真空镀膜机操作指导
真空镀膜实验指导
真空镀膜常用的方法有蒸发镀膜、射频溅射镀膜和离子镀膜等。本实验通过介绍蒸发镀膜原理，掌握蒸发镀膜的操作方法。真空镀膜技术在电真空、无线电、光学、固体物理、原子能和空间技术中有广泛的应用。
1真空镀膜原理：
1.1蒸发镀膜机理
蒸发镀膜是真空镀膜的一种，它是在高真空条件下将物质加热到沸腾状态，沸腾出来的原子或分子溅落在固体材料表面，形成一层或多层膜的方法。凡是在沸腾温度下不分解或不变性的物质都可以用此法蒸镀成膜。
蒸发原子的成膜过程比较复杂，这里只能粗略描述如下：溅落原子首先被固体表面吸附，当表面温度低于某一临界温度时，原子开始“核化”——部分原子凝聚成团，出现若干“岛”，然后这些“岛”逐渐吸收周围的原子而长大，众多的“岛”相互连接成一片而成一块连续的膜。蒸发镀膜的条件主要有两个，分别介绍如下：
1.2高真空
我们希望蒸发出来的原子或分子不要受空气分子的阻挡而直接溅落到固体的表面，这样，蒸发镀膜的速度高，成膜质量也好。相反，如果真空度低，有大量的空气分子存在，一方面，蒸发出来的原子或分子与空气分子碰撞，阻碍了膜材分子的扩散，降低了蒸镀的速度，影响了膜的均匀性，另一方面，空气的导热使得膜材的温度不能很快地升高，必然要加大加热功率；更有甚者，空气的存在可能使膜材的某些成分氧化，引起成分变性；在连接着抽气机的情况下，若不能很快完成镀膜，膜料将被抽走。因此，蒸发镀膜需要在高真空条件下进行。当然，真空度也不需要绝对地高。事实上，只要分子的平均自由程大于膜材到基底的距离即可。如果膜材到基底的距离为10 --20cm，根据自由程公式
（d是分子的直径，n是分子数密度）
不难估计真空度在Pa以上就可以满足要求。
1.3材料洁净
材料的洁净包括膜料的洁净和基底材料的洁净。这一要求似乎是不言而喻的。如果材料中混有颗粒状或纤维状的杂质，将直接影响膜的均匀性和牢固度；如果混有可融的化学成分，将
影响膜的物理性质，如亮度、表面张力、电导率等等。所以，膜材和基底的清洗工作必须认真对待。
2真空技术
获得真空需要使用真空泵。测量真空度需要使用真空计。真空泵和真空计的种类都很多，本实验的主要目的：（1）了解真空泵、真空计的工作原理；（2）掌握低真空、高真空的获得、测量与检漏的基本方法。
2.1真空的获得
目前，在实验室中广泛使用着机械泵、油扩散泵、吸附泵和离子泵来获得真空，下面依次介绍它们的原理。
2.1.1机械泵
机械泵是利用机械旋转造成吸气和排气过程，以获得真空。常用的是旋片式机械泵，它的主要结构见图4-1-1，由定子、转子、旋片、弹簧等组成。转子在电机的带动下转动，转子的外表面与定子的内表面在图中的A点相切，转子槽内装有带弹簧的旋片，旋转时靠离心力和弹簧的张力使旋片的顶端与定子内壁始终紧密接触。当转子按图中方向旋转时，同时完成吸气和排气过程。排气阀采用油封，油在工作室的内表面形成油膜，有利于润滑和A点的密封，但同时也会形成油的蒸汽压，限制了机械泵的极限真空度，并有可能污染真空系统。为了防止油污染，应特别防止气体倒流，例如，当系统工作一段时间后需要停机，应先关断进气管上的阀门，保持抽气状态，然后给进气管放气，最后才能给机械泵断电。
机械泵的极限真空度约为10-1Pa，它主要由机械泵油的饱和蒸汽压和泵的机械加工精度决定的。当达到极限真空度时，抽气和漏气的速度相等，真空度不再变化。如果将两个机械泵结合起来，可以将真空度再提高一个数量级。
2.1.2油扩散泵
油扩散泵比机械泵能获得更高的真空度，它的工作压力范围是10-1 ~ 10-6Pa，起始压力正好是机械泵的极限压力，因此，油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵，将真空度抽到10-1Pa
后才能开扩散泵。
油扩散泵是利用气体的扩散性质制作的，结构原理见图4-1-2 ，其结构主要由泵体、喷嘴、导流管、冷却水套和加热器等部分组成。在10-1Pa的真空下，将扩散泵油（一种低蒸汽压的高分子物质）加热到沸腾温度，产生大量油气，经导流管高速喷出，把由进气口扩散来的气体夹带着喷向下方；油气被泵体冷凝，重新变成油，返回蒸发器，并释放出夹带的气体，气体被机械泵抽走，而油又被重新加热循环，如此反复，达到连续抽气的目的。为了防止气体扩散返回，往往需要多级喷嘴，例如2~3级。
扩散泵在加热前要先通冷却水，关机前要断开加热炉的电源，冷却20分钟以后再关冷却水，然后关上通往机械泵的阀门，最后停止机械泵的工作。如果让热的油和油气遇到大量的空气，油就会被氧化而变性，不能达到10-6Pa的真空度。
2.2真空的测量
测量真空度的设备或仪器叫真空计。通过使用真空计，我们才能知道需要的真空度是否达到了。但是，真空度的范围是很宽的，达十几个数量级，不可能由一个或一种真空计完成这样大范围的真空度测量，所以，各种真空计都有一个测量范围，将有范围覆盖的各种真空计组合起来，完成大范围的真空度测量。下面介绍常用的几种真空计。
2.2.1热电偶真空计
这种真空计是利用气体分子的热传导性质，通过热电偶产生的电动势来测量真空的。热电偶真空计的原理见图4-1-3，一端开口的玻璃壳的开口端与真空室相接，玻璃壳内的真空度与真空室内的真空度相同，外电路给加热丝通电，热电偶的一个结点与加热丝焊接或压接在A点，结点的温度与加热丝的温度相同。在恒定的电流下，加热丝的温度高低取决于玻璃壳内的气体压强（即真空度），压强越大，气体传导热量越多，加热丝的温度越低，毫伏表测量出的热电动势越小；相反，压强越低，气体越稀薄，气体传导热量越少，加热丝的温度升得越高，毫伏表测量出的热电动势越大。但是，气体的压强与毫伏表的读数之间的关系是很复杂的，不能直接计算，只能用绝对压强计（绝对真空计）校准，校准曲线用图4-1-4表示。热电偶真空计的测量范围是10 ~ 10-1Pa。
2.2.2热阴极电离真空计
电离真空计由电离规管和测量电路组成，电离规管类似于一个电子三极管，由阴极（灯丝）、栅极和板极（收集极）组成，其结构见图4-1-5，图4-1-6是电离规管和测量电路的连接方法。该真空计的工作过程可以描述如下：灯丝通电发热，发射电子，电子被栅极的正偏压加速而获得能量，与栅极和阴极之间的气体分子碰撞使分子电离；电子被栅极所吸收，形成栅极电流；正离子被阴极和板极之间的电压加速而飞向板极，形成板极电流。板极电流的大小取决于电子在阴极和栅极之间碰撞分子使其电离的数目，该数目正比于气体的浓度即气体的压强，所以，板流与气体的压强成正比，通过校准比例系数（该系数与气体的种类有关），就可以用板流指示真空度。普通电离真空计的测量范围是10-1 ~ 10-6Pa，经改进，电离真空计能测量到10-11Pa。
如果将热偶真空计和电离真空计结合起来，可以测10 ~ 10-6Pa的真空度，能满足很多情况下的测量要求。这种组合起来的真空计使用得非常多，例如FZH —1和FZH – 2复合真空计等，现对FZH—2B 复合真空计作些介绍。
FZH—2B复合真空计的测量范围是：
热偶计：1.3×101 ~ 1×10-1Pa
电离计：1×10-1 ~ 6.65×10-6Pa
它的面板见图4-1-7，能外连两个热偶规管（V1和V2）和一个电离规管，两个热偶规管的真空度通过一个电表来轮流测量，电离规管的真空度通过另一个电表来测量。对每个热偶规管可进行“加热”和“测量”两种操作，有两种情况可以使用“加热”操作，一是在新的规管还没有开封时（内部真空度达10-2 ~ 10-3Pa）进行的，将新的规管用电缆连接到背面的相应插孔上，垂直放置，按下电源按钮，将转换开关置于“测量”位置，调节“电流调节”使电表满偏，持续3分钟，将转换开关置于“加热”位置，从电表的第三行刻度读取加热电流，反复测定三次，此电流即为热偶规管的工作电流，标在管座上；二是在一般测量中，将转换开关置于“加热”，可以检查工作电流的变化情况，如果有变化，通过“电流调节”旋钮将电流校正到工作电流。在测定完工作电流后，热偶规管才能开封，与要测量的系统进行密封连接。电离计的规管用五芯电缆与仪器背面的插孔连接，带鳄鱼夹子的线与规管的收集极相连，有香蕉插头的一端与仪器背面的接线柱相连。电离计要在真空度高于10-1Pa后才能使用，按下灯丝开关，预热10分钟后就可以测量真空度了。要先从10-1档位开始测量，依次使用10-2、…、10-5的档位。如果电离规管需要除气，则先将量程开关置于10-1档，关闭灯丝，按下“除气”按钮，持续10 ~15分钟即可；断开“除气”开关，打开“灯丝”开关，即可进行测量。
3仪器与装置
自制玻璃真空系统如图4-1-8 ，FZH-2B复合真空计，ZX系列旋片式机械泵，GHZ—3型高频火花测定仪，电吹风机等。
在图4-1-8中机械泵连接两路系统：（1）一路经三通I、二通II，与容器V3连接，容器V3上有几处漏气的地方，所以该路系统用来专做检漏实验。（2）另一路有三通I、扩散泵通向容器V1，而容器V1经三通II通过流导G1或G2的管道通向V2。容器V1和V2的压强分别由DL—2a 和DL—2b规管来测量，流导G1、G2的管道尺寸是不同的，所以三通II通向G1和G2时管道两端
的动态压强差（）是不一样的。DL—2是热电离真空规管，是作用在高真空条件下高频加热内部金属零件，以达到金属零件去气之目的。
实验室常用的溅射仪如JS— 450A，其详细用法见说明书。
3.1蒸发镀膜的仪器与装置
3.1.1整体结构
图4-2-2画出了蒸发镀膜机的整体结构示意图，我们看到，由机械泵和油扩散泵组成的抽气系统给蒸发镀膜室抽气，由热偶规管和电离规管来检测真空度，通过蒸发器将膜材蒸发使基底材料镀膜。基底材料可以平放和立放。
3.1.2蒸发器
实验中用到的蒸发器很简单，是舟状的。
3.1.3机械泵和扩散泵
实验中使用的是油封旋片式机械泵，依靠转子带动旋片造成吸气和排气来抽真空。机械泵的极限真空度不高，一般为Pa。当需要较高的真空度时，需要将机械泵和油扩散
泵结合起来使用。油扩散泵有玻璃壳和金属壳两种。两种真空泵的工作原理见实验4—1，此处不再重复。
3.1.4复合真空计
复合真空计是由“热偶真空计”和“电离真空计”组成的，其中，热偶计测量的真空度较低，约为Pa，电离计测量的真空度较高，为Pa，二者合在一起可以测量Pa的真空度。
热偶计是根据气体对流导热性、借助温差电动势效应来间接测量真空度的，电动势与真空度之间是非线性关系。
电离计是用高速电子电离空气的办法来测量真空度的，空气越稠密，电离出来的正离子就越多，通过检测正离子流，可以测量真空度。离子流与真空度是线性关系。
两种真空计的详细结构和工作过程见实验4—1和仪器说明书。
4实验内容与方法
4.1对真空系统捡漏、观察辉光放电颜色，定性地判断系统的真空度，测量用机
械泵抽气时系统的近似真空度。
关闭活塞二通I，开动机械泵，三通I旋至与系统V3通，再打开二通II，用高频火花捡漏器对V3捡漏。漏孔找出后关闭二通II或用真空泥将漏孔封住。
观察记录系统内放电颜色，判断对应的真空度；用热偶计测量，检验判断之正确性。
测量用机械泵抽气时该部分真空系统的近似极限真空度。
4.2将系统抽至高真空；对系统内部的金属零件进行高频加热去气；测量不同流
导的管道对抽气的影响。
将三通I旋至与扩散泵通，让机械泵对扩散泵和高真空系统进行预抽气（此时三通II与G1或G2管道通皆可）；用热偶计进行测量，当系统真空度达到托时，接通
扩散泵冷却水（注意轻轻旋动水龙头，绝不可太快太猛，否则水量过大易损坏橡皮管）。
逐渐加热扩散泵（控制扩散泵加热电炉调压器分两次调节，第一次调到160伏，10分钟后调210伏，以后再根据扩散泵工作情况作适当地调整）。当系统真空度达到托时（热偶
计指针满刻度）改用电离计部分进行测量。
2．高频加热去气：当系统真空度达10-5托时，就可进行高温加热去气。将高频加热的负载线圈套在被加热零件之外（注意高频炉输出的两根对股线切忌相碰），开启高频炉进行加热去气。（高频炉的使用见使用说明书）。高频加热视零件除气的快慢应断续进行。金属零件加热至暗红色或桔红色为止。为去气彻底，加热可进行3～4次。
测不同导管的抽速：当活塞三通II通向管道G1和通向管道G2时，求三通II处的实际抽气速度率、。管道G1和G2的尺寸：G1长15cm，内径为1.2cm；G2长15cm，内径
为0.7cm（或由实验室具体给出）。管道两端的压强分别有DL—2a，dl—2b测得。具体操作由同学自行考虑。
实验结束时，首先停止电离计的工作，再停止扩散泵工作，待扩散泵冷却后（扩散泵底部不烫手），把三通I旋至断的位置，使扩散泵和真空系统处于真空状态。停止机械泵工作，把二通I旋至与大气通的位置，最后关闭扩散泵冷却水。
5注意事项
严格按照系统操作规程进行实验。
在旋动真空活塞时，不能用力过猛，旋动时用双手进行（一手护着活塞外壳，一手轻轻旋动），如旋转不动，可用吹风机适当加热。
玻璃扩散泵升温工作时，应先通冷却水，再逐步升温。
用复合真空计的电离计部分测量时，一定要在系统真空度高于托时进行，否则易烧坏电离计规管灯丝。
6思考与讨论
6.1为什么机械泵停止运转时要放气？
6.2扩散泵为什么要和前级泵联合使用？
6.3如果本实验所用热偶真空计预热丝电流未知，能否用本系统根据托
以后热丝温度将不随压强变化这一点，从实验中确定其数字呢？
6.4如果本实验真空系统正处在运行过程中，突然停电或停水，应如何处理？试
写出应急操作措施。
7参考资料
高学颜《近代物理实验》山东大学出版社1989年。
吴咏华等《近代物理实验》安徽教育出版社1987年。
真空镀膜机安全操作规程
真空镀膜机安全操作规程 一．开机前作到： 1.检查工作环境清洁、干净。 2.检查电线无破损，接地牢固。 3.检查真空室、镀膜转架及工位器具清洁、无油污。 4.机械泵、罗茨泵油位过半。 5.检查四只阀加注满3#真空脂，真空室转轴加注满3#真 空脂。 6.罗茨泵转轴处油杯加满机械泵油。 7.准备相关工位器具，适量J-7钨丝、ABOO型99.99％ 的铝丝。 8.接通水、气、电，气压0.5-0.6Mpa，水压0.3-0.4Mpa。二．操作要点： 1.通电，开启机械泵，3分钟后开启阀3，开扩散泵，预 热1-1.5小时。 2.镀膜转架装夹产品、铝丝、钨丝，转架进烘箱预热（温 度、时间符合工艺）。 3.开阀4，开启真空室，转架进真空室，卡销定位，试转 动平稳无异常振动。 4.关闭真空室，关阀4，关阀3，开阀2，开始抽气，开 启复合真空计。 5.当真空度达至-0.1Mpa时，开启罗茨泵。
6.当真空度达到1-1.5Pa（52-64格）时，关阀2，开阀3， 开阀1。 7.当真空度达到2×10-2Pa时，开启转动（转速符合工艺）， 分二次进行蒸镀（电压、时间符合工艺），蒸镀结束关 复合真空计。 8.停止蒸镀0.5-1分钟后关转动，关阀1，关罗茨泵。 9.开阀4，开真空室，拉出镀膜转架，取下成品，换装待 镀产品，装上铝丝，进行下次工作。 10.严守开关阀、泵的顺序步骤，防止损坏设备。 11.生产中注意产品安装到位牢固。 12.注意转架电极、紧固件是否松脱，及时加固补全。 13.及时更换断裂、积球、老化的钨丝。 三．关机及保养： 1.拉出转架后，关扩散泵，冷却1-1.5小时，后关阀3， 关机械泵。 2.关整机电源，关冷却水、关高压空气。 3.每星期检查清洁镀膜转架工装。 4.每三个月检查更换机械泵油。 5.每六个月检查更换罗茨泵油、扩散泵油。 制定：王思忠审批： 时间：2002.09.10 时间：
真空镀膜机操作指导
真空镀膜实验指导 真空镀膜常用的方法有蒸发镀膜、射频溅射镀膜和离子镀膜等。本实验通过介绍蒸发镀膜原理，掌握蒸发镀膜的操作方法。真空镀膜技术在电真空、无线电、光学、固体物理、原子能和空间技术中有广泛的应用。 1真空镀膜原理： 1.1蒸发镀膜机理 蒸发镀膜是真空镀膜的一种，它是在高真空条件下将物质加热到沸腾状态，沸腾出来的原子或分子溅落在固体材料表面，形成一层或多层膜的方法。凡是在沸腾温度下不分解或不变性的物质都可以用此法蒸镀成膜。 蒸发原子的成膜过程比较复杂，这里只能粗略描述如下：溅落原子首先被固体表面吸附，当表面温度低于某一临界温度时，原子开始“核化”——部分原子凝聚成团，出现若干“岛”，然后这些“岛”逐渐吸收周围的原子而长大，众多的“岛”相互连接成一片而成一块连续的膜。蒸发镀膜的条件主要有两个，分别介绍如下： 1.2高真空 我们希望蒸发出来的原子或分子不要受空气分子的阻挡而直接溅落到固体的表面，这样，蒸发镀膜的速度高，成膜质量也好。相反，如果真空度低，有大量的空气分子存在，一方面，蒸发出来的原子或分子与空气分子碰撞，阻碍了膜材分子的扩散，降低了蒸镀的速度，影响了膜的均匀性，另一方面，空气的导热使得膜材的温度不能很快地升高，必然要加大加热功率；更有甚者，空气的存在可能使膜材的某些成分氧化，引起成分变性；在连接着抽气机的情况下，若不能很快完成镀膜，膜料将被抽走。因此，蒸发镀膜需要在高真空条件下进行。当然，真空度也不需要绝对地高。事实上，只要分子的平均自由程大于膜材到基底的距离即可。如果膜材到基底的距离为10 --20cm，根据自由程公式 （d是分子的直径，n是分子数密度） 不难估计真空度在Pa以上就可以满足要求。 1.3材料洁净 材料的洁净包括膜料的洁净和基底材料的洁净。这一要求似乎是不言而喻的。如果材料中混有颗粒状或纤维状的杂质，将直接影响膜的均匀性和牢固度；如果混有可融的化学成分，将影响膜的物理性质，如亮度、表面张力、电导率等等。所以，膜材和基底的清洗工作必须认真对待。 2真空技术
砂轮机安全作业指导书(正式)
编订：__________________ 单位：__________________ 时间：__________________ 砂轮机安全作业指导书 (正式) Standardize The Management Mechanism To Make The Personnel In The Organization Operate According To The Established Standards And Reach The Expected Level. Word格式 / 完整 / 可编辑
文件编号：KG-AO-4588-96 砂轮机安全作业指导书(正式) 使用备注：本文档可用在日常工作场景，通过对管理机制、管理原则、管理方法以及管理机构进行设置固定的规范，从而使得组织内人员按照既定标准、规范的要求进行操作，使日常工作或活动达到预期的水平。下载后就可自由编辑。 1 范围 本标准规定了砂轮机安全作业的内容。 本标准适用于砂轮机作业人员安全作业。 2 安全操作要点 2.1 砂轮机应指定人管理、换片，保证其防护装置完整有效。 2.2 必须根据砂轮使用的说明书，选择与砂轮机主轴转数相符合的砂轮。 2.3 新领的砂轮要有出厂质量合格证明文件。安装前如发现砂轮的质量、硬度、粒度和外观有裂缝等缺陷时，不能使用。 2.4 工作前应按要求穿戴好劳动保护用品；确认电源线及防护罩是否安全。 2.5 新装砂轮启动时，先点动检查，经过5～10
分钟试转后，才可使用。 2.6 开动砂轮机前，先检查砂轮机部件是否齐全，必须等砂轮达到额定转速，无振动和其它不良现象后，才可使用。 2.7 禁止磨削紫铜、铅、木头等东西，以防砂轮嵌塞。 2.8 磨削时，人应站在砂轮机的侧面，严禁站在砂轮正面操作，站立位置和姿势必须规范。头部不要靠近砂轮，眼睛要避开火花溅出方向。 2.9 应握牢被磨工件，防止脱落在防护罩内卡破砂轮；加工较小或较轻的工件时，要使用挟持工具，防止伤人。 2.10 初磨时不能用力过猛，以免砂轮受力不均而发生事故。 2.11 不允许在砂轮机上磨削较大较长物体。防止震碎砂轮飞出伤人。 2.12 不允许二人同时使用同一片砂轮，严禁围堆操作。
真空镀膜机安全管理规定
仅供参考[整理] 安全管理文书 真空镀膜机安全管理规定 日期：__________________ 单位：__________________ 第1 页共4 页
真空镀膜机安全管理规定 真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书，了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训，熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范，方能独立上岗操作。 一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象，接上电源，并检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触是否可靠，工件架转动是否自如。联轴器，输入电极接触是否良好，各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源，各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。 经过上述检查，各项性能良好，才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气，还必须进行炼气，就是按照操作规程，不进行镀膜，只让机械泵、扩散泵等连续抽气，察看真空度上升的稳定情况，若真空度保持稳定，才能进行下一步操作。一般炼气时间要达10小时以上。调试时主要检查： 1.真空检漏 2.检查极限压强 3.抽气时间 二、满足以上各项检查后，进入操作和使用： 1.在非特殊情况下，请勿以断拉闸(断电)方式停机。 2.本设备通电及运行过程中，请勿触摸电气控制柜内部和外部用电器件，注意安全。 3.确认安全无误时才能操作设备。 4.不要将设备交给非本设备操作人员操作。 5.设备及电源控制柜必须良好接地。 第 2 页共 4 页
6.非专业人员请不要维修本设备。 三、工作中还必须注意以下几点： 1.平时，整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中; 2.真空室镀膜200-250次后，要清洗真空室和工作支撑架; 3.经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈，定期给动密封圈加上真空脂; 4.定期检查电气元件，清除灰尘，更换烧坏的电器元件; 5.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门; 6.罗茨泵、粗抽泵、维持泵要定期加油，换油(保持油面在油镜中心为佳); 7.充气阀门充气动作失灵时，必须进行检修; 8.镀膜完毕时先关闭真空测量计，再关闭精抽、前置阀，待精抽阀、前置阀完全关闭后才能充入大气，否则会烧坏电离规管，氧化扩散泵油及发生不必要的以外; 9.镀膜机在工作过程中，不得断水，若在工作过程中突然停电，应马上关闭精抽阀门，减少因系统漏气泵油的氧化; 10.关罗茨泵后一定要经过1分钟后才能关粗抽泵，否则会因为罗茨泵在转速较高时充入气体，会损坏罗茨泵。 第 3 页共 4 页
砂轮机安全作业指导书通用版
管理制度编号：YTO-FS-PD872 砂轮机安全作业指导书通用版 In Order T o Standardize The Management Of Daily Behavior, The Activities And T asks Are Controlled By The Determined Terms, So As T o Achieve The Effect Of Safe Production And Reduce Hidden Dangers. 标准/ 权威/ 规范/ 实用 Authoritative And Practical Standards
砂轮机安全作业指导书通用版 使用提示：本管理制度文件可用于工作中为规范日常行为与作业运行过程的管理，通过对确定的条款对活动和任务实施控制,使活动和任务在受控状态，从而达到安全生产和减少隐患的效果。文件下载后可定制修改，请根据实际需要进行调整和使用。 1 范围 本标准规定了砂轮机安全作业的内容。 本标准适用于砂轮机作业人员安全作业。 2 安全操作要点 2.1 砂轮机应指定人管理、换片，保证其防护装置完整有效。 2.2 必须根据砂轮使用的说明书，选择与砂轮机主轴转数相符合的砂轮。 2.3 新领的砂轮要有出厂质量合格证明文件。安装前如发现砂轮的质量、硬度、粒度和外观有裂缝等缺陷时，不能使用。 2.4 工作前应按要求穿戴好劳动保护用品；确认电源线及防护罩是否安全。 2.5 新装砂轮启动时，先点动检查，经过5～10分钟试转后，才可使用。 2.6 开动砂轮机前，先检查砂轮机部件是否齐全，必须等砂轮达到额定转速，无振动和其它不良现象后，才可
真空镀膜机电气控制系统大学生大学生大学 大学毕业设计
毕业设计 题目真空镀膜机电气控制系统 摘要 本文所研究的真空镀膜机是一种蒸发式卷绕系统的镀膜机，主要应用于PET、OPP、BOPP等塑料薄膜上蒸镀金属膜，也可应用于生产镀铝、镀锌铝或镀银锌铝电容膜。其总体结构主要由真空系统、卷绕系统、蒸镀系统及电控系统组成，通过PLC来实现对真空系统的各种泵、阀门等开关量的控制，通过三菱触摸屏实现后台管理、各种工艺参数的设定及控制功能，自动化程度较高，有利于生产效率的提高。 该电气控制系统主控单元是采用三菱PLC的FX系列的通过三菱触摸屏设置对纸张力、电机速度、蒸发舟的状态和蒸发量等工艺要求参数的控制，同时具有故障报警、保护路线的功能，由RS232/485串行接口、A/D转换模块和控制器等实现各种参数的传输、信息处理、检测控制功能。 文中首先对镀膜机的真空系统和整个蒸镀工艺过程进行了分析；并建立了卷绕系统中放卷、收卷的张力控制模型，找出影响张力的相关因素，并采用了模糊自适应整定PID控制算法作为卷绕系统张力控制策略，结果显示比传统的PID 控制效果好，适应性强；同时完成了控制系统软、硬件结构的论证分析和设计，设计过程中采用三菱PLC仿真软件对电气控制系统进行了模拟仿真，并实现上位机与PLC的通讯功能，仿真结果显示，该真空镀膜机自动化程度高，模拟蒸镀效果好，保证了镀膜质量。 关键词：真空镀膜机；可编程控制器；张力控制；人机界面；AutoCAD2007
ABSTRACT In this paper, Vacuum coating machine, which is developed by this paper is an evaporation-type winding coating machine, mainly used in PET, OPP, BOPP and other plastic film evaporated metallic film, also can be used in the production of aluminum, galvanized aluminum or silver plated zinc aluminum capacitor film. The composition of its overall structure is mainly composed of a vacuum system, winding system, evaporation system and electric control system; On the one hand, through the PLC to control pump of the vacuum system ,valve switch and so on, on the other hand, through Mitsubishi touch screen to conduct back-stage management and control and set all kinds of Process parameters, this will improve the degree of automation and Is conducive to the improvement of production efficiency. The electric control system of main control unit is controlled by Mitsubishi FX series, through Mitsubishi touch screen to set and control evaporation process on paper tension, motor speed, evaporation boat required parameters, besides fault alarm, protection route function. By RS232/485 serial interface and A/D conversion module controller to achieve various parameters transmission, information processing, detection and control function. Firstly, the vacuum system for coating machine and the evaporation process are analyzed in this paper; and the winding system of roll and the roll tension control model is established, then finding out the relevant factors that affect tension, and adopt the fuzzy adaptive tuning PID control algorithm as the winding tension control system, the results showed that compared with the traditional PID control effect, the fuzzy adaptive tuning PID control algorithm is better and have strong adaptability; at the same time completing the proof analysis and design of the control system of soft, hardware structure, the design process of electrical control system is simulated by using PLC simulation software and Mitsubishi, realize the communication between
真空镀膜工安全操作规程标准范本
操作规程编号：LX-FS-A73952 真空镀膜工安全操作规程标准范本 In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior Can Reach The Specified Standards 编写：_________________________ 审批：_________________________ 时间：________年_____月_____日 A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑
真空镀膜工安全操作规程标准范本 使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。 1．在机床运转正常情况下，开动机床时，必须先开水管，工作中应随时注意水压。 2．在离子轰击和蒸发时，应特别注意高压电线接头，不得触动，以防触电。 3．在用电子枪镀膜时，应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃最好用铅玻璃，观察时应戴上铅玻璃眼镜，以防X射线侵害人体。 4．镀制多层介质膜的镀膜间，应安装通风吸尘装置，及时排除有害粉尘。 5．易燃有毒物品要妥善保管，以防失火中毒。 6．酸洗夹具应在通风装置内进行，并要戴橡皮
真空镀铝机安全操作规程详细版
文件编号：GD/FS-9694 （操作规程范本系列） 真空镀铝机安全操作规程 详细版 The Daily Operation Mode, It Includes All The Implementation Items, And Acts To Regulate Individual Actions, Regulate Or Limit All Their Behaviors, And Finally Simplify Management Process. 编辑：_________________ 单位：_________________ 日期：_________________
真空镀铝机安全操作规程详细版 提示语：本操作规程文件适合使用于日常的规则或运作模式中，包含所有的执行事项，并作用于规范个体行动，规范或限制其所有行为，最终实现简化管理过程，提高管理效率。，文档所展示内容即为所得，可在下载完成后直接进行编辑。 1 目的：为了减少直至消除违章操作造成的工伤安全事故，为了减少直至消除违章或不规范操作对设备造成的损害，特制定本文件，为操作镀铝机提供正确指引。 2 范围：适用于本公司钟南街厂区所有镀铝机。 3 职责： 3.1 机长和辅助：执行本文件规定项目和内容。 3.2 主管：监督当班人员按本文件规定执行，负责日常巡查和纠正违章操作。 3.3 设备管理部：负责全厂区范围内巡回检查，
发现和取证各车间违章操作行为。 4 操作具体要求： 4.1工作准备 按本设备使用说明的各项要求，检查设备的供电、供水、供气、油位等各部分状态是否正常，保证三相电压＞370V,保证油水分离器处的气压＞ 0.55Mpa、冷却水进水压力＞0.2Mpa（LDL5的水压≥0.15 Mpa），＜0.3 Mpa,确保其通畅、可靠和安全。［备注：交接班时，关闭V2、V6 V1、V5后开启滑阀泵、打开气镇阀进行气镇半小时再关闭气镇阀（也可以在关闭V1、V5而且真空度≤90Pa（9×103）的情况下进行），并经常排放滑阀泵内的冷凝水,1-7月排放1次/3小时间;7-12月排放1次/5小时。 4.2 镀膜准备工作
角向砂轮机安全操作规程模板
工作行为规范系列 角向砂轮机安全操作规程（标准、完整、实用、可修改）
编号：FS-QG-37332角向砂轮机安全操作规程 Safety rules for angle grinder 说明：为规范化、制度化和统一化作业行为，使人员管理工作有章可循，提高工作效率和责任感、归属感，特此编写。 1、使用前检查角向砂轮机的各部件是否完好，所有大小零件都需安装正确并符合规定。 2、检查电源线与插头是否完好，不准使用电源线受损的角向砂轮机。 3、角向砂轮机不可弄湿，也不可在潮湿的环境使用。砂轮机手柄应保持干燥，无损坏和裂纹。 4、在工作间隙不使用角向砂轮机或对砂轮机做任何换修的工作时，一定要拔出电源插头。 5、确认角向砂轮机开关已关闭才可插上电源插头。使用后拔出插头，不准握着电源线提起砂轮机。 6、工作时将电源线放置于角向砂轮机的后端。防止电源线被高速旋转的砂轮片损坏而触电。 7、砂轮片拆卸:用专用卡子卡住旋转头的同时用专用工
具逆时针方向旋转砂轮片，即可取出砂轮片。 8、安装砂轮片:安装顺序与拆卸相反，但必须将砂轮片固定牢固。 9、使用角向砂轮机时必须戴防护眼镜。工作时必须紧握砂轮机，并要确保立足稳固。 10、操作角向砂轮机时，火星不能朝着他人或自己。不准在易燃易爆的环境附近使用砂轮机。 11、完工时，一定要将工作场所附近的残留火星扑灭后方可离开。 12、楼梯上作业，必须有专人护住梯子。作业者在楼梯上时应保持身体平衡，用力均匀。 13、高空作业时，拴好安全带，并作好防止角向砂轮机脱落的安全措施。 14、角向砂轮机应定期校验，并粘贴合格证，超过有效期禁止使用。 请输入您公司的名字 Foonshion Design Co., Ltd
镀膜设备的维护与保养
第一章、对真空镀膜设备维护与保养的认识 真空镀膜设备有多种规格的单室机和多室连续机。真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品质量和生产进程等，为了使设备的运行状况良好，必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。 一、维护与维修制度，为了使真空镀膜设备在维护、维修及生产过程中出现问题能得到及时收集、传递、分析和处理而制定的管理制度。 1.有完善的制度和设备的使用操作规程。 A、维修人员在维修时应挂放正在维修牌，并切断电源以防他人使用机器设 备等。这也是对设备特别是维修和操作人员安全的重要保证。 B、真空镀膜机（其实不单是真空镀膜机，应该是所有的设备）必需要有详 细易懂的操作说明书（这份说明书是根椐各自厂内环境及实际情况编写的）。 而且在每个新学员工在操作机器之前要看懂，在指定的掊训人员监看下按照说明书一步一步操作。并在培训完后考核合格上岗。（附样本说明书） C、日常保养同样也要有标准化的作业指导书。这里面包括了作业之前的准 备工作（准备工具、清洁用品、必要冷却，吹水等等）及作业步骤，注意事项，事后检查（检查有无遗漏零部件，工具，及冷却水无有打开。）现场清理工作。（附作业指导书苑本） D、建立设备台帐。设备的台帐好比人一生的档案一样。从设备安装调试那 天起就应该记录设备的一些重要参数。（比如极限真空度，前级，预抽的真空度和时间，电流，电压等各方面数据，以及重大维修记录） E、保养记录表。第日点检，以及周期保养应该都要有记录（附表） F、异常维修记录表。记录处理每次异常发生的原因、检查的步骤、得出的 结论、处理的方法，以及预防被免再次发生的措施。（附表） 可能这些文字工作对有些师傅们觉得有些不耐烦。但我认为这样恰恰是起到了事半功倍的效果。既可以大大提高我们的分析异常的能力和速度，又减少了因为一些小的疏忽而酿成设备大的损伤。这些记录同时对企业和个人来说也是一笔重要的财富。 2.在工厂生产管理中设备的维护与维修是重要的一方面。应该有专职的、能力强的维修人员负责。
砂轮机使用的安全操作规程示范文本
砂轮机使用的安全操作规 程示范文本 In The Actual Work Production Management, In Order To Ensure The Smooth Progress Of The Process, And Consider The Relationship Between Each Link, The Specific Requirements Of Each Link To Achieve Risk Control And Planning 某某管理中心 XX年XX月
砂轮机使用的安全操作规程示范文本使用指引：此操作规程资料应用在实际工作生产管理中为了保障过程顺利推进，同时考虑各个环节之间的关系，每个环节实现的具体要求而进行的风险控制与规划，并将危害降低到最小，文档经过下载可进行自定义修改，请根据实际需求进行调整与使用。 1砂轮机的旋转方向要正确，只能使磨屑向下飞离砂 轮。 2砂轮机启动后，应在砂轮机旋转平稳后再进行磨削。 若砂轮机跳动明显，应及时停机修整。 3砂轮机托架和砂轮之间应保持3mm的距离，以防工 件扎入造成事故。 4磨削时应站在砂轮机的侧面，且用力不宜过大。 5根据砂轮使用的说明书，选择与砂轮机主轴转数相符 合的砂轮。 6新领的砂轮要有出厂合格证，或检查试验标志。安装 前如发现砂轮的质量、硬度、粒度和外观有裂缝等缺陷 时，不能使用。
7安装砂轮时，砂轮的内孔与主轴配合的间隙不宜太紧，应按松动配合的技术要求，一般控制在 0.05?/FONT>0.10毫米之间。 8砂轮两面要装有法兰盘，其直径不得少于砂轮直径的三分之一，砂轮与法兰盘之间应垫好衬垫。 9拧紧螺帽时，要用专用的板手，不能拧得太紧，严禁用硬的东西锤敲，防止砂轮受击碎裂。 10砂轮装好后，要装防护罩，挡板和托架。挡板和托架与砂轮之间的间隙，应保持在1?/FONT>3毫米内，并要略低于砂轮的中心。 11新装砂轮启动时，不要过急，先点动检查，经过5?/FONT>10分钟试转后，才能使用。 12初磨时不能用力过猛，以免砂轮受力不均而发生事故。 13禁止磨削紫铜、铅、木头等东西，以防砂轮嵌塞。
真空镀膜工艺流程
真空镀膜工艺流程-标准化文件发布号：（9456-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KII
真空镀膜工艺流程 一、真空镀膜的工艺流程大致可用以下的方框图表示： 二、具体说明如下： 1、表面处理：通常,镀膜之前,应对基材（镀件）进行除油、除尘等预处理,以保证镀件的整洁、干燥,避免底涂层出现麻点、附着力差等缺点。对于特殊材料,如PE（聚乙烯）料等,还应对其进行改性,以达到镀膜的预期效果。 2、底涂：底涂施工时,可以采用喷涂,也可采用浸涂,具体应视镀件大小、形状、结构及用户设备等具体情况及客户的质量要求而定。采用喷涂方法,可采用SZ-97T镀膜油；采用浸涂方法,可采用SZ-97、SZ-97+1等油,具体应视镀件材料而定。 3、底涂烘干：SZ-97镀膜油系列均为自干型漆，烘干的目的是为了提高生产效率。通常烘干的温度为60-70oC,时间约2小时。烘干完成的要求是漆膜完全干燥。 4、镀膜：镀膜时,应保证镀膜机的真空度达到要求后,再加热钨丝,并严格控制加热时间。同时,应掌握好镀膜用金属（如铝线)的量,太少可能导致金属膜遮盖不住底材,太多则除了浪费外,还会影响钨丝寿命和镀膜质量。 5、面涂：通常面涂的目的有以下两个方面：A、提高镀件的耐水性、耐腐蚀性、耐磨耗性；B、为水染着色提供可能。SZ-97油系列产品均可用于面涂，若镀件不需着色,视客户要求,可选用911、911-1哑光油、889透明油、910哑光油等面油涂装。 6、面涂烘干：通常面涂层较底涂层薄,故烘干温度较低,约50-60oC,时间约1~2小时,用户可根据实际情况灵活把握，最终应保证面涂层彻底干燥。如果镀件不需着色,则工序进行到此已经结束。 7、水染着色：如果镀件需要进行水染着色,则可将面漆已经烘干的镀件放进染缸里,染上所需颜色,之后冲洗晾干即可。染色时要注意控制水的温度,通常在 60~80oC左右,同时应控制好水染的时间。水染着色的缺点是容易褪色,但成本较低。
作业标准书
作 业 标 准 书 产品料号 三框 工 序 压铸-剥料-修批锋-抛进料口-精抛-素胚全检-电三价铬-全检-真空镀-全检 文件编号 JC-SOP-SC-087 产品名称 版次 A/0 成型参数及工序规范 工序图片说明 注意事项 模具温度（℃） 熔炉温度（℃） 喷嘴温度（℃） 130±30 440±20 450±20 喷嘴口径 射料时间（秒） 二次射料时间 13mm 0.7-1.2 -- 成型周期/秒 开模时间（秒） 喷雾时间（秒） 3.0±0.5s 手动喷雾 押出时间（秒） 冷却时间（秒） 射料速度 0.5-0.8s 3.0±0.5s 4-6转 射料压力（Kg/cm ） 锁模压力（Kg/cm ） 80-95kg 110±15kg 1、 确认模具装配OK ，模腔需干净无杂物，冷却水道通畅，喷嘴大小与 机台是否合适。模具编码为：JC-LW-38 (一模2穴)。 2、 确认压铸机使用正常。 3、 正确安装模具上机台，调试压铸机。 4、 调整压射参数，确认料温、模温与喷嘴温度OK 后进行首模生产。 5、 首件须品质及相关负责人确认OK 后方可生产。 6、 生产20-30模之间要加一次料。严格按照本产品制定之加料方式进行 加料。 7、 将放满产品之架车及时推至下一工序-----剥料。 1、 产品材料：3#锌合金。 2、 离型剂：水性锌合金专用离型剂。。 3、 产品外观要求无拉伤，气泡，水纹， 缺料，砂孔，变形，多料等。具体依据品质减压与合格标准书。 4、 加料方法：按产品规定循环添加，以 少量多次为原则。添加时需注意料温，不可低于400度。 5、 生产中异常应及时向上级汇报。 6、 注重环保，禁用六种有害物质。 仪器设备名称 数量 工、治具名称 数量 40T 锌压铸机 一台 钳子 一把 架台/手套 一张/一双 NO 修/制定日期 制作人 审 核 核 准 版本 制/修定内容 1 2014.02.20 张文定 A0 作业标准书 产品料号 三框 工 序 压铸-剥料-修批锋-抛进料口-精抛-素胚全检-电三价铬-全检-真空镀-全检 文件编号 JC-SOP-SC-087 产品名称 版次 A/0 工序规范 工序图片说明 注意事项 整模产品 130T 机台
砂轮机安全操作规程规范
砂轮机安全操作规程规范 一、使用前准备 1、砂轮机要有专人负责，经常检查，以保证正常运转。 2、更换新砂轮时，应切断总电源，同时安装前应检查砂轮片是否有裂纹，若肉眼不易辨别，可用坚固的线把砂轮吊起，再用一根木头轻轻敲击、静听其声。（金属声则优、哑声则劣）。 3、砂轮机必须有牢固合适的砂轮罩，托架距砂轮不得超过5mm，否则不得使用。 4、安装砂轮时，螺母上的不得过松、过紧，在使用前应检查螺母是否松动。 5、砂轮安装好后，一定要空转试验2～3分钟，看其运转是否平衡，保护装置是否妥善可靠，在测试运转时，应安排两名工作人员，其中一人站在砂轮侧面开动砂轮，如有异常，由另一人在配电柜处立即切断电源。以防发生事故。 6、凡使用者要戴防护镜，不得正对砂轮，而应站在侧面。使用砂轮机时，不准戴手套，严禁使用棉纱等物包裹样品进行磨削。 7、使用前应检查砂轮是否完好（不应有裂痕、裂纹或伤残），砂轮轴是否安装牢固、可靠。砂轮机与防护罩之间有无杂物，是否符合安全要求，确认无问题时，再开动砂轮机。 二、使用中注意事项 1、开动砂轮时必须40～60秒钟转速稳定后方可磨削，磨削刀具时应站在砂轮的侧面，不可正对砂轮，以防砂轮片破碎飞出伤人。 2、在同一块砂轮上，禁止两人同时使用，更不准在砂轮的侧面磨削，磨削时，操作者应站在砂轮机的侧面，不要站在砂轮机的正面，以防砂轮崩裂，发生事故，同时不允许戴手套操作，严禁围堆操作和在磨削时嘻笑与打闹。 3、磨削时的站立位置应与砂轮机成一夹角，且接触压力要均匀，严禁撞击砂轮，以免碎裂，砂轮不得磨笨重的物料或薄铁板以及软质材料(铝、铜等)和木质品。 4、磨样时，操作者应站在砂轮的侧面或斜侧位置，不要站在砂轮的正面，同时样品应略高于砂轮中心位置。不得用力过猛，以防滑脱伤手。 5、砂轮不准沾水，要经常保持干燥，以防湿水后失去平衡，发生事故。 6、不允许在砂轮机上磨削较大较长的物体，防止震碎砂轮飞出伤人。 7、不得单手持工件进行磨削，防止脱落在防护罩内卡破砂轮。 三、使用后注意事项 1、必须经常修整砂轮磨削面，当发现样品严重跳动时，应及时用金刚石笔进行修整。 2、砂轮磨薄，磨小，使用磨损严重时，不准使用，应及时更换，保证安全。 3、磨削完毕，应关闭电源，不要让砂轮机空转，同时要应经常清除防护罩内积尘，并定期检修更换主轴润滑油脂。
真空镀膜机的详细结构
真空镀膜机的详细结构 高真空镀膜机，镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的设备。其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统. 下面本人详细介绍各部分的组成及工作原理。 一、真空主体——真空腔 根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M 等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。 二、辅助抽气系统 此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋p olycold”组成 排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。 排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。 机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用最广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。 机械泵有很多种，常用的有滑阀式（此主要应用于大型设备）、活塞往复式、定片式和旋片式（此目前应用最广泛，本文主要介绍）四种类型。 机械泵常常被用来抽除干燥的空气，但不能抽除含氧量过高、有爆炸性和腐蚀性的气体，机械泵一般被用来抽除永久性的气体，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气。旋片泵中起主要作用的部件是定子、转子、弹片等，转子在定子里面但与定子不同心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中间装有弹簧，保证了弹片紧紧贴在定子的内壁。 它的两个弹片交替起着两方面的作用，一方面从进气口吸进气体，另一方面压缩已经吸进的气体，将气体排出泵外。转子每旋转一周，泵完成两次吸气和两次排气。当泵连续顺时针转动时，旋片泵不断的通过进气口吸入气体，又从排气口不断的排出泵外，实现对容器抽气的目的。为了提高泵的极限真空度，均将泵的定子浸在油里面这样，在各处的间隙中及有害空间里面经常保持足够的油，把空隙填满，所以油一方面起到了润滑作用，另一方面又起了密封和堵塞缝隙及有害空间的作用，防止气体分子通过各种渠道反流到压强低的空间去。 机械泵是从大气开始工作的，它的主要参数有极限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。 抽气速率，是指旋片泵按额定转数运转时，单位时间内所能排出气体的体积，可以用下公式计算： Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸气结束时空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程，Vs表示当转子处于水平位置的时候，吸气结束，此时空腔内的体积最大，转速为n。
国产镀膜机作业指导书
1. 目的/范围 规范镀膜操作工艺，确保安全生产。 2. 定义/缩写词 NA 3. 参考文件 NA 4. 职责与权限 本文件适用于高意光学镀膜中心镀膜工种，在所有工程师商讨通过之后有权改动其中内容。文件制定、执行者姜海，镀膜总工艺李全民对此文件有最终解释权。 5. 工具及设备 国产镀膜机及配件、分光光度计。 6. 作业内容 1膜厚控制方式：过正极值法、定值法和晶控法。 2镀膜操作步骤： 2.1镀膜员工基本要求： 每天早晨开机之前了解一天内所要镀的产品，镀每一灶之前都要检查核对派工内容，检查产品或试镀品的生产任务单号、数量、镀膜指标，跟据相应的指标找出《镀膜生产工艺卡》，无相应镀膜生产记录表，操作员有权利拒绝镀膜。 2.2开机： 2.2.1确认总电源、总气路、总循环水正常工作，开启镀膜机总电源。 (重要环节/语言很难描述的环节) 2.2.2北仪：依次开（维持泵）、机械泵、前级阀、扩散泵，扩散泵温 度到设定温度（须预热60分钟以上才能正常工作）。
南光：依次开机械泵、预阀、扩散泵（1#镀膜机260℃，7#镀膜 机230℃，8#镀膜机240℃），各阀门开关间隔5秒。 2.2.3依次开启真空计、晶控仪、膜厚控制仪、气体流量显示仪、光源 （预热80分钟，非正常工作下电流值调至工作状态的一半）、单 色仪控制器、工转电源、计时器和照明。 2.3热机 2.3.1如果超过8小时未开机，除7#镀膜机，其余都需要热机。各机台 大清洗之后，必须热机。 2.3.2 按照此文件依次执行抽低真空、抽高真空、镀膜前准备等各步 骤，开烘烤到100℃恒温10分钟。 2.3.3开启离子源、电子枪，使机器处于镀膜状态，镀Ta2O5膜料 10nm ，镀膜之后关闭电子枪，离子源，此操作为检验镀膜机各设 备是否处于正常工作状态。 2.3.4按此文件执行镀膜后步骤，以上步骤具体内容详见下文。 2.4抽真空前准备： 2.4.1北仪： 按充气阀对真空室充气，充气完毕关充气阀。
砂轮机安全作业指导书
砂轮机安全作业指导书 1 范围 本标准规定了砂轮机安全作业的内容。 本标准适用于砂轮机作业人员安全作业。 2 安全操作要点 2.1 砂轮机应指定人管理、换片，保证其防护装置完整有效。 2.2 必须根据砂轮使用的说明书，选择与砂轮机主轴转数相符合的砂轮。 2.3 新领的砂轮要有出厂质量合格证明文件。安装前如发现砂轮的质量、硬度、粒度和外观有裂缝等缺陷时，不能使用。 2.4 工作前应按要求穿戴好劳动保护用品；确认电源线及防护罩是否安全。2.5 新装砂轮启动时，先点动检查，经过5～10分钟试转后，才可使用。2.6 开动砂轮机前，先检查砂轮机部件是否齐全，必须等砂轮达到额定转速，无振动和其它不良现象后，才可使用。 2.7 禁止磨削紫铜、铅、木头等东西，以防砂轮嵌塞。 2.8 磨削时，人应站在砂轮机的侧面，严禁站在砂轮正面操作，站立位置和姿势必须规范。头部不要靠近砂轮，眼睛要避开火花溅出方向。 2.9 应握牢被磨工件，防止脱落在防护罩内卡破砂轮；加工较小或较轻的工件时，要使用挟持工具，防止伤人。 2.10 初磨时不能用力过猛，以免砂轮受力不均而发生事故。 2.11 不允许在砂轮机上磨削较大较长物体。防止震碎砂轮飞出伤人。
2.12 不允许二人同时使用同一片砂轮，严禁围堆操作。 2.13 砂轮在安装和使用时都不得碰撞和敲打，防止砂轮碎片高速甩出伤人。 2.14 磨削时间较长的工件，应及时进行冷却，防止烫手。 2.15 要经常检查砂轮机工作轴承润滑情况，避免轴承发热，把热量传给砂轮，导致砂轮破坏。 2.16 持手动砂轮机（角磨机）更换作业地点时，要先停机停稳后更换，不允许不停机移动。 2.17 手持砂轮机，不用时，要停机待停稳后才可放下。 2.18 工作结束要切断电源。
真空镀膜机安全管理规定(正式版)
真空镀膜机安全管理规定 Through the process agreement to achieve a unified action policy for different people, so as to coordinate action, reduce blindness, and make the work orderly. 编制：___________________ 日期：___________________
专业技术文件/ Technical documentation编号： 真空镀膜机安全管理规定 温馨提示：该文件为本公司员工进行生产和各项管理工作共同的技术依据，通过对具体的工作环节进行规范、约束，以确保生产、管理活动的正常、有序、优质进行。 本文档可根据实际情况进行修改和使用。 真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书, 了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训, 熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范, 方能独立上岗操作。 一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象, 接上电源, 并检查真空室内电极绝缘性, 钨丝接触是否可靠, 工件架转动是否自如。联轴器, 输入电极接触是否良好, 各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源, 各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。 经过上述检查, 各项性能良好, 才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气, 还必须进行炼气, 就是按照操作规程, 不进行镀膜, 只让机械泵、扩散泵等连续抽气, 察看真空度上升的稳定情况, 若真空度保持稳定, 才能进行下一步操作。一般炼气时间要达10小时以上。调试时主要检查： 1.真空检漏 2.检查极限压强 3.抽气时间 第2页/共5页
【最新】工厂实习报告最新【五篇】
【最新】工厂实习报告最新【五篇】 工厂实习,我学会了与员工同事相处沟通的有效方法途径.积累了处理人际关系问题的经验方法,下面给大家分享一下关于工厂实习报告,希望对大家有帮助工厂实习报告1 1.实习目的 通过现场参观,讲课及班组学习,了解本专业在生产和科研中的重要地位,学习工厂和工程技术人员丰富的生产经验和生产技术管理手法及主人翁精神,加强组织纪律性.培养安全生产观念;结合学生就业,进行相关的就业指导.学习现代测控系统的基本原理与技术,如纤维检测原理,真空技术与仪器的关联,为进一步学习专业知识打下良好基础.概括为: 1.基本掌握所在实习单位的概貌及有关的生产设备,了解所在岗位所使用的仪器的工作原理,结构及测控系统的组成运行,维护知识,丰富和扩大专业知识. 2.巩固已学的知识,特别是专业基础课及专业课内容,以达到理论联系实际的目的.通过生产实习,学习和了解检测专业在生产领域的各个应用以及仪器仪表先进性的发展等知识,进一步培养分析问题和解决问题的能力. 3.到研究所这样集中着许多科学领域里的新材料.新设备.新工艺和新技术进行生产实习.其目的是要求我们能把所学过的理论知识与生产实际联系起来,着重培养自己的实际工作能力,拓宽知识面,提高对所学专业的认知. 4.通过参观学习,着重了解真空研究所的生产工艺流程,加深对电子仪器设备技术的了解,了解现代企业的管理与生产流程. 2.实习单位 沈阳真空技术研究所(以下简称真空所)位于沈阳市大东区万柳塘路号.沈阳真空技术研究所创建于_58年,是国内最早从事真空技术及真空成套设备研制与开发生产的研究所,原属于机械工业部,现隶属于中国机械工业集团有限公司. 该所是国家真空设备质量监督检验中心.全国真空技术标准化技术委员会(国际标准化组织(ISO/TC_2)的P成员).科技期刊>杂志的挂靠单位,同时也是中国真空设备行业协会副理事长单位及中国真空学会副理事长单位.所内现有员工_0多名,专业技术人员65名,其中教授级高级工程师5人,高级工程师_人,工程师及助工38人;并设有真空冶金.真空热处理.真空电工.真空镀膜.真空测量等领域,