高压开关柜结构及工作原理

高压开关柜结构及工作原理

我矿6kV开关柜使用山西天正开关厂的KYN28A铠装型开式交流金属封闭开关柜，具有防止带负荷推拉断路器手车、防止误分合断路器，防止接地开关处在闭合位置时关合断路器、防止误入带电隔室、防止带电时误合接地开关等连锁功能。进线开关配备ABB 公司的VD4真空断路器，负荷开关配备天水长城开关厂的ZN63A-12型真空断路器和JCZR16-7.2J型接触器-熔断器组合开关。

一、结构概述：

1.型号含义：

KYN28A-12-□---□

铠装柜环境特征号

移开式一次方案号

设计序号

户内

2.结构：

1—泄压装置；2—外壳；3—分支小母线；4—母线套管；5—主母线；6—静触头；

7—触头盒；8—电流互感器；9—接地开关；10—电缆；11—避雷器；12—接地母线； 13—装卸式隔板；14—隔板（活门）；15—二次触头；16—断路器手车；17—加热装置；18—可抽出式水平隔板；19—接地开关操作机构；20—控制小线槽；21—电缆封板。

开关柜的柜体为组装式结构，开关柜不靠墙安装。柜体分四个单独的隔室：手车室、主母线室、电缆室、继电器仪表室。柜体外壳防护等级IP42,各小室间防护等级IP2X。

2.1手车：手车由开关柜的主元件和推进用底盘车组成。手车采用中置式结构，通过一台专用转运车可方便地进行手车进出柜的操作。以断路器为例：手车的下部为推进用的底盘车，断路器固定安装在底盘车上。底盘车内设置有推进机构，用以实现对断路器手车的进出车操作。底盘车内还设置有连锁机构，用以实现断路器和柜体之间的各项连锁

2.2手车室：

隔室两侧安装了轨道，供手车在柜内移动时的导向和定位。静触头盒的隔板（活门）安装在手车室后侧。手车从断开位置/试验位置向工作位置移动的过程中，遮挡上、下静触头盒的活门自动打开；手车反方向移动时，活门自动关闭，直至手车退至断开位置/试验位置而完全遮挡住静触头盒，形成隔室间有效的隔离。断路器室的门上有观察窗，通过观察窗可以观察隔室内手车所处位置、断路器的合、分闸显示、储能状况等状态。

2.3主母线室：

主母线室贯穿联接相邻两柜，用装在柜侧壁隔板上的母线套管支撑固定。全部母线用热缩绝缘套管封闭。主母线和联络母线采用矩形截面的铜排，分支母线直接联接于静触头盒和主母线之间。如果出现内部故障电弧，柜侧壁的隔板和母线套管能有效防止事故向邻柜蔓延。

2.4电缆室：

本开关柜具有较大的电缆室空间。电流互感器、接地开关、避雷器等电气元件布置在电缆室内。

2.5继电器仪表室：

继电器仪表室内安装继电保护元件、仪表、带电监测指示器及各种二次设备。仪表

室的后下部留有通信电缆孔可方便通过柜与柜间的通信电缆。

二、联锁：

高压开关柜的“机械联锁”是确保设备和人身安全、防止误操作的重要措施。《3～5kV交流金属封闭开关设备》（GB3906-91）中对此作了明确规定，此国家标准把“联锁”描述为“金属封闭式开关设备应具有：防止带负荷分、合隔离开关（隔离插头）；防止误分、误合断路器、负荷开关、接触器（允许提示性）；防止接地开关处在闭合位置时关合断路器、负荷开关等开关；防止在带电时误合接地开关；防止误入带电隔室等功能”，上述五项防止电气误操作的内容，简称“五防”。“五防”装置一般可分为机械、电气和综合三类。

1.手车位置与断路器的联锁：

1.1只有当手车上的断路器（接触器）处于分闸状态时，手车底盘车内阻止手车移动的联锁才能解锁，手车才能离开断开位置/试验位置或工作位。

1.2只有当手车锁定在断开位置/试验位置或工作位置时，手车上的电气控制回路才能接通，同时手车底盘车内阻止断路器（接触器）合闸的联锁才能解锁，断路器（接触器）才能合闸。

1.3当手车处于中间位置时，断路器（接触器）的电气合闸回路和合闸机械传动系统均被闭锁，断路器（接触器）不能合闸。

2.手车位置与接地开关的联锁：

2.1只有当手车处于断开位置/试验位置或移开位置时，手车阻止开关柜接地开关关合的联锁才能解锁，这时开关柜的接地开关才能合闸。

2.2接地开关处于合闸状态时，接地开关操作轴上的联锁结构将阻挡手车移动，以使手车不能向工作位置推进。

3.断路器和接触器状态指示：在手车面板上设有断路器（接触器）分、合状态的指示。

4.手车位置与二次插头的连锁：手车进入柜内后，二次插头与手车位置之间有以下联

锁

4.1只有当手车处于断开位置/试验位置时才能插拔二次插头。

4.2手车离开断开位置/试验位置后，在向工作位置推进的过程中和达到工作位置以后，不能拔开二次插头（二次插头被锁定）。

5.接地开关与电缆室盖板间的联锁：只有当接地开关处于合闸状态时，开关柜的下门或电缆室的后封板才能打开。也只有在电缆室的后封板封闭时接地开关才可以打开。

6.F-C开关熔断器与接触器之间的联锁：

F-C开关熔断器与接触器之间的电气联锁：三相熔断器的任何一相（或两相或三

相同时）熔断时，撞击器射出的顶杆将推动断相杆运动，压下行程开关，这时将使合

闸状态的接触器分闸，接触器的合闸回路被断开。直到所有故障恢复正常后才能进行

接触器的合闸操作。

7.泄压装置：

在断路器手车室，母线室和电缆室的上方均设有泄压装置。当断路器或母线发生内部故障电弧时，泄压金属板将自动打开，释放压力和排泄气体，以确保操作人员和开关柜的安全。

8.防止凝露和腐蚀：

为了避免在高湿度或温度变化较大的气候环境中产生凝露带来的危害，断路器手车室和电缆室内分别装设加热器，以使在上述环境中防止凝露和腐蚀发生

9.接地装置：

在电缆室内单独设有8*40mm2的接地铜排，贯穿相邻两柜，并与柜体良好接触，供直接接地的元器件使用。由于整个柜体用敷铝锌版相栓接，整个柜体处于良好接地状态，保证运行操作人员触及柜体安全。

三、手车的操作：

1.手车位置：断路器手车或其他元件手车在柜内有三个位置：断开/试验位置；工作位置；中间位置（试验位置到工作位置之间的任意位置）。

2.进车操作：手车由柜外推进柜内时，应使用专用的转运车。进车时柜门开启应大于90°。将装有断路器的转运车推至柜前，使转运车定位杆对准开关柜上的定位孔，推动转运车靠近柜体，使转运车上锁钩勾在柜体上，调节转运车托盘下的调节螺母，使转运车的轨道与柜体轨道相连接。进车前确认断路器已分闸。进柜时需先用人力将手车推到试验位置。

配通用型底盘车时，离开断开/试验位置前，此时右手可将进出车摇把插入操作孔顺时针旋转，当断路器走完规定行程后，摇把转不动时，完成进车操作。

3.从工作位置抽出手车：

从工作位置抽出手车前，必须确认断路器已处于分闸状态。如果断路器未分闸，抽出手车之前必须先将断路器分闸。

配通用型底盘车时，离开工作位置前，右手将进出车摇把插入操作孔，逆时针旋转手车至试验位置。摇把完成出车操作。

4.从柜内抽出手车：

由柜内抽出手车时，应使用专用的转运车。出车时柜门开启大于90度，将未装断路器的转运车推至柜前，使转运车定位杆对准开关柜上的定位孔，推动转运车靠近柜体，使转运车上锁钩勾在柜体上，调节转运车托盘下的调节螺母，使转运车轨道与柜体轨道相连接。出车前确认活门已完全关闭，拔下二次插头，用人力将手车抽出柜外。

5.断路器的分、合闸：

一般情况下，不需要人直接进行断路器的合、分闸操作。手车面板上设有手动按钮，供调试人员在调试断路器时使用。断路器手车面板上仅设有手动分闸按钮（电保持没有），断路器的合闸需靠电动，供调试人员在调试断路器时使用。

开关柜面板上设有供操作者在紧急情况下对断路器进行分闸操作的紧急分闸装置。紧急情况下直接按动分闸按钮，就可使断路器分闸。

6.分、合接地开关：

接地开关的操作轴端在柜体右前部。接地开关的操作应使用厂家提供的专用操作手把。

进行接地开关合闸操作前首先确认手车已退到试验位置或移出柜外，查看带电显示器的指示确认电缆不带电，确认柜体的后盖板没有打开，确认接地开关处于分闸状态。将专用操作手把插入接地开关的操作轴轴端，顺时针转动操作手把约90°，就可完成接地开关的合闸操作。接地开关合闸后，挡板操作孔的弯板将被锁住不复归。

进行接地开关分闸操作前首先确认柜体的后盖板已经完全盖好，确认接地开关处于合闸状态。将专用操作手把插入接地开关的操作轴轴端，逆时针旋转操作手把约90°，就可完成接地开关的分闸操作。此时档操作孔的弯板复归挡住操作孔。

四、断路器动作原理：

1.储能动作：由储能电机或手动储能部件输出扭矩通过单向滚针轴承带动链轮转动，再经链条带动链轮转动，从而驱动储能轴上的挂簧拐臂顺时针转动拉长合闸弹簧，达到储能的目的。当合闸弹簧储能到位后，能量由储能保持擎子与滚轮保持。同时拨板带动储能指示牌，指示储能到位。

2.分、合闸动作：

2.1合闸动作：储能到位后，按手动合闸按钮推动手动合闸弯板转动，或合闸电磁铁动作，推动电动合闸弯板转动，经轴带动储能保持擎子转动，从而解除了储能保持擎子与滚轮的约束，合闸弹簧的能量释放带动合闸凸轮作顺时针方向转动，通过二级四连杆传动机构及绝缘拉杆带动真空灭弧室的动导电杆向上运动，完成合闸动作。

2.2分闸动作：合闸动作完成后，按手动分闸按钮推动脱扣弯板转动，或分闸电磁铁动作，推动脱扣弯板转动，带动分闸半轴顺时针方向转动，半轴对分闸二级脱扣部分的约束解除，在绝缘拉杆内的触头碟簧和分闸拉杆作用下，带动真空灭弧室的动导电杆向下运动，完成分闸动作。

3.操动机构断路器的弹簧储能式操动机构布置在断路器的前半部，分为合闸单元、分闸单元、传动部分和辅助单元。

合闸单元：合闸单元的主体是弹簧储能机构。储能轴的两侧是挂有合闸弹簧的挂簧拐臂，储能轴上安装有链轮、输出合闸动力的驱动凸轮等。装在储能轴和合闸线圈下部的电机通过链条带动安装在大户能轴上的链轮，拉伸合闸弹簧从而储存合闸所需能量。机构合闸时，合闸弹簧储存的能量通过驱动凸轮及专用的连杆传递到断路器主回路，完成合闸操作。

分闸单元：分闸单元的主体是合闸保持机构。合闸保持机构的一端与断路器的传动主轴发生关系，通过这一关系实现断路器合闸状态的有效保持。合闸保持机构的另一端是一个二级脱扣机构，当断路器分闸时，脱扣机构使得合闸保持机构解体，完成断路器的分闸操作。

传动部分：传动部分是断路器连接操动机构和灭弧室的传动部分，主要包括传动主轴、四连杆传动机构、分闸弹簧、分闸缓冲器等结构件，传动部分负责把断路器操动机构的驱动输出传递给灭弧室的动导电杆，并实现规定的机械特性参数。

辅助单元：该单元主要由分、合闸电磁铁、辅助开关、二次引出接线端子等部分组成，实现断路器操作所必需的与外部的接口。

高压开关柜结构及工作原理

高压开关柜结构及工作原理 我厂6kV开关柜使用长城开关厂的KYN28A铠装型开式交流金属封闭开关柜，具有防止带负荷推拉断路器手车、防止误分合断路器，防止接地开关处在闭合位置时关合断路器、防止误入带电隔室、防止带电时误合接地开关等连锁功能。进线开关配备ABB 公司的VD4真空断路器，负荷开关配备长城开关厂的ZN63A-12型真空断路器和JCZR16-7.2J型接触器-熔断器组合开关。 一、结构概述： 1.型号含义： KYN28A-12-□---□ 铠装柜环境特征号 移开式一次方案号 设计序号 户 2.结构：

1—泄压装置；2—外壳；3—分支小母线；4—母线套管；5—主母线；6—静触头；7—触头盒；8—电流互感器；9—接地开关；10—电缆；11—避雷器；12—接地母线；

13—装卸式隔板；14—隔板（活门）；15—二次触头；16—断路器手车；17—加热装置； 18—可抽出式水平隔板；19—接地开关操作机构；20—控制小线槽；21—电缆封板。 开关柜的柜体为组装式结构，开关柜不靠墙安装。柜体分四个单独的隔室：手车室、主母线室、电缆室、继电器仪表室。柜体外壳防护等级IP42,各小室间防护等级IP2X。 2.1手车：手车由开关柜的主元件和推进用底盘车组成。手车采用中置式结构，通过一台专用转运车可方便地进行手车进出柜的操作。以断路器为例：手车的下部为推进用的底盘车，断路器固定安装在底盘车上。底盘车设置有推进机构，用以实现对断路器手车的进出车操作。底盘车还设置有连锁机构，用以实现断路器和柜体之间的各项连锁 2.2手车室：

隔室两侧安装了轨道，供手车在柜移动时的导向和定位。静触头盒的隔板（活门）安装在手车室后侧。手车从断开位置/试验位置向工作位置移动的过程中，遮挡上、下静触头盒的活门自动打开；手车反方向移动时，活门自动关闭，直至手车退至断开位置/试验位置而完全遮挡住静触头盒，形成隔室间有效的隔离。断路器室的门上有观察窗，通过观察窗可以观察隔室手车所处位置、断路器的合、分闸显示、储能状况等状态。2.3主母线室：

10kv高压开关柜结构工作原理

10kv高压开关柜结构及工作原理 10kv高压开关柜结构及工作原理 10kv高压开关柜 KYN28A铠装型开式交流金属封闭开关柜，具有防止带负荷推拉断路器手车、防止误分合断路器，防止接地开关处在闭合位置时关合断路器、防止误入带电隔室、防止带电时误合接地开关等连锁功能。进线开关配备ABB公司的VD4真空断路器，负荷开关配ZN63A-12型真空断路器和JCZR16-7.2J型接触器-熔断器组合开关。 一、结构概述： 1. 型号含义： 2. 结构：

图中：A---母线室 B---断路器手车室 C---电缆室 D---继电器仪表室 1—泄压装置；2—外壳；3—分支小母线；4—母线套管；5—主母线；6—静触头； 7—触头盒；8—电流互感器；9—接地开关；10—电缆；11—避雷器；12—接地母线； 13—装卸式隔板；14—隔板（活门）；15—二次触头；16—断路器手车；17—加热装置； 18—可抽出式水平隔板；19—接地开关操作机构；20—控制小线槽；21—电缆封板。 开关柜的柜体为组装式结构，开关柜不靠墙安装。柜体分四个单独的隔室：手车室、主母线室、电缆室、继电器仪表室。柜体外壳防护等级IP42,各小室间防护等级IP2X。 2.1 手车：手车由开关柜的主元件和推进用底盘车组成。手车采用中置式结构，通过一台专用转运车可方便地进行手车进出柜的操作。以断路器为例：手车的下部为推进用的底盘车，断路器固定安装在底盘车上。底盘车内设置有推进机构，用以实现对断路器手车的进出车操作。底盘车内还设置有连锁机构，用以实现断路器和柜体之间的各项连锁

2.2 手车室：

隔室两侧安装了轨道，供手车在柜内移动时的导向和定位。静触头盒的隔板（活门）安装在手车室后侧。手车从断开位置/试验位置向工作位置移动的过程中，遮挡上、下静触头盒的活门自动打开；手车反方向移动时，活门自动关闭，直至手车退至断开位置/试验位置而完全遮挡住静触头盒，形成隔室间有效的隔离。断路器室的门上有观察窗，通过观察窗可以观察隔室内手车所处位置、断路器的合、分闸显示、储能状况等状态。 2.3 主母线室：

光刻原理

光 刻 工 艺 一、目的： 按照平面晶体管和集成电路的设计要求，在SiO 2或金属蒸发层上面刻蚀出与掩模板完全相对应的几何图形，以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。 二、原理： 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术，它先采用照像复印的方法，将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO 2层或金属蒸发层上，在适当波长光的照射下，光致抗证剂发生变化，从而提高了强度，不溶于某些有机溶剂中，未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化，很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用，对SiO 2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀，从而在SiO 2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。 （一）光刻原理图 （一）光刻胶的特性： 1．性能，光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子化合物。当它受适当波长的光照射后就能吸收一定波长的光能量，使其发生交联、聚合或分解等光化学反应。由原来的线状结构变成三维的网状结构，从而提高了抗蚀能力，不再溶于有机溶剂，也不再受一般腐蚀剂的腐蚀． 2．组成：以KPR 光刻胶为例： 感光剂－－聚乙烯醇肉桂酸酯。 溶 剂－－环己酮。 增感剂－－5·硝基苊， 3．配制过程： 将一定重量的感光剂溶解于环己酮里搅拌均匀，然后加入一定量的硝基苊,再继续揖拌均匀，静置于暗室中待用。 感光剂聚乙烯醇肉桂酸酯的感光波长为3800?以内，加入5·硝基苊后感光波长范围发生了变化从2600—4700 ?。 （二）光刻设备及工具： 在SiO 2层上涂复光刻胶膜 将掩模板覆盖 在光刻胶膜上 在紫外灯下曝光 显影后经过腐蚀得到光刻窗口

1．曝光机－－光刻专用设备。 2．操作箱甩胶盘－－涂复光刻胶。 3．烘箱――烤硅片。 4．超级恒温水浴锅－－腐蚀SiO2片恒温用。 5．检查显为镜――检查SiO2片质量。 6．镊子――夹持SiO2片。 7．定时钟――定时。 8．培养皿及铝盒――装Si片用。 9．温度计――测量温度。 图（二）受光照时感光树脂分子结构的变化 三、光刻步骤及操作原理 1．涂胶：利用旋转法在SiO2片和金属蒸发层上，涂上一层粘附性好、厚度适当、均匀的光刻胶。 将清洁的SiO2片或金属蒸发片整齐的排列在甩胶盘的边缘上，然后用滴管滴上数滴光刻胶于片子上，利用转动时产生的离心力，将片子上多余的胶液甩掉，在光刻胶表面粘附能力和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。 涂胶时间约为1分钟。 要求：厚度适当（观看胶膜条纹估计厚薄），胶膜层均匀，粘附良好，表面无颗粒无划痕。 图（三）光刻工艺流程示意图

高压开关柜结构

高压开关柜结构 一、KYN高压开关柜（出线柜）结构 KYN高压开关柜由固定的柜体和真空断路器手车组成。就开关柜而言，进线柜或出线柜是基本柜方案，同时有派生方案，如母线分段柜、计量柜、互感器柜等。此外，尚有配置固定式负荷开关、真空接触器手车、隔离手车等方案。本章以出线柜（如图1）为例说明KYN开关柜结构：外壳隔板、面板、断路器室、断路器手车、母线室、电缆室、低压室和联锁/保护等等。 图1 KYN进线或出线柜基本结构剖面图 A、母线室 B、断路器室 C、电缆室 D、低压室 1、母线 2、绝缘子 3、静触头 4、触头盒 5、电流互感器 6、接地开关 7、电缆终端 8、避雷器 9、零序电流互感器 10、断路器手车 10.1、滑动把手 10.2、锁键（联到滑动把手） 11、控制和保护单元 12、穿墙套管 13、丝杆机构操作孔 14、电缆夹 15.1电缆密封圈 15.2、连接板 16、接地排 17、二次插头 17.1联锁杆 18、压力释放板 19、起吊耳 20、运输小车 20.1、小车锁定把手 20.2、调节螺栓 20.3、锁舌 1. 外壳和隔板 开关柜的外壳和隔板由优质钢板制成，具有很强的抗氧化、耐腐蚀功能，且刚度和机械强度比普通低碳钢板高。三个高压室的顶部都装有压力释放板。出现内部故障时，高压室内气压升高，由于柜门已可靠密封，高压气体将冲开压力释

放板释放出来。相邻的开关柜由各自的侧板隔开，拼柜后仍有空气缓冲层，可以防止开关柜被故障电弧贯穿熔化。低压室D装配成独立隔室，与高压区域分隔开。隔板将断路器室B和电缆室C隔开，即使断路器手车移开（此时活门会自动关闭），也能防止操作者触及母线室A和电缆室C内的带电部分。卸下紧固螺栓就可移开水平隔板，便于电缆密封终端的安装。 2. 开关柜面板 开关柜面板分为二部分：仪表门，开关仪表门。仪表门主要完成仪表检测、带电检测、信号灯监视和就地电气操作；开关仪表门主要完成开关接地开关的就地机械操作。 图2 开关柜面板 1 仪表； 2 电磁分合闸按钮； 3 机械分合闸按钮；4名牌；5 丝杆机构手柄插口；6 观察窗； 7 柜内照明开关；8 高压带电显示；9 指示灯；10 电气接线图；11 接地开关操作插 3. 断路器室 断路器手车装在有导轨的断路器室B内，可在运行、试验（隔离）两个不同位置之间移动。当手车从运行位置向试验（隔离）位置移动时，活门会自动盖住静触头，反向运行则打开。手车能在开关柜门关闭的情况下操作，通过门上的观察窗可以看到手车的位置、手车上的ON（断路器合闸）/OFF（断路器分闸）按钮、合分闸状态指示器和储能/释放状况指示器。

投影光刻机对准系统功能原理

投影光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准，其标记的对准精度能达到±0.4μm（正态分布曲线的3σ值）。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次，而对准精度直接影响硅片的套刻精度，所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围，它在X方向和Y方向都只能扫描 ±44μm，所以硅片被传送到工件台上进行对准之前，需要在预对准工件台上先后完成两次对准，即机械预对准和光学预对准，以便满足精细对准的捕捉范围。注意：本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成：照明（对准光源）部分，双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示，在图中可以看出，对准系统中用了两个完全相同的光路，这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同，所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中，照明部分的主要部件就是激光发射器，它产生波长为633nm的线性极化光，避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光（硅片曝光用的光为紫外光）。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元，该激光将从双折射单元底部射出，通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上；而经过硅片表面的反射后由原路返回，第二次经过双折射单元，由双折射单元的顶部射出，再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内，硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后，将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象，Q-CELL 光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号，由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示，标记分为四个象限，每个象限有8μm或8.8μm的对准条，其中有两个象限的对准条用来对准X向，另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限，当在Q-CELL检测器的每一个单元中，两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候，就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束，一束激光将通过调制器到达Q-CELL 光电检测器，而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准，但是由于它们是同步的，彼此之间几乎看不到有何不同，所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是： 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动：该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号，其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理：在对准的时候，工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动，进行X轴向对准，当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时，

10KV高压开关柜的分类

1、10KV高压开关柜的分类： 10KV高压开关柜按柜体结构可分为金属封闭间隔式开关柜、金属封闭铠装式开关柜、金属封闭箱式开关柜和敞开式开关柜四大类。 a、金属封闭间隔式开关柜（用字母J来表示）：与铠装式金属封闭开关设备相似，其主要电器元件也分别装于单独的隔室内，但具有一个或多个符合一定防护等级的非金属隔板。如JYN2-型高压开关柜。 b、金属封闭铠装式开关柜（用字母K来表示）：主要组成部件（例如：断路器、互感器、母线等）分别装在接地的用金属隔板隔开的隔室中的金属封闭开关设备。如：KYN28A-型高压开关柜。 c、金属封闭箱式开关柜（用字母X来表示）：开关柜外壳为金属封闭式的开关设备。如XGN2-型高压开关柜。 d、敞开式开关柜：无防护等级要求，外壳有部分是敞开的开关设备。如GG-1A(F)型高压开关柜。常用10KV高压开关柜型号 2、10KV高压开关柜的种类 10KV高压开关柜如果按种类来分的话，可分为中置柜、环网柜、箱变、四大类。 a、中置柜。中置柜全称为金属铠装中置移开式开关设备。属于高压配电装置，最高工作电压3.6 / 7.2 / 12kV ，系三相交流50Hz单母线分段系统或双母线分段系统的户内成套配电装置。常见的10KV中置柜型号有KYN-28、KYN44-12等。 10KV高压中置柜 ｂ、环网柜。环网柜（Ring Main Unit）是一组高压开关设备装在金属或非金属绝缘柜体内或做成拼装间隔式环网供电单元的电气设备，其核心部分采用负荷开关和熔断器，具有结构简单、体积小、价格低、可提高供电参数和性能以及供电安全等优点。

10KV环网柜 c、箱变。箱式变电站是一种高压开关设备，适用于矿山、工厂企业、油气田和风力发电站，它替代了原有的土建配电房，配电站，成为新型的成套变配电装置。 10KV箱变 3、常见的10KV高压开关柜型号 ａ、KYN28A-12中置柜，KYN28A-12型中置柜，又称户内金属铠装抽出式开关设备主要用于发电厂、工矿企事业配电以及电力系统的二次变电站的受电、送电及大型电动机的起动等。实行控制、保护、实时监控和测量之用。有完善的五防功能。 b、HXGN17-12环网柜：HXGN17-型高压开关柜(简称环网柜)，系三相交流额定电压10kV、额定频率50Hz的户内箱式交流金属封闭开关设备。适用于工厂、车间、小区住宅、

光刻机和光掩膜版

十三章 光刻II 光刻机和光掩膜版 前几章讲述了光刻胶材料的性质和工艺技术。在这一章里，我们介绍如何将图形转移到硅片表面上，包括以下内容：a)将图形投影到硅片表面的装置（即光刻对准仪或光刻翻版机），由此使得所需图形区域的光刻胶曝光。 b)将图形转移到涂有光刻胶的硅片上的工具（即光掩模版和中间掩模版）。在介绍光刻机或掩模版之前，把用以设计和描述操作光刻机的光学原理简要地说明一下。它们是讲明光掩模板和中间掩模版的基础。 在讨论光学原理之前，有必要介绍一下微光刻硬件的关键。那就是把图形投影到硅表面的机器和掩模版的最重要的特征：a)分辨率、b)图形套准精度、c)尺寸控制、d)产出率。 通常，分辨律是指一个光学系统精确区分目标的能力。特别的，我们所说的微图形加工的最小分辨率是指最小线宽尺寸或机器能充分打印出的区域。然而，和光刻机的分辨率一样，最小尺寸也依赖于光刻胶和刻蚀的技术。关于分辨率的问题将在微光刻光学一章中更彻底的讲解，但要重点强调的是高分辨率通常是光刻机最重要的特性。 图形套准精度是衡量被印刷的图形能“匹配”前面印刷图形的一种尺度。由于微光刻应用的特征尺寸非常小，且各层都需正确匹配，所以需要配合紧密。

微光刻尺寸控制的要求是以高准度和高精度在完整硅片表面产生器件特征尺寸。为此，首先要在图形转移工具〔光刻掩模版〕上正确地再造出特征图形，然后再准确地在硅片表面印刷出〔翻印或刻蚀〕。 加工产率是重要但 不是最重要加工特征。例 如，如果一个器件只能在 低生产率但高分辨率的 光刻机制版，这样也许仍 然是经济的。不过，在大 部分生产应用中，加工和 机器的产率是很重要的， 也许是选择机器的重要因素之一。 1.微光刻光学 在大规模集成电路的制造中。光刻系统的分辨率是相当重要的，因为它是微器件尺寸的主要限制。在现代化投影光刻机中光学配件的质量是相当高的，所以图形的特征尺寸因衍射的影响而受限制，而不会是因为镜头的原因(它们被叫做衍射限制系统)。因为分辨率是由衍射限度而决定的，那就必须弄明白围绕衍射限度光学的几个概念，包括一致性、衍射、数值孔径、调频和许多重要调节转换性能。下几节的目的就是要简要和基本地介绍这些内容。参考资料1·2讲得更详细。 衍射·一致性·数值孔径和分辨率 图（1）：一束空间连续光线经过直的边缘时的光强 a)依据几何光学b)散射

高压开关柜的型号区别及特点

高压开关柜的型号区别及特点 目前市场上流行的开关柜型号很多,归纳起来有以下几种型号,现把各种型号的开关柜型号及其优缺点列举如下,供大家参考: 一.型号GG-1A(F),JYN,HXGN,XGN,KYN柜介绍 GG-1A(F)系列: 产品型号及含义 GG------A(F) 防误型电路配电方案 企业型号 固定式 封闭式开关柜 GG-1A型高压开关柜为固定式 GG-1A(F)型防误型高压开关柜(固定式具有防误装置的高压开关柜) 用途 GG-1A型高压开关柜为固定式,用于工矿企业变,配电站的交流50HZ,3-10KV的三相单母线系统中,接受和分配电能之用. GG-1A(F)型防误型高压开关柜系固定式具有防误装置的高压开关柜,适用于交流50Hz,额定电压3.6KV,10KV,额定电流最大至1000A,额定开断电流最大至31.5kA的单母线系统中作为接受或分配电能的户内成套配电高压设备. 本柜柜体宽敞,内部空间大,间隙合理,安全,具有安装,维修方便,运行可靠等特点,主回路方案完整,可以满足各种供配电系统的需要. 结构特点

GG-1A型高压开关柜系开启式,基本骨架结构用角钢焊接而成,前面板用薄钢板压制而成,柜后无保护板,柜内用薄钢板隔开,柜的上部为断路器室,下部为隔离开关室,具有程序封锁功能,使用安全可靠.具有五种防止误操作的功能: 1.防止带负荷分合隔离开关. 2.防止误入带电间隔. 3.防止误分,合断路器. 4.防止带电挂接地线. 5.防止带接地线合闸. XGN系列 产品型号及含义 用途 XGN箱型固定式金属封闭开关设备(简称开关柜),主要用于电压为3KV,6KV,10KV,频率为50HZ的三相交流电力系统中电能的接受与分配.本系统具有可靠的"五防"闭锁功能,性能可靠,可广泛用于高压电动机的起动,投切运行等场合. 结构特点 XGN15-12型环网柜采用金属封闭箱式结构,主开关与柜体为固定安装,主回路系统的各隔室均有压力释放装置和通道,各隔室均可靠接地,而且封闭完善,外壳防护等级达到IP3X.开关室内装有FL(R)N36-12D型三工位负荷开关,该负荷开关的外壳为环氧树脂浇注而成,内充六氟化硫(SF6)气体. :XGN2―10箱型固定式交流金属封闭开关设备(简称开关柜)用于3.6KV,10KV三相交流50Hz系统中作为接受和分配电能之用的户内成套配电设备,具有对电路控制保护和监测等功能.其母线系统为单母线及单母线带

(完整word版)10KV高压开关柜母联备自投的工作原理是什么

10KV高压开关柜母联备自投的工作原理是什么？和操作规程？ 母联备自投用于两路电源的自动快速互投。一般用在双电源系统中，两台进线电源柜供电时母联不投入，在一路电源进线停电时分断，并可自动投入母联开关，实现让一路电源带系统的所有设备。 备自投动作过程为，两路进线开关柜中，当检测到本侧电源失压，备自投保护启动跳本侧开关，确认本侧开关跳开后，同时检测两侧电源进线侧电压，有一侧电压大于70V（相当于7kV），则合母联开关。备自投保护必须在充电完成后才能动作，而充电完成的条件就包括母联开关处于工作位置、处于分闸位置、两侧至少一侧电源大于70V、进线开关有电且进线开关处于合位。 采用综合继保装置后，这些功能可以自动实现。如果不用自投则需要明确的操作规程，比如检某进线开关电源电压，确认无压后分该进线开关，检另一进线电源电压，确认母联开关位置，正常后合母联开关。（有些系统还需要考虑二次回路中的电压信号切换）。 为什么10kV备自投动作，要切母线上的电容器，再合母联开关 2007-1-20 23:40 提问者：tmp_hv|浏览次数：3906次 为什么10kV备自投动作，要切母线上的电容器，再合母联开关？ 切电容器是防止过电压吧。 电力系统中的“备自投装置”是什么？什么原理？有什么作用？ 随着我国人民生产生活的现代化程度日益提高，人们对电力的需求和依赖程度也在倍增，对电能质量的要求也更加严格，供配电在各个领域也不断向自动化、无人值守、远程控制、不间断供电的目标迈进。有些电力用户尤其对不间断供电的要求显得更加突出。我国的电力供应主要还是依靠国家电网供电，电力缺口也在不断增大，尤其在用电高峰期缺电现象严重，为此很多大型企业便自建电厂或配备发电机，因此各种电源的相互切换，保证电源的不间断供电和供电的高可靠性成了现代配电工程中保护和控制回路的重要部分。在GB50062 《电力装置的继电保护和自动装置设计规范》中的第十一章也明确规定了备用电源和备用设备的自动投入的具体要求。 微机线路备自投保护装置使系统自动装置与继电保护装置相结合，是一种对用户提供不间断供电的经济而又有效的技术措施，它在现代供电系统中得到了广泛的应用。在此只对微机线路备自投保护装置在电力系统中两种备自投方式和基本原理进行探讨。

Nikon光刻机对准系统功能原理

Nikon光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准，其标记的对准精度能达到±0.4μm （正态分布曲线的3σ值）。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次，而对准精度直接影响硅片的套刻精度，所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围，它在X方向和Y方向都只能扫描±44μm，所以硅片被传送到工件台上进行对准之前，需要在预对准工件台上先后完成两次对准，即机械预对准和光学预对准，以便满足精细对准的捕捉范围。注意：本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成：照明（对准光源）部分，双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示，在图中可以看出，对准系统中用了两个完全相同的光路，这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同，所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中，照明部分的主要部件就是激光发射器，它产生波长为633nm的线性极化光，避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光（硅片曝光用的光为紫外光）。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元，该激光将从双折射单元底部射出，通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上；而经过硅片表面的反射后由原路返回，第二次经过双折射单元，由双折射单元的顶部射出，再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内，硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后，将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象，Q-CELL光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号，由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示，标记分为四个象限，每个象限有8μm或8.8μm的对准条，其中有两个象限的对准条用来对准X向，另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限，当在Q-CELL检测器的每一个单元中，两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候，就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束，一束激光将通过调制器到达Q-CELL光电检测器，而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准，但是由于它们是同步的，彼此之间几乎看不到有何不同，所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是： 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动：该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号，其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理：在对准的时候，工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动，进行X轴向对准，当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时，将产生一个对准电信号，该信号以中断信号的形式输入计算机，X向对准的两个象限光栅都将产生其各自的中断信号。当产生中断信号的同时，计算机将记录下此时工件台的位置。在X向对准的时候，一个标记中两个象限的光栅同时参与，在每个象限中光栅条纹之间的间距是一个恒定的常数，但是这两个象限的光栅条纹间距并不相同，如图2所示。在对准扫描的过程中，每一个象限中的每一条光栅条纹都将会产生各自的一个中断信号，由于两个象限的光栅条纹间距不同，所以在扫描的时候只能有一个点将同时产生两个中断信号，而这个点就是在X

光刻机的技术原理和发展趋势

光刻机的技术原理和发展趋势 王平0930******* 摘要： 本文首先简要介绍了光刻技术的基本原理。现代科技瞬息万变，传统的光刻技术已经无法满足集成电路生产的要求。本文又介绍了提高光刻机性能的关键技术和下一代光刻技术的研究进展情况。 关键字：光刻；原理；提高性能；浸没式光刻；下一代光刻 引言： 光刻工艺直接决定了大规模集成电路的特征尺寸，是大规模集成电路制造的关键工艺。作为光刻工艺中最重要设备之一，光刻机一次次革命性的突破，使大模集成电路制造技术飞速向前发展。因此，了解光刻技术的基本原理，了解提高光刻机性能的关键技术以及了解下一代光刻技术的发展情况是十分重要的。本文就以上几点进行了简要的介绍。 光刻技术的基本原理： 光刻工艺通过曝光的方法将掩模上的图形转移到涂覆于硅片表面的光刻胶上，然后通过显影、刻蚀等工艺将图形转移到硅片上。 1、涂胶 要制备光刻图形，首先就得在芯片表面制备一层均匀的光刻胶。截止至2000年5月23日，已经申请的涂胶方面的美国专利就达118项。在涂胶之前，对芯片表面进行清洗和干燥是必不可少的。目前涂胶的主要方法有：甩胶、喷胶和气相沉积，但应用最广泛的还是甩胶。甩胶是利用芯片的高速旋转，将多余的胶甩出去，而在芯片上留下一层均匀的胶层，通常这种方法可以获得优于+2%的均匀性（边缘除外）。胶层的厚度由下式决定： 式中：F T为胶层厚度，ω为角速度，η为平衡时的粘度，ρ为胶的密度，t为时间。由该式可见，胶层厚度和转速、时间、胶的特性都有关系，此外旋转时产生的气流也会有一定的影响。甩胶的主要缺陷有：气泡、彗星（胶层上存在的一些颗粒）、条纹、边缘效应等，其中边缘效应对于小片和不规则片尤为明显。

高压开关柜的型号区别及特点

高压开关柜的型号区别及特点 2011-12-07 09:46:02| 分类： |字号订阅 目前市场上流行的开关柜型号很多,归纳起来有以下几种型号,现把各种型号的开关柜型号及其优缺点列举如下, 供大家参考: 一 . 型号GG-1A（F）、JYN、HXGN、XGN、KYN柜介绍 ①GG-1A（F）系列: l 产品型号及含义 G G ------ A（F） 防误型电路配电方案 企业型号 固定式 封闭式开关柜 GG-1A型高压开关柜为固定式 GG-1A(F)型防误型高压开关柜（固定式具有防误装置的高压开关柜） l 用途 GG-1A型高压开关柜为固定式，用于工矿企业变、配电站的交流50HZ，3-10KV的三相单母线系统中，接受和分配电能之用。 GG-1A(F)型防误型高压开关柜系固定式具有防误装置的高压开关柜，适用于交流50Hz，额定电压3.6 KV、10KV，额定电流最大至1000A，额定开断电流最大至31.5kA的单母线系统中作为接受或分配电能的户内成套配电高压设备。 本柜柜体宽敞，内部空间大，间隙合理、安全，具有安装、维修方便，运行可靠等特点，主回路方案完整，可以满足各种供配电系统的需要。 结构特点 GG-1A型高压开关柜系开启式，基本骨架结构用角钢焊接而成，前面板用薄钢板压制而成，柜后无保护板，柜内用薄钢板隔开，柜的上部为断路器室、下部为隔离开关室，具有程序封锁功能，使用安全可靠。具有五种防止误操作的功能：

1．防止带负荷分合隔离开关。 2．防止误入带电间隔。 3．防止误分、合断路器。 4．防止带电挂接地线。 5．防止带接地线合闸。 ②XGN系列 l 产品型号及含义 l 用途 XGN箱型固定式金属封闭开关设备（简称开关柜），主要用于电压为3KV、6KV、10KV，频率为50HZ的三相交流电力系统中电能的接受与分配。本系统具有可靠的“五防”闭锁功能，性能可靠，可广泛用于高压电动机的起动、投切运行等场合。 l 结构特点 XGN15-12型环网柜采用金属封闭箱式结构，主开关与柜体为固定安装，主回路系统的各隔室均有压力释放装置和通道，各隔室均可靠接地，而且封闭完善，外壳防护等级达到IP3X。开关室内装有FL(R)N36-12D型三工位负荷开关，该负荷开关的外壳为环氧树脂浇注而成，内充六氟化硫（SF6）气体。 :XGN2—10箱型固定式交流金属封闭开关设备(简称开关柜)用于3.6KV，10KV三相交流50Hz系统中作为接受和分配电能之用的户内成套配电设备，具有对电路控制保护和监测等功能。其母线系统为单母线及单母线带旁路母线，并可派生出双母线结构。 本开关柜符合国家标准GB3960《3-35KV交流金属封闭开关设备》及国际标准IEC298的要求，并具有一套完善的性能可靠，功能齐全、结构简单、操作方便的机械式防误闭锁装置，简便而有效的达到两部提出的“五防”闭锁功能。 开关柜的主开关采用SNl0—10型系列少油断路器及ZN28A—10型系列真空断路器。断路器配用CDl0系列电磁橾动机构或CT8弹簧操动机构；真空断路器也可配用CDl7系列电磁操动机构、CTl7或CT19B弹簧操动机构。隔离开关采用GN30—10旋转式隔离开关系列产品。 ③HXGN系列: l 产品型号及含义 H XGN ------ A（F） 电路配电方案

高压开关柜的组成部分以及所需要的元器件

高压开关柜的组成部分以及所需要的元器件 开关柜应满足GB3906-1991"3-35 kV交流金属封闭开关设备"标准的有关要求，由柜体和断路器二大部分组成，开关柜具有架空进出线、电缆进出线、母线联络等功能。柜体由壳体、电器元件(包括绝缘件)、各种机构、二次端子及连线等组成。 1.柜体的材料: 1)冷扎钢板或角钢(用于焊接柜); 2)敷铝锌钢板或镀锌钢板(用于组装柜). 3)不锈钢板(不导磁性). 4)铝板((不导磁性). 2.柜体的功能单元： 1)主母线室(一般主母线布置按“品”字形或“1”字形两种结构 2)断路器室 3)电缆室 4)继电器和仪表室 5)柜顶小母线室 6)二次端子室 柜内所用到的电器元件 1. 柜内常用一次电器元件(主回路设备)常见的有如下设备： 电流互感器简称CT[如：LZZBJ9-10] 电压互感器简称PT[如:JDZJ-10] 开关柜

接地开关[如:JN15-12] 避雷器(阻容吸收器)[如:HY5WS单相型;TBP、JBP组合型] 隔离开关[如:GN19-12、GN30-12、GN25-12] 高压断路器[如：少油型(S)、真空型(Z)、SF6型(L)] 高压接触器[如：JCZ3-10D/400A型] 高压熔断器[如：RN2-12、XRNP-12、RN1-12] 变压器[如:SC(L)系列干变、S系列油变] 高压带电显示器[GSN-10Q型] 绝缘件[如:穿墙套管、触头盒、绝缘子、绝缘热缩(冷缩)护套] 主母线和分支母线 高压电抗器[如串联型:CKSC和起动电机型:QKSG] 负荷开关[如:FN26-12(L)、FN16-12(Z)] 高压单相并联电容器[如:BFF12-30-1] 等等 2. 柜内常用的主要二次元件(又称二次设备或辅助设备，是指对一次设备进行监察、控制、测量、调整和保护的低压设备),常见的有如下设备:继电器，电度表，电流表，电压表，功率表，功率因数表，频率表，温湿度监控器，熔断器，空气开关，转换开关，信号灯，电阻，按钮，开关柜智能操控装置，微机综合保护装置，开关柜在线测温装置等等。

nikon光刻机

光刻机就是一台大照相机，带光刻胶的wafer就是底片，reticle上的图形就是风景，光源（汞灯或者激光）就是太阳光，当快门打开，光投射到reticle上，经过镜头的投射，就在wafer上成像了。和照相机不一样，每个风景只要拍一次就好了，reticle上的图形要拍很多次，要把整个wafer布满才算曝光结束。 从我熟悉的nikon光刻机说起：NIKON曾经是半导体行业的光刻之王，全世界80%的stepper都是nikon的，但是光刻机并不是日本人最先发明的，最早的大概是美国的GCA了，NIKON顶多算是GCA儿子。日本人是比较精明，他们买了一台GCA，把它拆开来仔细研究，在GCA的基础上进行了改进，再加上自己的优势->镜头（NIKON本来是军工企业，给小日本做潜艇望远镜的），推出了G4 （G4是我所知道的最老的型号的NIKON stepper了，不知道有没有G1-G3，如果有，我相信保有量也不是特别大，应该不是特别成熟）。紧接着G6, G7和G8的推出，把NIKON推入到巅峰时刻。那个时候全世界只知道NIKON，ASML和Canon 那时候根本不是对手。可以说在stepper上，NIKON是最大的赢家。随着技术的推进，stepper 已经跟不上时代的发展，大家开始往scanner上发展了，随着ASML推出创新的TWINSCAN，靠着产能的优势，一举打败了nikon，夺走了光刻机老大的地位，而且从那以后，NIKON一直没能翻身，市场被一点点蚕食，再也没有往日的辉煌了。 聊了一点历史，有些也是道听途说，不过大部分应该是真的，如果哪位兄弟了解得更详细，可以分享出来，让大家长长见识。CANON没接触过，据说12寸的STEPPER比较有市场，HYNIX用的就是CANON+ASML。 NIKON光刻机的主要组成部分:其实大部分光刻机组成都是一样的，一般分为：照明系（光源+产生均匀光的光路），STAGE（包括RETICLE STAGE和WAFER STAGE)，镜头（这个是光刻机的核心），搬送系（wafer handler+ reticle handler)，alignment （WGA, LSA, FIA)。另外半导体的工作温度是23度，要保证wafer在恒温和无particle的环境，一个chamber是必须的。 下面就是说一说各个组成部分怎么来进行工作的，可能有些地方说的不对，毕竟有一段时间没有去搞过它了，希望各位谅解。 照明系：顾名思义，用来照明的系统，光刻机的原理就是用光来投射到reticle上产生衍射，然后镜头收集到光汇聚到wafer上，形成图形，所以光是产生图形的必要条件。具体请翻阅一些工艺的相关资料，在这就不多说了。要有光首先要有光源，一般stepper都是用汞灯做光源，最早有1kw，2kw到最后发展到了5kw，越来越恐怖。后来为了提高分辨率，采用了新的光源：laser，分为Krf(248nm)和Arf（193nm)，laser也是不断在增加功率，现在最高的可以达到60kw级别了（相当恐怖的激光能量）。为什么要发展大功率的汞灯和激光呢？这是产能的需求，在相同的曝光量下，光源的功率越高，曝光需要的时间越少，这样单位时间里面产能越高。 汞灯发出的光向各个方向扩散，我们需要把光汇聚起来，打到大光强的目的，这时候一个椭圆镜是必须的了。我们知道椭圆有两个焦点，我们把光源放到一个焦点上，那么光就会聚到另外一个焦点上，那就是快门的位置。同时这个椭圆镜还有另外一个功能，吸收不需要的光线。这种镜子上有一层涂层，一般500nm以上的红外光不被反射，而是被吸收。这些光会被产生热量，所以装汞灯的地方一定需要一个散热的东西，功率小一点的就用风扇吹，功率大的话就水冷了。 反射出来的光也不是全部需要的，我们只需要365nm（I-line）或者436nm（G-line）的波长，别的波长的光也是要淘汰的，这时候filter就上场了，它的作用就是过滤掉不要的东西，只让需要的波长的光通过。 激光作为光源就不需要上面的这些东西了，因为从激光器里面出来的光已经是很纯的

高压开关柜结构

高压开关柜结构 、KYN高压开关柜（出线柜）结构 KYN高压开关柜由固定的柜体和真空断路器手车组成。就开关柜而言，进线 柜或出线柜是基本柜方案，同时有派生方案，如母线分段柜、计量柜、互感器柜等。此外，尚有配置固定式负荷开关、真空接触器手车、隔离手车等方案。本章以出线柜（如图1）为例说明KYN开关柜结构：外壳隔板、面板、断路器室、断 路器手车、母线室、电缆室、低压室和联锁/保护等等。 A、母线室 B、断路器室 C、电缆室 D、低压室 1、母线 2、绝缘子 3、静触头 4、触头盒 5、电流互感器 6、接地开关 7、电缆终端 8、 避雷器9、零序电流互感器10、断路器手车10.1、滑动把手10.2、锁键（联到滑动 、接地排17、二次插头17.1联锁杆18、压力释放板19、 20.1、小车锁定把手20.2、调节螺栓20.3、锁舌 1.外壳和隔板 开关柜的外壳和隔板由优质钢板制成，具有很强的抗氧化、耐腐蚀功能，且 刚度和机械强度比普通低碳钢板高。三个高压室的顶部都装有压力释放板。出现 内部故障时，高压室内气压升高，由于柜门已可靠密封，高压气体将冲开压力释 n口匚 : 匚0s n KYN进线或出线柜基本结构剖面图 图1 1; Da C 4] 血a X0. 1 10.2 二 20.] 2(X2 2D. 3 把手）11、控制和保护单元12、穿墙套管13、丝杆机构操作孔14、电缆夹15.1 电缆密封圈15.2、连接板16 起吊耳20、运输小车

精品文档 放板释放出来。相邻的开关柜由各自的侧板隔开，拼柜后仍有空气缓冲层，可以防止开关柜被故障电弧贯穿熔化。低压室D装配成独立隔室，与高压区域分隔开。 隔板将断路器室B和电缆室C隔开，即使断路器手车移开（此时活门会自动关闭），也能防止操作者触及母线室A和电缆室C内的带电部分。卸下紧固螺栓就可移开水平隔板，便于电缆密圭寸终端的安装。 2.开关柜面板 开关柜面板分为二部分：仪表门，开关仪表门。仪表门主要完成仪表检测、带电检测、信号灯监视和就地电气操作；开关仪表门主要完成开关接地开关的就 地机械操作。 >9 一W 11 图2开关柜面板 1仪表；2电磁分合闸按钮；3机械分合闸按钮；4名牌；5丝杆机构手柄插口；6观察窗; 7柜内照明开关；8高压带电显示；9指示灯；10电气接线图；11接地开关操作插 3.断路器室 断路器手车装在有导轨的断路器室B内，可在运行、试验（隔离）两个不同位置之间移动。当手车从运行位置向试验（隔离）位置移动时，活门会自动盖住静触头，反向运行则打开。手车能在开关柜门关闭的情况下操作，通过门上的观察窗可以看到手车的位置、手车上的0N（断路器合闸）/OFF （断路器分闸）按钮、合分闸状态指示器和储能/释放状况指示器。 2

10KV高压开关柜原理

10KV高压开关柜原理 1、环网柜概述 1.1什么叫环网柜 环网柜是一组高压开关设备装在钢板金属柜体内或做成拼装间隔式环网供电单元的电气设备，其核心部分采用负荷开关和熔断器，具有结构简单、体积小、价格低、可提高供电参数和性能以及供电安全等优点。 实际上，如果柜型按照开关设备分类，有负荷开关柜、断路器柜、GIS等，并无环网柜。环网柜是一个约定俗成的叫法，原指的是负荷开关柜用于环网式供电，现在经常被人当作负荷开关柜的代名词，而不管是否被用于环网式供电，如有些线路要合环运行（俗称手拉手），或有可能进行负荷割接（将一条线上的负荷切换到另一条线上）实现这些功能的配电柜就叫环网柜。故环网柜是一种能实现环网供电的开关设备，常用于环网供电系统，故俗称环网柜，也称“户外箱式环网柜”、“开闭器”。 负荷开关柜可以用于环网式供电、中压分界室派接、中压末端变电室供电，各地区供电部门对允许使用负荷开关加熔断器保护的变压器的规格要求不一，象北京一般要求变压器容量不大于1000KVA，深圳地区可能是1600KVA。负荷开关柜构造简单，成本较低，体积较小，多数可以靠墙安装，一般只有熔断器保护而无继电保护。负荷开关柜主母线载流量一般小于等于630A，负荷开关额定开断电流一般小于等于630A（少数达到1700A），变压器柜（出线柜）额定电流（熔断器）一般不大于125A，高档负荷开关的转移电流可以达到2800A。部分负荷开关柜可以安装专用真空断路器、SF6 断路器或采用压气等灭弧方式，短路分断能力接近或达到开关柜水平。 环网柜用于分合负荷电流，开断短路电流及变压器空载电流，一定距离架空线路、电缆线路的充电电流，起控制和保护作用，是环网供电和终端供电的重要开关设备。 环网柜根据气箱结构分为共箱式与单元式；根据整体结构分为美式与欧式；根据绝缘材料分为固体绝缘式、空气绝缘式与SF6气体绝缘式；根据户内外分户内环网和户外环网。

高压开关柜组成及分类

高压开关柜组成及分类 高压开关柜是指用于电力系统发电、输电、配电、电能转换和消耗中起通断、控制或保护等作用，高压开关柜按电压等级在3.6KV～550KV的电器产品，高压隔离开关与接地开关、高压负荷开关、高压自动重合与分段器，高压操作操作结构、高压防爆配电装置和高压开关柜等几大类。 一、开关柜的组成 开关柜应满足GB3906-1991?3-35KV交流金属标准封闭开关设备?标准的有关要求。通常高压开关柜是指由高压断路器、负荷开关、接触器、高压熔断器、隔离开关、接地开关、互感器及站用电变压器，以及控制、测量、保护、调节装置，内部连接件、辅件、外壳和支持件等组成的成套配电装置。柜内空间以空气、复合绝缘材料或SF6气体等绝缘物质作为介质，用作接受和分配电网的三相电能的装置。 1.柜体材料 a)冷轧钢板或角钢（用于焊接柜） b)敷铝锌钢板或镀锌钢板（用于组装柜） c)不锈钢板（不导磁性） d)铝板（不导磁性） 2.柜体功能单元，如图示-1 a)主母线室（一般主母线布置按“品”字形或“1” 字形两种结构），见部位A b)断路器室,见B位置 c)电缆室，C标示位置 d)继电器和仪表室，D位置 e)柜顶小母线室 3.电器元件 序号元件示例型号 1 电流互感器CT LZZBJ9-10 2 电压互感器PT JDZ-10 3 接地开关JN15-12 4 避雷器HY5WS单相型，TBP、JBP组合型 5 隔离开关GN19-12 6 高压断路器少油型（S）；真空型（Z）；SF6型（L） 7 高压接触器JCZ3-10D/400A 8 高压熔断器RN2-12 9 变压器SC(L)系列干变；S系列油变 10 高压带电显示器DXN-Q型 11 绝缘件穿墙套管、触头盒、绝缘子、绝缘热缩护套 12 高压电抗器串联型CKSG和启动电动机型QKSG 13 负荷开关FN26-12(L) 14 高压单相并联电容器BFF12-30-1 柜内常用的二次元件，常见的如下