特气管道施工工艺设计标准
QG/ZDⅡ-T03-12-2003 中国电子系统工程第二建设公司
洁净厂房
高纯气体管道施工工艺标准
拟稿单位：总工程师办公室
编制：邓顺志
审核：开源
批准：侯忆
二OO三年一月二十五日
目录
1、总则----------------------------------------------------------------------------------1
2、高纯气体的三个主要参数-------------------------------------------------------1
3、管道材料选择----------------------------------------------------------------------2
4、施工程序----------------------------------------------------------------------------4
5、图纸会审----------------------------------------------------------------------------5
6、工程测定----------------------------------------------------------------------------5
7、绘制管段图-------------------------------------------------------------------------5
8、设置预制洁净房-------------------------------------------------------------------6 9、材料检查确认----------------------------------------------------------------------6 10、保护气体的供给和管理---------------------------------------------------------9
11、管段预制--------------------------------------------------------------------------
11
12、现场配管施工--------------------------------------------------------------------13 13、压力试验--------------------------------------------------------------------------19
14、系统吹扫--------------------------------------------------------------------------20
15、系统测试--------------------------------------------------------------------------21
附录 1 露点、含湿量、绝对湿度换算表---------------------------------------24
附录 2 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级------------------------26
附录 3 EP/BA管自动氩弧焊接钨棒尺寸表------------------------------------27
1.1本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工。
1.2气体管道的干管，应敷设在上下技术夹层或技术夹道，当与水、电管线共架时应设在其上部。
1.3当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件，且不锈钢管道与其接触处应采用不产尘的非金属材料隔离。
1.4高纯气体管道的设计应符合下列要求：
a. 按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径，气体管道最小管径不小于φ6×1mm；
b. 管道系统应尽量短；
c. 不应出现不易吹除的盲管、死角；
d. 管道系统应设必要的吹除口和测试取样口。
1.5气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施，并用装饰板封堵。
1.6可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管。放散管引至室外应高出屋脊1米，并应有防雨、防杂物侵入的措施。可燃气体和氧气管道还应符合《洁净厂房设计规》8.4安全技术措施的有关要求。
1.7高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。
2.高纯气体的三个主要参数
所谓高纯气体管道的洁净技术控制，主要是指气体纯度、干燥度、洁净度的控制（即三度控制）。
2.1气体纯度指气体中杂质气氛的含量，通常用气体纯度的百分数表示，如99.9999%（俗称6个9），也可用杂质气氛含量的体积比ppm、ppb
洁净厂房高纯气体管道系统建成的各个环节必须做到上流的合格气体流经厂房管道系统到达用气点的气体纯度仍能满足工艺对用气纯度的要求。
2.2干燥度气体中微量水分的含量，通常以露点表示，如露点-70℃，或以含湿量ppm表示，如含湿量2.584ppm。（两者的转换见附录1）
2.3洁净度指气体中含有污染物粒子的数量，粒径为μm的粒子的个数，pc/m3。高纯气体管道通常使用在洁净的生产环境当中，对应的洁净环境等级，在《洁净厂房设计规GB50073-2001》中，直接采用国际标准ISO14644-1（详见附录2）
对高纯气体洁净度的控制，当设计未加特别注明时，施工中对洁净度的控制应与使用空间的洁净度等级保持一致，防气体中的污染物粒子超过规定值，而造成管路系统或洁净生产空间的污染。
洁净厂房高纯气体管道的设计、施工管理，不同于一般工业气体管道，任一个环节稍有失控，就可能影响输送气体的质量，从而导至无法生产出合格的产品。
3.管道材料选择
将高纯洁净气体输送到各用气点而不被污染，在很大程度上受管路诸多因素的影响，其中管材的选择显得十分重要。
3.1用于输送高纯气体的管道应具备以下性能
a. 管材的透气性要小；
b. 管材表面吸附解吸气体的作用要小；
c. 壁光滑、耐磨损；
d. 有良好的抗腐蚀性能；
e. 性能稳定，含碳量低。
3.2管道材料选择
管道材料由设计选定，自行设计时应遵守《洁净厂房设计规》的有关规定。
a. 能满足上述3.1要求的管材，对于气体纯度在99.999%以上或在空气洁净度等级中1~6级洁净室时，以316L壁经电抛光的不锈钢管（EP）为最佳选择，由于施工现场条件限制，管材应在制造厂脱脂、清洗、干燥，并有双重膜包装，对于气体纯度为99.99%的洁净管道和干燥空气管道可选用壁经机械抛光的304不锈钢管（BA）。
注：316L的国对应牌号为00Cr17Ni12Mo2Ti
304的国对应牌号为0Cr18Ni9
b. 阀门及其它附件的选择
阀门及其它附件的材质应与管材选用原则一致，在采用不锈钢管材的管路系统中，不得采用铜材质的阀门，为确保阀门及管道系统的密性和介质不受污染，应采用两端为焊接连接的无填料波纹管阀或隔膜阀。对于系统终端采用螺纹连接时，应采用VCR卡套连接；非焊接连接的垫片，对于氢、氧管道应采用金属垫片，其它高纯介质管道可采用聚四氟乙烯垫片，三通、弯头应采用与管材同材质的成品，为适应公司现有自动焊头的施焊条件，订货应注明对颈长L的要求（见下表）
4. 施工程序
6~19.05
25.4~63.5
76.2~114.3
≥36 ≥48 ≥55 图 纸 会 审 工 程 测 定 绘制管段图 设置预制洁净房 材料检查确认 管 段 预 制 现 场 配 管 压 力 试 验 系 统 吹 扫 系 统 测 试 整理竣工资料 支吊点划线 支吊架制作 支吊架安装