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N2 Purge在LPCVD炉管氮化硅工艺中的应用

N2 Purge在LPCVD炉管氮化硅工艺中的应用
N2 Purge在LPCVD炉管氮化硅工艺中的应用

N2 Purge在LPCVD炉管氮化硅工艺中的应用

在亚微米的生产制造技术中,氮化硅工艺的particle已经成为产品良率的主要影响因素。本文主要针对立式LPCVD氮化硅炉管的氮化硅制造工艺中所遇到particle问题进行研究。通过大量的对比性实验进行排查与分析,并利用各种先进的实验的设备和器材找到产生particle的原因,找到解决particle问题的方案。结果证明不仅延长了机台的维护周期,而且改善了机台的particle状况,最终获得良率的提升,优化了制造工艺。

LPCVD氮化硅工艺的Particle问题分析

LPCVD氮化硅制备工艺通常在中等真空程度下的反应腔体内通入反应气体二氯二氢硅(SiH2Cl2)和氨气(NH3)来生成氮化硅,反应温度一般为300-900度(图1)。

反应方程式:3SiH2Cl2+4NH3→Si3N4+6HCl+6H2

晶圆的particle分布图见图2,发现particle主要分布在晶圆的边缘部分。在SEM下分析这些particle(图3),可以很清楚的看到这些particle是一些薄膜的剥落,而利用EDX来分析的结果则显示这些particle的主要成分是氮元素和硅元素。

根据对particle的初步分析,认为这些particle的来源是在生产中剥落下来的氮化硅薄膜。那么是什么原因使沉积在反应腔上的薄膜剥落下来呢?

根据对氮化硅薄膜的沉积过程分析,认为这是由于在LPCVD的炉管在生产过程反应中,氮化硅薄膜会逐渐

沉积在反应腔的内壁上。这些沉积的氮化硅薄膜必然会受到应力的影响,这里的应力包括外应力和内应力。外应力指环境对薄膜本身施加的应力,如生产使用的气体的气流变化导致的干扰。内应力是薄膜沉积过程中,内部产生的应力。内应力包含热应力和本质应力两部分。氮化硅薄膜的热应力来源于薄膜和反应腔体内壁材料的热膨胀系数以及温度的影响。本质应力是氮化硅薄膜的本征张应力。随着氮化硅薄膜厚度的逐渐增加,应力必然逐渐增大。薄膜在内外应力的作用下必然会从反应壁上剥落下来,这些剥落的氮化硅薄膜就是氮化硅工艺中主要的particle来源(如图4所示)。

实际的生产经验也可以证明上面的理论:观察了一台生产机台氮化硅薄膜的厚度从0μm累计到8μm之间的particle的情况。当氮化硅的薄膜厚度累积大于4μm的时候,生产机台的particle就明显的增加。这说明氮化硅LPCVD炉管工艺的particle数量和氮化硅薄膜的累积厚度相关(图5)。

根据以上的氮化硅工艺中particle的分析中可以得知:为了解决氮化硅生产过程中的particle问题,必须要解决的是如何避免腔体内壁上的氮化硅薄膜的剥落的问题。而为了避免氮化硅薄膜的剥落,不但要减少腔体内壁上的薄膜沉积厚度,也要降低氮化硅薄膜所受到应力作用。

反应腔内壁上沉积的氮化硅薄膜必须及时的清除,常规的做法就是通过周期性的维护来去除反应腔体上的氮化硅薄膜。但经常性的清理会导致机台的生产效率降低,维护成本增加。应力方面,由于无法改变氮化硅薄膜的本质应力,所以只能降低氮化硅薄膜内在应力中的热应力和外在应力。根据上面的分析,对于热应力,需要考虑薄膜和反应腔体内壁材料的热膨胀系数以及温度等因素的影响。对于外在应力,就要优化在生产过程中的一些工艺参数来改善,如温度,压力和流量等方面的优化。

对反应腔体的材质,试验了生产当中常用的两种反应腔体的材质:石英和碳化硅。使用相同的机台和制程连续生长40次,每次生长的氮化硅薄膜厚度为2000埃。记录每次试验生产中增加的particle颗数(particle size>0.2μm, 本文中所有particle都是大于0.2μm以上的),最终求其40次记录的平均值,结果如图6所示。当氮化硅薄膜的累积厚度大于4μm时,生产中增加的particle有明显的上升趋势,而在

石英材质的反应腔内,particle增加量则保持相对平稳的水平。

在生产过程中还发现了一个有趣的现象(表1):在石英材腔体的机台上,当particle增加较多的时候,利用机台本身的N2来做一次purge这样的清洗动作,机台的下一次生产会有较低的particle数目增加。而在碳化硅材质腔体的机台上,N2 purge却并不能收到这样的效果。针对这种现象,认为这是由于石英材质内壁上沉积的氮化硅薄膜随着淀积厚度的增加,一直以一种比较稳定的速度剥落,每次剥落的氮化硅薄膜数量不会像碳化硅内壁机台那样多,所以N2 purge比较容易将剥落的氮化硅薄膜清除走。

解决LPCVD氮化硅particle问题的方案

根据以上的分析结果,采用了如下的解决方案:选择石英材质的反应腔体,利用氮化硅薄膜在石英上面相对稳定的剥落情况,在每次生产过程中都利用N2 purge来带走腔体上剥落的氮化硅薄膜。这样既降低了下一次生产过程中particle增加的几率,又减少了反应腔壁上淀积薄膜的厚度。

淀积薄膜厚度的减少势必再次减少氮化硅薄膜剥落的几率,从而使机台可以长期保持在稳定且较低的particle水准。如图7反应腔的温度和压力曲线所示:当晶舟从反应腔内卸载之后,逐渐降低反应腔的温度。利用真空管路的SSV和SV阀(图1所示),用真空泵将反应腔内抽至低压状态。然后开启机台的N2直到反应腔体压力回升到高压状态。关闭N2使反应腔体压力再次降低到低压状态。重复开关机台的N2,使压力反应腔的压力在低压状态和高压状态之间反复波动5次。整个purge过程中由于反应腔内压力的高低变化,并且一直处于降温状况下,所以反应腔体上附着的不是很牢的氮化硅薄膜就会被N2吹下来,并通

过真空管路带走。这样就有效地清理了反应腔体,减少了内壁上的薄膜厚度,从而降低了下一次生产时的particle。

根据如上所列举的改造和优化,成功地解决氮化硅LPCVD炉管的particle 问题。机台的particle被成功的控制在13颗左右,而且机台的维护周期可以从24μm(薄膜累计沉积厚度)扩展到32μm。图8和9显示了同一台机台在使用N2 purge功能前后的particle defect的情况。我们可以看出在使用N2 purge的方案之后,氮化硅机台的particle情况有了很大的改观。

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结论

利用N2 purge对石英壁上氮化硅薄膜有效清除的现象,合理利用机台生产的间歇期,通过N2来带走可能在未来生产过程中剥落下来的氮化硅薄膜,成功地解决了氮化硅生产中的particle问题。实际生产中的结果显示,particle总数成功地从20.38颗降低至13.19颗,机台的维护周期从24μm延长至32μm。该方案既提高了机台的性能,又成功地降低了机台的生产成本。

(完整版)加热炉计算

4.加热炉的计算 管式加热炉是一种火力加热设备,它利用燃料在炉膛内燃烧时产生的高温火焰和烟气作为热源,加热在管道中高速流动的介质,使其达到工艺规定的温度,保证生产的进行。在预加氢中需要对原料进行加热,以达到反应温度。预加氢的量较小,因此采用圆筒炉。主要的参数如下: 原料:高辛烷值石脑油; 相对密度: 20 40.7351 d = 进料量:62500/kg h 入炉温度:I τ=350C o ; 出炉温度:o τ=490C o ; 出炉压强:2 15/kg cm 气化率: e=100%; 过剩空气系:α:辐射:1.35 对流段:1.40 燃料油组成: 87%,11.5%,0.5%,1%C H O W ==== 加热炉基本参数的确定 4.1加热炉的总热负荷 查《石油炼制工程(上)》图Ⅰ-2-34可知,在入炉温度t1=350℃,进炉压力约15.0㎏/㎝2条件下,油料已完全汽化,混合油气完全汽化温度是167℃。 原料在入炉温度350C o ,查热焓图得232/i I kJ kcal = 原料的出炉温度为490C o ,查热焓图得377/v I kcal kg =。 将上述的数值代入得到加热炉的总热负荷 Q = m[eIV+(1-e)IL-Ii]

=[1377232]62500 4.184?-?? 37917500/kJ h = 4.2燃料燃烧的计算 燃料完全燃烧所生成的水为气态时计算出的热值称为低热值,以Ql 表示。在加热炉正常操作中,水都是以气相存在,所以多用低热值计算。 (1) 燃料的低发热值 1Q =[81C+246H+26(S-O)-6W] 4.184? =[8187+24611.5+26(0-0.5)-61] 4.184????? 41241.7/(kJ kg =燃料) (2) 燃烧所需的理论空气量 0 2.67823.2C H S O L ++-= 2.6787811.500.52 3.2?+?+-= 13.96kg =空气/kg 燃料 (3) 热效率η 设离开对流室的烟气温度 s T 比原料的入炉温度高100C o ,则 350100450s T C =+=o 由下面的式子可以得到 , 100L I q q η=--, 取炉墙散热损失 , 1 0.05L L q q Q = =并根据α和s T 查相关表,得烟气出对流室时 带走的热量123% L q Q =, 所以 1(523)%72%η=-+= (4) 燃料的用量 1379175001277/0.7241241.7 Q B kg h Q η= ==?;

LF精炼炉工艺技术操作规程

一、原辅材料技术(质量)要求 1、石墨电极材质要求 1)电极直径:φ350mm或φ400mm 2)电极长度:1800mm 3)体积密度:1.74g/cm3 4)单重:301kg或393kg 5)电阻率:4.4 2、埋弧渣 1)主要理化指标 2)使用方法: a、质量要求较高的钢种应采用无渣工艺,或扒去初炼炉渣重新造精炼渣。 b、出钢过程中应向钢包内加入脱氧剂,使钢中溶解氧含量≤10ppm,TFeO<1.0%。 c、到LF工位,加精炼渣料后给电,加热熔化后再加入埋弧渣。按3—5kg/t钢(交流钢包炉)或5—8kg/t钢(直流钢包炉)加入,具体根据发泡高度确定。 d、加入埋弧渣后,要有氩气搅拌,氩气流量控制在3—5NL/min。 3、合金包芯线 1)钙铁包芯线主要理化指标(使用量0.5kg—1.0kg/t钢)

2)铝线和金属钙线等主要技术条件 3)硅钙线成份要求: 4、预熔型精炼合成渣的作用及主要理化指标 1)主要理化指标 2)使用方法: 加入量为5—7kg/t钢左右,出钢前全部加入钢包底部。也可分两次加入,先包底加入50%,剩余部份随钢流加入,LF炉视情况进行少量调整,具体加入量根据现场工艺条件决定。 二、LF炉主体设备 1、变压器及二次回路 2、电极、电极提升柱及电极臂 3、炉盖及抽气罩 4、吹氩搅拌系统 5、钢包及钢包运输车 6、渣料、合金加入及称量系统

三、LF炉工艺流程 80吨顶底转炉挡渣出钢(全程吹氩)吹氩站吹氩测温、定氧、取样喂铝线测温、定氧、取样钢包吊运到LF炉精炼站钢包车上进准备位测温预吹氩钢包入加热位加热、造渣调成份取样、测温定氧喂线、软吹氩(喂钙铁线或硅钙线)加保温剂连铸 四、白渣精炼工艺要点 1、主要化学反应 1)石墨电极与渣中氧化物反应: C+(FeO)=【Fe】+{CO} C+(MnO)=【Mn】+{CO} 上述反应不仅提高了熔渣的还原性,而且还提高合金吸收率,生成CO使LF炉内气氛更具还原性。 2)脱硫反应式为: 【FeS】+(CaO)=(CaS)+ (FeO) 脱硫能力用分配系数Ls表示: Ls=(S)%/【S】% 当溶解氧不变时,硫的分配系数随(CaO)的增大而增大,随(FeO)、(SiO2)的增加而减少。 2、白渣精炼工艺要点 1)挡渣出钢,控制吨钢水下渣量不大于5kg/t。

工艺运行操作规程

目录 一、工艺简介--------------------------------------------------------02 二、预处理系统-----------------------------------------------------04 三、臭氧催化系统--------------------------------------------------0 6 四、水解酸化工艺--------------------------------------------------0 8 五、接触氧化工艺--------------------------------------------------1 0 六、芬顿流化床-----------------------------------------------------13 七、加药系统--------------------------------------------------------16

八、污泥脱水系统--------------------------------------------------1 9 九、水质化验分析--------------------------------------------------2 1 十、工艺巡视--------------------------------------------------------45 十一、机械设备-----------------------------------------------------47 十二、设备维护和保养--------------------------------------------50 附:工艺设备表

生产工艺和操作规程

生产工艺和操作规程 生产车间岗位职责 建湖子木实业有限公司

魔芋小结生产工艺及其说明(表式)

魔芋小结生产操作规程 序言: 根据Q/JHCG0001S-2010 制定以下操作规程 一、个人生产前清洁卫生 1. 所有员工必须穿着统一工作服、工作鞋,戴工作帽,换衣后内衣不得外露,裤脚必须塞在工作鞋里,头发和耳朵不得露在帽子外面。 2. 进入生产区域不得佩戴首饰,不得留有长指甲,每周检查一次。 3. 洗手消毒:清水洗一洗手液一清水冲洗一消毒液浸泡30秒一烘干 4. 用滚轮除去身上灰尘和毛发。 二、生产前设备检查、工具清洗消毒 1. 生产前对设备进行检查,排除故障和安全隐患。 2. 生产前工器具清洗后用消毒液消毒。 3. 设备清洗后100C蒸汽消毒。 4. 预先配好定型流槽的专用水。 5. 定型流水槽放水前清洗,检查槽壁。 6. 检查管道口是否清洁,放掉管道内的剩水,待清洁水色正常后方可放水。 三、配制工艺用水和生产用水 1. 配制定型流槽用水:1700升清水,加入1.1千克食用氢氧化钙,完全溶解。 pH 值:11.0-11.7 。 2. 配制养护水:按照6.5-7.0 ? 比例,在清水内加入食用氢氧化钙,完全溶解 pH 值:11.5-11.8 。 3. 配制塑封水:按照6.0-6.5 ? 比例,在清水内加入食用氢氧化钙,完全溶解pH 值:11.6-12.0 4. 各种工艺用水和生产用水调节pH值,用清水或食用氢氧化钙。 5. 质检人员全程监督配制过程,并且将检测和调整数据记录在案。 四、备料

1. 质检部门对每一批次原料都应该进行仔细检查,检查内容包括:产地、包装、数量、清洁度、白洁度和统一性。 2. 质检部门对每一批次原料都应该事先做小样试验,计算好膨胀倍率,将结果填写在备用原料单(货卡)上。 3. 质检部门对每一批次食用氢氧化钙以及辅料进行严格检查和测试。 4. 生产时操作工应该按照领料单说明,向仓库领取指定批号的原料及辅料。 5. 领取指定批号的原料及辅料时,应该做到两人复核。 五、投料 1. 向清洗好的搅拌桶内注入清水,至750升时质检员取第一次水样。 2. 启动循环泵,清水注至1000升时,质检员在循环泵出水口取第二次水样。 3. 当水温达到20C±2C时,打开搅拌机,一分钟后,将原料缓慢投入搅拌桶内使其充分搅拌均匀,此时循环泵将原料从底部抽出,从上部注入搅拌桶。 4. 原料搅拌7分钟时,用长柄橡皮刮板将搅拌桶边缘的原料仔细刮入搅拌桶内。 5. 原料搅拌8至10分钟,停止搅拌机,倒开循环泵,使管道内原料全部进入搅拌桶内。 6. 关闭电源,盖上搅拌桶盖子,使搅拌桶内原料静置膨胀。 7. 原料静置,按照不同的倍率,膨胀时间90分钟一120分钟。 六、食用氢氧化钙溶液配制和均质机操作 1. 按照领料单规定,向仓库领取规定数量的食用氢氧化钙。 2. 在清洁的250L容量不锈钢桶内注入20C±2C的净化水100升,加入食用氢氧化钙,充分搅拌,使食用氢氧化钙完全溶解。 3. 测定并调整食用氢氧化钙溶液,使其pH值控制在12.0-12.5之间。 4. 将符合要求的食用氢氧化钙溶液倒入离心桶内,开动搅拌使其保持均匀。 5. 将均质机、离心桶、搅拌桶,三者管道准确连接。 6. 膨胀原料与食用氢氧化钙溶液混合比为10:1,食用氢氧化钙溶液流量为:70升/小时。 7. 均质机转速650转/分钟。 七、定型流槽准备 1. 将配好的定型流槽水注入流槽加热至70C。 2. 加入300g原料溶解于水槽中。 3. 用丝网清除水中络合物,直至看不见络合物为止。 八、出丝 1. 在定型流槽的喷头上安装带有标准孔径和密度的出丝板,出丝板应该安装紧密,不能出现泄漏。

无氧铜生产工艺流程

第四章工艺技术方案 4.1工艺技术方案 本项目采用的原材料为含铜量99%的电解铜,选用目前国内先进的蓄热式熔化炉和中频炉,用上引法连铸工艺方法生产氧的含量不大于0.02%,杂质总含量不大于0.05%,含铜量99.5%以上无氧铜杆。 4.2工艺流程简述 1、生产准备 本项目使用的电解铜在江西省内购买。

图4-1 项目生产工艺流程图 2、上引法连铸工艺流程 本项目采用上引法连铸工艺生产无氧铜杆。上引法连铸铜杆

的基本特点是“无氧”,即氧含量在10ppm以下。 上引法与连铸连轧和浸涂法相比,其特点是: 1)由于拉扎工艺和铸造工艺不是连续的,拉扎是在常温下进行的,不需要气体保护,钢材也不会被氧化。因此设备投资小,厂房布置也灵活。 2)单机产量变化范围大,年产量可以从几百吨到几万吨,可供不同规模的厂家选用不同型号的上引机组。此外,由于连铸机是多头的,可以很容易的通过改变铸造规格(铸杆直径),来改变单位时间的产量,因此其产量可视原材料的供应情况和产品的需求情况来确定,便于组织生产、节约能源。 3)只需更换结晶器和改变石墨模的形状,即可生产铜管、铜排等异型铜材,并可在同一机器上上产不同规格、品种的铜材,灵活机动,这是上引法的中最大特点。 上引法连铸工艺流程:原料通过加料机加入融化炉进行熔化、氧化、扒渣处理后,熔融的铜液经过一段时间的静置还原脱氧并达到一定的温度后,通过有CO气体保护的流槽经过渡腔(铜液在此进一步还原脱氧、清除渣质),进而平稳的流入中频炉保温静置,铜液的温度由热电偶测量,温度值由仪表显示,温度控制在1150℃±10℃。连铸机固定于中频保温炉的上方,连铸机铜液在结晶器中快速结晶连续不断地生产出铜杆,最后经双头挠杆机等辅助设备装盘成产品。 ⑴加料:原料一般用加料机加入,炉头多加、炉尾少加。加

管式加热炉温度控制与分析

管式加热炉温度-温度串级控制系统 1设计意义及要求 1.1设计意义 管式加热炉是石油工业中重要装置之一,加热炉控制的主要任务就是保证工艺介质最终温度达到并维持在工艺要求范围内,由于其具有强耦合、大滞后等特性,控制起来非常复杂。同时,近年来能源的节约、回收和合理利用日益受到关注。加热炉是冶金、炼油等生产部门的典型热工设备,能耗很大。因此,在设计加热炉控制系统时,在满足工艺要求的前提下,节能也是一个重要质量指标,要保证加热炉的热效率最高,经济效益最大。另外,为了更好地保护环境,在设计加热炉控制系统时,还要保证燃料充分燃烧,使燃烧产生的有害气体最少,达到减排的目的。 1.2设计要求 1)本课程设计题目为加热炉温度-温度串级控制系统设计,课程设计时间为2周;学生对选定的设计题目所涉及的生产工艺和控制原理进行介绍,针对具体设计选择相应的控制参数、被控参数以及过程检测控制仪表,并画出控制流程图及控制系统方框图。 2)课程设计说明书按学校“课程设计工作规范”中的“统一书写格式”撰写,具体包括: ① 目录; ② 摘要; ③ 生产工艺和控制原理介绍; ④ 控制参数和被控参数选择; ⑤ 控制仪表及技术参数; ⑥ 控制流程图及控制系统方框图; ⑦ 总结与展望;(设计过程的总结,还有没有改进和完善的地方); ⑧ 课程设计的心得体会(至少500字); ⑨ 参考文献(不少于5篇); ⑩ 其它必要内容等。 2方案论证 2.1方案选择 管式加热炉加热炉的工作原理如图1所示。要加热的冷物料从左端的管口流入管式加热炉,而燃料从右端的管口流入管式加热炉的燃烧部分,以供热。经加热的物料从右上端的管口流出,物料出口温度1()t θ为被控参数。 图1 管式加热炉工作原理图 分析管式加热炉的工作过程可知,物料出口温度1()t θ受进入管式加热炉的物料初始温度,物料进入的流量(即物料入口的压强),进入管式加热炉的燃料的流量(也即燃料入口压强),燃料的燃烧值等因素的影响。其中物料进入的流量(即物料入口的压强)和进入管式加热炉的燃料的流量(也即燃料入口压强)是影响物料出口温度1()t θ的主要因素。如果采用单回路控制系统,根据操作量的选取原则,我们可以在物料入口处装上一个调节阀,以控制物料进入的流量;对于进入管式加热炉的燃料的流量,可以使它保持某一恒定值。或在燃料的入口处安装一个调节阀,以控制进入管式加热炉的燃料的流量;对于进入管式加热炉的物料的流量,则可以使它保持某一恒定值。而调节阀的开度大小由安装在物料出口处的温度传感器输出的大小间接控制。它虽然结构简单,实现方便;但不符合生产工艺的要求。因为如果将物料的进入流量进行限定后,则日生产总量也被限定。这显然不符合实际的工业生产情况。在此基础上进行一点改进——不对另一个量进行限制。基于对燃料进入量进行控制的管式加热炉单回路温度控制系统原理图如图2 所示。 图2 管式加热炉单回路温度控制系统原理图 如图2所示的单回路温度控制系统初看起来是可行的。而且它的结构简单,所需的器材少,投入小。也符合工业设 物料出口温度1 ()t θ 1T C 物料入口 燃料 物料出口温度1()t θ

铸造工艺操作规程

铸造工艺操作规程1、目的 通过配比原铝液,提高铝锭品位,获得合格产品,满足客户需求。 2、范围 适用于铸造车间各工种,贯穿铸锭全过程。 3、设备工器具 天车、地磅、混合炉、铸造机组、扎捆机、叉车、铸锭工具。 4、材料零部件 钢带、钢带扣、除渣剂、石棉板、铸造机组配件 5安全 按渑池铝厂《安全作业规程》铸造车间各岗位《安全作业规程》执行。6、操作 6.1原铝配比 6.1.1配料前的检查和准备 a)认真分析原铝分析化验报告,联系电解车间按质量要求进行排包。 b)准备好出铝任务单,原铝衡量记录单等必需品。 6.1.2配料作业 a)根据生产的产品质量标准和原铝分析报告单确定各原铝应进的混合炉号。 b)配料时所加配料的重量用下面公式计算。 A-B 所加配料重量=—————×W

C-A 式中:A:要求达到某种成分含量的百分比。 B:铝液本身已有某种成份含量的百分比。 C:配料中所含某种成份的百分比。 W:待配铝液的重量。 6.2混合炉的进铝作业 6.2.1进铝前的检查和准备 a.检查混合炉是否符合进铝条件,各出铝口是否用塞杆加石棉套塞紧,塞杆是否固定好。 b.准备好棉手套、有机面罩、取样勺、溜槽、滑石粉等。 c.联系好天车司机做好准备。 d.检查计量设备是否准备完整,计量人员是否到位,并做好记录。 6.2.2进铝作业 a.引导抬包车准确到指定地点称重计量。 b.由倒包工将抬包扶至混合炉注铝口位置,打开限位卡子,向混合炉内注铝。 c.注铝结束后,将抬包调正,指挥天车将抬包放到抬包车上。 d.注完最后一包铝后,将倒铝口清理干净,盖好盖板。 6.3向混合炉中操作时的注意事项及维护 a.避免炉顶溅上铝液。 b.要及时扒渣和清炉。 c.要避免混合炉作熔炉用。 d.避免用电热混合炉作为燃油或燃气的炉子。

石油化工管式工艺加热炉简介

本文由ahutony贡献 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT,或下载源文件到本机查看。 石油化工管式工艺加热炉简介 郑战利 管式加热炉 在一个有衬里的密闭体内设置有大量的相互连接的优质或合金无缝钢管,被加热介质在一连串的无缝钢管内以很高流速通过,燃料在密闭体内燃烧产生高温烟气,高温烟气通过辐射、对流和传导把热量传给被加热介质,把被加热介质加热到生产工艺规定的温度或完成一定的化学反应深度;这类设备统称为管式加热炉。管式加热炉的范畴包含热水和蒸汽锅炉、热载体加热炉、油田水套炉、输油管道加热炉、炼油和石化生产装置的工艺加热炉等。今天我们所讲的管式加热炉是炼油和石油化工生产装置的工艺加热炉,简称为石化工艺加热炉。 石化工艺加热炉的主要特点是 1.被加热介质为易燃、易爆的液体或气体,且温度和压力较高。操作条件苛刻。安全运行要求高。 2. 加热方式为明火加热。 3. 长周期连续生产。 4. 所用燃料为液体或气体燃料。 管式加热炉应满足的要求 1. 完成一定的传热任务,燃料耗量少、需要的传热面积小。 2. 被加热介质不受局部过热。 3. 在纯加热型管式加热炉中,被加热介质无分解或仅有极少量分解。 4. 在加热—反应型管式加热炉中,保证被加热介质的反应深度达到生产工艺要求,且炉管中结焦量最少。 5. 安全、稳定、连续运行周期在3~5年。 6. 排烟中的有害物含量和噪声必须符合国家标准规定。 管式加热炉的主要操作参数 1、有效热负荷:为各种被加热介质从体系入口状态到出口状态所吸收的能量之和,它等于供给能量与损失能量之差, Kw 2、排烟损失热量:排出体系的烟气带走的热量。Kw 3、燃料不完全燃烧损失热量:由于燃烧设备及燃烧工况等原因造成燃料没有完全燃烧而未能释放出的反应热。 Kw 4、散热损失热量:体系内所有设备及管线表面向周围环境中散失的热量。Kw 5、附属设备能耗:鼓风机、引风机、吹灰器、热载体循环泵等辅助设备所耗掉的能量,按供给这些设备的能量计算。 Kw 6、燃料效率:有效吸能量占供给燃料燃烧放出热量的百分数,其数值可能大于l00%。% 7、全炉热效率:有效吸能量占供给炉子总热量(不含附属设备损失)的百分数。% 8、综合效率:是体系供给能量利用的有效程度在数量上的表示,它等于有效能量对供给能量的百分数。 % 9、炉膛热强度:指单位时间内单位炉膛体积所传递的热量,单位为kw/m3。 10、炉管平均表面热强度:指单位时间内单位炉管表面积所传递的热量,单位为kw/m2。 11、排烟温度:烟气离开被加热介质加热段的最终温度。℃ 12、排烟氧含量:烟气最终离开被加热介质加热段时中的氧含量。V% 13、炉膛Tp温度:烟气出辐射室时的温度。℃ 14、燃烧过剩空气系数:燃料燃烧理论空气量与供风量的比值。 15、燃料耗量:单位时间内,加热炉消耗燃料总和(Kg/h或Nm3/h)。 16、质量流量:单位时间内,流过单位炉管内截面积的加热介质的质量(Kg/m2.h)。 17、全炉压力降:被加热介质流过炉管系统的压力损失。MPa 管式加热炉的结构简介 石油化工工艺管式加热炉由辐射室、对流室、余热回收装置、燃烧器、供风系统和排烟系统等部分所组成(由炉管系统、钢结构、衬里、余热回收装置、燃烧器、供风系统和排烟系统等部分所组成)。 辐射室 辐射室是加热炉辐射传热起支配作用的部分。由于是火焰直接所在的场所,所以它是加

小型真空管式炉特点是什么

小型真空管式炉特点是什么? 小型真空管式炉特点是什么?合肥日新高温技术有限公司为您解答。高温真空气氛管式炉专门设计用于高温、中温、低温CVD工艺。 真空炉机械系统组成 1、真空系统:由油扩散泵、罗茨泵、机械泵配电磁压差阀(防止因突然停电、机械泵油倒灌)充气阀、放气阀、真空蝶阀、真空压力表(±Pa)波纹管、真空管路和支架等组成。 2、水冷系统:由各种阀管道相关装置组成且设有断水声光报警自动切断加热源或功能。

3、温控系统:采用可控硅控温,配置有PID功能仪表,数显表,具有超温声光报警功能,也可选用PLC触摸屏自动控制,并保留历史数据,便于分析烧结过程。 4、充气系统:由各种管道及阀门组成,并配有电磁放气阀、压力传感器,当炉内压力高于安全值时会自动放气,充气管路上装有针阀,可控制充气量。 特点: 如ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器(MLCC)气氛烧结等等。 窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温,优质硅钼棒加热,优质99刚玉管炉膛,气体采用浮子流量计流量计控制。 进口单回路智能温度控制仪控制,有效的实现温度的控制。 设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点,是理想的科研设备。

合肥日新高温技术有限公司成立之初,就确定了依托技术开拓市场空间的经营策略,在秉承传统工艺的基础上,不断引进新技术,消化再吸收新工艺,持续发展,开拓创新。以专业品质科技创新的产品价值观,以日新盛德笃志笃行的企业精神,精心打造中国窑炉一流品牌日新窑炉。逢此民族产业迅速发展之盛世,合肥日新高温技术有限公司全体同仁热忱希望能广交业内有识之士,以致力于热能技术、工程提供一流的解决方案为企业核心使命,为携手振兴中国的窑炉事业而贡献力量。

LF精炼炉工艺技术操作规程

L F精炼炉工艺技术操 作规程 公司标准化编码 [QQX96QT-XQQB89Q8-NQQJ6Q8-MQM9N]

LF 精炼炉工艺技术操作规程

一、原辅材料技术(质量)要求 1.石墨电极材质要求 1)电极直径:?350mm或?400mm 2)电极长度:1800mm 3)体积密度:cm3 4)单重:301Kg或393Kg 5)电阻率: 2.埋弧渣 1)主要理化指标 2)使用方法: a.质量要求较高的钢种应采用无渣工艺,或扒去初 炼炉渣重新造精炼渣。 b.出钢过程中应向钢包内加入脱氧剂,使钢中溶解 氧含量≤10ppm,TfeO<%。 c.到LF工位,加精炼渣料后给电,加热熔化再加入 埋弧渣。按3—5Kg/t钢(直流钢包炉)加入,具 体根据发泡高度确定。 d.加入埋弧渣后,要有氩气搅拌,氩气流量控制在 3—5NL/min. 3)、合金包芯线 1)钙铁包芯线主要理化指标(使用量—t港)

2)铝线和金属钙线等主要技术条件 3)硅钙线成份要求: 4、预熔型精炼合成渣的作用及主要理化指标 1)主要理化指标 3)使用方法:加入量为5—7Kg/t钢左右,出钢前全部加入钢包底部。也可分两次加入,先包底加入50%, 剩余部分随钢流加入,LF炉视情况进行少量调整, 具体加入量根据现场工艺条件决定。 二、LF炉主体设备 1.变压器及二次回路 2.电极、电极提升 3.炉盖及抽气罩 4.吹氩搅拌系统

5.钢包及钢包运输车 6.渣料、合金加入及称量系统 三、LF炉工艺流程 80吨顶底转炉→扫渣出钢(全程吹氩)→吹氩站→吹氩测温、定氧、取样→喂铝线→测温、定氧、取样→钢包吊运到LF炉精炼站钢包车上→进准备位→测温→预吹氩钢包加热位→加热、造渣→调成份→取样、测温定氧喂线、软吹氩(喂钙铁线或硅钙线)→加保温计→连铸 四、白渣精炼工艺要点 1.主要化学反应 石墨电极与渣中氧化物反应 C+(feO)=[Fe]+{CO} C+(MnO)=[Mn]+{CO} 上述反应,不仅提高了熔渣的还原性,而且还提高合金吸 收率,生成CO使LF炉内气氛更具有还原性。 脱流反应式为: 【FeS】+【CaO】+【FeO】 脱流能力用分配系数Ls表示: Ls=(S)%【S】% 当溶解氧不变时,留得分配系数随(CaO)的增大而增大, 随【FeO】、(SiO2)的增加而减少。 2、白渣精炼工艺要点

工艺操作规程编写要求

生产工艺操作规程编写要求 3.1本岗位生产任务 3.1.1应明确本岗位所生产的产品。 3.1.2应明确产品的去向及用途。 3.2生产工艺流程 3.2.1工艺原理 3.2.1.1应用文字简述工艺原理。 3.2.1.2有化学反应的应写出热化学反应方程式(包括副反应)。 3.2.2工艺流程简述 3.2.2.1应明确各个生产过程的物料流向。 3.2.2.2应明确各个过程的物料名称及状态。 3.2.2.3应明确主要生产过程及设备的名称及作用。 3.2.3工艺流程方框图 3.2.3.1每个生产过程都应用方框来表示,方框内应标明过程和设备名称。 3.2.3.2按照物料流向将各方框用箭头线连接起来,并在箭头线处标明物料名称。 3.2.3.3应附主要设备一览表。 3.3生产过程工艺控制指标 3.3.1应明确原料的各项质量指标及外观要求。 3.3.2应明确产品质量指标要求。 3.3.3应明确投料配比和投料量的要求。 3.3.4应对生产过程中的各种工艺参数进行识别。 3.4.生产操作步骤 3.4.1开车前的准备 3.4.1.1应明确对操作人员资格及劳动保护的要求。 3.4.1.2对生产过程的各种电器、设备、管道、仪表、阀门等进行确认。 3.4.1.3对生产过程所用的各种原料进行确认,并对水、电、汽、冷及气系统进行确认。 3.4.1.4对工作现场环境进行确认。 3.4.1.5对消防器材进行确认。 3.4.2正常开车运行 3.4.2.1应明确各种原料的备料和计量操作过程。 3.4.2.2应明确投料先后顺序和投料所用时间及投料方法。 3.4.2.3应明确各电器及设备运行开启顺序的操作过程。 3.4.2.4在生产操作过程中,应明确温度、压力、速度、时间等各项工艺指标的控制过程。 3.4.2.5应明确物料流向的各个操作过程。 3.4.2.6应明确工艺参数的记录次数、每次间隔时间以及记录规范的要求。

氮化硅陶瓷的制备

氮化硅陶瓷材料的制备 摘要 氮化硅陶瓷是一种具有广阔发展前景的高温高强度结构陶瓷。其具有的如强度高、抗热震稳定性好、疲劳韧性高、室温抗弯强度高、耐磨、抗氧化、耐腐蚀性好等优点,在高温、高速、强腐蚀介质的工作环境中具有特殊的使用价值,已广泛应用于各行各业。目前存在的主要问题是氮化硅陶瓷产品韧性低、成本较高。今后应改善制粉、成型和烧结工艺及氮化硅与碳化硅的复合化,研制出更加优良的氮化硅陶瓷。本文介绍了氮化硅陶瓷的基本性质,综述了氮化硅陶瓷的制备工艺和国内外现代制造业中的应用,并展望了氮化硅陶瓷的发展前景。 前言 随着现代科学技术的发展,对新材料的研究和应用不断提出更高的要求,传统的金属材料越来越难以满足这种日益发展的要求,亟待开发新型材料。多年来,研究工作者们进行了不懈的努力,在材料的制备工艺和性能方面取得了很大的进展。由于人们认识到陶瓷的潜在优势和金属材料不可克服的弱点,工程陶瓷材料越来越受到世界上许多材料研究单位的高度重视,并取得了许多突破性进展。二次大战结束后,科学技术发展迅速,原子能、火箭、燃气轮机等技术领域对材料提出了更高的要求,迫使人们去寻找比耐热合金更能承受高温,比普通陶瓷更能抵御化学腐蚀的材料。氮化硅的出色表现,激起了人们对它的热情和兴趣。20世纪60年代,英、法的一些研究机构和大学率先开始对氮化硅进行系统研究,深入认识它的结构、性能、探索烧结方法、开拓应用领域。至20世纪70年代,氮化硅陶瓷的研发工作相继在世界各国开展起来。到了20世纪80年代,氮化硅陶瓷制品已经开始向产业化、实用化迈进了。近二十年多来,人们通过广泛、深入、仔细的研究,发现陶瓷材料是最有希望在高科技领域中得到广泛应用的候选材料。氮化硅陶瓷作为一种高温结构陶瓷,具有强度高、抗热震稳定性好、高温蠕变小、耐磨、优良的抗氧化性和化学稳定性高等特点,是结构陶瓷研究中最为深入的材料,被广泛地应用于制造燃气发动机的耐高温部件、化学工业中耐腐蚀部件、半导体工业中的坩埚、以及高温陶瓷轴承、高速切削工具、雷达天线罩、核反应堆的支撑、隔离件和裂变物质的载体等。正因为氮化硅陶瓷具有其它材料不可

真空高温管式炉操作规程

GSL-1300X、1600X真空高温管式炉操作规程 一、准备工作 1.设计升降温曲线,升温速率不得高于10℃/分钟,降温速率应低于15℃/分钟。 2.清扫环境。 3.每周开始使用管式炉时,检查机械泵油线处于标线以上,拆除两端盖,用吸尘器清洁刚 玉炉管。 4.将样品舟推入刚与管炉膛中部(恒温长度10cm)。 5.塞上两块隔热炉塞,使第二个炉塞的末端与炉体侧面平齐。 6.装上气炉法兰,确认密封垫落入槽中。 二、充工作气体 Ⅰ. 使用氢气作为工作气体时 1.接通氢气气路,对各接头处用肥皂水检漏,确认不漏气。 2.确认各阀门处于关闭状态。 3.逆时针旋转旋钮开氢气瓶主阀,顺时针旋动旋钮,缓慢打开出口减压阀,使出口气压在 0.1MPa。 4.接通机械泵电源,打开管式炉出口阀和机械泵气路上的两个阀门,抽5分钟。 5.关闭机械泵气路上的两个阀门,关闭管式炉出口阀门,关机械泵。 6.逆顺时针打开上气路控制阀,使箭头指向“开”位置。 7.逆顺时针调节流量计旋钮,使示数在20ml/min。 8.逆时针旋动旋钮,打开管式炉进气阀,直至气压表读数为零。 9.打开管式炉进气阀,打开氢气气路上的红色出口阀门。 10.在通氢气满十分钟后,才能开始加热管式炉。加热前,逆时针调节流量计旋钮,使锥形 瓶中气泡出现的速度为2个/秒钟。 Ⅱ. 使用惰性气体作为工作气体时 1. 接通工作气体气路,将管式炉气体出口端连接机械泵。 2. 打开管式炉进气阀,合上真空泵电源,打开出气阀(注意把住法兰,避免炉管受力过大),抽空刚玉管和气体管路。 3. 当管式炉真空表到-0.1(指针到尽头时),关闭出气阀,关闭进气阀。 4. 逆时针旋动旋钮开气瓶主阀,顺时针旋动旋钮,缓慢打开出口减压阀,使出口气压在0.004MPa(2小格)。 5. 逆时针旋动旋钮,缓慢打开管式炉进气阀;密切注意管式炉气压表,确认气压在0.08MPa 以下(如气压高于0.08MPa,打开管式炉出气阀放气)。 6. 管式炉气压表当气压稳定时,关闭管式炉进气阀,打开出气阀,抽真空到-0.1,关管式炉出气阀。 7. 重复4、5步两次。 8. 关机械泵,打开管式炉进气阀。 三、开炉 1. 开墙上管式炉总电源,风扇启动。 2. 开面板电源(顺时针转动Lock旋钮),启动面板。 3. 使仪表处于初始状态(即PV显示数值,SV闪烁显示Stop),此时若不处于该状态,则按向上键对仪表清零,使仪表只处在测显状态。 4. 按向左键1秒,进入温度设定状态,通过按向左键移动光标,按向上键和向下键来调节温度的设定数值。 5. 按回车键1秒,进入时间设定状态,通过按向左键移动光标,按向上键和向下键来调节

LF炉基本操作规程

精炼炉工艺技术操作规程 一、精炼处理前准备工作: 1.检查各系统运行是否正常。 2.检查事故坑内是否有积水或潮湿残渣,如有,须处理后方许接收钢水精炼。3.检查各种原材料、操作工具的准备情况,确认各高位料仓品种及各类铁合金成份。 4.如电极不够长,电极缝≥3mm,须松长或更换电极。更换电极时应用压缩空气吹干净电极夹头、电极接头处,注意防止松错电极夹头。 5.了解钢包使用情况,确认包号、包龄。 6.确认电炉出钢量、终点成份、炉后合金化所加合金、渣料、增碳剂品种及数量。 二、基本工艺流程: (一)送电前操作: 1.钢包入精炼位,确认氩气管接好,钢包工已下车后,吹氩,氩气按流量300-400l/min,压力0.2-0.3MPa控制,吹破渣层进行钢渣搅拌,搅拌时间不大于半分钟。 2.如发现钢包不透气或透气不良,可打开事故阀,氩气开直通;如不透气,将钢水温度升至≥1570℃,观察透气情况,如仍不能满足冶炼要求,将钢包车开至吊包位联系调度换包。 3.如须加热处理另一包钢水而导致不能及时入加热位,吹通后将氩气流量调至100-200 l/min,随时观察透气情况,钢包在吊包位停留时间不得大于20分编制:审核:批准:

钟,以防止因温度低透气砖堵塞。 4.如炉渣冷冻结盖,氩气不能冲开时,用压渣砣压开;若压不开,则在包中放入500kg左右冷料,铺平后撒上电石(或用氧气将渣盖吹开),手动起弧加热,电流从5000A左右逐步增加,以防止折断电极。 5.钢包开至加热位,锁紧钢包车定位装置,降包盖。在保证包盖水平的情况下,尽量降低,以其中一边贴钢包沿为准。 (二)加热及调整成份: 1.根据脱氧情况加入0.2-0.4kg/t硅粉(或其它扩散脱氧剂),关上炉门,采 用一档功率供电,每炉补加活性石灰150-300kg,萤石50-100kg,铝矾土50-100kg,保证炉渣碱度大于3.0,厚度50-80mm。 2.送电过程氩气流量按150-200 l/min控制,以电极有轻微窜动,电流曲线呈 微正弦线为准,不许关闭氩气。 3.加热4-7分钟后,停电,抬起电极,调整氩气流量为200-300 l/min,搅拌 1分钟后测温,温度须大于1530℃时取样①。 4.继续送电提温,根据钢种吊包温度、钢水量、钢包状况、生产节奏调整供电 曲线。 5.样回,停电。根据①样分析结果并对照炉后合金化计算值(如成份波动较大, 须重新取样),调加合金或增碳剂,将成份调至钢种规格下限,并根据炉渣脱氧情况、硫含量调加渣料及脱氧剂,保证白渣及炉渣流动性。 6.送电,根据加入合金数量及钢水温度选择合适的供电曲线及送电时间。 7.停电,适当提高氩气流量搅拌1分钟后测温、取样②,根据温度决定送电曲 线。

工艺安全操作规程

工艺安全操作规程 1

工艺安全操作规程 1.目的 为使污水、污泥处理工艺在受控的条件下得以有效控制和管理,保证生产过程的有效性,特制订本工艺规程。 2.适用范围 2.1 本规程适用于徐州创源污水处理有限公司睢宁污水处理厂的污水、污泥处理的工艺控制。 2.2 当进水水质COD cr≤150mg/l、BOD5≤60mg/l、SS≤150mg/l时,将导致工艺负荷过低,使工艺流程在低于正常负荷状态下运行,后续处理过程失去负荷基础,本规程规定的工艺过程控制不再适用,不能完全按本规程控制相应过程指标,仅需控制最终出水相应指标的处理质量达标。 1.职责 1.1生产部负责实施及现场的操作、记录。 1.2化验室负责化验分析各项项目、指标。 2.工作程序 4.1 工艺规程基本要求 1. 在工艺过程和结果的监控中,所要求的进水、曝气池、出水、脱水前污泥、脱水后污泥化验分析项目、指标及结论由化验室记录在<徐州 1

创源污水处理有限公司水质监测记录表>。 2. 在工艺过程和结果的监控中,所要求的仪表指示值由运行人员在本规程规定时间从现场仪表读取瞬时值并记录在相应工艺记录表格中。 3. 在工艺过程和结果的监控中,本规程所要求的其它项目由相应人员按要求记录在指定表格中。 4.2 工艺调整 当出现以下情况时,应进行工艺调整: (1) 工艺过程和结果中出现了不合格品时; (2) 关键工艺设备出现故障超过本规程允许限度,影响工艺有效性时; (3) 有特殊要求时; (4) 工艺过程出现明显异常时; (5) 停电时。 4.3 工艺调整应填报<工艺调整单>,按要求调整并作好记录。工艺设备的启停、工况调整、备用设备更换等操作由运行人员按<设备操作规程>执行。 4.4 工艺规程工艺概述 A2/O处理工艺主要包括预处理系统、生物处理系统和污泥处理系统三个部分。 预处理系统是借助物理法作用原理,采用机械阻隔及重力沉降方式来去除污水中大块漂浮物和可沉固体物。相应构筑物及处理设备有粗、细格栅及其设备、原水泵房及原水泵、曝气沉砂池及其设备。 生物处理系统是活性污泥法处理系统。由曝气池及其设备、污泥回 2

管式加热炉安全管理规定范本

工作行为规范系列 管式加热炉安全管理规定(标准、完整、实用、可修改)

编号:FS-QG-51147管式加热炉安全管理规定Regulations on safety management of tubular heating furnaces 说明:为规范化、制度化和统一化作业行为,使人员管理工作有章可循,提高工作效率和责任感、归属感,特此编写。 一、管式加热炉安全技术措施 1.燃料气分液罐 (1)燃料气进炉区必须设置燃料气分液罐,一个装置有多个炉子可以共用一个分液罐。 (2)燃料气分液罐上应设置压力、液位等显示仪表。 (3)燃料气分液罐上应设置有安全阀、放火炬线。 (4)燃料气分液罐上应设置加热盘管和脱液设施;加热器盘管材质选用时要考虑介质的腐蚀。 2.盲板与切断阀 (1)燃料油、燃料气进装置、进炉区和火嘴前等部位应设置相应的"8"字盲板。 (2)燃料油、燃料气系统应设置有吹扫、试压和置换流程。燃料气吹扫、试压、气密所用蒸汽、氮气给汽(气)点应设双

阀间加排凝的三阀组结构,并设相应的"8"字盲板,燃料油吹扫、试压所用蒸汽给汽点应设双阀间加排凝的三阀组结构,并设相应的"8"字盲板。 (3)燃料油、燃料气入火嘴前必须设置两道阀门。 (4)燃料油、燃料气吹扫系统中给汽(气)点三阀组与燃料气入火嘴前的双阀必须采用法兰连接的阀门。原来采用非法兰连接的阀门在检修或技改中应改为法兰连接的阀门。 (5)燃料油入火嘴前必须设置两道阀门,同时应设置燃料油循环线。 3、控制回路 (1)加热炉应设置燃料油、燃料气压控阀、工艺介质和炉膛温度温控阀等必要的控制回路。 (2)安全联锁自保阀的设置根据装置工艺对加热炉具体要求确定。 4.阻火器 燃料气入炉前应并联设置双阻火器,生产中可以切换和检修。 5.控制阀选型

LF钢包精炼炉工艺技术操作规程

LF钢包精炼炉工艺技术操作规程 编号:5-JA-LG-233 一、工艺流程 精炼前的准备→转炉出钢加料→行车吊运→坐入钢包车→连接吹氩管→钢包开至精炼工位→下降炉盖→降电极加热→测温取样→加第一批脱氧剂及补充渣料→合金微调加第二批脱氧剂(渣白)→测温调整供电制定→精炼控制温度→喂丝→软吹氩→加保温剂→吊包至连铸 二、精炼操作程序 1、精炼前的准备 (1)、按设备操作规程认真检查相关设备是否正常; (2)、检查各种渣料合金、脱氧剂的数量及质量是否符合要求(炼优质及合金钢时合金应烘烤干燥); (3)、检查测温及取样系统仪器工具是否正常; (4)、检查喂丝机是否正常,各包芯线数量是否满足要求; (5)、检查水冷炉盖内部溅渣情况及是否漏水,炉盖升降是否正常,各气动阀门动作正常; (6)、检查电极的长度及侵蚀情况,升降是否正常; (7)、各种生产工具器具是否准备完备; (8)、氩气系统及各种能源介质系统的检查; (9)、加料系统的检查; (10)、各种仪表显示是否正常指示信号是否正常; (11)、了解当班的生产计划及品种安排; (12)、了解转炉的生产情况(包括出钢温度及成份、下渣情况);(13)、了解钢包情况; (14)、了解连铸生产情况; 2、出钢加渣料及合金 为缩短精炼时间,转炉出钢时可加入部分合金及渣料,锰按中下线控制,硅按下线控制; 3、行车吊运坐入LF炉钢包车,连接吹氩管; 4、钢水精炼 (1)、确认炉盖下降所具备的条件,降下炉盖; (2)、中高档电压送电2-5分钟后,测温取样及时送检; (3)、加第一批脱氧剂及部分渣料;

(4)、化验结果报回成份微调,加入第二批脱氧剂; (5)、根据测温结果调整供电制度(过程温度控制按高于处理目标温度10℃左右控制,需深度脱硫的炉次可适当提高温度10-20℃);(6)、渣量配比及造渣制度 ①.渣料配比:石灰:萤石=5-6:1(或加入专用精炼渣); ②.造渣制度:一般钢,渣料加入量:10-15千克/吨钢,深脱硫钢渣料加入量15-20千克/吨钢(全部渣量不超过25千克/吨钢,包括转炉下渣量); (7)、白渣操作 ①.加料3-5分钟第一批融化良好,加入第一批脱氧剂(加入总量的三分之二),当加料成分微调后此时钢渣应变黄白色,同时泡沫渣已形成接着加入第二批脱氧剂(加入总量的三分之一)约3-5分钟后,钢渣应全部变为白渣(有些低碳钢种渣呈黄白色); ②.精炼期至渣料变白的时间约为10-15分钟,保持白渣时间应大于10分钟; (8)、合金调整 ①.合金成分调整应在黄白渣或白渣条件下进行; ②.合金加入顺序应按元素活泼程度的先后顺序加入; ③.合金加入量计算 加入量=钢水量*(目标值-实际值)/合金元素含量*收得率; ④.合金元素含量控制遵守以下原则: 合金元素调整按规格中线控制,连浇炉次钢水成份要考虑上、下炉次间成份偏差,〔C〕≤0.02%,〔Mn〕≤0.10%,〔Si〕≤0.05%;(9)、在加入合金及增碳剂后要适当加大吹氩量(但钢渣不要破顶)。 5、温度控制 (1)、精炼期的温度控制应按照前期加热补偿后期缓慢降温(保温)的方法进行温度控制; (2)、精炼终点温度按以下公式计算: T终点=T液相线+△T 中包过热度+△T 中包温降+△T软吹氩+△T喂丝+△T 镇静降温 其中:T液相线——精炼钢种的液相线温度 △T 中包过热度——中间包浇注时的过热度(按25-30℃控制) △T 中包温降——大包到中间包的温降(第一炉取50℃,连浇炉取30-35℃) △T软吹氩——软吹氩时的钢水温降(一般按5-10℃控制)

管式加热炉56个基础知识解答与综合反平衡热效率简化计算方法

管式加热炉56个基础知识解答 与综合反平衡热效率简化计算方法 1、什么叫燃烧?燃烧的基本条件是什么? 答: 燃烧是物质相互化合而伴随发光、发热的过程。我们通常所说的燃烧是指可燃物与空气中的氧发生剧烈的化学反应。可燃物燃烧时需要有一定的温度,可燃物开始燃烧时所需要的最低温度叫该物质的燃点或着火点。 物质燃烧的基本条件: 一是可燃物,如燃料油、瓦斯等; 二是要有助燃剂,如空气、氧气; 三是要有明火或足够高的温度。 三者缺一就不能发生燃烧,这就是“燃烧三条件”或“燃烧三要素”。 2、燃烧的主要化学反应是什么?燃烧产物中主要成份是什么? 答:

主要化学反应: C+O2→CO2+热量; 2H2+O2→2H2O+热量; S+O2→SO2+热量; 燃烧产物(烟气)中主要成份: 二氧化碳(CO2)、一氧化碳(CO)、二氧化硫(SO2)、水蒸汽(H2O)、氮气(N2)、多余的氧(O2)。 3、什么是辐射传热、对流传热? 答: 辐射传热是一种由电磁波来传递能量的过程,所传递的能量叫做辐射能,辐射具有微粒性(光子)和波动性(电磁波)两重性质。对流传热是液体或气体质点互相变动位置的方法将热量自空间的一部分传递到其他部分。 4、什么叫管式加热炉?它有哪些特性? 答: 管式加热炉是石油炼制、石油化工和化学、化纤工业中使用的工艺加热炉,它具有其它工业炉所没有的若干特点。 其基本特点:具有用耐火材料包围的燃烧室,利用燃料燃烧产生的热量将物质加热的一种设备。 管式加热炉特性: 1)被加热物质在管内流动,故仅限于加热气体或液体; 2)加热方式为直接受火式;

3)只烧液体或气体燃料; 4)长周期连续运转,不间断操作。 5、管式加热炉的工作原理是什么? 答: 管式加热炉的工作原理是:燃料在管式加热炉的辐射室(极少数在单独的燃烧室)内燃烧,释放出的热量主要通过辐射传热和对流传热传递给炉管,再经过传导传热和对流传热传递给被加热介质,这就是管式加热炉的工作原理。 6、管式加热炉的主要特点是什么? 答: 与炼油装置的其他设备相比,管式加热炉的特殊性在于直接用火焰加热;与一般工业炉相比,管式加热炉的炉管承受高温、高压和介质腐蚀;与锅炉相比,管式加热炉内的介质不是水和蒸汽,而是易燃、易爆、易裂解、易结焦和腐蚀性较强的油和气,这就是管式加热炉的主要特点。 7、管式加热炉主要由哪几部分组成? 答: 管式加热炉主要包括炉管、炉管连接件及支承件、钢结构、炉衬、余热回收系统、燃烧器、吹灰器、烟囱、烟囱挡板、各种蝶阀、门类(看火门、人孔门、防爆门、清扫孔门和装卸孔门等)和仪表接管(热电偶套管、测压管、灭火蒸汽管、氧分析仪接管和烟气采样口接管等)。

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