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PZT薄膜制备、结构与热释电特性测试
中北大学
硕士学位论文
PZT薄膜制备、结构与热释电特性测试
姓名：李珺泓
申请学位级别：硕士
专业：微电子学与固体电子学
指导教师：薛晨阳
20090526
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