PECVD

PECVD培训稿

大家好，欢迎大家来参加鸿禧光伏公司的培训学习，首先自我介绍一下，我是生产部副主管吴唐云。

前面大家已经了解整个太阳能电池片的生产流程的前几道工序，接下来我们所要学习的是PECVD岗位的知识，为什么叫PECVD?它是Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition 的缩写。中文意思是等离子增强化学气象沉积。是德国Centrotherm公司制造的，专业生产太阳能电池设备，可提供全套太阳能电池生产设备及技术，其高产能环保型扩散炉、管式PECVD、烘干/烧结炉、清洗腐蚀制绒设备以及周边PN结刻蚀设备等代表了当今世界的最高水平，占领了国际上主要的高端生产线市场，近两年始终处于满负荷生产状态。我们所用到的设备就是管式PECVD，，和日本公司生产的平板PECVD来相比，管式PECVD的价格要高，产能高，操作技术性较好。

接下来，我们主要以五个方面来进行学习该岗位的知识，

1、PECD岗位认识

2、PECVD的原理及设备结构

3、PECVD基本操作

4、PECVD岗位职责

5、PECVD特气安全。

1-a.PECVD的全称（刚才前面已经说了，重复一遍，每一个英语

单词和中文名一一对应的。）

1-b.镀膜的作用（在电池片表面沉积深蓝色减反膜——氮化硅膜,

其还具有卓越的抗氧化和绝缘性能,同时还具有良好的阻挡钠离子,

掩蔽金属离子和水蒸气扩散的能力,它的化学稳定性也很好.除氢

氟酸和热磷酸能缓慢腐蚀外,其它酸与它基本不起作用.除氮化硅

膜外，二氧化硅，二氧化钛也可以作为减反膜。钝化膜的的主要作用是保护半导体器件表面不受污染物质的影响，半导体表面钝化可降低半导体表面态密度。在氮化硅膜减反射膜中存在大量的H，在烧结过程中会钝化晶体内部悬挂键）

1-c .Si3N4的作用（减少阳光的反射，加大对太阳光的吸收，抗氧化。）

1-d.工作原理（Centrotherm PECVD系统是一组利用镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器在一定的条件下发生反应。）石墨是一种深灰色的有金属光泽而不透明的细鳞片状固体。石墨很软，有滑腻感。石墨还具有优良的导电性能。

1-e.设备结构：上料区、炉体、特气柜、真空系统、控制系统

上料区（桨、LIFT、抽风系统、SLS系统）这个桨不是划船的桨而是运送石墨舟进出的一种工具。

炉体（石英管、加热系统、冷却系统）

特气柜（MFC、气动阀）

真空系统（真空泵、蝶阀）

真空系统：是由真空泵、真空计、被抽容器及其它元件如真空阀门、冷阱等，借

助于真空管道，按一定要求组合而成，并具有所需抽气功能的抽气装置。它的职能是在指定的时间、空间内获得真空，保持真空，确保系统内某项工艺过程或物理过程的实施

真空泵：机械式真空泵工作原理都是持续的抽取气体，使一定体积的气体被隔离到泵里面的空间内，再排出去，这样容器里的气体会越来越稀薄，这样随着容器内气体越来越少，泵的抽气效率也会越来越低，到最终各个密封部分（包括容器和泵本身）的漏气速率和抽气速率一样，真空就不再提升。

蝶阀又叫翻板阀,是一种结构简单的调节阀

控制系统（Jobs界面、System系统、Catalog目录、Setup设置、Alarms报警、Help帮助）

控制系统

是指由控制主体、控制客体和控制媒体组成的具有自身目标和功能的管理系统。

控制系统意味着通过它可以按照所希望的方式保持和改变机器、机构或其他设备内任何感兴趣的量。

例如，假设有一个汽车的驱动系统，汽车的速度是其加速器位置的函数。通过控制加速器踏板的压力可以保持所希望的速度(或可以达到所希望的速度变化)。这个汽车驱动系统(加速器、汽化器和发动机车辆)便组成一个控制系统。

1-f.岗位所用气体：氨气、硅烷、四氟化碳、氮气、氧气。

一，装片房

本设备工作原理为：空气通过高效过滤后，阻尼层均压，使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区，从而保证了工作区内达到工艺要求的洁净度，操作人员在洁净的环境中往石墨舟上装硅片。

作用：能准确的石墨舟承载装片车定位，保证了工作区达到工艺要求的洁净度。

二．石墨舟承载车

功能：1、能准确的把石墨舟从PECVD中取出来。2、能平稳的把石

墨舟在小车上旋转180度，倾斜翻转，确保简易方便的装硅片。3、承载装片车能够与PECVD准确的定位。

主要特点:采用不锈钢和铝型材。采用可调试油压缓冲器，减少冲击，定位平稳。

三．石墨舟冷却房：

本设备通过两个风机由带初效过滤器的吸风口吸入空气，然后由两个排风口吹向小车上的石墨舟，能迅速的使石墨舟冷却，清洁，环保。功能：1、能准确的使石墨舟承载装片车定位。2、能平稳的把石墨舟快速冷却。3、对空气进行过滤，保证清洁的空气进行冷却。