ZDR 电阻真空计
电阻真空计
◆ZDZ-52T/1B2型电阻真空计 ◆ZDZ-52T/1B3型电阻真空计 技术参数: ●测量路数：1路 ●规管型号：ZJ-52T电阻规 ●测量范围：1.0×105Pa～ 1.0×10-1Pa ●控制范围：2.5×103Pa～ 5.0×10-1Pa ●控制路数：2路 ●控制精度：±1％ ●控制方式：继电器触点通断、负载能力AC220V/3A DC28V/10A（无感负载） 点动或区域控制/带掉电记忆 ●显示方式：五位LED数字显示，采用科学计数法，例：1.2E-1表示为1.2×10-1Pa ●模拟输出：（0～5）V；（4～20）mA ●通讯接口： RS-485 ●采样时间： 1S ●电源：AC 220V±10% 50Hz ●功耗：30W ●重量：约3.5Kg ●机箱尺寸：ZDZ-52T/1B2型 88×280×260 mm （高×宽×深） ZDZ-52T/1B3型 96×96×160mm （高×宽×深） ●使用环境温度：0℃～45℃湿度：≦85％
◆ZDZ-51A1型双电阻真空计 技术参数: ●测量路数：2路（电阻规2路） ●规管型号：ZJ-52T电阻规 ●测量范围：1.0×105Pa～ 1.0×10-1Pa ●控制范围：2.5×103Pa～ 5.0×10-1Pa ●控制路数：4路 ●控制精度：±1％ ●控制方式：继电器触点通断、负载能力AC220V/3A DC28V/10A（无感负载） 点动或区域控制/带掉电记忆 ●显示方式：五位LED数字显示，采用科学计数法 例：1.2E-1表示为1.2×10-1Pa ●通讯接口：RS-232/RS-485 ●采样时间： 1S ●电源： AC 220V±10% 50Hz ●功耗：30W ●重量：约6Kg ●机箱尺寸：88×480×280 mm （高×宽×深） ●使用环境温度：0℃～45℃湿度：≦85％
ZDZ T电阻真空计说明书
产品名称: 电阻真空计 产品型号： ZDZ-52T 使用说明书
Operation Panel 目录
1.简介--------------------------------------------------1 1.1 仪器简介----------------------------------------1 1.2 包装内容----------------------------------------1 2. 主要技术参数-----------------------------------------1 3. 仪器安装---------------------------------------------2 3.1仪器安装尺寸-------------------------------------------2 3.2仪器后面板图示及接线说明-----------------------------2 4. 仪器操作指南------------------------------------------------2 5. 故障诊断---------------------------------------------3 6. 注意事项 -------------------------------------- --4 1.1仪器简介 ZDZ-52T型电阻真空计,可测量1路规管信号，控制2路继电器触点输出及0～5V模拟量输出。在测量范围内,可自由设定点控或区域控制。适合用于粗、低真空的测控。 ZDZ-52T型电阻真空计采用高档微处理器作主机,压缩外围部件,以提高可靠性。本机电源采用高档模块电源，硬件采用模块化结构设计及EMI抑制、WATCHDOG电路,软件采用冗余、陷阱、数字滤波等抗干扰技术,进一步提高了仪器的抗干扰能力及整机性能,使仪器具有很高的可靠性,可在恶劣的工业环境下使用。 1.2 包装内容 ◆ZDZ-52电阻真空计一台 ◆ZDZ-52使用手册一本 ◆ZJ-52T电阻规管一支 ◆5芯电缆线(5M) 一根 ◆电源线(1.5M) 一根 2.主要技术参数 1测量路数 1路 2 测量范围 1.0×105—1.0×10-1 (Pa) 4 配接规管 ZJ-52T/KF16
皮拉尼真空计原理详解
皮拉尼真空计原理 的原理，通过测量保持在不同温度的两固定元件表面间热能的传递来 利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的，而 皮拉尼真空计,也称电阻式真空规。其工作原理是：真空度不同， 是温度的函数，所以不同的真空度就引起了电阻率的不同，则电阻就不同，电流在电阻丝上的压降就不同，根据电压的变化就能换算出空 低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。 原理 Pirani皮拉尼真空计构造如图所示。金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发
热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金 线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立 Ｑ = Ｉ2Ｒ = Ｑg + Ｑr + Ｑs (1) Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。 气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为 Ｑg = αΛπｄａ(Ｔ－Ｔ0)ｐ (2) 如图所示,T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。剩下的Qs和Qr可以分别表示如下 Ｑs = Ｓκ(Ｔ－Ｔ0)/Ｌ (3)
Ｑr = πｄａσε(Ｔ4－Ｔ04) (4) (3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,Ｌ是电极的长度。 (4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为 Ｉ2Ｒ = Ａｐ＋ I02Ｒ (5) Ａ= αΛπｄａ(Ｔ－Ｔ0) (6) I0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。Ａ式是不依存压力的定数如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。
微机型数显复合真空计使用说明书
目录 1、安全说明 (1) 2、技术参数 (2) 3、工作原理 (3) 4、性能概述 (4) 5、使用概述 (5) 6、规管性能概述 (7) 7、规管外形及安装 (10) 8、真空计与规管连线 (12) 9、真空计开机及显示说明 (13) 10、真空计使用方法 (13) 电阻2单元使用方法 (13) 电阻1与电离复合单元使用方法 (15) 11、真空计去气 (17) *12、控制功能及设定方法 (17) *13、控制输出 (18) *14、扩展功能 (20) 机箱规格 (22) 15、附录规管接口 (24) 常见问题 (27) *号内容属选配功能说明，仅选配了此功能相应配置有效
1、安全说明 ▲为确保该真空计的正常功能，使其具有较高的准确度、稳定性和较长的使用寿命，请根据本说明书中规定的允许值和应用条件进行操作和使用。 ·操作、维护和维修该真空计时，请遵守电气设备的安全规范。′ ·避免大气压下开启电离规灯丝，这将烧毁电离规灯丝。 ·避免真空系统或管道有真空时，强制拆卸规管。 ·避免用于“正压”的真空系统安装普通规管，应安装承受“正压”的规管。 ·避免真空系统中腐蚀性气体腐蚀电阻规传感丝及电离规各电极，以延长规管寿命。 ·采用适当措施防止误操作或不允许的损坏。 ·如未按本说明书操作，我们将不承担任何责任；有关该真空计及其附件的保证条款也将无效。该说明书使用符号说明： ▲注意：表示必须遵循的信息，如未遵循可能会导致对人身的伤害和对该真空计的损坏。 ●表示重要的附加信息和技巧或建议。 炫辰钛金保留对产品外观及设计改进和改变的权利，而无需事先通知，产品及配件以实物为准。2、技术参数 电阻单元技术参数： ·配用规管型号:ZJ-52T电阻规 ·电阻规传感丝冷态电阻值Ω±Ω) ·真空度测量范围（对干燥空气或氮气） ×105～×103可测范围。 ×103～×10-1不大于显示值的±30% ×10-1～×10-1可测范围。 ·有效控制范围×103～×10-1Pa。
电阻真空计测量线路的三种模式
书山有路勤为径，学海无涯苦作舟 电阻真空计测量线路的三种模式 实用的电阻真空计测量线路常采用惠氏电桥或文氏电桥。根据测量热 丝电阻变化的方法不同，可分为三种模式： (1)定电压法：保持电桥两端电压不变，观察失平衡电流与压力的关系。 (2)定电流法：保持热丝电流(或电桥电流)不变，观察失平衡电压与压力 的关系。 (3)定电阻法(即定温度法)：在任何压力下都用改变电桥电压的方法，保 持电桥于平衡状态。电桥电压与压力的关系即为校准曲线。在此方法中，热丝 电阻及其温度基本为定值，具有热辐射及边杆导热均为恒定的优点。 在以上三种模式中，常用的是定电压法和定温度法。 定压型电阻真空计的测量线路原理如当规管内的压力变化时，由于被气 体传导走的热量不同于开始时的平衡状态，因而热丝的温度发生变化，引起其 电阻值改变，电桥失去平衡。压力的变化由指示仪表CB 读出，CB 指示的电流值与压力的关系，通过校准曲线给出。规管热丝用半径r1 =0.01mm 的钨丝绕制成圆柱螺旋形，其室温下电阻Rw =200Ω。由于各种气体的导热系数不同，因此，对不同种类气体的校准曲线是不同的。 定压型测量线路的优点是结构简单；不足之处是电桥电压是固定的，故 在压力高时由于气体导热快，热丝温度降低，导致规管灵敏度下降，测量高于100Pa 的压力就甚为困难。实际上，定电压型测量线路的测量上限并未达到规管的理论值(即λ≈r1 所对应的压力)。真空技术网(chvacuum/)认为为了保证高压力时有较高的灵敏度，必须使热丝此时处于足够高的温度，然而在 压力变低时它的温度将增高到有可能使热丝氧化或烧毁的程度。
微机型数显复合真空计使用说明书范文
微机型数显复合真空计使用说明书
目录 1、安全说明 (1) 2、技术参数 (2) 3、工作原理 (3) 4、性能概述 (4) 5、使用概述 (5) 6、规管性能概述 (7) 7、规管外形及安装 (10) 8、真空计与规管连线 (12) 9、真空计开机及显示说明 (13) 10、真空计使用方法 (13) 10.1电阻2单元使用方法 (13) 10.2电阻1与电离复合单元使用方法 (15) 11、真空计去气 (17) *12、控制功能及设定方法………………………………………………
17 *13、控制输出 (18) *14、扩展功能 (20) 机箱规格 (22) 15、附录规管接口 (24) 常见问题 (27) *号内容属选配功能说明，仅选配了此功能相应配置有效 1、安全说明 ▲为确保该真空计的正常功能，使其具有较高的准确度、稳定性和较长的使用寿命，请根据本说明书中规定的允许值和应用条件进行操作和使用。 ·操作、维护和维修该真空计时，请遵守电气设备的安全规范。′·避免大气压下开启电离规灯丝，这将烧毁电离规灯丝。
·避免真空系统或管道有真空时，强制拆卸规管。 ·避免用于“正压”的真空系统安装普通规管，应安装承受“正压”的规管。 ·避免真空系统中腐蚀性气体腐蚀电阻规传感丝及电离规各电极，以延长规管寿命。 ·采用适当措施防止误操作或不允许的损坏。 ·如未按本说明书操作，我们将不承担任何责任；有关该真空计及其附件的保证条款也将无效。 该说明书使用符号说明： ▲注意：表示必须遵循的信息，如未遵循可能会导致对人身的伤害和对该真空计的损坏。 ●表示重要的附加信息和技巧或建议。 炫辰钛金保留对产品外观及设计改进和改变的权利，而无需事先通知，产品及配件以实物为准。 2、技术参数 2.1 电阻单元技术参数： ·配用规管型号:ZJ-52T电阻规 ·电阻规传感丝冷态电阻值(86.5Ω±1.7Ω) ·真空度测量范围（对干燥空气或氮气） 1.0×105～ 2.5×103可测范围。 2.5×103～5.0×10-1不大于显示值的±30%
微机型数显复合真空计使用说明书
微机型数显复合真空计 使用说明书 -CAL-FENGHAI.-(YICAI)-Company One1
目录 1、安全说明 (1) 2、技术参数 (2) 3、工作原理 (3) 4、性能概述 (4) 5、使用概述 (5) 6、规管性能概述 (7) 7、规管外形及安装 (10) 8、真空计与规管连线 (12) 9、真空计开机及显示说明 (13) 10、真空计使用方法 (13) 电阻2单元使用方法 (13) 电阻1与电离复合单元使用方法 (15) 11、真空计去气 (17) *12、控制功能及设定方法 (17) *13、控制输出 (18) *14、扩展功能 (20) 机箱规格 (22) 15、附录规管接口 (24) 常见问题 (27) *号内容属选配功能说明，仅选配了此功能相应配置有效
1、安全说明 ▲为确保该真空计的正常功能，使其具有较高的准确度、稳定性和较长的使用寿命，请根据本说明书中规定的允许值和应用条件进行操作和使用。 ·操作、维护和维修该真空计时，请遵守电气设备的安全规范。′ ·避免大气压下开启电离规灯丝，这将烧毁电离规灯丝。 ·避免真空系统或管道有真空时，强制拆卸规管。 ·避免用于“正压”的真空系统安装普通规管，应安装承受“正压”的规管。 ·避免真空系统中腐蚀性气体腐蚀电阻规传感丝及电离规各电极，以延长规管寿命。 ·采用适当措施防止误操作或不允许的损坏。 ·如未按本说明书操作，我们将不承担任何责任；有关该真空计及其附件的保证条款也将无效。 该说明书使用符号说明： ▲注意：表示必须遵循的信息，如未遵循可能会导致对人身的伤害和对该真空计的损坏。 ●表示重要的附加信息和技巧或建议。 炫辰钛金保留对产品外观及设计改进和改变的权利，而无需事先通知，产品及配件以实物为准。 2、技术参数 电阻单元技术参数： ·配用规管型号:ZJ-52T电阻规 ·电阻规传感丝冷态电阻值Ω±Ω) ·真空度测量范围（对干燥空气或氮气） ×105～×103可测范围。 ×103～×10-1不大于显示值的±30% ×10-1～×10-1可测范围。 ·有效控制范围×103～×10-1Pa。
常用真空计的测量范围
常用真空计的测量范围及其性能 李苹平 (合肥华瑞真空科技有限公司) 介绍几种测量范围为10-8～105Pa的常用真空计，其应用十分广泛，性能较好，价格较低。 热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计（可测量超高、高真空）、电容薄膜真空计、热电偶真空计、电阻真空计及压缩式真空计、压敏（压力敏感元件）电阻真空计。本文仅介绍应用广泛性能较好且价格较低的几种真空计，测量范围参见图1。 1 电离真空计 电离真空计的离子流与压强关系为线性关系（直接测量参数与所需测量参数之间为线性关系，可作为直观仪表），规管（测量元件）测量上限由规管非线性不超过20％所对应的压强确定，测量下限由规管本底压强示值的10倍确定[2]。（在非线性不超过20%时，可近似为线性测量） 电离计总的测量范围为10-8～102Pa，一般说来，每一种结构的规管只能覆盖一部分。（每一种结构的规管产生的离子流与压强在一定范围内成线性相关）BA计收集极做成针状，它的X光本底电流小，因而下限可达10-8Pa，是一种超高真空计。它的上限为10-1Pa，灯丝是钨丝。 DL-2型真空规管在上世纪50年代在我国生产，它是高真空规管，测量范围是lO-5～10-1Pa，钨灯丝。钨灯丝在高压强易氧化而烧断，规管在10-1Pa工作寿命约1个星期。因而上限不能超过10-1Pa。70年代研制了DL-5型中真空规管[3]。它的测量范围是10-4～10 Pa。该规管在国内首先用敷氧化钇铱丝作灯丝，可以在高压强工作。高压强规管的几何尺寸要小，以减小电子在行程中与气体分子碰撞。后来有人做出_DL-8型规管，它的几何尺寸比DL-5更小，上限可达100 Pa。热阴极电离计在压强大于10 Pa时使用不太合适（测量元件在高压强下易氧化而烧断）。在高压强时发射电流应减小。 上世纪80年代，用敷氧化钇铱丝代替BA计中的钨丝做出DL-7型BA
真空计常见类型
真空计常见类型 真空计简介 真空计，又叫真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。真空计种类繁多，为了研究和使用方便，合理分类是很重要的。角度不同，分类方法也不同，在这里笔者介绍两种常用的分类法。 1、按真空计刻度方法分类 （1）绝对真空计：直接读取气体压力，其压力响应（刻度）可通过自身几何尺寸计算出来或由测力计确定。绝对真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关。属于绝对真空计的有U 型管压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。 （2）相对真空计：由一些与气体压力有函数关系的量来确定压力，不能通过简单的计算进行刻度，必须进行校准才能刻度。相对真空计一般由作为传感器的真空计规管和用于控制、指示的测量器组成，读数与气体种类有关。相对真空计的种类很多，如热传导真空计和电离真空计等。 2、按真空计测量原理分类 按真空计测量原理分类，可以分成直接测量真空计和间接测量真空计。直接测量真空计系直接测量单位面积上的力，属于这类真空计的有： （1）静态液位真空计。利用U型管两端液面差来测量压力。 （2）弹性元件真空计。利用与真空相连的容器表面上受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。 压力为10-1 Pa时，作用在1cm2表面上的力只有10-5 N，显然测量这样小的力是困难的，但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。属于间接测量真空计的有： （1）压缩式真空计。其原理是在 U 型管的基础上再应用波义耳定律，即将一定量待测压力的气体，经过等温压缩使之压力增大，以便用 U 型管真空计测量，然后用体积和压力的关系计算被测压力。（2）热传导真空计。利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。 （3）热辐射真空计。利用低压下气体热辐射与压力有关的原理。 （4）电离真空计。利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离，产生的离子流随压力变化的原理。如热如热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。 （5）放电管指示器。利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度，一般仅能作为定性测量。 （6）粘滞真空计。利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理。如振膜式真空计和磁悬浮转子真空计。 （7）场致显微仪。以吸附和解吸时间与压力的关系计算压力。 （8）分压力真空计。利用质谱技术进行混合气体分压力测量。常用的有四极质谱计、回旋质谱计和射频质谱计等。
真空计使用说明新版
1、复合真空计使用说明 1.1 主要性能： 1.1.1 本复合真空计由一个热偶计和一个宽量程的复合真空计构成． 热偶采用单一的一支ZJ—54D 热偶规管进行测量。 复合真空计用一支ZJ－54D 热偶规和一支ZJ－10 电离规进行测量。 1.1.2 测量范围： 热偶计：103Pa～10-1Pa 复合计：103Pa～10-4Pa 。其中电离规3.5Pa～10-4Pa。 1.1.3 本复合真空计配有RS232 接口，可与带相应接口的计算机联机。测量数据由计算机进行管理。 1.1.4 供电：本复合真空计采用单相220V 交流供电。 电压范围：220V AC±10%； 消耗功率：≤30W 1.1.5 使用和储存环境：温度：5℃～35℃ 湿度：0～85 % 严禁在高温潮湿和有腐蚀性气体的环境下工作和储存。 严禁在工作时猛烈碰撞。 1.1.6 机箱尺寸：宽×高×深＝480×119×320 重量：约7Kg 1.1.7 出厂时规管引线均为5m。最长建议不要长于10m。 1.1.8 RS232 接口建议采用屏蔽电缆。屏蔽线与机壳相连，并接地。 1.1.9 电离规的启动方式：由面板上的自动、手动开关控制。 自动方式下，热偶规测量值<3.5Pa时接通，>4.0Pa 时关闭。 手动方式下，由面板上的二个ON和OFF按纽控制。 当真空度大于10Pa时，请不要打开电离规。 2.操作说明： 本复合真空计是采用单片机技术的智能化仪器。 打开电源后，真空计初始化显示“HZ HZ HZ HZ”初始化完后,热偶计直接进入工作状态。没有接入规管或规管暴露在大气中时，都是显示103Pa。 复合计：分手动和自动启动方式，在面板上，设有电离规状态指示灯。电离规关闭或没接或故障时，ZJ－10 指示灯亮。 在手动方式下，在没有接通电离规之前，若热偶规正常，则指示热偶规测量的真空值。接通电离规后，显示的是电离规测量的真空度。电离规测量值≥5.0Pa 时，自动关闭电离规灯丝。 在自动方式下。当热偶规测量值在103～3.5Pa 范围内时，显示的是热偶规的测量值。≤3.5Pa 时，显示的是电离规的测量值。 当热偶规测量值＜3.5Pa 时，自动启动电离规。 当热偶规或电离规测量值≥4.0Pa 时，自动关闭电离规。 若没有接热偶规或热偶规故障，窗口指示“－、－0”。 热偶规测量值＞5Pa而电离规不能关闭时，窗口指示“－、－1”。 注意：仪器电源没切断前，不能更换规管！ 电离规在灯丝关闭状态下，仍有高压！ 3.RS232 口通讯协议： 本复合真空计提供一个可与带有RS232 通讯接口的计算机相接的标准
真空计的基础知识
真空计的基础知识 真空是一种不存在任何物质的空间状态，是一种物理现象。在“真空”中，声音因为没有介质而无法传递，但电磁波的传递却不受真空的影响。事实上，在真空技术里，真空系针对大气而言，一特定空间内部之部份物质被排出，使其压强小于一个标准大气压，则我们通称此空间为真空或真空状态。1真空 常用帕斯卡（Pascal）或托尔（Torr）做为压力的单位。目前在自然环境里，只有外太空堪称最接近真空的空间。真空计（Vacuum Gauge），又称规，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。 真空计是按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜 电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。 按真空度刻度方法分类 （1）绝对真空计：直接读取气体压力，其压力响应（刻度）可通过自 身几何尺寸计算出来或由测力确定。绝对真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关，属于绝对真空计的有U型镑压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。 （2）相对真空计：由一些气体压力有函数关系的量来确定压力，不能 通过简单的计算进刻度，必须进行校准才能刻度。相对真空计一般由作为传感器的真空计规管（或规头）和用于控制、指示的测量器组成。读数与气体种类有关。相对真空计的种类很多，如热传导真空计和电离真空计等。
真空计说明书
ZDR—II—LED 微机型数显电阻真空计 使用说明书 OPERATION.INSTRUCTION
一、简介 ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计，是目前国内的新型真空计测量仪器。它采用微机控制、数字显示，具有测量精度高，控制准确方便，显示直观等特点。 本仪器采用当今世界流行的薄膜面板及能触摸按钮，造型美观大方。 二、适用范围 ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计配ZJ-52T电阻规管，其测量范围为1*105～1*10-1Pa，适用于要求测量范围宽，反映灵敏的粗、低真空的双路测量，并带有双路定值控制功能。 三、技术指标 1、ZJ-52T规管电阻值：85Ω 2、真空度测量范围：1*105～1*10-1Pa 3、定值控制设定范围：1*105～1*10-1Pa 4、定值控制负数：AC220V/3A（或DC28V/10A） 5、放大器满度误差：≤4％±1个字 6、工作电源：220V±10% 50HZ±5% 7、功耗：约30W 8、使用环境温度：0～45℃ 9、空气相对湿度：＜85% 10、仪器外型规格：480*88*280或240*88*320mm 11、重量：3KG 四、工作原理 电阻计的工作原理是基于在低压强时，利用气体分子的热传导，在高压时，利用气体分子的对流传热特性，使得电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化。电阻规的电阻与压强的变化是一种非线性关系，鉴次本机采用微机对此非线性进行误差修正，从而提高了测量精度。 由压强变化所引起的电阻规电阻的变化，由测量桥路输出电压信号，由放大器放大，经A/D转换换入微机进行非线性处理过算，最后送显示器显示。 其工作原理框图如下
德国莱宝真空计原理
德国莱宝真空计原理 点击次数：619 发布时间：2010-5-27 真空计 vacuum gauge 用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表，又称真空规。真空计的测量单位沿用压力测量单位，压力的国际单位为帕(Pa)，曾使用的单位还有托(Torr)和毫巴(mbar)等。 简史 自1643年意大利物理学家E.托里拆利进行大气压力实验以来，先后出现许多种真空计。最早出现的是Ｕ形管真空计,它只能用来测量粗真空和低真空。1874年,H.G.麦克劳发明的压缩式真空计,解决了低真空和高真空的绝对压力的测量，但仍不能进行连续测量。1906年，M.皮喇尼发明电阻式真空计，解决了工业生产中的低真空测量问题。继而，O.E.巴克利于1916年又发明电离真空计,这在当时不仅解决了10-1～10-5帕的高真空测量,而且促进了油扩散泵等真空设备的发展和应用。1937年，F.M.潘宁发明冷阴极电离真空计，适用于有大量放气和经常暴露于大气的真空设备的测量，所以在真空冶金和机械工业中得到广泛应用。1950年，R.T.贝阿德和D.A.阿尔伯特发明BA式电离真空计,解决了10-8帕的超高真空测量问题,从而使真空测量获得了突破,并推动了超高真空技术的发展；而与此有关的表面物理、核能、航天和大型集成电路等科学技术也得到了迅速发展。1960年以来，相继研制成功的调制规、抑制规、弯注规、分离规和磁控式电离规等已能实现10-11帕左右的超高真空测量。 详细资清登陆我司网站查询: https://www.wendangku.net/doc/499095041.html,/ 分类
真空计可分为绝对真空计和相对真空计两大类。凡能从其本身测得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)直接计算出气体压力的称绝对真空计，这种真空计测量精度较高，主要用作基准量具。相对真空计主要利用气体在低压力下的某些物理特性(如热传导、电离、粘滞性和应变等)与压力的关系间接测量，其测量精度较低，而且测量结果还与被测气体种类和成分有关。因此相对真空计必须用绝对真空计标定和校准后方能用作真空测量。但它能直接读出被测压力，使用方便，在实际应用中占绝大多数。真空技术需要测量的压力范围为105～10-11帕，甚至更小,宽达16个数量级以上,尚无一种真空计能适用于从粗真空(105～102帕)、低真空(102～10-1帕)、高真空(10-1～10-5帕)、超高真空(小于10-5帕)到极高真空(小于10-10帕)的全范围测量,因而有多种真空计。最常用的有U形管真空计、压缩式真空计、电阻真空计和冷热阴极电离真空计。 U形管真空计用以测量粗真空和低真空的绝对真空计(图1)。在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸气压的油、汞)。管的一端被抽成真空(或直接通大气)，另一端接被测真空系统。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。压缩式真空计又称麦克劳真空计，是一种测量低真空和高真空的绝对真空计。这种真空计一般用硬质玻璃制成(图2a)。A是一根与被测真空系统相连接的开管，D、B为内径相同的毛细管，V为球泡,其体积远大于毛细管。测量时，通过活塞2抽真空，然后用活塞1充气,使汞储存器C中的汞上升到覆没交叉口ΜΜ′，则D、V和B、A内的气体被隔成两个区域。再充气继续提高汞液面,D、V内的气体则进一步被压缩，压力增高。这样D、B间存在的压差可由汞柱高度差来表示(图2b)。玻璃容器的体积和毛细管的高度是可精确测出的，所以用玻意耳定律即可算出被测压力。测量精度较高,在10-3帕时的精度小于或等于5％。电阻真空计又称皮喇尼真空计，是一种测量低真空的相对真空计，主要由电阻式规管和测量线路两部分组成。电阻式规管(图3)是在管壳内封装着一条电阻温度系数较大的电阻丝，常用的为钨或铂丝。测量时，规管与被测真空系统相接，用一定的电压、电流加热电阻丝，其表面温度可用电阻值来反映，且与周围的气体分子的热传导有关，而气体分子的热传导又与压力有关。当被测压力降低时，由气体分子传走的热量减小，电阻丝表面温度就增高，电阻值增大；反之，电阻值减小。因此根据电阻值的大小就可测量出压力。热阴极电离真空计通称电离真空计，主要用于高真空测量。它是由圆筒式热阴极电离规管(图4)和测量线路两部分组成。这种规管与三极电子管相似，有 3个电极：阴极(灯丝)、螺旋形栅极(加速极)和圆筒形收集极。测量时，规管与被测真空系统相连。通电后，热阴极发射电子，在飞向带正电位的加速极的路程中与管内空间的低压气体分子碰撞,使气体分子电离。电离所产生的电子和离子,分别在加速极和收集极(带负电位)上形成电子流Ie和离子流Ii。在被测气体压力低于10-1帕的状况下,当电子流Ie恒定时，离子流Ii与被测真空系统中的气体分子密度(亦即压力p)成正比。因此,离子流的大小就可作为压力的度量。这种真空计的测量范围为10-1～10-5帕。此外,还有测量上限能达102帕以上的高压力电离真空计。
真空计(vacuum gauge)介绍
真空计(vacuum gauge)介绍 用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表，又称真空规。真空计的测量单位沿用压力测量单位，压力的国际单位为帕(Pa)，曾使用的单位还有托(Torr)和毫巴(mbar)等。 自1643年意大利物理学家E.托里拆利进行大气压力实验以来，先后出现许多种真空计。最早出现的是Ｕ形管真空计,它只能用来测量粗真空和低真空。1874年,H.G.麦克劳发明的压缩式真空计,解决了低真空和高真空的绝对压力的测量，但仍不能进行连续测量。1906年，M.皮喇尼发明电阻式真空计，解决了工业生产中的低真空测量问题。继而，O.E.巴克利于1916年又发明电离真空计,这在当时不仅解决了10-1～10-5帕的高真空测量,而且促进了油扩散泵等真空设备的发展和应用。1937年，F.M.潘宁发明冷阴极电离真空计，适用于有大量放气和经常暴露于大气的真空设备的测量，所以在真空冶金和机械工业中得到广泛应用。1950年，R.T.贝阿德和D.A.阿尔伯特发明BA式电离真空计,解决了10-8帕的超高真空测量问题,从而使真空测量获得了突破,并推动了超高真空技术的发展；而与此有关的表面物理、核能、航天和大型集成电路等科学技术也得到了迅速发展。1960年以来，相继研制成功的调制规、抑制规、弯注规、分离规和磁控式电离规等已能实现10-11帕左右的超高真空测量。 分类真空计可分为绝对真空计和相对真空计两大类。凡能从其本身测得的物理量（如液柱高度、工作液、比重等）直接计算出气体压力的称绝对真空计，这种真空计测量精度较高，主要用作基准量具。相对真空计主要利用气体在低压力下的某些物理特性（如热传导、电离、粘滞性和应变等）与压力的关系间接测量，其测量精度较低，而且测量结果还与被测气体种类和成分有关。因此相对真空计必须用绝对真空计标定和校准后方能用作真空测量。但它能直接读出被测压力，使用方便，在实际应用中占绝大多数。真空技术需要测量的压力范围为105～10-11帕，甚至更小,宽达16个数量级以上,尚无一种真空计能适用于从粗真空(105～102帕)、低真空（102～10-1帕）、高真空（10-1～10-5帕）、超高真空（小于10-5帕）到极高真空（小于10-10帕）的全范围测量,因而有多种真空计。最常用的有U形管真空计、压缩式真空计、电阻真空计和冷热阴极电离真空计。 U形管真空计用以测量粗真空和低真空的绝对真空计。在U字形的玻璃管中充以工作液（低蒸气压的油、汞）。管的一端被抽成真空（或直接通大气），另一端接被测真空系统。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。 压缩式真空计又称麦克劳真空计，是一种测量低真空和高真空的绝对真空计。这种真空计一般用硬质玻璃制成。A是一根与被测真空系统相连接的开管，D、B为内径相同的毛细管，V为球泡,其体积远大于毛细管。测量时，通过活塞2抽真空，然后用活塞1充气,使汞储存器C中的汞上升到覆没交叉口ΜΜ′，则D、V和B、A内的气体被隔成两个区域。再充气继续提高汞液面,D、V内的气体则进一步被压缩，压力增高。这样D、B间存在的压差可由汞柱高度差来表示。玻璃容器的体积和毛细管的高度是可精确测出的，所以用玻意耳定律即可算出被测压力。测量精度较高,在10-3帕时的精度小于或等于5％。 电阻真空计又称皮喇尼真空计，是一种测量低真空的相对真空计，主要由电阻式规管和测量线路两部分组成。电阻式规管是在管壳内封装着一条电阻温度系数较大的电阻丝，常用的为钨或铂丝。测量时，规管与被测真空系统相接，用一定的电压、电流加热电阻丝，其表面温度可用电阻值来反映，且与周围的气体分子的热传导有关，而气体分子的热传导又与压力有关。当被测压力降低时，由气体分子传走的热量减小，电阻丝表面温度就增高，电阻值增大；反之，电阻值减小。因此根据电阻值的大小就可测量出压力。 热阴极电离真空计通称电离真空计，主要用于高真空测量。它是由圆筒式热阴极电离规管和测量线路两部分组成。这种规管与三极电子管相似，有 3个电极：阴极（灯丝）、螺旋
真空计原理及测量范围
真空计原理与测量范围 真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态，是一种物理现象。在真空技术里，真空系针对大气而言，一般指特定空间内部之部份物质被排出，使其压力小于一个标准大气压，则我们通称此空间为真空或真空状态。真空常用帕斯卡（Pascal）托尔（Torr）毫巴（mbar）等做为压力的单位。 真空的分类： 前级真空：1*10-3Torr~1000Torr 高真空：1*10-9Torr~10-3Torr 超高真空：10-9Torr以下 真空计（Vacuum Gauge），也称真空表、真空规管，是测量真空度或低气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类， 分别是利用力学性能、利用气体动力学效应利用带电粒子效应的真空计。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和电容薄膜规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规、热传导规； 利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。市场上真空计的形式： 真空规管+真空测量计（真空计控制器）：需配套使用。 真空变送器（真空计）：本体集成电路部分，可输出各类型号。 两种形式客户可根据实际应用进行选择，真空规和控制器的形式，主要应用在一些恶劣的现场环境或者早期的集成设备，由规管、线缆、控制器三部分组成，前期成本略高，典型优点是后期维护更换真空规便宜；随着工业自动化的发展，真空变送器（真空计）已经成为真空测量的主要产品，可根据现场能处理的信号（数字/模拟）选择相应通讯的产品。 真空计测量范围：
热偶真空计原理完整版新
毕业设计（论文） 成都电子机械高等专科学校 二00八年六月 第一章热偶真空计原理 1.1 规管原理 热电偶真空计是利用气体分子的热传导现象,热电偶接在白金或钨的细线上。这段细线通过电流后会发热。发出的热量通过周围气体分子的热传导,或细线本身的固体热传导,或热辐射放出。利用气体分子承担的热传导量与压力成正比的特点是此真空计的原理。热偶真空计是由热偶真空规管Ⅰ和测量电路Ⅱ所组成。热偶规管是由热丝、热偶丝、玻壳组成。 如果保持细线的发热量即保持一定的电流,则周围压力高的时候气体夺走的热量较多,致使细线的温度较低。反过来周围压力低的时候细线的温度会升高。这种温度的变化通过热电偶检测出来,将热电偶的起电力换成压力之后即可知真空腔内的压力。
特征：利用气体分子的热传导现象,可能测量的压力范围在1-300Pa之间。热电偶真空计测得细线温度同时,也受到细线本身的固体热传导和热辐射放热的影响。因此精度不高。但是电路简单,价格低廉 另外其传导元件用镍铜合金在此真空计在大气压状态下也不会烧损一致于损坏电路。而且测得的压力值通过电信号被取出,因此在自动控制方面容易控制。 其工作过程可用简明符号来表示： P度↑→分子↓→Q↓分子从热丝上带走热量→TA↑→△T↑(TA-TB)→E↑热电势，也可以归纳出E↑→P度↑。 热偶真空计对热丝、热偶丝的要求： 对规管热丝只要求在工作温度（100-200℃）和较高压强下具有足够的物理和化学稳定性和较小的电阻稳温度系数（随温度变化其电阻值变化要小），常用的有φ0.05-0.1mm的铂丝、钨丝和镍丝，工作加热电流在0.1-0.5A。若用铂丝，尺寸为φ0.08×2705mm。 对热偶丝的要求是在上述工作温度范围内具有足够的灵敏度和物理化学稳定性。常用是的材料有康铜（镍43%；铜57%）-镍鉻合金（镍80%+鉻20%）、铂铑-铂、铜-康铜。镍鉻合金—、鏑-铋等。若用康铜-镍鉻丝其尺寸要求为φ0.05×25mm。 热偶真空计分为：定流式和定温式 复杂规管（传感器）有4根线，如图1-1所示： 图1-1 热电偶原理图 定流式热偶真空计：就是（1）（2）脚加的电流I保持恒定不变，被测量空间的真空度变化，传感元件镍铜合金的温度发生变化，（3）（4）脚两端的电压也就发生变化。通过（3）（4）脚电压变化来反应真空度的变化。 定流式热偶真空计的缺点就是测量范围太小，当真空度103Pa时镍铜合金几乎达到饱和状态（3）（4)脚电压基本不再变化。如图1-2所示： 图1-2 测量范围图 定温式热偶真空计：在真空变化时使镍铜合金的温度保持不变就要给镍铜合金（1）（2）脚加一个补偿电流，通过对补偿电流取样的大小来反应真空度的变化。 定温式热偶真空计的优点是测量范围宽，可测量10-1～105Pa的真空度。如图1-3所示：
电阻真空计企业标准
Q/HRG 合肥华瑞真空科技有限公司企业标准 Q/HRG 0001S-2014 电阻真空计技术条件Specifications of resistance vacuum gauge 2014-05-10发布 2014-09-01实施合肥华瑞真空科技有限公司发布
前言 根据JB/T 10074—2004《中华人民共和国机械行业标准》制定本标准，以及国内主要电阻真空计生产厂家提出的技术要求而制定。 本标准严格按照GB/T1.1《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写规则》的要求进行编写。 本标准由合肥华瑞真空科技有限公司提出并起草。 本标准主要起草人：郭毓、黄友领、李苹平。 本标准自发布之日起有效期限3年，到期复审。 生产单位：名称：合肥华瑞真空科技有限公司。 地址：安徽省合肥市蜀山区黄山路602号。
电阻真空计技术条件 1 范围 本标准规定了电阻真空计（以下简称真空计）的技术要求、试验方法、检验规则等内容。该真空计由电阻真空计规管和电阻真空计电路组成。 本标准适用于压强测量范围：105~10-2的真空计。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标志（GB/T 191—2000，eqv ISO 780:1997） GB/T 4982 夹紧型真空快卸法兰（GB/T 4982—1985，idt ISO 2861-1: 1974） GB/T 6587.2 电子测量仪器温度试验 GB/T 6587.2 电子测量仪器湿度试验 GB/T 13306 标牌 JB/T 9329 仪器仪表运输，运输贮存基本环境条件及试验方法 JB/T 10074 中华人民共和国机械行业标准 JJF 1050 工作用热传导真空计校准规范 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 电阻真空计resistance vacuum gauge 利用加热中的热丝电阻随压强而变化的一种热导真空计。 3.2 真空计规管vacuum gauge tube 为电阻真空计的一部分，含有热丝电阻随温度变化的敏感元件并直接与真空系统连接。 3.3 真空计电路vacuum gauge circuit 为真空计的一部分，它由真空计控制单元和真空计指示单元组成。 4 技术要求 4.1 规管的技术要求 4.1.1规管在下述环境条件下应能正常工作： a）环境温度：-5℃~40℃； b）相对湿度：不大于80％（23℃~25℃时）。 4.1.2外观：规管外壳应无裂纹、锈斑或明显的气线、气泡等缺陷。 4.1.3电阻值：规管热丝电阻冷态电阻值的零散不应超过±1.5％。 4.1.4规管与真空系统连接部分应满足下列要求： 4.1.4.1规管连接部分为圆型轨道时，管道的外径应为15mm±0.5mm； 4.1.4.2规管连接部分为夹紧型真空快卸法兰时，其技术要求应符合GB/T 4982的规定。 4.1.5密封性：规管对氦气的漏率应不大于10-9 Pa.m3/s。 4.1.6规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻不得小于12。 4.1.7在环境温度为23℃±3℃下，规管校准曲线在测量范围0.5Pa～2500Pa时，与标准曲线的偏差平均值不得超过±20％。 4.2 真空计电路的技术要求 4.2.1真空计在下述环境条件和供电电源下应能正常工作：
真空测量常用真空计
真空测量常用真空计真空测是是真空技术中的一个重要组成部分用于测量真空度的仪器叫真空计。真空计的种类很多，根据真空计的刻度方法，可分为绝对真空计和相对真空计。 (一)绝对真空计:通过对气体压强进行测量，经过计算后，能反映真空度的真空计，叫绝对真空计，如:U 型管真空计、压缩式真空计等。 (1)U型管真空计:利用U型管两端的液面差，来测量压强的典空计叫U型管真空计。 (2)压缩式真空计:又称麦克劳真空计。利用波意耳定律，将定量待测的气体，用水银或油压缩到极小体积，然后比较它的开管与闭管之间的液柱差，通过计算求得压强的一种绝对真空计。 (二)相对真空计:通过对与压强有关的物理盆进行侧量，但不能通过计算来进行刻度，只能与绝对真空计进行比较才能刻度的真空计，叫相对真空计，如:弹性式真空表、薄膜式真空计、电阻真空计、热偶真空计和电离真空计等。: (1)弹性式真空表:利用弹性元件随压强变化所产生的变形，测量真空度的真空计。 (2)电阻真空计和热偶真空计:利用气体分子的热传导作用，测量真空度的真空计。 (3)电离真空计:利用气体分子在低压强下的电离现象，测量真空度的真空计。 常用真空计的分类和测量范围见下图：
(三)绝对真空计与相对真空计的比较 (1)绝对真空计的优点，是结构简单福、造价低、测量精度高，其测量值与被测气体种类无关(可凝性蒸气除外)。其缺点是操作不便，不能连续测量，用水银作介质时，水银蒸气对环境有污染。 (2)相对真空计的优点，是能连续测量真空度，并便于自动记录和用于自动控制。其缺点，是测量精度受气体种类和环境温度的影响较大，测量精度不如绝对真空计高。 真空热处理炉常用的真空计有弹性式真空表、热偶真空计、电阻真空计、电离真空计等相对真空计。现将常用的真空计工作原理简介如下: (一)弹性式真空表:真空表内，有一由铍青钢或不锈钢等弹性材料制成的扁平截面弹簧弯管，管的一端与被测真空系统相连，另一端封死，并通过连杆齿轮与指针相连。当弹簧管内气体压强增高时，弹簧管的截面形状向圆形变化，并使弹簧管向外扩张，带动指针偏转。反之，当管内气体压强降低时，指针朝相反方向旋转。此种真空表，其真空度的测鱿范困为960托~1托。 (二)热偶真空计:热偶真空计由测量真空度的敏感元件、热偶规炸和测量仪器组成。规管见图.测量仪器，由测蚤热电势的毫伏计和规管加热丝稳压电源两部分组成。热偶规管与被测真空系统相通。热偶规管外壳为玻璃管，内部有加热丝1和热偶丝2。热偶丝的冷端和热端温度不同时，由于温差效应，在回路中有热电势产生。如加热丝电压保持恒定，则热偶丝的热电势取决于加热丝的温度，而加热丝的温度与被测气体的压强有关。如压力降低时，气体的导热率减小，被气体传走的热量减小，加热丝的温度随之升高，热偶丝的热电势增加，反之，气体压强增高时，气体的导热率增加，被气体带走的热量增加，加热丝的温度降低，热电偶的热电势减小。用毫伏表测量热电俩回路中的热电势，即可测出被测真空系统真空度的大小。