） 2.4× 10-6 Ωcm

change

No .＝ 2.4× 10-6 Ωcm change

No .＝ 2.4× 10-6 Ωcm

“Ω＂or “Ωcm ＂- which will you use for evaluating materials?

“Resistivity” is a simple index for classifying all the materials in the world.

1-2

阻抗（Resistance ）和阻抗率計（Resistivity ）之間的關係

～關鍵在阻抗率校正因數（RCF ）～ ? Resistance 阻抗（R ），阻抗=電阻

當一個電流（I ）流穿一物質，其電的阻抗乃緣由入口與出口間有一電位差（V ）造成，故以公式表此關係即歐姆定律(Ohm’s law )。阻抗R （Ω）=

]

[]

[A I V V ? Volume Resistivity 體積阻抗率（ρν）

，阻抗率=電阻係數表示物質每單位體積之阻抗。

“體積阻抗率”也叫做”特殊阻抗Specific Resistance”或”阻抗率” “體積阻抗率”是大部分利用於物質方面之用詞； “特殊阻抗”是共通於電學方之用詞； “阻抗率”常被用在物理學方面之用詞。體積阻抗率 ρν [Ωcm] ＝R [Ω] × RCF× t

此單位“Ωcm ＂讀為“厘米歐姆＂每一物質為有一單一特性值為體積阻抗率。

※Condductivity 電導率（σ）

電導率是體積阻抗率的相反，它又被叫“電的電導率＂或“電導係數＂。電導率 σ [ /cm ]＝

ρν

，此單位是“S/cm ＂讀做每厘米西門子。

Sample

Base

ｔ

Thickness

V L1L2L3

? Surface Resistivity 表面阻抗率（ρs ）

表示物質每單位表之阻抗。

“表面阻抗率＂也叫做“單張阻抗＂其單位為“Ω＂。然而為了要和阻抗（Resistance ）區分，所以被寫為“Ω/□＂或“Ω/sq ＂讀為“每歐姆平方＂。

表面阻抗率因材質厚度不同而變化，所以通常被利用於塗裝或薄膜方面，相反的，它可被利用於厚度的判斷指標。

表面阻抗率 ρ[ Ω/sq ] ＝ R[ Ω ] × RCF ＝ ρν× t 1

? Resistivity Correction Factor 阻抗率校正因數（RCF ）通常以金屬電極（4針探頭）固定於樣品表面以測得阻抗。阻抗乘以阻抗率因素而計算出體積阻抗率及表面阻抗率。

阻抗因數是依電極之形號、尺寸、內針距離或樣品之形狀、尺寸，測定位置而被確定求出。利用Poisson’s 方程式可精確的求出於電磁學的確定電位。 1-3

阻抗率之計算 [傳統方法]

～阻抗率是物質之絕對值～ Resistance R （Ω）=

]

[]

[A I V V Volume Resistivity ρ[Ωcm]＝R [Ω] ×1W

× t

Surface Resistivity ρs [Ω/sq]＝R [Ω] ×

1W ＝ρν×t

2. 部位名稱和功能

2-1 顯示面板

NO. 名稱功能

○1LC顯示器顯示測量情形、測量結果、測量條件…等訊息。

在營幕下方顯示2行反白字是為可以使用的按鍵。

○2LED顯示器測量阻抗時LED顯示器閃爍著；其它情況下，光源是關的。

※LED燈亮時代表探測頭處於放電狀況，請勿碰觸探測頭以免觸電。

三菱低阻抗率計GP

MCP-T610

2-2

儀器背面

NO. 名稱功能

○1 探頭連接端連接測量探頭

○2 接地連接端

與絕緣板UFL 或 U-type J Box 連接

○

3 外部控制連接端連接腳踏開關

○

4 LOCAL/

REMOTE 模式切換選擇

一般通常採用LOCAL 模式。

若要透過電腦來控管時，需切換至REMOTE 模式。

（※步驟：使用RS232C 與電腦連結→切換至REMOTE 模式→開啟總電源。）

○5 警告標籤安全警告指示

○6 RS232C 連接端 RS232C 用於連接打印機或電腦

○7 電源開關

電源開啟或關閉

○8 保險絲固定器 2A 快速熔斷保險絲，尺寸：Φ5.2×20mm ○9 電源連接端

連接電源線

⑨Connector for power cable

④

三菱低阻抗率計GP

MCP-T610 2-3 鍵盤

NO. 名稱功能

○1ECS 鍵跳出鍵，返回前一頁。如果在打印或電腦傳輸時，將中止輸出。

○2Auto/ Manual

shift鍵自動/手動切換鍵。在測量前通過↑↓改變測量範圍。在測量過程中，只有選擇手動範圍才能改變。

○30～10 數字鍵,

Clear, Enter 鍵選擇模式時按0～10 數字鍵，模式被選擇和檢測。按↑↓鍵選擇內容後，按Enter鍵確定選取。

○4光標方向鍵測量模式中按↑↓選擇模式和數據時，測量模式能改變。

○5Shift 鍵與↑↓一使用。

○6Voltage Limit 鍵電壓切換鍵 10V ←→ 90V

○7Unit測量單位在測量模式時可以改變單位(Ω)、(Ω/□)、(Ω?cm)或(S/cm)。

○8Start/ Hold鍵在測量模式時按一次開始測量。

其它時候，則會停止測量和檢查數據。

測量模式中如果出現”Reserve Data”，則會保存數據。連結打印輸出和電腦輸出時，按此鍵開始傳輸數據。

③Ten keys, clear key

②Auto/manual shift key

④Vert/lat.key

2-4 探針

②Electrode pins

NO. 名稱功能

○1信號連接連結探頭與儀器主機

○2電極插腳測量探頭之電極插腳

※警告：探頭的電極是高壓（最大直流100V），接觸可能會導致死亡。測量中請勿接觸！

2-5

測量模式－營幕顯示內容

NO. 名稱功能

○1 文件名稱顯示測定條件時的文件名稱 ○2 探頭測量探頭型式

○3 阻抗校淮因子顯示相應的阻抗校準因子，分別顯示表面阻抗和體積阻抗的校準因子○4 測定位置測定開始前，顯示下一個樣品的編號和坐標。測定時顯示當前樣品的編號和坐標 ○5 限制電壓測量條件下的顯示所加的限制電壓 ○6 樣品厚度設置的樣品厚度。是體積阻抗所用

○7 記錄號測量資料的存取編號。最多可儲存1000筆。 ○8

範圍改變模式

顯示範圍改變模式

AUTO ：自動改變範圍；MANU ：手動改變範圍 ○9 測量數據1 測量數據顯示四位數

超載註1時顯示：OV. LD ；超範圍註2顯示：OV. RG ○10 測量數據2 測量數據顯示典型的數據

○11 比較當比較器使用時顯示比較的結果。 GO ：接受；NG ：不接受；──：失敗 ○12 單位顯示測量單位

○

13 可用的鍵

顯示可用的鍵，在視窗最下方二行。

註1：超載－通過樣品的電極電流低於當前測定範圍條件下的電流水平。註2：超範圍－樣品有極高的阻抗，超過了當前測定範圍下的可測定值。

③④⑦⑨?

3. 儀器連結

3-1 連接探測頭

3-2 連接絕緣版UFL

LORESTA－ＧＰProbe

①

LORESTA－ＧＰ

Probe

Resitable ＵＦＬ

3-3

連接腳踏開關

3-4

連接打印機MCP-PR02

※ 此為連線打印機或電腦之RS-232C ，連接時需確實將兩顆固定螺絲栓緊。

LORESTA－ＧＰProbe

①

Foot switch

LORESTA－ＧＰ

ＲＳ－２３２Ｃ Cable

①

②

4. 低阻抗率計Loresta- GP 簡易流程

4-1

使用CHECKER 簡易步驟

例：若checker 片上數據為0.995?

?→?

選

???ENT

??→?ESC

?→

?選

??→

?ENT

?→?

0.995?±3% ?→?

完成校準。

※若測試結果不在checker 值±3%內，請連絡代理商。

4-2

量測-簡易步驟

??→

?ESC

?→

?選

??→

?ENT

??→

?ENT

??→

?ESC

?選

??→?ENT

?→

???完成量測。

*：重複數次數方位

5. 低阻抗率計Loresta-GP使用步驟

步驟一：(計量條件使用舊有FILE時，可直接省略步驟一直接進行步驟二)

(1) 將電源打開出現MENU畫面（※建議將儀器暖機約30分鐘！）

▉ MENU ▉

1. MEASUREMENT.......................................樣品計量

2. MEAS. CONDITION .................................已設定完成條件選用

3. MEAS. POSITION FILE.............................計量條件設定

4. DATA CONTROL ......................................資料記憶喚出、列印、傳輸及清除

5. HARDWARE SETUP ................................硬體設定

(2) 使用上下鍵移動到 3. MEAS. POSITION FILE 按 ENTER 出現

▉ MEAS.POSTN.FILE CONTROL ▉

1. PREPARATION

2. DISPLAY

3. PRINT

4. ERASE

(3) 使用上下鍵移動到 1. PREPARATION 按 ENTER 出現

▉ POSITION FILE PREPARATION ▉

…

… 12.

…

… 13.

…

… 14.

…

… 15.

…

… 16.

…

… 17.

…

… 18.

…

10.

… 19.

…

11.

… 20.

(4) 此時游標出現在 FILE 3. 位置，按ENTER 出現

▉ CONDITION INPUT ▉

1. PROBE -- ASP

2. SAMPLE CONDTN -- 50.0 × 80.0mm

3. MEAS. POSTNS -- 5 POINTS

4. REGSTRATION

1. PROBE ----- ASP (游標在此處按 ENTER為選用PROBE)

(游標在此處按 ENTER為設定樣品尺寸及厚度)

▉ SAMPLE CONDITION ▉

SHAPE : RECTANGULAR CIRCLE.........選擇矩形時

SIZE :...........................................................輸出長寬尺寸

WIDTH : 50.0 mm

HIGHT : 80.0 mm

THINKNESS : 1.000..................................輸入厚度(0.001~9999)

UNIT : nm μm nm ?.............輸入厚度單位

▉ SAMPLE CONDITION ▉

SHAPE : RECTANGULAR CIRCLE .........選擇圓形時

SIZE :...........................................................輸出直徑尺寸

DIAMETER : 80.0 mm

THINKNESS : 1.000..................................輸入厚度(0.001~9999)

UNIT : mm μm nm ?............輸入厚度單位ENTER確定完成設定。再按ESC跳出。

3. MEAS.POINTS----- 5 POINTS

(游標在此處按 ENTER為設定量測點數及位置)

▉ MEASUREMENT POSITION CONDITION ▉

1. RANDOM INPUT .................................任意取點(一般選擇)

2. MATRIX INPUT ....................................矩陣式取點

3. ERASE ...................................................取消

A、選擇 1. RANDOM INPUT 時，按ENTER

算出此距離間量測點數→按ENTER確定完成設定→再按ESC跳出。

C、選擇 3. ERASE 時，按ENTER

▉ ERASE ▉

POSITION DATA ERASE

MEASUREMENT

再按ENTER清DATA→再按ESC跳出。

4. REGSTRATION-----檔名設定，按ENTER

▉ MEAS. POSTN. FILE REGSTRTN

▉

1. NEW REGSTR ....................................新檔名稱

2. OVERWRITE REGSTR ..........................更改舊檔名稱

A 、選擇1.或2.時，使用上下左右鍵移動，按ENTER 選定字母。

B 、輸入完成將游標移至END ，按ENTER 確定。

▉ RCF CALCULATION ▉

FILE NAME : ITO 300 CALCULATION : 0002 / 0009

Xn Yn RCF P001 ( 35.0 70.0 ) ( 3.756 ) P002 ( 40.0 70.0 ) ( 3.812 ) P003 ( 45.0 70.0 ) ( 3.845 ) P004 ( 50.0 70.0 ) ( )

(5) 此時儀器自動算出RCF 值。

RCF 值算完按ENTER 確認→再按ESC 跳出直至MENU 開機畫面。

▉ MENU ▉

1. MEASUREMENT..................................樣品計量

2. MEAS. CONDITION ............................已設定完成條件選用

3. MEAS. POSITION FILE........................計量條件設定

4. DATA CONTROL .................................資料記憶喚出、列印、傳輸及清除

5. HARDWARE SETUP ..........................硬體設定

步驟二：（※建議將儀器暖機約30分鐘！）

(1) 於開機MENU畫面，使用上下鍵移到 2. MEAS. CONDITION 按ENTER進入

▉ MENU ▉

1. MEASUREMENT.......................................樣品計量

2. MEAS. CONDITION .................................已設定完成條件選用

3. MEAS. POSITION FILE.............................計量條件設定

4. DATA CONTROL ......................................資料記憶喚出、列印、傳輸及清除

5. HARDWARE SETUP ................................硬體設定

(2) 將游標移至 1. POSITION FILE ，按ENTER進入

▉ MEAS. CONDITION ▉

1. POSITION FILE －－CONSTANT RCF .......檔案選用

2. LIMITER －－10 V ............................................電壓供應，提供10V或90V

3. S. PRINT －－NO...............................................列印功能

4. DATA STORE －－YES ................................資料儲存

5. COMPARATER －－NO ...................................設定上下限值比較

(3) 使用上下鍵移動游標至想選用之FILE，按ENTER 出現

▉ MEAS. POSITION FILE ▉

1. CONSTANT RCF 11. …

2. STANTARD 12. …

3. ITO 300 13. …

…

4.… 14.

…

5.… 15.

註：(FILE 1及FILE2為內建檔)

A. 當選擇 FILE 1 時，為固定RCF=4.532設定

(4) 按ENTER確定選擇FILE

▉ MEAS. CONDITION▉

1. POSITION FILE :ITO 300.......... (檔案選用) 出現反白框

2. LIMITER :.....................................10 V (電壓供應) ，提供10V或90V

3. S. PRINT :....................................NO (列印功能)

4. DATA STORE :..........................YES (資料儲存)

5. COMPARATER :..........................NO (設定上下限值比較)

SELECT ITEM TO CHANGE CONDITION

(5) 確認 1.POSITION FILE ----- ITO 300反白，再按ESC跳出回主畫面。

▉ MENU ▉

1. MEASUREMENT ....................................樣品計量

2. MEAS. CONDITION ................................已設定完成條件選用

3. MEAS. POSITION FILE............................計量條件設定

4. DATA CONTROL .....................................資料記憶喚出、列印、傳輸及清除

5. HARDWARE SETUP ...............................硬體設定