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半导体禁带宽度和价带导带位置band_gap_汇总

半导体禁带宽度和价带导带位置band_gap_汇总
半导体禁带宽度和价带导带位置band_gap_汇总

导带、价带、禁带、费米能级

(1)导带conduction band: 导带是由自由电子形成的能量空间。即固体结构内自由运动的电子所具有的能量范围。 对于金属,所有价电子所处的能带就是导带。 对于半导体,所有价电子所处的能带是所谓价带,比价带能量更高的能带是导带。在绝对零度温度下,半导体的价带(valence band)是满带(见能带理论),受到光电注入或热激发后,价带中的部分电子会越过禁带(forbidden band/band gap)进入能量较高的空带,空带中存在电子后即成为导电的能带——导带。 势能动能:导带底是导带的最低能级,可看成是电子的势能,通常,电子就处于导带底附近;离开导带底的能量高度,则可看成是电子的动能。当有外场作用到半导体两端时,电子的势能即发生变化,从而在能带图上就表现出导带底发生倾斜;反过来,凡是能带发生倾斜的区域,就必然存在电场(外电场或者内建电场)。 (2)价带与禁带: 价带(valence band)或称价电带,通常是指半导体或绝缘体中,在0K时能被电子占满的最高能带。对半导体而言,此能带中的能级基本上是连续的。全充满的能带中的电子不能在固体中自由运动。但若该电子受到光照,它可吸收足够能量而跳入下一个容许的最高能区,从而使价带变成部分充填,此时价带中留下的电子可在固体中自由运动。 禁带,英文名为:Forbidden Band 常用来表示价带和导带之间的能态密度为零的能量区间。禁带宽度的大小决定了材料是具有半导体性质还是具有绝缘体性质。半导体的禁带宽度较小,当温度升高时,电子可以被激发传到导带,从而使材料具有导电性。绝缘体的禁带宽度很大,即使在较高的温度下,仍是电的不良导体。无机半导体的禁带宽度从~,π-π共轭聚合物的能带隙大致在~,绝缘体的禁带宽度大于。

宽禁带半导体材料和工艺设计

宽禁带半导体材料与工艺 1.1 宽禁带半导体的概念和发展 宽禁带半导体(WBS)是自第一代元素半导体材料(Si)和第二代化合物半导体材料(GaAs、GaP、InP等)之后发展起来的第三代半导体材料。这类材料主要包括SiC(碳化硅)、C-BN(立方氮化硼)、GaN(氮化镓、)AlN(氮化铝)、ZnSe(硒化锌)以及金刚石等。 第二代半导体GaAs与Si相比除了禁带宽度增大外,其电子迁移率与电子饱和速度分别是Si的6倍和2倍,因此其器件更适合高频工作。GaAs场效应管器件还具有噪声低、效率高和线性度好的特点但相比第三代半导体GaN和SiC,它的热导率和击穿电场都不高,因此它的功率特性方面的表现不足。为了满足无线通信、雷达等应用对高频率、宽禁带、高效率、大功率器件的需要从二十世纪九十年代初开始,化合物半导体电子器件的研究重心开始转向宽禁带半导体。 我们一般把禁带宽度大于2eV的半导体称为宽禁带半导体。宽禁带半导体材料具有宽带隙、高临界击穿电场、高热导率、高载流子饱和漂移速度等特点,在高温、高频、大功率、光电子及抗辐射等方面具有巨大的应用潜力。 1.2 主要的宽禁带半导体材料 近年来,发展较好的宽禁带半导体材料主要是SiC和GaN,其中SiC的发展更早一些,碳化硅、氮化镓、硅以及砷化镓的一些参数如下图所示:

图1-1 半导体材料的重要参数 如上图所示,SiC和GaN的禁带宽度远大于Si和GaAs,相应的本征载流子浓度小于硅和砷化镓,宽禁带半导体的最高工作温度要高于第一、第二代半导体材料。击穿场强和饱和热导率也远大于硅和砷化镓。 2.1 SiC材料 纯碳化硅是无色透明的晶体。工业碳化硅因所含杂质的种类和含量不同,而呈浅黄、绿、蓝乃至黑色,透明度随其纯度不同而异。碳化硅晶体结构分为六方或菱面体的α-SiC和立方体的β-SiC(称立方碳化硅)。α-SiC由于其晶体结构中碳和硅原子的堆垛序列不同而构成许多不同变体,已发现70余种。β-SiC于2100℃以上时转变为α-SiC。 SiC是IV-IV族二元化合物半导体,也是周期表IV族元素中唯一的一种固态化合物。构成元素是Si和C,每种原子被四个异种原子所包围,形成四面体单元(图25a)。原子间通过定向的强四面体SP3键(图25b)结合在一起,并有一定程度的极化。SiC具有很强的离子共价键,离子性对键合的贡献约占12%,决定了

宽禁带半导体

半导体材料种类繁多,分类方法各不相同,一般将以硅(Si)、锗(Ge)等为代表的元素半导体材料称为第一代半导体材料;以砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)、磷化镓(GaP)等为代表的化合物半导体材料称为第二代半导体材料;以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、氮化铝(AlN)、氧化锌(ZnO)、金刚石为代表的宽禁带半导体材料称为第三代半导体材料[1]。以硅材料为代表的第一代半导体材料的发展是从20世纪50年代开始,它取代了笨重的电子管,导致了以集成电路为核心的微电子工业的发展和整个IT产业的飞跃,广泛应用于信息处理和自动控制等领域[2]。 20世纪90年代以来,随着移动无限通信的飞速发展和以光纤通信为基础的信息高速公路和互联网的兴起,第二代半导体材料开始兴起。由于其具有电子迁移率高、电子饱和漂移速度高等特点,适于制备高速和超高速半导体器件,目前基本占领手机制造器件市场[3]。 当前,电子器件的使用条件越来越恶劣,要适应高频、 大功率、耐高温、抗辐照等特殊环境。为了满足未来电子器件需求,必须采用新的材料,以便最大限度地提高电子元器件的内在性能。近年来,新发展起来了第三代半导体材料--宽禁带半导体材料,该类材料具有热导率高、电子饱和速度高、击穿电压高、介电常数低等特点[4],这就从理论上保证了其较宽的适用范围。目前,由其制作的器件工作温度可达到600℃以上、抗辐照1×106rad;小栅宽GaNHEMT器件分别在4GHz下,功率密度达到40W/mm;在8GHz,功率密度达到30W/mm;在18GHz,功率密度达到9.1W/mm;在40GHz,功率密度达到10.5W/mm;在80.5GHz,功率密度达到2.1W/mm,等。因此,宽禁带半导体技术已成为当今电子产业发展的新型动力。从目前宽禁带半导体材料和器件的研究情况来看,研究重点多集中于碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)技术,其中SiC技术最为成熟,研究进展也较快;而GaN技术应用广泛,尤其在光电器件应用方面研究比较深入[5]。氮化铝、金刚石、氧化锌等宽禁带半导体技术研究报道较少,但从其材料优越性来看,颇具发展潜力,相信随着研究的不断深入,其应用前景将十分广阔。 1宽禁带半导体材料 1.1碳化硅单晶材料 在宽禁带半导体材料领域就技术成熟度而言,碳化硅是这族材料中最高的,是宽禁带半导体的核心。SiC材料是IV-IV族半导体化合物,具有宽禁带(Eg:3.2eV)、高击穿电场(4×106V/cm)、高热导率(4.9W/cm.k)等特点[6]。从结构上讲,SiC材料属硅碳原子对密排结构,既可以看成硅原子密排,碳原子占其四面体空位;又可看成碳原子密排,硅占碳的四面体空位[7]。对于碳化硅密排结构,由单向密排方式的不同产生各种不同的晶型,业已发现约200种[8]。目前最常见应用最广泛的是4H和6H晶型。4H-SiC特别适用于微电子领域,用于制备高频、高温、大功率器件;6H-SiC特别适用于光电子领域,实现全彩显示。 第一代、第二代半导体材料和器件在发展过程中已经遇到或将要遇到以下重大挑战和需求[9,10]: (1)突破功率器件工作温度极限,实现不冷却可工作在300℃~600℃高温电子系统。 (2)必须突破硅功率器件的极限,提高功率和效率,从而提高武器装备功率电子系统的性能。 (3)必须突破GaAs功率器件的极限,在微波频段实现高功率密度,实现固态微波通讯系统、雷达、电子对抗装备更新换代。 (4)必须拓宽发光光谱,实现全彩显示、新的光存储、紫外探测以及固态照明。 随着SiC技术的发展,其电子器件和电路将为系统解决上述挑战奠定坚实基础。因此SiC材料的发展将直接影响宽禁带技术的发展。 SiC器件和电路具有超强的性能和广阔的应用前景,因此一直受业界高度重视,基本形成了美国、 欧洲、日本三足鼎立的局面。目前,国际上实现碳化硅单晶抛光片商品化的公司主要有美国

导带、价带、禁带.费米能级

【半导体】 (1)导带conduction band 导带是由自由电子形成的能量空间。即固体结构内自由运动的电子所具有的能量范围。 对于金属,所有价电子所处的能带就是导带。 对于半导体,所有价电子所处的能带是所谓价带,比价带能量更高的能带是导带。在绝对零度温度下,半导体的价带(valence band)是满带(见能带理论),受到光电注入或热激发后,价带中的部分电子会越过禁带(forbidden band/band gap)进入能量较高的空带,空带中存在电子后即成为导电的能带——导带。 势能动能:导带底是导带的最低能级,可看成是电子的势能,通常,电子就处于导带底附近;离开导带底的能量高度,则可看成是电子的动能。当有外场作用到半导体两端时,电子的势能即发生变化,从而在能带图上就表现出导带底发生倾斜;反过来,凡是能带发生倾斜的区域,就必然存在电场(外电场或者内建电场)。 (2)价带与禁带 价带(valence band)或称价电带,通常是指半导体或绝缘体中,在0K 时能被电子占满的最高能带。对半导体而言,此能带中的能级基本上是连续的。全充满的能带中的电子不能在固体中自由运动。但若该电子受到光照,它可吸收足够能量而跳入下一个容许的最高能区,从而使价带变成部分充填,此时价带中留下的电子可在固体中自由运动。 禁带,英文名为:Forbidden Band 常用来表示价带和导带之间的能态密度为零的能量区间。禁带宽度的大小决定了材料是具有半导体性质还是具有绝缘体性质。半导体的禁带宽度较小,当温度升高时,电子可以被激发传到导带,从而使材料具有导电性。绝缘体的禁带宽度很大,即使在较高的温度下,仍是电的不良导体。无机半导体的禁带宽度从0.1~2.0eV,π-π共轭聚合物的能带隙大致在1.4~4.2eV,绝缘体的禁带宽度大于4.5eV。 (3)导带与价带的关系: “电子浓度=空穴浓度”,这实际上就是本征半导体的特征,因此可以说,凡是两种载流子浓度相等的半导体,就是本征半导体。 注意:不仅未掺杂的半导体是本征半导体,就是掺杂的半导体,在一定条件下(例如高温下)也可以转变为本征半导体。

宽禁带半导体光电材料研究进展

宽禁带半导体光电材料的研究及其应用 宽禁带半导体材料(Eg大于或等于3.2ev)被称为第三代半导体材料。主要包 括金刚石、SiC、GaN等。和第一代、第二代半导体材料相比,第三代半导体材料具有禁带宽度大,电子漂移饱和速度高、介电常数小、导电性能好,具有更高的击穿电场、更高的抗辐射能力的特点,其本身具有的优越性质及其在微波功率器件领域应用中潜在的巨大前景,非常适用于制作抗辐射、高频、大功率和高密度集成的电子器件。 以氮化镓(GaN)为代表的Ⅲ族氮化物作为第三代半导体材料,是一种良好的直 接宽隙半导体光电材料,其室温禁带宽度为3.4eV,它可以实现从红外到紫外全可见光范围的光辐射。近年来已相继制造出了蓝、绿色发光二极管和蓝色激光器等光电子器,这为实现红、黄、蓝三原色全光固体显示,制备大功率、耐高温、抗腐蚀器件,外空间紫外探测,雷达,光盘存储精细化、高密度,微波器件高速化等奠定了基础。 氮化镓和砷化镓同属III-V族半导体化合物,但氮化镓是III-V族半导体化合物中少有的宽禁带材料。利用宽禁带这一特点制备的氮化镓激光器可以发出蓝色激光,其波长比砷化镓激光器发出的近红外波长的一半还要短,这样就可以大大降低激光束聚焦斑点的面积,从而提高光纪录的密度。与目前常用的砷化镓激光器相比,它不仅可以将光盘纪录的信息量提高四倍以上,而且可以大大提高光信息的存取速度。这一优点不仅在光纪录方 面具有明显的实用价值,同时在光电子领域的其他方面也可以得 到广泛应用。虽然人们早就认识到氮化镓的这一优点,但由于氮 化镓单晶材料制备上的困难以及难于生长出氮化镓PN结,氮化 镓发光器件的研究很长时间一直没有获得突破。经过近20年的 努力,1985年通过先进的分子束外延方法大大改善了氮化镓材

导带、价带、

导带、价带都属于允带,允带有很多的能级(不过可视为准连续,因为能级间差距实在是太小了!),原子中电子的填充都是从最低能级开始的,假设有这么一个情形:电子填啊填,填到某一允带的所有能级都被填满时,刚好所有电子都用完了,再没有一个电子需要填充了。那么,这个允带就是“满带”,它的最高的那个能级就是“价带(顶)”,这个允带往上隔了一个禁带Eg之后,又有一个允带(在更高能级位置),我们称之为导带,但是这个允带没有任何电子(因为电子在上一个允带时就已经全部填充完了!所以说所谓允带只是说允许有电子存在,但实际上有没有、有多少呢,却不一定;当然禁带是绝对不可能有电子存在。),所以为“空带”。我们再看回满带,在满带中,每个能级都有且仅有一个电子(为什么每个能级只能有一个电子呢?请自己查找泡利不相容原理的相关资料),那么满带是不导电的(电子都不能在满带的能级间跑动,自然就不可能有电流啦!)。但是,对于半导体,禁带Eg不是太大,故而价带电子有机会跃迁到导带中,成为自由电子(导带中的所有能级几乎全空,电子在这里可以跳来跳去,当然很自由啦!),故而导带可以导电,所以才叫导带嘛。 导带是高架桥,价带是地面人行道。 半导体就像是人满为患时的地面交通,电子君们寸步难行挤成狗,但你若是有本事跳上空旷无人的高架桥,那就可以随便跪”。 高架桥到地面之间的空档,就被称为禁带。所谓禁带就是说电子君没地方可站。相应的,允带就是电子君可以站的地方,所以除了导带和价带,地下通道也是允带。 高架桥若是太高,电子君们跳不上去,交通便陷入彻底瘫痪。这是绝缘体。 高架桥若是接上了地面道路,电子君们就能纷纷上桥,交通立刻顺畅起来。这是金属。 现代半导体技术,之所以能够实现器件的开关,就是能够在高架桥和地面之间架起一-座临时的梯子,它将决定地面上有多少幸运的电子君能够登上高架桥,担负起导电的伟大使命。以上。 让我们从最基本的开始……以下如果没有特别说明主角都是电子。 首先从量子力学的基本假设——不连续性可以推出原子外电子的在条件一定的 情况下只能取到某些特定的能量,这就是能级: width="230">(大家好,我是氢原子的电子能级)

宽禁带半导体材料特性及生长技术_何耀洪

宽禁带半导体材料特性及生长技术 何耀洪, 谢重木 (信息产业部电子第46所,天津,300220) 摘要:叙述了宽带半导体材料SiC、G aN的主要特性和生产长方法,并对其发展动态和存在问题进行了简要评述。 关键词:宽禁带半导体材料;碳化硅;氮化硅 中图分类号:TN304 文章编号:1005-3077(1999)-04-0031-09 The Characteristics and Growth Methods of Wide Bandgap Semiconductor Materials HE Yaohong, XIE Chongmu (T he46th Research Institute,M.I.I.,T ianjin,300220) A bstract:The paper presents the main characteristics and g rowth methods o f wide bandgap semiconduc- tor materials,In aditio n,the lastest developments and problems o n SiC and GaN to be reviewed. Key words:w ide bandgap semiconductor materials;SiC;G aN 1 引 言 在半导体工业中,人们习惯地把锗(Ge)、硅(Si)为代表的元素半导体材料称为第一代半导体材料,把砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)为代表的化合物半导体材料称为第二代半导体材料,而把碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)为代表的化合物半导体材料称为第三代半导体材料,由于SiC和GaN材料的禁带宽度较Si、GaAs等材料更宽,因而它们一般具有高的击穿电场、高的热导率、高的电子饱和速率及更高的抗辐射能力,因而更适合于制作高温、高频及大功率器件,故称这类材料为宽禁带半导体材料,也称高温半导体材料。它们在微电子和光电子领域中具有十分广阔的应用潜在优势,如AlGaN HFET最大振荡频率超过100GHz,功率密度大于5.3W/m m(在10GHz时),4H-SiC M EFET在850M Hz(CW)和10GHz(PW)时功率密度3.3W/mm,4H-SiC PIN二极管击穿电压高达5.5kV;在可见光全光固体显示、高密度存储、紫外探测及在节能照明(半导体激光光源能耗仅为相当亮度白炽灯泡的十分之一,而寿命长达10~15年)等方面开创了广阔的应用前景。 2 SiC材料特性及生长技术 近年来,随着半导体器件在航空航天、石油勘探,核能、汽车及通信等领域应用的不断扩 收稿日期:1999-11-30

宽禁带半导体ZnO材料的调研开题报告

山东建筑大学毕业论文开题报告表班级: 姓名: 论文题目宽禁带半导体ZnO的调研一、选题背景和意义 Zn0是一种新型的II-VI族宽禁带半导体材料,具有优异的晶格、光电、压电和介电特性,和III-V族氮化物及II-VI族硒化物比具有很多潜在的优点。首先,它是一种直接带隙宽禁带半导体,室温下的禁带宽度为,与GaN()相近,而它的激子结合能()却比GaN()高出许多,因此产生室温短波长发光的条件更加优越;而且ZnO薄膜可以在低于500℃温度下获得,不仅可以减少材料在高温西制备时产生的杂质和缺陷,同时也大大简化了制备工艺;同时ZnO来源丰富,价格低廉,又具有很高的热稳定性和化学稳定性。ZnO在UV、蓝光LED和LDS器件等研究方面被认为是最有希望取代GaN的首选材料,ZnO已经成为国内外半导体材料领域一个新的研究热点。国内外有很多科研团队都在进行ZnO的研究.虽然Zn0暂时不能完全取代si 在电子产业中的基础地位,但是ZnO以其特殊的性质成为Si电路的补充。 国内外对于ZnO的研究一直是近几年半导体材料研究的热点。无论是薄膜ZnO、纳米ZnO或是体单晶ZnO,文献很好地总结了2003年之前的国外ZnO晶体的研究与发展状况。随着高质量、大尺寸单晶ZnO 生产已经成为可能,单晶ZnO通过加工可以作为GaN衬底材料。ZnO与GaN的晶体结构、晶格常量都很相似。晶格失配度只有2.2%(沿〈001〉方向)、热膨胀系数差异小,可以解决目前GaN生长困难的难题。GaN作为目前主要的蓝、紫外发光半导体材料,在DVD播放器中有重要的应用。由于世界上能生产ZnO单晶的国家不多,主要是美国、日

本。所以ZnO单晶生产具有巨大的市场潜力。近年来,材料制备技术的突破,纳米ZnO半导体的制备、性能及其应用成为材料学的一个研究热点。 本文介绍了ZnO薄膜具有的许多优异特性,优良的压电性、气敏性、压敏性和湿敏性,且原料廉价易得。这些特点使其在表面声波器件(SAW)、太阳能电池、气敏元件等领域得到广泛的应用。随着对ZnO紫外受激发射特性的研究和P型掺杂的实现,ZnO作为光电材料在紫外探测器、LED、LD等领域也有着巨大的应用潜力。另外本文还介绍了纳米氧化锌的许多优点和在许多方面的应用。 目前,我国各类氧化锌处于供不应求的状况,而以活性氧化锌和纳米氧化锌取代传统氧化锌是不可阻挡的趋势,可见,今后纳米氧化锌必会有非常广阔的市场前景。 二、课题关键问题及难点 要深入研究该方面的知识,就要涉猎很多方面的知识。作为本科学生,如何在现有知识的基础上,阅读并理解有关书目、文献,总结归纳相关理论和研究方法,是本课题首先要解决的关键问题。 首先,要了解氧化锌作为宽禁带半导体的特性,然后再细致的查找氧化锌薄膜的诸多性质和这些性质在哪些方面的应用。同时要寻找纳米氧化锌材料与普通氧化锌材料相比有哪些优点、在发展中存在的问题和以后的研究方向。查询相关资料并阅读和理解之后,合理的安排介绍氧化锌作为宽禁带半导体材料的性质和应用。 三、文献综述 当前,电子器件的使用条件越来越恶劣,要适应高频、大功率、耐高温、抗辐照等特殊环境。为了满足未来电子器件需

氮化物宽禁带半导体—第三代半导体技术

氮化物宽禁带半导体一第三代半导体技术 张国义1,李树明2 北掌大学韵曩最,卜蘑■一目毫重点宴■宣 ‘2北大董光科技酣青曩公司 北囊1∞耵1 i盲謦。 莳耍曰曩了量化精半导体曲主要持征和应用■量.巨督圈辱上和重内的主曩研兜理状.市场分析与攮测.由此-u蚪再}11.氯化韵帕研究已妊成为高科技鬣壤田际竟争的■膏点之一.t为第三代半■体拄术,育形成蠢科技臣夫产_t群的r口艟 性.也存在着蠢积的竞争和蕞{;‘翻舶风龄. 众所周知,以Ge,Si为基础的半导体技术,奠定丁二十世纪电子工业的基础.其主要产品形式是以大规模集成电路为主要技术的计算机等电子产品.形成了巨大的徽电子产业 群。其技术水平标志是大的晶片尺寸和窄的线条宽度.如12英寸/0.15微米技术.是成 功的标志,被称之为第一代半导体技术.以G“s.InP.包括G吐l^s,IfIGaAsP,InGaAlP瞢 III—v族砷化物和碑化韵半导体技术,奠定了二十世纪光电子产业的基础,其主要产品形 式是以光发射器件,如半导体发光二极管(L肋)和激光嚣(LD)等.为基础的光显示. 光通讯,光存储等光电子系统,形成了巨大的信息光电产业群。其技术水平标志是使通讯 速度,信息容量,存储密度大幅度提高,被称之为第二代半导体技术. 对徽电子和光电子领域来说,二十世纪存在的问矗和二十一世纪发晨趋势是人们关心的问题.高速仍然是微电子的追求目标,高温大功率还是没有很好解决的问题;光电子的 主要发展趋势是全光谱的发光器件,特别是短波长(绿光.蓝光.咀至紫外波段)LED和 LD.光电集成(0EIc)是人们长期追求的目标,由于光电材料的不兼容性,还没有很好的 实现。事实上.这些问题是第一代和第二代半导体材料本身性质决定,不可舱解决的问 题。它需要寻找一种高性能的宽禁带半导体材料.而这一工作二十世纪后半叶就已经开 始.在世纪之交得以确认。那就是第三代半导体技术一III一族氮化物半导体技术. GaN、AlN和InN以及由它们组成的三元合金是主要的III族氰化物材料.所有氮化物晶体的稳定结构是具有六方对称性的纤锌矿结构,而在一些特定的条件下,例如在立方豸多。 衬底上外延时,GaN和InN能够形成立方对称性的闪锌矿结构.这两种结构只是原子层的 堆积次序不同,它们的原予最近邻位置几乎完全相同,而次近邻位置有所不同,因而它们 的性质根接近。三元合金A1GaN,InGaN也是重要的氰化物材料。它们的禁带宽度基本符 合vegard定理[1,2]。№tsuoka[3]通过计算指出AlN与GaN可咀组成组份连续变化的合 金,IrIN与GaN则存在较大的互熔间隙. 以氮化镓为基础的宽禁带半导体可以用来,并已经广泛用来制备高亮度蓝。绿光平"白光LED,蓝光到紫外波段的激光器(LD),繁外光传感器,等光屯子器件:高温人功率场 设麻品体管(FET).双极晶体管(HBT),高电子迁移率晶体管(HEMT)等徽电子器 什:这些器件构成了全色火屏幕LED显示和交通信号灯等应Hj的RGB1:鞋:向光LED将构 ?17?

导带与价带的关系资料

导带与价带的关系

精品资料 定义 导带(conduction band)是由自由电子形成的能量空间。即固体结构内自由运动的电子所具有的能量范围。对于金属,所有价电子所处的能带就是导带。对于半导体,所有价电子所处的能带是所谓价带,比价带能量更高的能带是导带。在绝对零度温度下,半导体的价带(valence band)是满带(见能带理论),受到光电注入或热激发后,价带中的部分电子会越过禁带(forbidden band/band gap)进入能量较高的空带,空带中存在电子后即成为导电的能带——导带。 导带是半导体最外面(能量最高)的一个能带,是由许多准连续的能级组成的;是半导体的一种载流子——自由电子(简称为电子)所处的能量范围。导带中往往只有少量的电子,大多数状态(能级)是空着的,则在外加作用下能够发生状态的改变,故导带中的电子能够导电,即为载流子。 导带底是导带的最低能级,可看成是电子的势能,通常,电子就处于导带底附近;离开导带底的能量高度,则可看成是电子的动能。当有外场作用到半导体两端时,电子的势能即发生变化,从而在能带图上就表现出导带底发生倾斜;反过来,凡是能带发生倾斜的区域,就必然存在电场(外电场或者内建电场)。 导带底到真空中自由电子能级的间距,称为半导体的亲和能,即是把一个电子载流子从半导体内部拿到真空中去所需要的能量。这是半导体的一个特征参量。 导带与价带的关系 对于未掺杂的本征半导体,导带中的电子是由它下面的一个能带(即价带)中的电子(价电子)跃迁上来而形成的,这种产生电子(同时也产生空穴——半导体的另外一种载流子)的过程,称为本征激发。在本征激发过程中,电子和空穴是成对产生的,则总是有“电子浓度=空穴浓度”。这实际上就是本征半导体的特征,因此可以说,凡是两种载流子浓度相等的半导体,就是本征半导体。这就意味着,不仅未掺杂的半导体是本征半导体,就是掺杂的半导体,在一定条件下(例如高温下)也可以转变为本征半导体。 价带的能量低于导带,它也是由许多准连续的能级组成的。但是价带中的许多电子(价电子)并不能导电,而少量的价电子空位——空穴才能导电,故称空穴是载流子。空穴的最低能量——势能,也就是价带顶,通常空穴就处于价带顶附近。 价带顶与导带底之间的能量差,就是所谓半导体的禁带宽度。这就是产生本征激发所需要的最小平均能量。这是半导体最重要的一个特征参量。 仅供学习与交流,如有侵权请联系网站删除谢谢2

新一代宽禁带半导体材料

新一代宽禁带半导体材料 回顾半导体的发展历程,随着不同时期新材料的出现,半导体的应用先后出现了几次飞跃。 首先,硅材料的发现使半导体在微电子领域的应用获得突破性进展,日用家电和计算机的广泛应用都应该归功于硅材料的应用。 而后,砷化镓材料的研究则使半导体的应用进入光电子学领域。用砷化镓基材料及其类似的一些化合物半导体,如镓铝砷、磷镓砷、铟镓砷、磷化镓、磷化铟和磷砷化镓等,制备出的发光二极管和半导体激光器在光通信和光信息处理等领域起到不可替代的作用,由此也带来了VCD和多媒体等的飞速发展。 目前,人们又开始研究新一代的宽禁带半导体材料,其中最有意义的是碳化硅、氮化镓和氧化锌。这些材料的共同特点是它们的禁带宽度在3.3到3.5电子伏之间,是硅的3倍,比砷化镓的禁带宽度也大了两倍以上。由于它们的一些特殊性质和潜在应用前景使它们备受关注。 碳化硅具有高热导率(硅的3.3倍)、高击穿场强(硅的10倍)、高饱和电子漂移速率(硅的2.5倍)以及高键合能等优点。所以特别适合于制造高频、大功率、抗辐射、抗腐蚀的电子器件,并且可以在几百度高温的恶劣环境下工作。可用于人造卫星、火箭、雷达、通讯、战斗机、海洋勘探、地震预报、石油钻井、无干扰电子点火装置、喷气发动机传感器等重要领域。目前,碳化硅高频大功率器件已应用到军用雷达、卫星通讯和高清晰度电视图像的发送和传播等方面。 氮化镓和砷化镓同属III-V族半导体化合物,但氮化镓是III-V族半导体化合物中少有的宽禁带材料。利用宽禁带这一特点制备的氮化镓激光器可以发出蓝色激光,其波长比砷化镓激光器发出的近红外波长的一半还要短,这样就可以大大降低激光束聚焦斑点的面积,从而提高光纪录的密度。与目前常用的砷化镓激光器相比,它不仅可以将光盘纪录的信息量提高四倍以上,而且可以大大提高光信息的存取速度。这一优点不仅在光纪录方面具有明显的实用价值,同时在光电子领域的其他方面也可以得到广泛应用。虽然人们早就认识到氮化镓的这一优点,但由于氮化镓单晶材料制备上的困难以及难于生长出氮化镓PN结,氮化镓发光器件的研究很长时间一直没有获得突破。经过近20年的努力,1985年通过先进的分子束外延方法大大改善了氮化镓材料的性能;1989年,Akasaki等人利用电子辐照方法实现了氮化镓P型材料的生长并制备出PN结;1995年Nakamura等人制备出发蓝紫光的氮化镓发光二极管,效率达到5%,赶上了传统的磷砷化镓发光二极管的效率,寿命超过一万小时。1997年,用氮化镓基材料制备的半导体激光器也开始面世。这一飞速发展的势头反映了氮化镓材料受重视的程度。有人估计,氮化镓器件在化合物半导体市场的份额将由1997年的2%很快上升到2006年的20%,成为光电子产业中非常重要的产品。 与氮化镓材料相比,氧化锌薄膜的紫外发光是刚刚开始的新兴课题。氧化锌是一种具有六方结构的自激活宽禁带半导体材料,室温下的禁带宽度为3.36eV,特别是它的激子结合能高达60毫电子伏,在目前常用的半导体材料中首屈一指,这一特性使它具备了室温下短波长发光的有利条件;此外,氧化锌具有很高的导电性,它还和其他氧化物一样具有很高的化学稳定性和耐高温性质,而且它的来源丰富,价格低廉。这些优点使它成为制备光电子器件的优良材料,极具开发和应用的价值。1997年日本和香港科学家合作研究得到了氧化锌薄膜的近紫外受激发光,开拓了氧化锌薄膜在发光领域的应用。由于它产生的受激发射的波长比氮化镓的发射波长更短,对提高光信息的纪录密度和存取速度更加有利,而且价格便宜。目前,除了氧化锌薄膜的发光特性外,也有人发现了氧化锌薄膜的光生伏特效应,显示出用它制备太阳能电

宽禁带功率MOSFET半导体器件的研究进展

宽禁带功率MOSFET半导体器件的研究进展半个世纪以来,功率半导体器件得到长足发展,极大地促进了电力电子技术的进步,而功率半导体器件的发展主要基于整个微电子领域的基石——硅材料。19世纪80年代以来,硅材料本身的物理特性对硅基功率器件性能的限制被认识得越来越清晰。 实现低导通电阻的方法是提高材料的临界击穿电场,也就是选择宽禁带的半导体材料。根据更符合实际应用,以及综合考虑功率器件的导通损耗、开关损耗和芯片面积等因素的估算,碳化硅、氮化镓和金刚石功率器件大大降低了损耗和器件面积,新型宽禁带半导体材料将引发功率器件的巨大进步。 同时,以碳化硅、氮化镓和金刚石为代表的宽禁带半导体材料具有较大的电子饱和速度,可以应用于射频器件领域。碳化硅和金刚石具有较高的热导率,适用于对需要耗散较大功率并且半导体芯片热阻是系统热阻一个重要组成部分的大功率应用领域。 基于材料的优越性能,宽禁带半导体功率器件受到广泛关注和深入研究。由于其器件性能的优势基本来源于材料本身,所以宽禁带半导体材料的研究是新型功率器件研究首先要面临的挑战。 2.碳化硅功率器件 碳化硅SiC、氮化镓GaN和金刚石是典型的宽禁带半导体材料。基于碳化硅材料的功率器件经过了长时间研究,已经具有较高的成熟度和可靠性。2004年,Cree公司成功研发微管密度低于10cm-2的高质量3英寸4H-SiC材料,并投放市场。2007年,该公司又推出了4英寸零微管密度的4H-SiC材料,可用于制作大尺寸的高功率器件。 目前Cree公司、II-VI公司、Dow Corning公司和Nippon Steel已经批量生产4英寸碳化硅晶圆。2010年业界发布了6英寸的碳化硅晶圆。150mm的晶圆毫无疑问会降低碳化硅器件制造成本,并且为4H-SiC功率器件的发展提供坚实基础。 2.1 碳化硅功率二极管

113种无机半导体导带和价带数据

113种无机半导体导带和价带数据

无机半导体能带、导带和价带能级数据 The absolute energy positions of conduction and valence bands of selected semiconducting minerals, AmericanMineralogist, 2000,85:543–556. 半导体 E g(eV ) E CB (VS . NH E) E VB (VS . NH E) 半导体 E g(e V) E CB (VS . NH E) E VB (VS . NH E) Ag2O 1.2eV 0.1 9 1.3 9 AlTiO3 3.6e V -0.8 6 2.7 4 BaTiO3 3.3eV 0.0 8 3.3 8 Bi2O3 2.8e V 0.3 3 3.1 3 CdO 2.2eV 0.1 1 2.3 1 CdFe2O4 2.3e V 0.1 8 2.4 8 Ce2O3 2.4eV -0.5 1.9 CoO 2.6e V -0.1 1 2.4 9 CoTiO32.25e V 0.1 4 2.3 9 Cr2O3 3.5e V -0.5 7 2.9 3 CuO 1.7e V 0.4 6 2.1 6 Cu2O 2.2e V -0.2 8 1.9 2 CuTiO3 2.99e-0.1 2.8FeO 2.4e-0.1 2.2

V 8 1 V 7 3 Fe2O3 2.2eV 0.2 8 2.4 8 Fe3O4 0.1e V 1.2 3 1.3 3 FeOOH 2.6eV 0.5 8 3.1 8 FeTiO3 2.8e V -0.2 1 2.5 9 Ga2O3 4.8eV -1.5 5 3.2 5 HgO 1.9e V 0.6 3 2.5 3 Hg2Nb2O7 1.8eV 0.8 1 2.6 1 Hg2Ta2O7 1.8e V 0.8 4 2.6 4 In2O3 2.8eV -0.6 2 2.1 8 KNbO3 3.3e V -0.8 6 2.4 4 KTaO3 3.5eV -0.9 3 2.5 7 La2O3 5.5e V -1.9 7 3.5 3 LaTi2O74eV -0.6 3.4 LiNbO33.5e V -0.7 3 2.7 7 LiTaO34eV -0.9 5 3.0 5 MgTiO3 3.7e V -0.7 5 2.9 5 MnO 3.6eV -1.0 1 2.5 9 MnO2 0.25 eV 1.3 3 1.5 8 MnTiO3 3.1eV -0.4 6 2.6 4 Nb2O5 3.4e V 0.0 9 3.4 9 Nd2O3 4.7eV -1.6 3.0NiO 3.5e-0.5 3

宽禁带半导体技术

宽禁带半导体技术 李耐和 概述 根据半导体材料禁带宽度的不同,可分为宽禁带半导体材料与窄禁带半导体材料。若禁带宽度Eg<2ev (电子伏特),则称为窄禁带半导体,如锗(Ge)、硅(Si)、砷化镓(GaAs)以及磷化铟(InP);若禁带宽度Eg>2.0-6.0ev,则称为宽禁带半导体,如碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、4H碳化硅(4H-SiC)、6H碳化硅(6H-SiC)、氮化铝(AIN)以及氮化镓铝(ALGaN)等。宽禁带半导体材料具有禁带宽度大、击穿电场强度高、饱和电子漂移速度高、热导率大、介电常数小、抗辐射能力强以及良好的化学稳定性等特点,非常适合于制作抗辐射、高频、大功率和高密度集成的电子器件;而利用其特有的禁带宽度,还可以制作蓝、绿光和紫外光器件和光探测器件。因此,美国、日本、俄罗斯等国都极其重视宽禁带半导体技术的研究与开发。从目前宽禁带半导体材料和器件的研究情况来看,研究重点多集中于SiC和GaN技术,其中SiC技术最为成熟,研究进展也较快;GaN技术应用广泛,尤其在光电器件应用方面研究比较深入。 目前,多家半导体厂商演示了具有高功率、高功率附加效率(PAE)、高增益以及较宽工作带宽的宽禁带半导体。这些器件工作频率范围很宽,从不足1GHz到40GHz,而且性能优异。虽然自20世纪90年代以来的10多年时间里,SiC器件的演示结果非常喜人,但是高性能宽禁带器件的产量一直很低。一个主要原因就是无法得到理想的SiC基底――不但要具有足够高电阻系数,可以提供半绝缘特性,而且严重缺陷(如微孔)数量要足够低。由于没有高质量的基底,就无法通过宽禁带材料的同质/异质外延生长获得制作微波与毫米波器件所需的高度一致性、具有足够高电子迁移率的大尺寸晶片。 值得一提的是,在过去的3年里,SiC基底研制进展迅速,不仅圆片直径有所加大,而且缺陷数量与电阻率都达到了大批量生产性能优异的宽禁带器件与MMIC(单片微波集成电路)的技术要求。此外,宽禁带外延结构演示结果也令人满意。例如,GaNHEMT(高电子迁移率晶体管)在2.1GHz时饱和功率输出174W,PAE高达54%,其150W输出功率(2.1GHz)的线性增益为12.9dB。 技术现状 在过去的几年里,由于美国政府以及商业部门的大力支持,宽禁带半导体技术取得迅速进展。尤其是2002年美国国防先进研究计划局(DARPA)启动与实施的宽禁带半导体技术计划(WBGSTI),已成为加速改进SiC、GaN以及AIN等宽禁带半导体材料特性的重要催化剂。 在该计划第一阶段(2002-2004年)期间,市售SiC基底直径已由2英寸增加到3英寸;同时,部分供应商正在研制4英寸SiC基底,预计2006年商品化。目前,至少一家供应商(如Cree公司)已经建立SiC器件与MMIC圆片代工厂,并出售高功率SiC器件。表1则给出利用MBE(分子束外延)以及MOCVD (金属有机化合物气相沉积)技术生长的GaN外延层性能指标。同样,在获得可再现高电子迁移率活性层以及在材料特性一致性方面也取得了令人满意的结果。 表1 WEGSTI第一阶段GaN外延生长结果

导带与价带的关系

定义 导带(conduction band)就是由自由电子形成的能量空间。即固体结构内自由运动的电子所具有的能量范围。对于金属,所有价电子所处的能带就就是导带。对于半导体,所有价电子所处的能带就是所谓价带,比价带能量更高的能带就是导带。在绝对零度温度下,半导体的价带(valence band)就是满带(见能带理论),受到光电注入或热激发后,价带中的部分电子会越过禁带(forbidden band/band gap)进入能量较高的空带,空带中存在电子后即成为导电的能带——导带。 导带就是半导体最外面(能量最高)的一个能带,就是由许多准连续的能级组成的;就是半导体的一种载流子——自由电子(简称为电子)所处的能量范围。导带中往往只有少量的电子,大多数状态(能级)就是空着的,则在外加作用下能够发生状态的改变,故导带中的电子能够导电,即为载流子。 导带底就是导带的最低能级,可瞧成就是电子的势能,通常,电子就处于导带底附近;离开导带底的能量高度,则可瞧成就是电子的动能。当有外场作用到半导体两端时,电子的势能即发生变化,从而在能带图上就表现出导带底发生倾斜;反过来,凡就是能带发生倾斜的区域,就必然存在电场(外电场或者内建电场)。 导带底到真空中自由电子能级的间距,称为半导体的亲与能,即就是把一个电子载流子从半导体内部拿到真空中去所需要的能量。这就是半导体的一个特征参量。 导带与价带的关系 对于未掺杂的本征半导体,导带中的电子就是由它下面的一个能带(即价带)中的电子(价电子)跃迁上来而形成的,这种产生电子(同时也产生空穴——半导体的另外一种载流子)的过程,称为本征激发。在本征激发过程中,电子与空穴就是成对产生的,则总就是有“电子浓度=空穴浓度”。这实际上就就是本征半导体的特征,因此可以说,凡就是两种载流子浓度相等的半导体,就就是本征半导体。这就意味着,不仅未掺杂的半导体就是本征半导体,就就是掺杂的半导体,在一定条件下(例如高温下)也可以转变为本征半导体。 价带的能量低于导带,它也就是由许多准连续的能级组成的。但就是价带中的许多电子(价电子)并不能导电,而少量的价电子空位——空穴才能导电,故称空穴就是载流子。空穴的最低能量——势能,也就就是价带顶,通常空穴就处于价带顶附近。 价带顶与导带底之间的能量差,就就是所谓半导体的禁带宽度。这就就是产生本征激发所需要的最小平均能量。这就是半导体最重要的一个特征参量。

宽禁带半导体的本征载流子浓度

宽禁带半导体的本征载流子浓度 列举了有代表性的宽禁带半导体本征载流子浓度的理论公式,简要叙述了温度与禁带宽度变化的关系,讨论了本征载流子浓度对电力电子器件参数特性的影响,并通过与硅材料的对比说明了宽禁带半导体的优异性能。 标签:宽禁带半导体;本征载流子;禁带宽度;电力电子器件 半导体材料的发展已历经三代,即分别以硅(Si)和砷化镓(GaAs)为代表的第一、第二代半导体材料,和以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)为代表的第三代半导体材料,也称宽禁带半导体材料。由于其具有更宽的禁带宽度、更高的击穿电场强度、更高的热导率、更高的电子饱和漂移速度等独特的参数特性,因而在电力电子器件、光电器件、射频微波器件、激光器和探测器等方面,显示出广阔的发展前景,已成为目前世界各国半导体研究的重点。在这其中,电力电子器件是在高电压、大电流和高温下工作的,本征载流子浓度等温度敏感参数对器件的特性有着显著的影响,而宽禁带半导体材料比硅材料在这方面有着明显的优势,了解和把握这一点,对于研究宽禁带电力电子器件的参数特性显得十分必要。 1 本征载流子浓度的理论公式 根据半导体物理学,半导体的本征载流子浓度ni由下式给出: 2 温度对禁带宽度的影响 研究表明:随着温度的上升,禁带宽度将随之减小。文献[2]、[4]给出了硅和其它半导体禁带宽度与温度之间关系的表达式: 文献[2]给出了不同半导体材料禁带宽度参数,见表2。其中Eg(0)为00K 时的禁带宽度,α、β均为温度变化系数。 3 Eg与ni对电力电子器件参数特性的影响 3.1 Eg对击穿电压的影响 在描述半导体的雪崩击穿电压VB与材料禁带宽度Eg和杂质浓度NB的关系时,文献[5]引用了S.M.Sze公式: VB=60(Eg/1.1)1.5(NB/1016)-0.75 (8) 对于p+n结,当NB=1014cm-3时,分别将Si的Eg=1.12eV、4H-SiC的Eg=3.23eV代入式(8),计算出Si的雪崩击穿电压为1900V,而4H-SiC的雪崩击穿电压可达9500V,是Si的5倍。

导带价带禁带

导带价带禁带 GE GROUP system office room 【GEIHUA16H-GEIHUA GEIHUA8Q8-

【半导体】 (1)导带conduction band A解释 导带是由自由电子形成的能量空间。即固体结构内自由运动的电子所具有的能量范围。 对于金属,所有价电子所处的能带就是导带。 对于半导体,所有价电子所处的能带是所谓价带,比价带能量更高的能带是导带。在绝对零度温度下,半导体的价带(valence band)是满带(见能带理论),受到光电注入或热激发后,价带中的部分电子会越过禁带(forbidden band/band gap)进入能量较高的空带,空带中存在电子后即成为导电的能带——导带。 B导带的涵义: 导带是半导体最外面(能量最高)的一个能带,是由许多准连续的能级组成的;是半导体的一种载流子——自由电子(简称为电子)所处的能量范围。导带中往往只有少量的电子,大多数状态(能级)是空着的,则在外加作用下能够发生状态的改变,故导带中的电子能够导电,即为载流子。 导带底是导带的最低能级,可看成是电子的势能,通常,电子就处于导带底附近;离开导带底的能量高度,则可看成是电子的动能。当有外场作用到半导体两端时,电子的势能即发生变化,从而在能带图上就表现出导带底发生倾斜;反过来,凡是能带发生倾斜的区域,就必然存在电场(外电场或者内建电场)。 导带底到真空中自由电子能级的间距,称为半导体的亲和能,即是把一个电子载流子从半导体内部拿到真空中去所需要的能量。这是半导体的一个特征参量。 (2)价带与禁带 价带(valence band)或称价电带,通常是指半导体或绝缘体中,在0K 时能被电子占满的最高能带。对半导体而言,此能带中的能级基本上是连续的。全充满的能带中的电子不能在固体中自由运动。但若该电子受到光照,它可吸收足够能量而跳入下一个容许的最高能区,从而使价带变成部分充填,此时价带中留下的电子可在固体中自由运动。价带中电子的自由运动对于与晶体管有关的现象是很重要的。被价电子占据的允带(低温下通常被价电子占满)。

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